JP2015101683A

JP2015101683A - 両面粘着テープ及びこれを用いた積層シート

Info

Publication number: JP2015101683A
Application number: JP2013244473A
Authority: JP
Inventors: 梨絵松井; Rie Matsui
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2013-11-27
Filing date: 2013-11-27
Publication date: 2015-06-04

Abstract

【課題】本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラスなどの被研磨物を研磨する研磨装置の定盤に、研磨部材又は被研磨物を固定させるために用いられる両面粘着テープを提供する。
【解決手段】本発明の両面粘着テープは、研磨部材又はバッキングシートを定盤に固定させるための両面粘着テープであって、基材フィルム１と、上記基材フィルム１の一面に積層一体化され且つ定盤に貼着させるための第一粘着剤層２と、上記第一粘着剤層上に剥離可能に積層され且つ紙基材層を含み、上記紙基材層が表面を形成している剥離紙４と、上記基材フィルムの他面に積層一体化され且つ上記研磨部材又は上記バッキングシートを貼着させるための第二粘着剤層３とを有することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラスなどの被研磨物を研磨する研磨装置の定盤に、研磨部材又はバッキングシートを固定させるために用いられる両面粘着テープ及びこれを用いた積層シートに関する。

半導体集積回路の高密度化を目的として配線の微細化が進んでいるのに伴い、半導体ウエハや液晶用ガラス基盤などの表面の凹凸をできるだけ平坦化する必要がある。被研磨物は、液晶の大画面化や製造コストの削減のために大判化が進められており、被研磨物の大判化に伴って、被研磨物を定盤上に固定するためのバッキングシートも大判化しており、短辺又は一辺の長さが１．３ｍ以上の矩形状のバッキングシートも用いられるようになってきている。

又、上述のように、被研磨物が大判化していることから、被研磨物を研磨する研磨パッドや研磨布などの研磨部材も大判化している。

そして、バッキングシート及び研磨部材は両面粘着テープを用いて定盤上に剥離可能に固定させて用いられ、両面粘着テープも被研磨物や研磨部材に合わせて大判化する必要がある。

特許文献１には、バッキングシート及び研磨部材を定盤に固定させるための両面粘着テープとして、基材と、前記基材の一方の面に設けられ、アクリル系ポリマーを主成分とするアクリル系粘着剤層と、前記基材の他方の面に設けられ、天然ゴムおよび／または合成ゴムを主成分とするゴム系粘着剤層と、前記アクリル系粘着剤層および／またはゴム系粘着剤層に積層された剥離ライナーと、を備え、ＪＩＳＫ７１２５に従って評価された前記剥離ライナーの露出面の動摩擦係数が１．０未満である両面粘着テープが開示されている。

特開２０１２−５７１３５号公報

一方、バッキングシート及び研磨部材は、通常、両面粘着テープに貼着一体化されて積層シートとされた上で、一回又は複数回だけ緩く巻いた状態で輸送又は保管されるが、上記積層シートを緩く巻く際に、図５に示したように、積層シートが斜行又は蛇行して芯づれを生じやすい。積層シートの芯づれは、輸送又は保管中のバッキングシートや研磨部材に皺を生じさせる原因の一つとなる。

しかしながら、バッキングシート、研磨部材及び両面粘着テープは、上述の通り、何れも大判化していると共に、積層シートを巻回する際に互いに接触し合う、両面粘着テープの剥離ライナーの表面と、バッキングシート又は研磨部材との摩擦抵抗が大きく、積層シートを緩く巻いた状態において生じた積層シートの芯づれを容易に矯正することができないという問題点を有している。

又、積層シートを緩く巻く際に、積層シートに折れ曲がりを容易に生じ、バッキングシートや研磨部材に皺が発生し易く、このように、バッキングシートや研磨部材に皺が生じると、被研磨物を均一に研磨することができないという問題を生じる。

本発明は、粘着剤層上にバッキングシート又は研磨部材を貼着させた状態において一回又は複数回だけ緩く巻回した状態で芯づれが生じた場合にあっても芯づれを容易に矯正することができ、且つ、バッキングシート又は研磨部材を貼着させた状態において巻回させる場合にもバッキングシートや研磨部材に皺を発生させることなく容易に巻回することができる両面粘着テープ及びこれを用いた積層シートを提供する。

