JP2013165276A - 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 - Google Patents

蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 Download PDF

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Abstract

【課題】基板におけるプラズマ処理の面内均一性を確保することができる基板処理装置用の蓋部品を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置10は、ウエハWを収容する処理室11と、該処理室11内へ処理ガスを供給するシャワーヘッド13とを備え、シャワーヘッド13は、内部に形成され且つ処理室11内に収容されたウエハWの表面と平行に広がる内部空間38と、該内部空間38及び処理室11内を連通させる複数のガス供給孔42と、蓋部品50とを有し、処理ガス導入管40は開口部39を介して内部空間38と接続され、開口部39は複数のガス供給孔42の一部と対向し、蓋部品50は、内部空間38に配されて開口部39と対向する面を有する底部51と、底部51を所定の位置に支持する側壁52とを備え、底部51の面はウエハWの表面と平行であり、側壁52は底部51の一部を支持する。
【選択図】図5

Description

本発明は、蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置に関し、特に、基板にプラズマ処理を施す基板処理装置用の蓋部品に関する。
通常、基板処理装置は、基板としての半導体デバイス用のウエハ(以下、単に「ウエハ」という。)を収容する処理室と、該処理室の上部に配されたシャワーヘッドとを備える。このような基板処理装置では、処理ガスがシャワーヘッドの複数のガス穴を介して処理室内の処理空間へ供給され、該処理空間において処理ガスから発生したプラズマによりウエハにプラズマ処理が施される。
図7は、従来の基板処理装置が備えるシャワーヘッドの構造を概略的に示す断面図である。
シャワーヘッド70は、導電材からなる天井電極板71と、該天井電極板71を釣支する電極板支持体72と、該電極板支持体72内に設けられた内部空間73とを有する。内部空間73には該内部空間73内に処理ガスを導入するガス導入管74の一端が接続される。また、天井電極板71には、該天井電極板71を貫通して内部空間73及び処理室内(図示しない)を連通させる多数のガス供給孔75,76が形成される。シャワーヘッド70では、ガス導入管74から内部空間73へ導入された処理ガスがガス穴75,76を介して処理空間へ供給される。
しかし、シャワーヘッド70では、内部空間73において処理ガスがガス導入管74から図中下方に向けて噴出するため、ガス導入管74の直下にあるガス穴75を通過する処理ガスの量が相対的に多く、ガス穴76を通過する処理ガスの量が相対的に少ない。この場合、処理ガスは各ガス穴75,76から均一に処理空間に供給されないため、処理ガスから発生するプラズマはウエハ上に均一に分布しない。このため、ウエハ表面に均一にプラズマ処理を施すことができず、その結果、プラズマ処理の面内均一性を確保することが困難となる。
これに対し、例えば、内部空間に緩衝板を配置したシャワーヘッドを備えた基板処理装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。このようなシャワーヘッドでは、内部空間73にはガス導入管74の開口部と対向するように緩衝板77が配置され(図8参照。)、該緩衝板77はガス導入管74から噴出された処理ガスがそのままガス穴75へ流れるのを防ぐとともに、該処理ガスを内部空間73において図中横方向へ拡散させる。これにより、ガス穴75を通過する処理ガスの量が極端に多くなるのを防止し、処理ガスを各ガス穴75,76から処理空間へ均一に供給させる。
特開平11−054440号公報
しかしながら、シャワーヘッド70の厚さ(図中上下方向)が制限され、内部空間73の高さを十分に確保することができない場合がある。この場合、上述した緩衝板77を内部空間73に配置すると、該内部空間73が上部空間と下部空間とに分けられるが、いずれの空間も高さが極端に低くなるため、処理ガスの横方向への流れ(拡散)に関するコンダクタンスを大きくするのが困難となる。その結果、内部空間73において処理ガスを横方向に十分拡散させることができないため、処理ガスを処理空間へ均一に供給することができず、ウエハにおけるプラズマ処理の面内均一性を確保するのが依然として困難である。
本発明の目的は、基板におけるプラズマ処理等の面内均一性を確保することができる蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1記載の蓋部品は、基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において前記開口部を覆う蓋部品であって、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする。
