JP2015095553A - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズル部の空圧回路を簡素化する。【解決手段】部品実装装置１０は、複数のノズル部２２を環状に配置した状態で支持するノズルドラムユニット２０と、ノズルドラムユニット２０を回転させてノズル動作位置Ｐにノズル部２２を配置する回転機構を有する。ノズルドラムユニット２０は、各ノズル部２２の吸引孔２６ａに連通して環状に配置された複数の第１および第２の開口２４ｂ、２４ｃを備える。部品実装装置１０はまた、ノズルドラムユニット２０に弾性的に接触し、ノズル動作位置Ｐ上のノズル部２２に対応する第１の開口に負圧または正圧を供給する接続部８０と、ノズル動作位置Ｐ上のノズル部２２に対応する第２の開口を閉塞する閉栓部８６と、第２の開口の周回軌道に沿って延在し、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズル部２２に対応する第２の開口に負圧を供給する流路４０ｅを有する。【選択図】図４

Description

本発明は、部品を基板に実装する部品実装装置および部品実装方法に関する。

従来より、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズルを有する部品実装装置が種々存在する。複数のノズルは昇降可能に部品実装装置の移載ヘッドに搭載されている。複数のノズルそれぞれが部品を保持した状態の移載ヘッドが基板の上方に移動し、その後に各ノズルが降下することにより、複数の部品が基板に実装される。

例えば、特許文献１に記載された部品実装装置は、移載ヘッド上で複数のノズルが周回する、いわゆるロータリー式の部品実装装置である。複数のノズルは、移載ヘッドに搭載され、ノズルの昇降方向に延在する回転中心線を中心として回転する回転体に支持されている。回転体が回転することにより、複数のノズルが回転体の回転中心線を中心とする周方向に周回する。

また、特許文献１に記載された部品実装装置は、回転体の回転によってノズルが該回転体の回転中心線に対する所定の角度位置に配置されたときに、そのノズルが部品を吸着するまたは部品を実装するように構成されている。

特開２０１１−２９５２７号公報

ところで、特許文献１に記載された部品実装装置の場合、ノズルに供給する空圧を部品を吸着するための負圧と部品を実装するための正圧との間で切り替えるバルブがノズルそれぞれに対して設けられているため、複数のノズルに空圧を供給するための空圧回路は複雑である。そのために、移載ヘッドの構造が複雑化し、移載ヘッドのコンパクト化が困難になる。

そこで、本発明は、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズルそれぞれに対して部品を吸着するための負圧または部品を実装するための正圧を選択的に供給する空圧回路を簡素化することを目的とする。

上述の課題を解決するために、本発明の第１の態様によれば、
部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を有する部品実装装置において、
複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットと、
ノズルドラムユニットを回転可能に収容するノズルドラムユニット収容部と、
ノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置するノズルドラムユニット回転機構と、
を有し、
ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の開口を備えており、
ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続して負圧または正圧を選択的に供給する接続部と、
ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続して負圧を連続的に供給し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路と、
をさらに有する、部品実装装置が提供される。

本発明の第２の態様によれば、
部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を有する部品実装装置において、
複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットと、
ノズルドラムユニットを回転可能に収容するノズルドラムユニット収容部と、
ノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置するノズルドラムユニット回転機構と、
を有し、
ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第１の開口と、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通し、第１の開口と異なるノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向の位置で、ノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第２の開口と、
を備えており、
ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に対して接続して負圧または正圧を選択的に供給する接続部と、
ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口を閉塞する閉栓部と、
ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口に対して接続して負圧を連続的に供給し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路と、
をさらに有する、部品実装装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、
ノズルドラムユニットが第１および第２の開口が形成された外周面を備え、
ノズルドラムユニット収容部がノズルドラムユニットの外周面と対向する内周面を備え、
ノズルドラムユニットの外周面とノズルドラムユニット収容部の内周面との間に該ノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向に並んだ状態で圧入され、ノズルドラムユニットを周回するリング状の第１および第２のシール部材をさらに有し、
ノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向における第１のシール部材と第２のシール部材との間に、ノズルドラムユニットの第１および第２の開口が位置する、第２の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第４の態様によれば、
ノズルドラムユニットの外周面とノズルドラムユニット収容部の内周面との間に圧入され、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向における該ノズルドラムユニットの第１の開口と第２の開口との間に配置され、ノズルドラムユニットを周回するリング状の第３のシール部材をさらに有する、第３の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第５の態様によれば、
流路が、ノズルドラムユニット収容部の内周面にノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在するように形成された有端状の溝によって構成されている、第３または第４の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第６の態様によれば、
接続部が、シール材料から作製され、付勢部材によって付勢されてノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズルの吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に接続する内部流路を備える、第２から第５の態様のいずれか一に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第７の態様によれば、
部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を用いて部品を実装する部品実装方法であって、
複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、且つ複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置し、
ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の開口を備えており、
ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、且つノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続する接続部を介して、ノズル動作位置上のノズル部に負圧または正圧を選択的に供給することにより、ノズル動作位置上のノズル部が部品を吸着するまたは部品を実装し、
ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路を介して、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部に負圧を連続的に供給することにより、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部が部品を保持し続ける、部品実装方法が提供される。