本発明の両面粘着テープＡは、図１及び図２に示したように、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣを定盤に固定させるための両面粘着テープであって、基材フィルム１と、上記基材フィルム１の一面に積層一体化され且つ定盤に貼着させるための第一粘着剤層２と、上記第一粘着剤層２上に剥離可能に積層され且つ紙基材層を含み、上記紙基材層が表面を形成している剥離紙４と、上記基材フィルムの他面に積層一体化され且つ上記研磨部材又は上記バッキングシートを貼着させるための第二粘着剤層３とを有することを特徴とする。

両面粘着テープＡの基材フィルム１としては、特に限定されず、例えば、合成樹脂フィルム、紙、金属箔、織布、不織布などが挙げられ、両面粘着テープの機械的強度が高く、厚みの制御が容易にできることから、合成樹脂フィルムが好ましい。

合成樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル系樹脂フィルム、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂フィルムなどが挙げられる。

基材フィルム１は、通常、矩形状に形成されており、その幅は１．３ｍ以上が好ましく、１．３〜３．０ｍがより好ましく、１．５〜２．８ｍが特に好ましい。基材フィルム１が長方形状の場合には、その短辺が１．３ｍ以上であることが好ましく、１．３〜３．０ｍがより好ましく、１．５〜２．８ｍが特に好ましい。基材フィルム１が正方形状の場合には、その一辺が１．３ｍ以上であることが好ましく、１．５〜２．８ｍであることがより好ましい。

基材フィルム１の厚みは、両面粘着テープに貼着させる研磨部材又はバッキングシートに皺が発生することを効果的に防止することができるので、１０〜３００μｍが好ましく、２５〜１００μｍがより好ましい。

基材フィルム１の一面には、両面粘着テープＡを研磨装置の定盤に貼着させるための第一粘着剤層２が積層一体化されている。更に、基材フィルム１の他面には、研磨布及び研磨パッドなどの研磨部材Ｂ、又は、バッキングシートＣを貼着させるための第二粘着剤層３が積層一体化されている。

なお、研磨部材Ｂとしては、研磨装置の定盤上に固定された被研磨物を研磨することができれば、特に限定されず、汎用の研磨部材を用いることができる。又、バッキングシートＣとしては、半導体ウエハや液晶用ガラス基盤などの被研磨物を安定的に受止し、表面に被研磨物を安定的に載置、固定させて被研磨物の研磨を行うことができればよく、汎用のバッキングシートを用いることができる。バッキングシートＣとしては、例えば、表面に気泡断面が露出してなるポリウレタン系樹脂発泡シート、表面に気泡断面が露出してなるアクリル系樹脂発泡シートなどが挙げられる。

第一粘着剤層２及び第二粘着剤層３を構成している粘着剤としては、特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤などが挙げられる。

両面粘着テープＡの第一粘着剤層２上には剥離可能に剥離紙４が積層されている。剥離紙４は紙基材層41を含んでおり、この紙基材層41が剥離紙の表面を形成している。即ち、剥離紙４における第一粘着剤層２とは反対側の面（外部に露出した面）は紙基材層41が全面的に露出しており、紙基材層41が剥離紙４の表面4aを形成している。

図２に示したように、本発明の両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上には、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣが貼着一体化されて積層シートＤとして用いられる。図３に示したように、積層シートＤは、保管又は輸送時には、一回又は複数回だけ緩く巻いて巻回状態とされる。積層シートＤの巻回状態において、両面粘着テープＡの剥離紙４の表面4a、即ち、紙基材層41と、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとが互いに接触した状態となる。

又、上述のように、被研磨物、研磨部材Ｂ及びバッキングシートＣが大判化し、それに伴って両面粘着テープＡも大判化している。両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上に研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣを貼着一体化させて形成された積層シートＤを一回又は複数回だけ緩く巻いた状態とするにあたって、積層シートＤが大判化していることから、積層シートＤが容易に斜行又は蛇行し、巻回状態の積層シートに芯づれが生じやすい（図５参照）。