請求項2記載の蓋部品は、請求項1記載の蓋部品において、前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする。
請求項3記載の蓋部品は、請求項1又は2記載の蓋部品において、前記内部空間の前記処理ガスの拡散方向に関する高さは8mm以上であることを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項4記載の処理ガス拡散供給装置は、基板を収容する処理室と、少なくとも1つの処理ガス導入管とを備える基板処理装置が有する処理ガス拡散供給装置であって、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴と、該複数のガス穴の一部と対向し、前記処理ガス導入管及び前記内部空間の間に介在して前記処理ガス導入管内及び前記内部空間を連通させる開口部とを有し、前記処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置において、前記開口部を覆う蓋部品を備え、前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする。
請求項5記載の処理ガス拡散供給装置は、請求項4記載の処理ガス拡散供給装置において、前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項6記載の基板処理装置は、基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において、前記処理ガス拡散供給装置は前記開口部を覆う蓋部品を備え、前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部と、を備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする。
請求項7記載の基板処理装置は、請求項6記載の基板処理装置において、前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする。
本発明によれば、基板の表面と平行に広がる内部空間において遮蔽部が処理ガス導入管の開口部と対向するので、処理ガス導入管の開口部から導入された処理ガスは、遮蔽部と衝突して内部空間において基板の表面と略平行に拡散する。すなわち、処理ガスが基板の表面と略平行に拡散するために、内部空間を上部空間と下部空間に分ける必要がない。その結果、処理ガスの拡散方向に関する高さを確保してコンダクタンスを大きくすることができ、処理ガスを処理室内へ均一に供給することができ、もって、基板におけるプラズマ処理等の面内均一性を確保することができる。
本発明によれば、遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であるため、該遮蔽部は処理ガス導入管の開口部から導入された処理ガスを内部空間において基板の表面と確実に平行に拡散させることができ、もって、処理ガスを処理室内へ確実に均一に供給することができる。
本発明の実施の形態に係る蓋部品を備えるプラズマ処理装置の構成を概略的に示す断面図である。 図1における処理ガス拡散供給装置の構成を概略的に示す断面図である。 図1における蓋部品の構成を概略的に示す斜視図である。 ガスの流れに関するコンダクタンスを説明するための図である。 蓋部品の第1の変形例を概略的に示す斜視図である。 蓋部品の第2の変形例を概略的に示す斜視図である。 従来のシャワーヘッドの構成を概略的に示す断面図である。 緩衝板を備える従来のシャワーヘッドの構成を概略的に示す断面図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態に係る蓋部品を備えるプラズマ処理装置の構成を概略的に示す断面図である。このプラズマ処理装置は直径が、例えば、300mmの半導体ウエハ(基板)にプラズマエッチング、例えば、RIE(Reactive Ion Etching)やアッシングを施すように構成されている。
図1において、プラズマ処理装置10(基板処理装置)は、例えば、真空チャンバからなる処理室11と、該処理室11内の底面中央部分に配設された載置台12と、該載置台12の上方に載置台12と対向するように設けられたシャワーヘッド13(処理ガス拡散供給装置)とを備える。
処理室11は小径の円筒状の上部室11aと、大径の円筒状の下部室11bとを有する。上部室11aと下部室11bとは互いに連通しており、処理室11全体は気密に構成される。上部室11a内には載置台12やシャワーヘッド13が格納され、下部室11b内には載置台12を支えると共に冷媒やバックサイドガス用の配管を収めた支持ケース14が格納される。
下部室11bの底面には排気口15が設けられ、該排気口15には排気管16を介して排気装置17が接続される。該排気装置17はAPC(Adaptive Pressure Control)バルブ、DP(Dry Pump)やTMP(Turbo Molecular Pump)を有し(いずれも図示しない)、APCバルブ等は制御部(図示しない)からの信号によって制御され、処理室11内全体を真空排気して所望の真空度に維持する。一方、上部室11aの側面にはウエハWの搬出入口18が設けられており、該搬出入口18はゲートバルブ19によって開閉可能である。また、上部室11aと下部室11bとはアルミニウム等の導電性の部材から構成され、且つ接地される。