本発明の第８の態様によれば、
部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を用いて部品を実装する部品実装方法であって、
複数のノズル部を環状に配置した状態で支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置し、
ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第１の開口と、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通し、第１の開口と異なるノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向の位置で、ノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第２の開口と、
を備えており、
ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に対して接続する接続部を介して、ノズル動作位置上のノズル部に負圧または正圧を選択的に供給することにより、ノズル動作位置上のノズル部が部品を吸着するまたは部品を実装し、
ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口を閉栓部によって閉塞し、
ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口に対して接続し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路を介して、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部に負圧を連続的に供給することにより、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部が部品を保持し続ける、部品実装方法が提供される。

本発明によれば、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズルそれぞれに対して部品を吸着するための負圧または部品を実装するための正圧を選択的に供給する空圧回路を簡素化することができる。

本発明の一実施の形態に係る部品実装装置の概略的な構成図 部品実装装置の移載ヘッドの構成要素の一部を示す概略的な斜視図 移載ヘッドに搭載されるノズルドラムユニットの斜視図 ノズルドラムユニットの回転中心線に沿った移載ヘッドの断面図 ノズルユニットに空圧を供給するための空圧回路図 図４に示すＡ−Ａ線に沿い、ノズルドラムユニットの回転中心線と直交する移載ヘッドの断面図 図４に示すＢ―Ｂ線に沿い、ノズルドラムユニットの回転中心線と直交する移載ヘッドの断面図 別の実施の形態に係る部品実装装置のノズルドラムユニットの回転中心線に沿った移載ヘッドの断面図 図８に示すＣ−Ｃ線に沿い、ノズルドラムユニットの回転中心線と直交する移載ヘッドの断面図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、一実施の形態に係る部品実装装置を概略的に示している。

図１に示すように、部品実装装置１０は、部品を基板Ｗに実装するための移載ヘッド１２と、移載ヘッド１２をＸ軸方向（基準方向）に移動させるＸ軸ビーム１４と、Ｘ軸ビーム１４をＹ軸方向に移動させるＹ軸ビーム１６とを有する。Ｘ軸ビーム１４およびＹ軸ビーム１６とにより、移載ヘッド１２は水平方向に移動することができる。

図２は、移載ヘッド１２の概略的斜視図である。なお、図２は、移載ヘッド１２の全ての構成要素を示しているわけではなく、本発明の実施の形態に関連する移載ヘッド１２の構成要素の一部を示している。

図２に示すように、本実施の形態の場合、部品実装装置１０の移載ヘッド１２は、２基のノズルドラムユニット２０を搭載している。なお、移載ヘッド１２へのノズルドラムユニット２０の搭載数は、２基に限らず、例えば１基、また例えば２基以上であってもよい。

ノズルドラムユニット２０は、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズルユニット（特許請求の範囲の「ノズル部」に対応）２２と、複数のノズルユニット２２を昇降可能に支持するノズルドラム２４とを有する。本実施の形態の場合、各ノズルドラムユニット２０は、１２基のノズルユニット２２を有する。なお、１つのノズルドラムユニット２０に搭載されるノズルユニット２２の数は、１２基に限らず、また偶数基に限らない。

図３に示すように、ノズルドラムユニット２０に搭載された複数のノズルユニット２２それぞれは、部品を吸着してリリース可能に保持するノズル２６と、図示しないノズルホルダを介して、ノズル２６が着脱可能に下方側の端に取り付けられているノズルシャフト２８とを有する。本実施の形態の場合、ノズルシャフト２６は鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在する。