本発明の両面粘着テープＡでは、積層シートＤの巻回状態において、両面粘着テープＡの剥離紙４の表面4aを構成している紙基材層41が、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣと直接、接触している。紙基材層41の表面（紙基材層41における第一粘着剤層２とは反対側の面）は、これを構成している木質パルプが全面的に露出しており、紙基材層41の表面は合成樹脂によって被覆されておらず、離型処理も施されていない。なお、紙基材層41における第一粘着剤層２側の表面には、第一粘着剤層２から容易に剥離できるように、離型処理が施されていることが好ましい。離型処理に用いられる離型剤としては、特に限定されず、例えば、シリコーン系離型剤、フッ素系離型剤、ポリオレフィン系離型剤などが挙げられる。

本発明は、剥離紙４の表面4aを紙基材層41により形成することによって、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの摩擦係数を低減させることができることを見出したものであり、剥離紙４の表面4aと、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの間の摩擦抵抗を低減させることによって、一回又は複数回だけ緩く巻いた状態の積層シートＤに芯づれが生じた場合にあっても、剥離紙４の表面4aと、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの接触部分を互いに容易に滑らせることができ、積層シートＤの芯づれを容易に矯正し、図３に示した正しい状態とすることができる。なお、図３において、積層シートＤの層構成は省略した。

更に、両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上に研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣを貼着一体化させて形成された積層シートＤを一回又は複数回だけ緩く巻いた状態とするに際して、上述のように、剥離紙４の表面4aと、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの接触部分を互いに容易に滑らせることができるので、積層シートＤの巻回過程における積層シートの屈曲に起因した、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣにおける皺の発生を効果的に防止することができる。

剥離紙４を構成している紙基材層41としては、特に限定されず、例えば、グラシン紙、クラフト紙、上質紙などが挙げられ、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの摩擦抵抗が低いことから、上質紙が好ましい。

紙基材層41の厚みは、薄いと、剥離紙をすばやく剥離しようとすると剥離紙の剥離途中に紙基材が裂けてしまうことがあるので、３８μｍ以上が好ましく、４７μｍ以上がより好ましい。紙基材層41の厚みは、厚いと、両面粘着テープの第二粘着剤層上に研磨部材又はバッキングシートを貼着一体化させて形成された積層シートの可撓性が低下して、積層シートを巻回状態とした際に積層シートに不測に屈曲が発生し、研磨部材又はバッキングシートに皺が発生する虞れがあるので、１９７μｍ以下が好ましく、１８８μｍ以下がより好ましい。

剥離紙４の紙基材層41における外部に露出している表面には、エンボスを形成することによって凹凸が形成されていてもよい。

剥離紙４の紙基材層41の裏面（第一粘着剤層２側の面）には、剥離紙４を剥離する時に紙基材層41が裂けにくくするために支持層42が積層一体化されていてもよい。支持層42としては、例えば、合成樹脂層が挙げられる。合成樹脂層を構成する合成樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体などが挙げられる。合成樹脂層を構成する合成樹脂は単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。

剥離紙４の紙基材層41と支持層42とは第三粘着剤層43を介して積層一体化されていてもよい。第三粘着剤層43を構成している粘着剤としては、特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤などが挙げられる。

支持層42の厚みは、薄いと、剥離紙をすばやく剥離しようとすると剥離紙の剥離途中に紙基材が裂けてしまうことがあり、厚いと、両面粘着テープの第二粘着剤層上に研磨部材又はバッキングシートを貼着一体化させて形成された積層シートの可撓性が低下して、積層シートを巻回状態とした際に積層シートに不測に屈曲が発生し、研磨部材又はバッキングシートに皺が発生する虞れがあるので、３〜１２５μｍが好ましく、１２〜３８μｍがより好ましい。

剥離紙４の厚みは、薄いと、剥離紙を剥離している途上に剥離紙が裂けてしまうことがあり、厚いと、両面粘着テープの第二粘着剤層上に研磨部材又はバッキングシートを貼着一体化させて形成された積層シートの可撓性が低下して、積層シートを巻回状態とした際に積層シートに不測に屈曲が発生し、研磨部材又はバッキングシートに皺が発生する虞れがあるので、５０〜２００μｍが好ましい。

剥離紙４における第一粘着剤層２側の面には、第一粘着剤層２から剥離紙４を容易に剥離することができるように離型処理が施されていることが好ましい。

又、両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上にはその使用前において第二粘着剤層３を保護するために汎用の剥離紙５が剥離可能に積層されていてもよい。

