JP2015126225A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造工程数を増加することなく、樹脂バリを容易に除去できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド外部領域とモールド内部領域を有し、プレス加工するリードフレームを用いる。モールド外部領域のリードフレームのリード端子がだれ部6を有し、だれ部6に凹部を加工する。モールド内部領域のリードフレーム上面に半導体素子を搭載してモールド樹脂で封止する。凹部加工と樹脂封止の後に、モールド外部領域においてリードフレームのだれ部に発生した樹脂バリを除去する。
【選択図】図6
【解決手段】モールド外部領域とモールド内部領域を有し、プレス加工するリードフレームを用いる。モールド外部領域のリードフレームのリード端子がだれ部6を有し、だれ部6に凹部を加工する。モールド内部領域のリードフレーム上面に半導体素子を搭載してモールド樹脂で封止する。凹部加工と樹脂封止の後に、モールド外部領域においてリードフレームのだれ部に発生した樹脂バリを除去する。
【選択図】図6
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、トランスファーモールドをおこなう樹脂封止型の半導体装置の製造方法に関する。
一般的に、半導体装置に使用されるリードフレームは、順送金型により金属板から打ち抜くことで製造される。その際に、リードフレームの側面には、だれ面、せん断面、破断面、バリが形成される。このリードフレームのだれ面に樹脂バリが密着するため、樹脂バリの除去が必要となる。
たとえば、特許文献1には、リードフレームのリード端子部を水溶性樹脂でコーティングし、トランスファーモールドをする。その後、低水圧ノズルを用いて、樹脂バリと水溶性樹脂を同時に除去している半導体装置の製造方法が開示されている。これにより、トランスファーモールド時の樹脂バリ取りをおこなっている。
一般的に、半導体装置のリード部に付いた、樹脂バリを除去する製法は、数々の製造方法がある。しかしながら、従来技術は、水溶性樹脂をリードフレーム上に塗布するために、塗布・硬化工程が必要になる。このため、通常の製造工程より工程数が増加するという課題がある。
従って、本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、製造工程数を増加することなく、樹脂バリを容易に除去できる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するために、本発明は、以下に掲げる構成とした。本発明の半導体装置の製造方法は、モールド外部領域とモールド内部領域を有し、プレス加工するリードフレームを用いる。モールド外部領域のリードフレームのリード端子がだれ部を有し、だれ部に凹部を加工する。モールド内部領域のリードフレーム上面に半導体素子を搭載してモールド樹脂で封止する。凹部加工と樹脂封止の後に、モールド外部領域においてリードフレームのだれ部に発生した樹脂バリを除去するものである。
本発明は、リードフレームのリード端子がだれ部を有している。このだれ部に凹部を加工するので、樹脂封止のバリが発生しても、製造工程を増加することなく、樹脂バリを容易に除去できる効果がある。
以下、本発明を実施するための形態について、図を参照して詳細に説明する。ただし、本発明は以下の記載に何ら限定されるものではない。
以下、図面を参照して本発明の実施例1に係る半導体装置の製造方法を説明する。図1は、本発明の実施例1に係るリードフレーム1の概略平面図である。
図1に示すように、リードフレーム1は、ダイパッド2とリード端子3で形成されている。後の工程でモールド樹脂封止されないモールド外部領域4と、後の工程で樹脂封止されるモールド内部領域5との領域に分けられる。
図2は、リードフレーム1のリード端子3の概略断面図である。リードフレーム1は順送金型により、一般的には、素材が銅からなる金属板から打ち抜くことで製造される。その際に、リードフレーム1のリード端子3側面には、だれ部、せん断部、破断部、バリ部が形成される。このことは公知技術であるので、ここでは、だれ部6のみを図示する。
図6に示すように、リード端子3は、モールド外部領域4において、だれ部5の部分に凹形状の加工をおこなう。それにより、凹部12を設ける。この加工が最も容易にできる角度は45°である。加工方法としては、リードフレームのプレス順送金型により、凸状のパンチ金型を押しつけ、変形させることができる。例えば、ヤゲンパンチを用いてV字形状とすることができる。順送金型の中で加工するので、リードフレーム製造と同時におこなうことができる。
図3に示すように、モールド内部領域5においてリードフレーム1のダイパッド2上に、接合材よりトランジスタやICなどの半導体素子7を搭載する。そして、ワイヤ8により半導体素子7とリード端子3を接続する。