本実施の形態の場合、ノズルドラムユニット２０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在する中心軸ＣＬを備える略円柱形状であって、その中心軸ＣＬを回転中心線として回転する回転体である。また、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４は、複数のノズルユニット２２をＺ軸方向に昇降可能に支持する。具体的には、ノズルユニット２２のノズルシャフト２８がノズルドラム２４をＺ軸方向に貫通して延在するように、ノズルドラム２４はノズルユニット２２のノズルシャフト２８を間接的または直接的に支持する。さらに、ノズルドラム２４は、複数のノズルユニット２２をノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として環状に配置した状態で支持している。すなわち、複数のノズルユニット２２の環状配置の中心をノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬが通過する。

なお、本実施の形態の場合、ノズルドラム２４は、ノズルユニット２２のノズルシャフト２８を、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在する筒状のアウタシャフト３０を介して支持している。すなわち、ノズルユニット２２のノズルシャフト２８がアウタシャフト３０内に摺動可能に挿通され、そのアウタシャフト３０をノズルドラム２４が支持している。これに代わって、アウタシャフト３０を用いることなく、ノズルドラム２４が直接的にノズルユニット２２のノズルシャフト２６を支持してもよい。

また、ノズルドラムユニット２０に昇降可能に支持されたノズルユニット２２は、ばねなどの付勢部材（図示せず）によって上方に向かって付勢されている。さらに、ノズルドラムユニット２０の上方に配置された例えばエアシリンダやモータなどの直動機構（図示せず）によってノズル２６が取り付けられていない側のノズルシャフト２８の端が下方に向かって押されることにより、ノズルユニット２２は下方向に移動する。

図２に戻り、ノズルドラムユニット２０は、移載ヘッド１２のブロック状のベース部４０（特許請求の範囲の「ノズルドラムユニット収容部」に対応）に回転可能に収容されている。本実施の形態の場合、２基のノズルドラムユニット２０をＸ軸方向に並べた状態でベース部４０は収容する。

図４は、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬに沿った（Ｚ−Ｘ平面と平行な）移載ヘッド１２の断面図である。

図４に示すように、移載ヘッド１２のベース部４０は、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４を収容可能な、鉛直方向（Ｚ軸方向）に貫通するノズルドラム収容孔４０ａを備える。ベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａは、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａと対向する内周面４０ｂを備える。

なお、本実施の形態の場合、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａと移載ヘッド１２のベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂはノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心とする円筒状の面であるが、本発明の実施の形態はこれに限らない。例えば、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬに対して傾斜する周面（例えばテ―パー面）を少なくとも部分的に、ノズルドラム２４の外周面２４ａとベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとが含んでもよい。

また、本実施の形態の場合、ノズルドラムユニット２０は、２つの軸受け４２、４４を介して移載ヘッド１２のベース部４０に支持されている。これにより、ノズルドラムユニット２０は、ベース部４０に回転可能に支持されている。

さらに、本実施の形態の場合、ノズルドラムユニット２０は、ノズルドラム２４の鉛直方向（Ｚ軸方向）の一方側の端部から上方に向かって延在する駆動シャフト４６によって回転駆動される。この駆動シャフト４６には、モータ（図示せず）が連結されている。モータが駆動シャフト４６を回転させることにより、ノズルドラムユニット２０が回転する。その結果、ノズルドラムユニット２０に支持されている複数のノズルユニット２２が、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心としてその周方向に周回する。すなわち、駆動シャフト４６とそれを回転駆動するモータが、ノズルドラムユニット２０を回転させることによって複数のノズルユニット２２を該ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として周回させるノズルドラムユニット回転機構として機能する。

ここからは、回転中心線ＣＬを中心として回転するノズルドラムユニット２０に支持されている複数のノズルユニット２２それぞれに空圧を供給するための構成について説明する。

図２において二点鎖線によって示すように、移載ヘッド１２のベース部４０には、ノズルドラムユニット２２の複数のノズルユニット２２それぞれに空圧を供給するための空圧供給ユニット５０が取り付けられている。

空圧供給ユニット５０は、移載ヘッド１２の外部に位置する負圧源（例えば真空源）および正圧源から供給された部品を吸着するための負圧（例えば真空圧）および部品を実装するための正圧を複数のノズルユニット２２それぞれに対して選択的に供給するように構成されている。例えば、空圧供給ユニット５０は、詳細は後述するが、電磁弁、流量センサ、フィルタなどから構成される。