次に、本発明の両面粘着テープＡの製造方法について説明する。両面粘着テープの製造方法としては、特に限定されず、例えば、基材フィルム上に粘着剤を含む粘着剤溶液を塗工した後、粘着剤溶液中の溶媒を除去することによって基材フィルム上に第一、第二粘着剤層を積層一体化し、しかる後、基材フィルムの第一粘着剤層上に剥離紙を剥離可能に積層させると共に、必要に応じて、第二粘着剤層上に剥離紙を剥離可能に積層することによって両面粘着テープを製造することができる。第一粘着剤層上に剥離紙を積層するにあたっては、剥離紙の紙基材層が露出した状態となるように剥離紙を第一粘着剤層上に積層する。

又、表面が離型処理された離型フィルム上に粘着剤を含む粘着剤溶液を塗工した後、粘着剤溶液中の溶媒を除去することによって離型フィルム上に粘着剤層を作製し、この粘着剤層を基材フィルム上に転写一体化させることによって、基材フィルム上に粘着剤層を積層一体化してもよい。

次に、両面粘着テープＡの使用要領について説明する。両面粘着テープＡは、その第二粘着剤層３上に研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣを貼着一体化させて積層シートＤとした上で用いられる。なお、第二粘着剤層３上に剥離紙５が剥離可能に積層されている場合には、剥離紙５を剥離、除去して第二粘着剤層３を露出させ、この露出した第二粘着剤層３上に、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣを貼着一体化させる。

積層シートＤは、通常、一回又は複数回だけ緩く巻いた状態で輸送又は保管される。積層シートＤを緩く巻く際に、積層シートＤが斜行又は蛇行して芯づれを生じやすいが、本発明の両面粘着テープは、その剥離紙４の紙基材層41と、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとの間の摩擦抵抗が低いことから、積層シートＤを緩く巻いた状態において巻回方向に直交する方向に積層シートＤを手で押すことによって、積層シートＤの芯づれを矯正し、図３に示したように、積層シートＤを芯づれのない状態に容易に巻回することができる。

そして、積層シートＤを緩く巻く途上において、剥離紙４の紙基材層41と、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣとが互いに円滑に滑り、積層シートＤに屈曲が生じることはなく、研磨部材Ｂ又はバッキングシートＣに皺を発生させることなく、積層シートＤを巻回状態とすることができる。

次に、本発明の両面粘着テープを用いて得られた積層シートＤの使用要領について説明する。はじめに、両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上に研磨部材Ｂを貼着一体化させた場合を説明する。

積層シートＤが、上述のように、緩く巻かれた状態にあるときには、平面矩形状の展開状態とする。次に、積層シートＤの第一粘着剤層２上に積層された剥離紙４を剥離、除去して第一粘着剤層２が露出した積層シートＤ'とする。積層シートＤ'は、両面粘着テープＡから剥離紙４を剥離除去して形成された両面粘着テープＡ'と、この両面粘着テープＡ'の第二粘着剤層３上に積層一体化された研磨部材Ｂとを含んでいる。しかる後、図４に示したように、積層シートＤ'を第一粘着剤層２によって上側の定盤Ｅに貼着一体化して、研磨部材Ｂを上側の定盤Ｅに固定する。

一方、下側の定盤Ｆ上にバッキングシートＧを介して被研磨物Ｈを固定した後、被研磨物Ｈ上に研磨スラリーを滴下しながら、下側の定盤Ｆを回転させて被研磨物Ｈを回転させると共に、上側の定盤Ｅを下側の定盤Ｆと反対方向に回転させて、研磨部材Ｂを被研磨物Ｈ上に押圧させることによって、被研磨物Ｈの表面を研磨部材Ｂで研磨することができる。

研磨部材Ｂは両面粘着テープＡを介して上側の定盤Ｅに皺なく貼着固定されていることから、被研磨物Ｈに研磨部材Ｂを均一な押圧力でもって押圧しながら被研磨物Ｈを研磨部材Ｂによって良好に研磨することができる。

上記では、両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上に研磨部材Ｂを貼着一体化させた場合を説明したが、両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上にバッキングシートＣを貼着一体化して積層シートＤを作製してもよい。

両面粘着テープＡの第二粘着剤層３上にバッキングシートＣを貼着一体化して積層シートＤを作製した場合は、下側の定盤上に第一粘着剤層２によって積層シートＤ'を貼着一体化して、バッキングシートＣを下側の定盤Ｆに固定する。一方、上側の定盤Ｅ上に上述の要領又は汎用の両面粘着テープを用いて研磨部材Ｂを固定する。しかる後、上述と同様の要領で被研磨物Ｈの表面を研磨部材Ｂで研磨することができる。

