JP2013165276A - 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 128
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- CNEOGBIICRAWOH-UHFFFAOYSA-N methane;molybdenum Chemical compound C.[Mo] CNEOGBIICRAWOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置10は、ウエハWを収容する処理室11と、該処理室11内へ処理ガスを供給するシャワーヘッド13とを備え、シャワーヘッド13は、内部に形成され且つ処理室11内に収容されたウエハWの表面と平行に広がる内部空間38と、該内部空間38及び処理室11内を連通させる複数のガス供給孔42と、蓋部品50とを有し、処理ガス導入管40は開口部39を介して内部空間38と接続され、開口部39は複数のガス供給孔42の一部と対向し、蓋部品50は、内部空間38に配されて開口部39と対向する面を有する底部51と、底部51を所定の位置に支持する側壁52とを備え、底部51の面はウエハWの表面と平行であり、側壁52は底部51の一部を支持する。
【選択図】図5
Description
Csi=ε3ω/12μL・(Psi+Ps(i−1))/2 ・・・ (1)
式(1)によれば、コンダクタンスCsiは空間の高さの3乗に比例するので、空間の高さが大きいほど流れ方向に関するコンダクタンスが大きくなることが分かる。
Qsi=Csi(Psi−Ps(i−1)) ・・・ (2)
式(1)及び(2)によれば、所定の空間を流れるガスの流量はコンダクタンスに比例し、該コンダクタンスは空間の高さの3乗に比例するので、ガスの流量は空間の高さに大きく依存し、高さが大きいほどガスの流量は大きくなることが分かる。
まず、本発明者は、表面全体に酸化膜が形成されたウエハWoxを準備し、図2に示す蓋部品50を備えたプラズマ処理装置10の処理室11内にウエハWoxを収容して、該ウエハWoxにRIEを施した。RIE終了後、ウエハWoxの表面全体の酸化膜厚を測定して、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(実施例1)。ま
た、表面全体にフォトレジスト膜が形成されたウエハWprを準備し、実施例1と同様に処理を施し、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(実施例2)。
次に、本発明者は、シャワーヘッド13の代わりに緩衝板77(図8参照。)を有するシャワーヘッド70を備えたプラズマ処理装置10の処理室11内に表面全体に酸化膜が形成されたウエハWoxを収容して、該ウエハWoxに実施例1と同様にRIEを施した。RIE終了後、ウエハWoxの表面全体の酸化膜厚を測定して、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(比較例1)。また、表面全体にフォトレジスト膜が形成されたウエハWprを用いて比較例1と同様に処理を施し、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(比較例2)。
10 基板処理装置
11 処理室
12 載置台
13 シャワーヘッド
38 内部空間
39 開口部
40 処理ガス導入管
42 ガス供給孔
50 蓋部品
51 底部
52 側壁
53 貫通穴
Claims (7)
- 基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において前記開口部を覆う蓋部品であって、
前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、
前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、
前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、
前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする蓋部品。 - 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項1記載の蓋部品。
- 前記内部空間の前記処理ガスの拡散方向に関する高さは8mm以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の蓋部品。
- 基板を収容する処理室と、少なくとも1つの処理ガス導入管とを備える基板処理装置が有する処理ガス拡散供給装置であって、
内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴と、該複数のガス穴の一部と対向し、前記処理ガス導入管及び前記内部空間の間に介在して前記処理ガス導入管内及び前記内部空間を連通させる開口部とを有し、前記処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置において、
前記開口部を覆う蓋部品を備え、
前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする処理ガス拡散供給装置。 - 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項4記載の処理ガス拡散供給装置。
- 基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、
前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、
前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において、
前記処理ガス拡散供給装置は前記開口部を覆う蓋部品を備え、
前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部と、を備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする基板処理装置。 - 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項6記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013056280A JP5678116B2 (ja) | 2013-03-19 | 2013-03-19 | 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013056280A JP5678116B2 (ja) | 2013-03-19 | 2013-03-19 | 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008056432A Division JP5230225B2 (ja) | 2008-03-06 | 2008-03-06 | 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013165276A true JP2013165276A (ja) | 2013-08-22 |
JP5678116B2 JP5678116B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=49176420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013056280A Expired - Fee Related JP5678116B2 (ja) | 2013-03-19 | 2013-03-19 | 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5678116B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160076459A (ko) | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
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