図５は、空圧供給ユニット５０の構成要素を含む、複数のノズルユニット２２に空圧を供給するための空圧回路を示している。図５に示すように、複数のノズルユニット２２に空圧を供給するための空圧回路は、部品を吸着する動作または部品を実装する動作を実行するノズルユニット２２に対して負圧または正圧を選択的に供給するための構成要素として、一次フィルタ５２、流量センサ５４、二次フィルタ５６、電磁弁５８、６０、負圧源６２、および正圧源６４を含んでいる。一方、残りのノズルユニット２２に対して負圧を連続的に供給するための構成要素として、一次フィルタ５２、流量センサ６６、二次フィルタ６８、電磁弁７０、および負圧源６２を含んでいる。

ノズルユニット２２が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作を実行するときまたは部品をリリースして該部品を実装する動作を実行するとき、そのノズルユニット２２は、ノズルドラムユニット２０の回転によってノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬに対する所定の角度位置に配置される。すなわち、ノズルユニット２２は、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心としてその周方向に周回する複数のノズルユニット２２の周回軌道上の所定の位置に配置される。以下、このノズルユニット２２が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作および部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方を実行する位置を、「ノズル動作位置」と称する。

なお、本実施の形態の場合、ノズルユニット２２が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作を実行するノズル動作位置と部品をリリースして該部品を実装する動作を実行するノズル動作位置は共通の１つのノズル動作位置Ｐである。これに代わって、ノズルユニット２２が部品の吸着を開始してリリース可能に保持する動作を実行するノズル動作位置と、部品をリリースして該部品を実装する動作を実行するノズル動作位置とが異なる位置であってもよい。また、部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作を実行するノズル動作位置が複数あってもよいし、部品をリリースして該部品を実装する動作を実行するノズル動作位置が複数あってもよい。

本実施の形態の場合、ノズルユニット２２が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作を実行するとともに部品をリリースして該部品を実装する動作を実行する共通の１つのノズル動作位置Ｐは、図１に示すように、ノズルドラムユニット２０の回転によって該ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として周回するノズルユニット２２の周回軌道上において最もＸ軸ビーム１４から離れた位置、すなわち部品実装装置１０の正面側に設定されている。

ノズルドラムユニット２０の回転によってノズル動作位置Ｐに配置されたノズルユニット２２には、図５に示すように、移載ヘッド１２の外部に配置された負圧源（例えば真空圧源）６２または正圧源（例えばコンプレッサ）６４から、負圧（例えば真空圧）または正圧が選択的に供給される。

具体的には、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対して負圧源６２からの負圧または正圧源６４からの正圧を選択的に供給するために、２基の電磁弁５８、６０が設けられている。電磁弁５８は、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対して供給する空圧を、負圧源６２からの負圧Ｖｐと電磁弁６０を介する正圧源６４からの正圧Ｃとの間で切り替えるように構成されている。電磁弁６０は、電磁弁５８に対して供給する空圧を正圧源６４からの正圧Ｃと大気圧Ａｐとの間で切り替えるように構成されている。

この２基の電磁弁５８、６０を介してノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対して負圧または正圧が選択的に供給されることにより、ノズル動作位置Ｐでノズルユニット２２は部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持することができるまたは部品をリリースして該部品を実装することができる。

図５に示すように、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に供給する空圧を負圧と正圧との間で切り替える電磁弁５８とそのノズルユニット２２との間には、ノズルユニット２２に流れる空気の流量を検出する流量センサ５４が設けられている。この流量センサ５４の検出結果に基づいて、ノズルユニット２２が部品を正常に吸着していることを確認することができる。例えば、ノズルユニット２２が部品を吸着した後において流量センサ５４によって検出される流量がゼロあるいは所定の値以下であれば、部品がノズル２６の吸引孔２６ａを閉じるように、ノズルユニット２２が正常に部品を吸着して保持していることがわかる。

流量センサ５４とノズルユニット２２との間には一次フィルタ５２が配置され、流量センサ５４や電磁弁に対しては二次フィルタ５４が配置されている。一次フィルタ５２および二次フィルタ５４は、ノズル２６の吸引孔２６ａを介する空圧回路内への異物の侵入を抑制する。