載置台12は、例えば、導電体であるアルミニウムからなる台状部材であるプラズマ生成用の下部電極20と、後述の処理空間内において電界の強度を均一にするために下部電極20の上面中央部分に埋設された、例えば、誘電体であるセラミックスからなる誘電体層21と、ウエハWを載置面において静電吸着して固定するための静電チャック22とを有する。載置台12では、下部電極20、誘電体層21及び静電チャック22がこの順で積層されている。また、下部電極20が支持ケース14上に設置された支持台23に絶縁部材24を介して固定され、処理室11に対して電気的に十分浮いた状態になっている。
下部電極20内には冷媒を通流させるための冷媒流路25が形成され、冷媒が冷媒流路25を流れることによって下部電極20が冷却され、静電チャック22上面の載置面に載置されたウエハWが所望の温度に冷却される。
静電チャック22は、誘電体からなり、導電性の電極膜26を内包する。該電極膜26は、例えば、アルミナ(Al)に炭化モリブデン(MoC)を含有させた電極材料からなる。該電極膜26には高圧直流電源27が接続され、電極膜26に供給された高圧直流電力は静電チャック22の載置面及びウエハWの間にクーロン力を生じさせてウエハWを静電吸着して固定する。
また、静電チャック22には載置面とウエハWの裏面との間の熱伝達性を高めるためのバックサイドガスを放出する貫通孔28が開口している。該貫通孔28は、下部電極20内等に形成されたガス流路29と連通しており、該ガス流路29を介してガス供給部(図示しない)から供給されたヘリウム(He)等のバックサイドガスが放出される。
下部電極20には、周波数が、例えば、100MHzの高周波電力を供給する第1の高周波電源30と、第1の高周波電源30よりも周波数の低い、例えば、3.2MHzの高周波電力を供給する第2の高周波電源31とがそれぞれ整合器32,33を介して接続される。第1の高周波電源30より供給される高周波電力は、処理ガスからプラズマを生じさせ、第2の高周波電源31より供給される高周波電力は、ウエハWに向かうバイアス電圧を形成してプラズマ中のイオンをウエハWの表面に引き込む。
また、下部電極20の上面外縁部には、静電チャック22を囲むようにフォーカスリング34が配置される。フォーカスリング34は後述する処理空間内においてプラズマをウエハWが対向する空間よりも広げてウエハWの面内におけるエッチング速度の均一性を向上させる。
支持台23の下部外側には該支持台23を取り囲むようにバッフル板35が設けられる。バッフル板35は、上部室11a内の処理ガスをバッフル板35と上部室11a壁部との間に形成された隙間を介して下部室11bへ通流させることにより、処理ガスの流れを整える整流板としての役割を果たすとともに、後述する処理空間内のプラズマが下部室11bへ漏洩するのを防止する。
また、上部電極であるシャワーヘッド13は、上部室11a内に面する導電材からなる天井電極板36と、該天井電極板を釣支する電極板支持体37(壁部)と、該電極板支持体37内に設けられた内部空間38と、後述する蓋部品50とを有する。内部空間38は処理室11内に収容されて載置台12に載置されたウエハWの表面と平行に広がる。内部空間38には開口部39を介して処理ガス導入管40の一端が接続され、該処理ガス導入管40の他端は処理ガス供給源41に接続される。処理ガス供給源41は、処理ガス供給量の制御機構(図示しない)を有し、処理ガスの供給量の制御を行う。また、天井電極板36には、該天井電極板36を貫通して内部空間38及び上部室11a内を連通させる多数のガス供給孔42(ガス穴)が形成される。シャワーヘッド13は、処理ガス導入管40から電極支持体37内の内部空間38に導入された処理ガスをガス供給孔42を介して上部室11a内へ分散供給する。
プラズマ処理装置10では、上部室11aの周囲においてゲートバルブ19の上下に2つのマルチポールリング磁石43a,43bが配置される。マルチポールリング磁石43a,43bでは、複数の異方性セグメント柱状磁石(図示しない)がリング状の磁性体のケーシング(図示しない)に収容され、該ケーシング内において隣接する複数のセグメント柱状磁石の磁極の向きが互いに逆向きになるように配置される。これにより、磁力線が隣接するセグメント柱状磁石間に形成され、上部電極であるシャワーヘッド13と下部電極20との間に位置する処理空間の周辺に磁場が形成され、該磁場によって処理空間へプラズマを閉じこめる。なお、プラズマ処理装置10の装置構成をマルチポールリング磁石43a,43bを備えない装置構成としてもよい。
プラズマ処理装置10では、ウエハWにRIEやアッシングを施す際、処理室11内の圧力を所望の真空度に調整した後、処理ガスを上部室11a内に導入して第1の高周波電源30及び第2の高周波電源31から高周波電力を供給することにより、処理ガスからプラズマを生じさせると共に、該プラズマ中のイオンをウエハWに引き込む。
図2は、図1における処理ガス拡散供給装置の構成を概略的に示す断面図である。
