JP2015105425A - 金属基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1乃至図3により、本実施の形態による金属基板の概略について説明する。図1乃至図3は、本実施の形態による金属基板を示す図である。
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について、図6および図7を用いて説明する。
次に、図8乃至図11により、本実施の形態による金属基板の変形例について説明する。図8乃至図11に示す各変形例は、第1ハーフエッチング単位部分22および第2ハーフエッチング単位部分32の構成が異なるものであり、他の構成は上述した実施の形態と略同一である。図8乃至図11において、図1乃至図7に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
図8および図9は、本実施の形態の一変形例(変形例1)による金属基板10を示している。図8および図9に示す金属基板10において、各第1ハーフエッチング単位部分22および各第2ハーフエッチング単位部分32は、それぞれ平面直線形状となっている。
図10および図11は、本実施の形態の一変形例(変形例2)による金属基板10を示している。図10および図11に示す金属基板10において、各第1ハーフエッチング単位部分22および各第2ハーフエッチング単位部分32は、それぞれ円形状となっている。
本実施の形態による金属基板10を作製した。この場合、まず縦40mm×横40mmであり、板厚100μmのフェライト系ステンレス(SUS430)製の圧延された金属基板10Aを準備した。次に、この金属基板10Aを両面からエッチング加工することにより、一方の面11に第1ハーフエッチング部21を形成するとともに、他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成した。これにより、第1ハーフエッチング部21と第2ハーフエッチング部31とを備えた金属基板10(実施例1〜実施例3)を得た。
第1ハーフエッチング部21および第2ハーフエッチング部31の深さをそれぞれ25μmとし、第1ハーフエッチング部21の面積に対する第2ハーフエッチング部31の面積を適宜調整した。
第1ハーフエッチング部21および第2ハーフエッチング部31の深さをそれぞれ50μmとし、第1ハーフエッチング部21の面積に対する第2ハーフエッチング部31の面積を適宜調整した。
第1ハーフエッチング部21および第2ハーフエッチング部31の深さをそれぞれ50μmとし、一方の面11の面積に対する第1ハーフエッチング部21の面積を25%とした。
第1ハーフエッチング部21および第2ハーフエッチング部31の深さをそれぞれ50μmとし、一方の面11の面積に対する第1ハーフエッチング部21の面積を5%とした。
400μm間隔で具備された、第1ハーフエッチング単位部分22および第2ハーフエッチング単位部分32の方向を、金属基板10の反りの方向と平行に配置させた。
他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成しなかったこと、以外は、実施例1〜実施例3と同様にして、金属基板(比較例1)を作製した。
他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成しなかったこと、以外は、実施例4〜実施例6と同様にして、金属基板(比較例2)を作製した。
他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成しなかったこと、以外は、実施例7〜実施例9と同様にして、金属基板(比較例3)を作製した。
他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成しなかったこと、以外は、実施例10〜実施例12と同様にして、金属基板(比較例4)を作製した。
他方の面12に第2ハーフエッチング部31を形成しなかったこと、以外は、実施例13〜実施例15と同様にして、金属基板(比較例5)を作製した。
第1ハーフエッチング単位部分および第2ハーフエッチング単位部分が、金属基板の反りの方向と垂直な直線形状となるようにして、金属基板(比較例6〜比較例8)を作製した。
11 一方の面
12 他方の面
21 第1ハーフエッチング部
22 第1ハーフエッチング単位部分
31 第2ハーフエッチング部
32 第2ハーフエッチング単位部分
Claims (6)
- 金属基板において、
一方の面にハーフエッチングにより形成された第1ハーフエッチング部と、
他方の面にハーフエッチングにより形成された第2ハーフエッチング部とを備え、
前記第1ハーフエッチング部は、複数の第1ハーフエッチング単位部分を有し、
前記第2ハーフエッチング部は、複数の第2ハーフエッチング単位部分を有し、
前記第1ハーフエッチング部と前記第2ハーフエッチング部とは平面方向から見て互いに重なることなく配置され、
前記第1ハーフエッチング部の面積に対する前記第2ハーフエッチング部の面積は、10%〜50%であり、
前記一方の面の面積に対する前記第1ハーフエッチング部の面積は、5%〜50%であることを特徴とする金属基板。 - 前記第1ハーフエッチング部および前記第2ハーフエッチング部のうち、前記金属基板の反り方向に平行な部分の面積が、前記反り方向に垂直な部分の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の金属基板。
- 前記金属基板の板厚が0.03mm〜0.35mmであり、前記第1ハーフエッチング部および前記第2ハーフエッチング部の深さが10μm〜50μmであることを特徴とする請求項1又は2記載の金属基板。
- 前記複数の第1ハーフエッチング単位部分同士は、互いに同一の形状であり、前記複数の第2ハーフエッチング単位部分同士は、互いに同一の形状であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の金属基板。
- 各第1ハーフエッチング単位部分は、それぞれ格子の一部を構成する四角形状であり、各第2ハーフエッチング単位部分は、それぞれ十字形状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載の金属基板。
- 金属基板の製造方法において、
予め圧延された金属基板を準備する工程と、
前記金属基板の一方の面および他方の面に、それぞれエッチング用レジスト層を形成する工程と、
前記エッチング用レジスト層を耐腐蝕膜として前記金属基板の前記一方の面および前記他方の面にそれぞれエッチングを施すことにより、前記金属基板の前記一方の面にハーフエッチングにより第1ハーフエッチング部を形成するとともに、前記金属基板の前記他方の面にハーフエッチングにより第2ハーフエッチング部を形成する工程とを備え、
前記第1ハーフエッチング部は、複数の第1ハーフエッチング単位部分を有し、
前記第2ハーフエッチング部は、複数の第2ハーフエッチング単位部分を有し、
前記第1ハーフエッチング部と前記第2ハーフエッチング部とは平面方向から見て互いに重なることなく配置され、
前記第1ハーフエッチング部の面積に対する前記第2ハーフエッチング部の面積は、10%〜50%であり、
前記一方の面の面積に対する前記第1ハーフエッチング部の面積は、5%〜50%であることを特徴とする金属基板の製造方法。
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