JP2015126185A - エピタキシャル成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エピタキシャル成長装置は、ウェーハを収容するチャンバーと、チャンバー内においてウェーハを支持するサセプターと、チャンバーの上方においてリング状に配列された複数の加熱ランプからなる上部ランプ群と、チャンバーの下方に設けられた複数の加熱ランプからなる下部ランプ群と、チャンバーの上方において上部ランプ群のリングの内側に設けられた略円筒状の反射部材と、ウェーハの上方であって反射部材の内側に設けられ、ウェーハと平行な反射面を有する追加反射部材とを備え、追加反射部材は、反射部材の下端部の開口を塞ぐように設けられている。
【選択図】 図1
Description
10 チャンバー
11 ベースリング
12a アッパードーム
12b ロアドーム
13 サセプター
14 予備リング
15 支持シャフト
16 ガス導入口
17 バッフル
18 整流部材
19 ガス排気口
20 ハロゲンランプ
20G 上部ランプ群
20i 内側加熱用ハロゲンランプ
20o 外側加熱用ハロゲンランプ
21 ハロゲンランプ
21G 下部ランプ群
22 パイロメータ
22a シールドチューブ
23 反射壁
24 反射壁
25 反射板
26 反射部材
26a 反射部材のテーパー部
27 追加反射部材
27a 円板部
27b 側壁部
27c 貫通穴
S1 ウェーハの中央領域
S2 ウェーハの外周領域
S3 ウェーハの中間領域
W ウェーハ
Claims (6)
- ウェーハの表面にエピタキシャル層を成長させるためのエピタキシャル成長装置であって、
前記ウェーハを収容するチャンバーと、
前記チャンバーの上方においてリング状に配列された複数の加熱ランプからなる上部ランプ群と、
前記チャンバーの下方に設けられた複数の加熱ランプからなる下部ランプ群と、
前記チャンバーの上方において前記上部ランプ群のリングの内側に設けられた略円筒状の反射部材と、
前記ウェーハの上方であって前記反射部材の内側に設けられ、前記ウェーハと平行な反射面を有する追加反射部材とを備え、
前記追加反射部材は、前記反射部材の下端部の開口の少なくとも一部を塞ぐように設けられていることを特徴とするエピタキシャル成長装置。 - 前記追加反射部材は、
前記反射面を構成する円板部と、
前記円板部の外周を取り囲むように設けられた側壁部とを備える、請求項1に記載のエピタキシャル成長装置。 - 前記チャンバーの上方であって前記ウェーハの中心の上方に設けられたパイロメータをさらに備え、
前記反射部材は、前記ウェーハに向かう前記パイロメータの光学軸を取り囲むように設けられており、
前記追加反射部材は、前記円板部の中央に形成された貫通穴を有し、
前記パイロメータの前記光学軸は前記貫通穴を通過している、請求項2に記載のエピタキシャル成長装置。 - 前記反射部材の内側において前記パイロメータの光学軸を取り囲むように設けられた略円筒状のシールドチューブをさらに備え、
前記シールドチューブは、前記追加反射部材の前記貫通穴に挿入されている、請求項3に記載のエピタキシャル成長装置。 - 前記反射部材の下端部には、下方に向かって直径が徐々に小さくなるテーパー部が設けられており、前記追加反射部材の外周端は前記テーパー部の内周面と当接している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のエピタキシャル成長装置。
- 前記追加反射部材は、前記反射部材と同一材料で構成されている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のエピタキシャル成長装置。
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