JP2015123465A - 基板加工装置及び基板加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板加工装置は、結晶基板の内部に改質層を形成するように基板を加工するものであって、レーザ光源150と、レーザ光源150からのレーザ光を基板10の表面に向けて照射し、基板10の表面から所定の深さにレーザ光を集光するレーザ集光部160と、レーザ集光部160を基板10に相対的に移動させて位置決めをするステージ110と、を含み、レーザ集光部160は、照射するレーザ光の収差を補正する収差補正部170を含み、収差補正部170は、レーザ集光部160がレーザ光を集光する所定の深さに対応する収差補正量を記載したデータテーブルを有し、データテーブルを参照し、所定の深さに対応する収差補正量により補正する。
【選択図】図1
Description
図1は、基板加工装置100の構成を示す斜視図である。基板加工装置100は、ステージ110と、ステージ110がXY方向に移動可能なように支持するステージ支持部120と、ステージ110上に配置され、基板10を固定する基板固定具130とを有している。この基板10には、インゴットを切断したシリコンウェハを使用することができる。
図6は、本実施の形態の基板加工方法の一連のステップを示すフローチャートである。この一連のステップは、基板加工装置に備えられた制御装置が所定のプログラムを実行することにより進められる。また、これに限らず、例えば基板加工装置に汎用コンピュータなどを接続して制御することもできる。
上記ステップに従い作成した、第1のデータテーブルを表1に、第2のデータテーブルを表2に示す。ここで、第1のデータテーブルは加工深さの対物レンズの位置及び補正環調整に対する関係を示し、第2のデータテーブルは改質層長さの対物レンズの位置及び補正環調整に対する関係を示している。
シリコンカーバイド(SiC)等にも同様に適用することができる。
14 改質層
100 基板加工装置
150 レーザ光源
160 レーザ集光部
170 収差補正部
180 対物レンズ
200 補正環付対物レンズ
210 補正環
Claims (15)
- 結晶基板の内部に改質層を形成するように基板を加工する基板加工装置であって、
レーザ光源と、
前記レーザ光源からのレーザ光を前記基板の表面に向けて照射し、前記基板の表面から所定の深さにレーザ光を集光するレーザ集光手段と、
前記レーザ集光手段を前記基板に相対的に移動させて位置決めを行う位置決め手段と、を含み、
前記レーザ集光手段は、照射するレーザ光の収差を補正する収差補正手段を含み、前記収差補正手段は、前記レーザ集光手段がレーザ光を集光する前記所定の深さに対応する収差補正量を記載したデータテーブルを有し、前記データテーブルを参照し、前記所定の深さに対応する収差補正量により補正すること
を特徴とする基板加工装置。 - 前記収差補正手段は、収差補正量を設定する補正環と、この補正環を回転駆動する駆動装置を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板加工装置。
- 前記収差補正手段の有するデータテーブルは、前記所定の深さと前記駆動装置の移動量の対応関係を記載することを特徴とする請求項2に記載の基板加工装置。
- 前記駆動装置がステッピングモータである請求項2又は3に記載の基板加工装置。
- 前記レーザ集光手段は、前記所定の深さと前記収差補正手段による収差の補正によりレーザ光が集光する深さの変化との対応関係を記載したデータテーブルを有し、前記データテーブルを参照してレーザ光が集光する深さを設定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板加工装置。
- 前記レーザ集光手段は、前記基板における表面から裏面に至るまでの深さにレーザ光が集光する位置を設定することができることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の基板加工装置。
- 前記改質層は、前記基板の表面と平行に形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板加工装置。
- 前記基板の表面は、鏡面仕上げであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の基板加工装置。
- 前記基板は、シリコン結晶基板又はシリコンカーバイド結晶基板である請求項1乃至8のいずれかに記載の基板加工装置。
- 結晶基板を提供するステップと、
レーザ光源からのレーザ光をレーザ集光手段によって前記基板の表面に向けて照射し、前記基板の表面から所定の深さにレーザ光を集光するレーザ集光ステップと、
前記レーザ集光手段を前記基板に相対的に移動させて位置決めをする位置決めステップと、を含み、
前記レーザ集光ステップは、照射したレーザ光の収差を補正する収差補正ステップを含み、前記収差補正ステップは、前記レーザ集光ステップのレーザ光を集光する前記所定の深さに対応する収差補正量を記載したデータテーブルを参照し、前記所定の深さに対応する収差補正量により補正すること
を特徴とする基板加工方法。 - 前記収差補正ステップは、収差補正量を設定する補正環を駆動装置にて回転駆動することを特徴とする請求項10に記載の基板加工方法。
- 前記収差補正ステップの参照するデータテーブルは、前記所定の深さと前記駆動装置の移動量の対応関係を記載することを特徴とすることを特徴とする請求項11に記載の基板加工方法。
- 前記レーザ集光ステップは、前記所定の深さと前記収差補正ステップによる収差の補正によりレーザ光が集光する深さの変化との対応関係を記載したデータテーブルを参照し、レーザ光が集光する深さを設定することを特徴とする請求項10乃至12のいずれかに記載の基板加工方法。
- 前記収差補正ステップの参照する、前記所定の深さに対応する収差量を記載したデータテーブルを作成するステップをさらに有する請求項10乃至13のいずれかに記載の基板加工方法。
- 前記レーザ集光ステップの参照する、前記所定の深さと前記収差補正ステップによる収差の補正によりレーザ光が集光する深さの変化との対応関係を記載したデータテーブルを作成するステップをさらに含む請求項14に記載の基板加工方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017064745A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
JP2017064747A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
JP2017177214A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
JP2018027564A (ja) * | 2016-08-16 | 2018-02-22 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
JP2018027565A (ja) * | 2016-08-16 | 2018-02-22 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
WO2018163752A1 (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-13 | 信越半導体株式会社 | ウェーハの製造方法 |
JP2018192514A (ja) * | 2017-05-22 | 2018-12-06 | ローランドディー.ジー.株式会社 | 加工データ作成方法、レーザー加工方法、加工データ作成システム、加工システム、加工データ作成プログラム、加工プログラム |
JP2020089920A (ja) * | 2015-09-29 | 2020-06-11 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
JP2013161976A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板加工方法及び基板加工装置 |
JP2013215798A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-24 | Disco Corp | レーザ加工装置 |
-
2013
- 2013-12-26 JP JP2013268936A patent/JP2015123465A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
JP2013161976A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板加工方法及び基板加工装置 |
JP2013215798A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-24 | Disco Corp | レーザ加工装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017064745A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
JP2017064747A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
JP2020089920A (ja) * | 2015-09-29 | 2020-06-11 | 株式会社東京精密 | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
JP2017177214A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
JP2018027564A (ja) * | 2016-08-16 | 2018-02-22 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
JP2018027565A (ja) * | 2016-08-16 | 2018-02-22 | 国立大学法人埼玉大学 | 基板加工方法および基板加工装置 |
WO2018163752A1 (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-13 | 信越半導体株式会社 | ウェーハの製造方法 |
JP2018148042A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 信越半導体株式会社 | ウェーハの製造方法 |
JP2018192514A (ja) * | 2017-05-22 | 2018-12-06 | ローランドディー.ジー.株式会社 | 加工データ作成方法、レーザー加工方法、加工データ作成システム、加工システム、加工データ作成プログラム、加工プログラム |
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