なお、上記では、上側の定盤に研磨部材を、下側の定盤にバッキングシートを介して被研磨物を固定した場合を説明したが、下側の定盤に研磨部材を、上側の定盤にバッキングシートを介して被研磨物を固定してもよい。

本発明の両面粘着テープは、上述の如き構成を有していることから、第二粘着剤層上に研磨部材又はバッキングシートを貼着一体化させて形成された積層シートを一回又は数回だけ緩く巻く途上において、積層シートに芯づれが生じた場合にあっても、剥離紙と、研磨部材又はバッキングシートとの摩擦抵抗が低いので、積層シートを手で押すことによって積層シートの芯づれを容易に矯正することができ、積層シートを正確な状態に巻回することができると共に、積層シートの屈曲に起因した皺が研磨部材又はバッキングシートに生じることはない。

本発明の両面粘着テープを示した縦断面図である。本発明の積層シートを示した縦断面図である。積層シートを緩く巻いた状態を示した斜視図である。本発明の積層シートの使用要領を示した模式図である。積層シートが芯づれを生じた状態を示した斜視図である。

以下に、本発明を、その具体的な実施例を参照しつつ詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

（実施例１〜４）
ブチルアクリレート７０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート３０重量部、アクリル酸３重量部、４−ヒドロキシブチルアクリレート０．０５重量部及びアゾビスイソブチロニトリル０．０８重量部をトルエン１５１重量部に供給してモノマー溶液を作製した。

次に、モノマー溶液を６０℃に加熱して６時間に亘って溶液重合してアクリル系粘着剤用ポリマー溶液（粘度：２８Ｐａ・ｓ、固形分量：４０重量％）を得た。アクリル系粘着剤用ポリマー溶液１００重量部に重合ロジンペンタエリスリトールエステル（荒川化学社製商品名「ペンセルＤ１２５」）３０重量部を供給した後、アクリル系粘着剤用ポリマー溶液に架橋剤としてイソシアネート（日本ポリウレタン社製商品名「コロネートＬ」）２重量部を供給してアクリル系粘着剤組成物を作製した。

天然ゴム１００重量部、ＳＩＳ（放射状構造スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、日本ゼオン社製商品名「クインタック３４６０Ｃ」、スチレン成分の含有量：２５重量％）３０重量部、無水マレイン酸変性Ｃ５，Ｃ９レジン（日本ゼオン社製商品名「クイントンＤ−２００」）４０重量部、フェノール変性レジン（住友ベークライト社製商品名「スミライトＰＲ１２６０３Ｎ」）４０重量部、及び、フェノール系老化防止剤（大内新興社製商品名「ノクラックＮＳ−６」）１重量部をトルエンに溶解させた後、架橋剤としてイソシアネート（日本ポリウレタン社製商品名「コロネートＬ」）３重量部を供給してゴム系粘着剤溶液を調製した。

基材フィルムとして、幅２．５ｍ、長さ１ｍの平面長方形状で且つ厚みが７５μｍであるポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。又、上質紙（６４ｇ／ｍ²）の一面に第三粘着剤層（上記アクリル系粘着剤組成物からトルエンを除去して形成された粘着剤層）を介してポリエチレンテレフタレートフィルムが積層一体化されてなり且つ幅２．５ｍ、長さ１ｍの平面長方形状の剥離紙を用意した。上質紙、第三粘着剤層及びポリエチレンテレフタレートフィルムの厚みは表１に示した通りであった。なお、上質紙の外部に露出した表面には表面処理が施されておらず、木質パルプが全面的に露出していた。ポリエチレンテレフタレートフィルムの外部に露出した表面には離型処理が施されていた。

基材フィルムの一面全面に上記アクリル系粘着剤組成物をコンマコーターを用いて塗工した後、基材フィルムを１００℃のオーブン中で３分間に亘って加熱してアクリル系粘着剤組成物中のトルエンを除去し、基材フィルムの一面に厚みが６０μｍの第一粘着剤層を積層一体化した。