図2において、蓋部品50は、内部空間38に配されて開口部39と対向して該開口部39を覆う底部51(遮蔽部)と、該底部51を内部空間38において所定の位置、例えば、内部空間38の図中上下方向に関する真中に支持する側壁52(支持部)とを備え、全体として一端が開口されている中空の円筒形状を呈している(図3参照)。ここで、底部51は円板状を呈し、側壁52は該底部51と垂直をなす。また、側壁52は、底部51の面が処理室11内に収容されて載置台12に載置されたウエハWの表面と平行になるように該底部51を支持する。蓋部品50の開口している一端及び電極板支持体37の間にはOリング54が配され、該Oリング54によって蓋部品50と電極板支持体37との間が密閉される。また、側壁52には貫通穴53a,53bが形成されており、開口部39から蓋部品50内に導入された処理ガスは、該貫通穴53a,53bを介して内部空間38に導入される。
プラズマ処理装置10において、蓋部品50内に導入された処理ガスは、該蓋部品50の底部51に衝突する。該底部51は開口部39と対向し、導入された処理ガスの流れは衝突により大きく曲げられるため、導入された処理ガスが開口部39の直下のガス供給孔42に向けて直接噴出されることがない。さらに、底部51に衝突した処理ガスは底部51の面に沿って流れ、貫通穴53a,53bを介して内部空間38に拡散される。ここで、上述したように、底部51の面は載置台12に載置されたウエハWの表面と平行であるため、貫通穴53a,53bから拡散される処理ガスは側壁52と略垂直に噴出し、内部空間38においてウエハWの表面と略平行に拡散される。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置10によれば、内部空間38を上部空間と下部空間とに分ける必要がない(図8参照。)。その結果、内部空間38において、処理ガスの拡散方向に関する十分な高さを確保することができ、処理ガスの拡散方向に関するコンダクタンスを大きくすることができる。内部空間38の高さが大きいほどコンダクタンスが大きくなることについては、以下図4を用いて説明する。
図4は、気体の流れ方向に関するコンダクタンスを説明するための図である。
図4において、直方体はガスが流れる空間を示し、図中白抜き矢印はガスの流れ方向を示す。また、上記空間の高さをεとし、幅をωとし、面(i)及び面(i−1)で区切られる空間の長さをLとする。面(i)及び面(i−1)おける圧力をそれぞれPsi及びPs(i−1)で表し、ガスの粘性係数をμで表すと、面(i)及び面(i−1)で区切られる空間のガスの流れ方向に関するコンダクタンスCsiは下記式(1)で示される。
si=εω/12μL・(Psi+Ps(i−1))/2 ・・・ (1)
式(1)によれば、コンダクタンスCsiは空間の高さの3乗に比例するので、空間の高さが大きいほど流れ方向に関するコンダクタンスが大きくなることが分かる。
また、面(i)及び面(i−1)で区切られる空間を流れるガスの流量Qsiは下記式(2)で示される。
si=Csi(Psi−Ps(i−1)) ・・・ (2)
式(1)及び(2)によれば、所定の空間を流れるガスの流量はコンダクタンスに比例し、該コンダクタンスは空間の高さの3乗に比例するので、ガスの流量は空間の高さに大きく依存し、高さが大きいほどガスの流量は大きくなることが分かる。
ここで、直方体で示す空間をプラズマ処理装置10の内部空間38に置き換えて、複数のガス供給孔42が直方体の底面(図4参照。)に位置し、該ガス供給孔42のうちの一部であるガス供給孔42aが開口部39及び蓋部品50の直下に位置し、ガス供給孔42cが内部空間38の外縁に位置すると仮定する。上述のように、空間の高さが十分確保されれば、ガスの拡散方向に関する流量が大きくなるため、内部空間38が上部空間と下部空間とに分けられないことによって開口部39の直下の内部空間38(ガス供給孔42aの直上の空間)から図4中右方向に離れた内部空間38(ガス供給孔42cの直上の空間)にまで十分に処理ガスが拡散されることになる。これにより、各ガス供給孔42a,42cから処理室11内に均一に処理ガスを供給することができ、もって、ウエハWにおけるプラズマ処理の面内均一性を確保することができる。なお、本発明者は内部空間38の高さが8mm以上であるときに、処理ガスがより効果的に拡散されることを確認した。
上述した本実施の形態では、蓋部品50は円筒形状を呈するが、蓋部品50の形状はこれに限られず、側壁52は図5に示すように板状でもよく、図6に示すように棒状でもよい。また、底部51は開口部39を覆う面があればよく、円板状に限られない。
また、該蓋部品50とシャワーヘッド13とを一体的に形成してもよく、これにより、シャワーヘッドを構成する部品数を増やす必要がなく、もって、シャワーヘッド13及びプラズマ処理装置10の製造工程を複雑にすることがない。
次に、本発明の実施例について説明する。
実施例1,2
まず、本発明者は、表面全体に酸化膜が形成されたウエハWoxを準備し、図2に示す蓋部品50を備えたプラズマ処理装置10の処理室11内にウエハWoxを収容して、該ウエハWoxにRIEを施した。RIE終了後、ウエハWoxの表面全体の酸化膜厚を測定して、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(実施例1)。ま
