JP2015126197A - 基板処理装置、シャッタ機構およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置1は、被処理基板を搬入するための開口部51を有する円筒状のチャンバ10と、チャンバ10の内壁に沿って配置され、開口部51に対応する位置に開口部71aを有するデポシールド71と、板状に形成され、開口部71aを開閉するシャッタ55とを備え、シャッタ55が開口部71aを閉じた状態において、シャッタ55の外縁は、シャッタ55の厚み方向においてデポシールド71と重なり、開口部71aの内縁は、シャッタ55の厚み方向においてシャッタ55と重なる。
【選択図】図6
Description
図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す断面図である。図2は、図1における上部電極周辺の概略構成を示す拡大断面図である。なお、以下では、基板処理装置がプラズマ処理装置である場合を例に説明するが、これに限定されるものではなく、シャッタ部材を有する任意の基板処理装置であってもよい。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、本実施形態において、第1の実施形態と同様の部分については説明を省略する。図10は、第2の実施形態におけるシャッタ付近の構成の一例を示す拡大図である。図11は、図10のC−C断面の一例を示す断面図である。図12は、シャッタが開いた状態の一例を、デポシールド71の内側から見た概略図である。図13は、シャッタが開いた状態の一例を、デポシールド71の外側から見た概略図である。図10は、図11のD−D断面の一例を示している。
図14は、ガイド部材の変形例を示す断面図である。ガイドレール82は、例えば図14に示すように、チャンバ10の接地導体10aの内壁に、ねじ等により固定されてもよい。本変形例では、接地導体10aの内壁にガイドレール82を取り付けるため、ガイド部材84の取り付け空間を広くとることができる。そのため、ガイドレール82およびスライダ83を、第2の実施形態におけるガイドレール82およびスライダ83よりも大きく形成することができる。そのため、ガイドレール82およびスライダ83の加工コストを削減することができ、プラズマ処理装置1全体のコスト上昇を抑えることができる。
55 シャッタ
55b 凸部
55c 溝
57 スパイラル
71 デポシールド
71a 開口部
71b 上端面
71c 上端面
80 矢印
Claims (12)
- 被処理基板を搬入するための第1の開口部を有する円筒状のチャンバと、
前記チャンバの内壁に沿って配置され、前記第1の開口部に対応する位置に第2の開口部を有する保護部材と、
板状に形成され、前記第2の開口部を開閉する開閉部材と
を備え、
前記開閉部材が前記第2の開口部を閉じた状態において、
前記開閉部材の外縁は、前記開閉部材の厚み方向において前記保護部材と重なり、
前記第2の開口部の内縁は、前記開閉部材の厚み方向において前記開閉部材と重なることを特徴とする基板処理装置。 - 前記開閉部材が前記第2の開口部を閉じた状態において、
前記開閉部材における前記第1の開口部側の面と反対側の面側から、前記開閉部材の外縁と前記第2の開口部の内縁との間に見える隙間の幅が、1.10mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記開閉部材が前記第2の開口部を閉じた状態において、
前記開閉部材における前記第1の開口部側の面と反対側の面側から、前記開閉部材の上端における外縁と前記第2の開口部の上端における内縁との間に見える隙間の幅が、1.00mm以下であり、
前記開閉部材における前記第1の開口部側の面と反対側の面側から、前記開閉部材の左端における外縁と前記第2の開口部の左端における内縁との間に見える隙間の幅、および前記開閉部材の右端における外縁と前記第2の開口部の右端における内縁との間に見える隙間の幅が、それぞれ0.80mm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記チャンバ内に設けられたリニアガイドをさらに備え、
前記開閉部材は、
前記リニアガイドによって案内される軌道に沿って前記第2の開口部を開閉することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - プラズマ処理装置内の空間に基板を搬入する開口部を遮断し、開口部の隙間の異常放電を抑制するシャッタ機構であって、
プラズマが生成される前記空間を区画する第1の部材と、
前記空間から前記プラズマが外へ拡散しないように前記開口部を遮蔽する遮蔽部材と
を備え、
前記第1の部材と前記遮蔽部材の間に形成された前記隙間が、
前記隙間内に異常放電が生成しない範囲の隙間に制御されていることを特徴とするシャッタ機構。 - 前記隙間は、
前記遮蔽部材の厚み方向において前記第1の部材と前記遮蔽部材とが重なるように形成されることを特徴とする請求項5に記載のシャッタ機構。 - 前記遮蔽部材の上端における前記隙間の幅は、1.00mm以下であり、
前記遮蔽部材の左端および右端における前記隙間の幅は、0.80mm以下であることを特徴とする請求項5または6に記載のシャッタ機構。 - 前記遮蔽部材は、
前記プラズマ処理装置内に設けられたリニアガイドによって案内される軌道に沿って移動して前記開口部を遮蔽することを特徴とする請求項5から7のいずれか一項に記載のシャッタ機構。 - プラズマ処理装置内に空間を有し、前記空間内に基板が搬入されるチャンバと、
前記チャンバの開口部を遮断するシャッタ機構と
を備え、
前記シャッタ機構は、
プラズマが生成される前記空間を、前記チャンバ内の側壁に沿って区画する第1の部材と、
前記空間から前記プラズマが外へ拡散しないように前記開口部を遮蔽する遮蔽部材と
を有し、
前記遮蔽部材が前記開口部を閉じた状態において、前記第1の部材と前記遮蔽部材の間に形成された隙間が、前記隙間内に異常放電が生成しない範囲の隙間に制御されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記隙間は、
前記遮蔽部材の厚み方向において前記第1の部材と前記遮蔽部材とが重なるように形成されることを特徴とする請求項9に記載のプラズマ処理装置。 - 前記遮蔽部材の上端における前記隙間の幅は、1.00mm以下であり、
前記遮蔽部材の左端及び右端における前記隙間の幅は、0.80mm以下であることを特徴とする請求項9または10に記載のプラズマ処理装置。 - 前記遮蔽部材は、
前記プラズマ処理装置内に設けられたリニアガイドによって案内される軌道に沿って移動して前記開口部を遮蔽することを特徴とする請求項9から11のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
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