基材フィルムに積層一体化させた第一粘着剤層の全面に剥離紙をそのポリエチレンテレフタレートフィルムが第一粘着剤層側となるように剥離可能に積層させた。

次に、片面に離型処理が施され且つ幅２．５ｍ、長さ１ｍの平面長方形状であるポリエチレンテレフタレートフィルムを用意し、このポリエチレンテレフタレートフィルムにおける離型処理面の全面にゴム系粘着剤溶液をコンマコーターを用いて塗工した後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを１００℃のオーブン中で３分間に亘って加熱してゴム系粘着剤溶液中のトルエンを除去し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理面に厚みが４０μｍの第二粘着剤層を積層一体化して積層粘着フィルムを作製した。

基材フィルムの他面に積層粘着フィルムをその第二粘着剤層が基材フィルム側となるように重ね合わせて、第二粘着剤層を基材フィルムの他面に転写一体化させて両面粘着テープを作製した。

（比較例１）
剥離紙の上質紙の表面に離型処理が施されており、上質紙を形成している木質パルプが厚みが２μｍの離型層によって全面的に被覆されている剥離紙を用いたこと以外は実施例１と同様にして両面粘着テープを作製した。

得られた両面粘着テープについて、滑り性及び巻き皺の発生を下記の要領で測定し、その結果を表１に示した。

（滑り性）
平坦な机の上に両面粘着テープをその剥離紙の上質紙が机に接触した状態となるように載置した。なお、比較例１の両面粘着テープにおいては、上質紙上の離型層が机に接触した状態となるように載置した。しかる後、手のひらで両面粘着テープを机に向かって圧力１×１０^-6Ｐａで押圧しながら、手のひらを机の表面に対して平行に移動させ、下記基準に基づいて評価した。
○・・・片手で両面粘着テープを移動させることができた。
△・・・片手では両面粘着テープを移動させることができなかったが、両手で両面粘着
テープを移動させることができた。
×・・・両手を用いても両面粘着テープを移動させることができなかった。

（巻き皺の発生）
両面粘着テープの第二粘着剤層上のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、第二粘着剤層の上にバッキングシートを貼着一体化させて積層シートを用意した。積層シートを図５のような形に１回だけ緩く巻いて“芯ずれ”を再現した後、積層シートを図４のような形になるよう“芯ずれ”を矯正した。次に、積層シートを展開し、積層シートに巻き皺が発生しているか否かを目視観察し、下記基準に基づいて評価した。
○・・・展開した積層シートのバッキングシートの何れの箇所にも巻き皺が見られなか
った。折り皺の発生を特に気にすることなく、１人の作業者で巻回することが
できた。
△・・・展開した積層シートのバッキングシートの何れの箇所にも巻き皺が見られなか
った。但し、積層シートの可撓性が低いので、１人の作業者で積層シートを巻
回すると不測の屈曲が生じて折り皺が発生する可能性があった。従って、複数
人でゆっくりと慎重に積層シートを巻回する必要があった。
×・・・積層シートを図４のような形になるよう“芯ずれ”を矯正しようとしたが、
“芯ずれ”を矯正できず、“芯ずれ”したまま１日放置した積層シートを展開
したときに、積層シートのバッキングシートに巻き皺がみられた。

１基材フィルム
２第一粘着剤層
３第二粘着剤層
４剥離紙
41 紙基材層
42 支持層
43 第三粘着剤層
５剥離紙
Ａ両面粘着テープ
Ｂ研磨部材
Ｃバッキングシート
Ｄ積層シート

Claims

研磨部材又はバッキングシートを定盤に固定させるための両面粘着テープであって、基材フィルムと、上記基材フィルムの一面に積層一体化され且つ定盤に貼着させるための第一粘着剤層と、上記第一粘着剤層上に剥離可能に積層され且つ紙基材層を含み、上記紙基材層が表面を形成している剥離紙と、上記基材フィルムの他面に積層一体化され且つ上記研磨部材又は上記バッキングシートを貼着させるための第二粘着剤層とを有することを特徴とする両面粘着テープ。
紙基材層が上質紙であることを特徴とする請求項１に記載の両面粘着テープ。
剥離紙は、紙基材層と上記紙基材層上に積層一体化された支持層とを含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の両面粘着テープ。
剥離紙の厚みが５０〜２００μｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の両面粘着テープ。
請求項１〜４の何れか１項に記載の両面粘着テープの第二粘着剤層上に研磨部材又はバッキングシートが貼着一体化されていることを特徴とする積層シート。