た、表面全体にフォトレジスト膜が形成されたウエハWprを準備し、実施例1と同様に処理を施し、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(実施例2)。
比較例1,2
次に、本発明者は、シャワーヘッド13の代わりに緩衝板77(図8参照。)を有するシャワーヘッド70を備えたプラズマ処理装置10の処理室11内に表面全体に酸化膜が形成されたウエハWoxを収容して、該ウエハWoxに実施例1と同様にRIEを施した。RIE終了後、ウエハWoxの表面全体の酸化膜厚を測定して、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(比較例1)。また、表面全体にフォトレジスト膜が形成されたウエハWprを用いて比較例1と同様に処理を施し、エッチングレート及びエッチングレートの不均一度を算出した(比較例2)。
実施例1,2及び比較例1,2の結果を表1に示す。
実施例1,2及び比較例1,2より、ウエハWox及びウエハWprのいずれであっても、緩衝板の代わりに蓋部品50を備えるプラズマ処理装置10を用いてプラズマ処理を施した場合にエッチングレートの不均一度が低い(均一性が高い)ことが確認された。この結果から、蓋部品50を備えたプラズマ処理装置10において、ウエハWの表面のエッチングレートの不均一度が低くなり、ウエハWの面内均一性が確保されることが分かった。
W ウエハ
10 基板処理装置
11 処理室
12 載置台
13 シャワーヘッド
38 内部空間
39 開口部
40 処理ガス導入管
42 ガス供給孔
50 蓋部品
51 底部
52 側壁
53 貫通穴

Claims (7)

  1. 基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において前記開口部を覆う蓋部品であって、
    前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、
    前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、
    前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、
    前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする蓋部品。
  2. 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項1記載の蓋部品。
  3. 前記内部空間の前記処理ガスの拡散方向に関する高さは8mm以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の蓋部品。
  4. 基板を収容する処理室と、少なくとも1つの処理ガス導入管とを備える基板処理装置が有する処理ガス拡散供給装置であって、
    内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴と、該複数のガス穴の一部と対向し、前記処理ガス導入管及び前記内部空間の間に介在して前記処理ガス導入管内及び前記内部空間を連通させる開口部とを有し、前記処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置において、
    前記開口部を覆う蓋部品を備え、
    前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部とを備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする処理ガス拡散供給装置。
  5. 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項4記載の処理ガス拡散供給装置。
  6. 基板を収容する処理室と、該処理室内へ処理ガスを拡散して供給する処理ガス拡散供給装置と、前記処理ガスを前記処理ガス拡散供給装置に導入するための少なくとも1つの処理ガス導入管とを備え、
    前記処理ガス拡散供給装置は、内部に形成され且つ前記処理室内に収容された基板の表面と平行に広がる内部空間と、該内部空間及び前記処理室内を連通させる複数のガス穴とを有し、
    前記処理ガス導入管は開口部を介して前記内部空間と接続され、前記開口部は前記複数のガス穴の一部と対向する基板処理装置において、
    前記処理ガス拡散供給装置は前記開口部を覆う蓋部品を備え、
    前記蓋部品は、前記内部空間に配されて前記開口部と対向する面を有する遮蔽部と、前記遮蔽部を所定の位置に支持する支持部と、を備え、前記遮蔽部の面は処理室内に収容された基板の表面と平行であり、前記支持部は前記遮蔽部の一部を支持することを特徴とする基板処理装置。
  7. 前記支持部は前記遮蔽部の周縁部の一部を支持することを特徴とする請求項6記載の基板処理装置。
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