図4に示すように、モールド内部領域5の半導体素子7とワイヤ8をモールド樹脂9で樹脂封止する。その際に、樹脂封止金型とだれ部6との隙間が発生する。図示していないが、樹脂封止金型は四角形形状の空間にリード端子3を挟み込む。だれ部6は空間の内側に入るので隙間ができる。これにより、モールド外部領域4においてリードフレーム1のリード端子3のだれ部5に樹脂バリ10が発生する。(図5も参照)
次に、図示していないが、リード端子3と隣り合うリード端子3の間にパンチング金型により、樹脂バリ10を打ち抜き、除去する。その後、リードフレームのリード端子3を含めた、モールド外部領域4に、外装はんだめっきを付ける。以上により、本発明の実施例1に係る半導体装置が製造される。
次に、本発明の実施例1に係る半導体装置の製造方法について効果を説明する。
本発明の実施例1に係る半導体装置が製造方法はリードフレーム1のリード端子3のだれ部6に凹部12を加工している。これにより、樹脂封止の樹脂バリが発生しても、製造工程を増加することなく、樹脂バリを容易に除去できる。
また、上述のようにリードフレーム製造と同時に凹部12の加工をおこなうことできる。これにより、特別な製造工程を追加することがないため、加工時間・コストも低減し、安価に、製造することができる。
また、強固に密着している樹脂バリ10を凹部12により、パンチング金型による樹脂バリ取り時に、樹脂バリ10に破壊応力がかかる。その時、凹部12の変形している頂点を起点として、樹脂バリ10のクラックや剥離が起こり、細かく破損できるため、樹脂バリ13をパンチング金型によるバリ取りで容易に除去することができる。
また、樹脂バリが残っていると、リード端子3部の外装はんだめっき後に、ひげ状のめっきバリ11が発生する。これにより、はんだバリ11が隣り合うリード端子3に接触して、ショート不良が発生する(図7参照)。従って、樹脂バリが容易に除去できるので、リード端子3部の外装はんだめっきのはんだバリ11の発生を抑制することができる。
上述のように、本発明を実施するための形態を記載したが、この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例が可能であることが明らかになるはずである。
上述の例では、凹部12を、V字形状で図示したが、四角形状やU字形状であってもよい。
また、凹部12をリード端子3の片側に3つを図示したが、任意数であってもよい。すなわち、リード端子における凹部の形状や数量の構成は、上述の効果を奏する限りにおいて適宜設定することができる。
1、リードフレーム
2、ダイパッド
3、リード端子
4、モールド外部領域
5、モールド内部領域
6、だれ部
7、半導体素子
8、ワイヤ
9、モールド樹脂
10、樹脂バリ
11、めっきバリ
12、凹部
2、ダイパッド
3、リード端子
4、モールド外部領域
5、モールド内部領域
6、だれ部
7、半導体素子
8、ワイヤ
9、モールド樹脂
10、樹脂バリ
11、めっきバリ
12、凹部
Claims (2)
- モールド外部領域とモールド内部領域を有し、プレス加工するリードフレームを用いた半導体装置の製造方法であって、前記モールド外部領域の前記リードフレームのリード端子がだれ部 を有し、前記だれ部に凹部を加工するフレーム加工工程と、前記モールド内部領域の前記リードフレーム上面に半導体素子を搭載し、モールド樹脂で封止するモールド工程と、前記モールド外部領域において前記リードフレームの前記だれ部に発生した樹脂バリを除去するバリ取り工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記リードフレームの前記リード端子の表面にはんだめっきを設けるめっき工程を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013272357A JP2015126225A (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013272357A JP2015126225A (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015126225A true JP2015126225A (ja) | 2015-07-06 |
Family
ID=53536700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013272357A Pending JP2015126225A (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015126225A (ja) |
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2013
- 2013-12-27 JP JP2013272357A patent/JP2015126225A/ja active Pending
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