なお、流量センサ５４、二次フィルタ５６、電磁弁５８、および電磁弁６０は、移載ヘッド１２のベース部４０に取り付けられた空圧供給ユニット５０に組み込まれている。一次フィルタ５２は、図４に示すように、ノズルユニット２２それぞれのノズル２６とノズルシャフト２８との間に位置するように、ノズルユニット２２に内蔵されている。

一方、ノズルドラムユニット２０の回転によってノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２、すなわちノズル動作位置Ｐで部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持した後にまたはノズル動作位置Ｐで部品をリリースして該部品を実装した後にノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット（本実施の形態の場合、１１基のノズルユニット）２２には、移載ヘッド１２の外部に配置された負圧源（例えば真空圧源）６２から負圧が連続的に供給される。これにより、ノズル動作位置Ｐで部品の吸着を開始してリリース可能に保持し、その後にノズルドラムユニット２０の回転によってノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２は、部品を保持し続けることができる。

なお、本実施の形態の場合、図５に示すように、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に負圧を供給する負圧源と、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に負圧を供給する負圧源は、共通の負圧源６２であるが、異なる別の負圧源であってもよい。

図５に示すように、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２と負圧源６２との間には電磁弁７０が配置されている。この電磁弁７０は、ノズルユニット２２への負圧の供給を一時的に停止するために設けられている。これにより、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対して共通の負圧源６２から負圧を供給しつつ、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対する共通の負圧源６２からの負圧の供給を停止することができる。例えば、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２の全てが部品を保持していない場合、これらのノズルユニット２２への負圧の供給を電磁弁７０によって一時的に停止することができる。

図５に示すように、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット２２に対して負圧を連続的に供給する電磁弁７０とそれらの複数のノズルユニット２２との間には、共通の流量センサ６６が設けられている。流量センサ５４と同様に、流量センサ６６の検出結果に基づいて、ノズルユニット２２が部品を正常に吸着していることを確認することができる。

流量センサ６６とノズルユニット２２との間には二次フィルタ６８および各ノズルユニット２２用の一次フィルタ５２が配置されている。一次フィルタ５２および二次フィルタ６８は、ノズル２６の吸引孔２６ａを介する空圧回路内への異物の侵入を多重的に抑制する。

なお、流量センサ６６、二次フィルタ６８、電磁弁７０、および電磁弁６０は、移載ヘッド１２のベース部４０に取り付けられた空圧供給ユニット５０に組み込まれている。

次に、ノズルドラムユニット２０に搭載された複数のノズルユニット２２に対して、移載ヘッド１２のベース部４０に取り付けられた空圧供給ユニット５０が空圧を供給するための構成について説明する。

図３および図４に示すように、ノズルドラムユニット２０は、各ノズルユニット２２のノズル２６の吸引孔２６ａにそれぞれ連通する複数の第１の開口２４ｂを備える。この複数の第１の開口２４ｂは、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として環状に配置されている。また、本実施の形態の場合、複数の第１の開口２４ｂは、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに形成されている。

また、図４に示すように、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに形成された複数の第１の開口２４ｂは、ノズルユニット２２のノズルシャフト２８が摺動可能に挿通されているアウタシャフト３０の縮径部３０ａとノズルドラム２４との間の空間に連通している。アウタシャフト３０の縮径部３０ａは、他の部分に比べて外径が小さい（延在方向（Ｚ軸方向）に直交する断面積が小さい）部分であって、ノズルドラム２４とアウタシャフト３０との間に空間を形成するために設けられている。

このアウタシャフト３０の縮径部３０ａには、ノズルシャフト２８の縮径部２８ｂとアウタシャフト３０との間の空間に連通する連通孔３０ｂが形成されている。ノズルシャフト２８の縮径部２８ｂは、他の部分に比べて外径が小さい（延在方向（Ｚ軸方向）に直交する断面積が小さい）部分であって、アウタシャフト３０とノズルシャフト２８との間に空間を形成するために設けられている。

このノズルシャフト２８の縮径部２８ｂには、ノズルシャフト２８内に鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在するように形成されてノズル２６の吸引孔２６ａに接続する内部流路２８ａに連通する連通孔２８ｃが形成されている。

したがって、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに形成された複数の第１の開口２４ｂそれぞれは、アウタシャフト３０の縮径部３０ａとノズルドラム２４との間に形成された空間、アウタシャフト３０の縮径部３０ａに形成された連通孔３０ｂ、ノズルシャフト２８の縮径部２８ｂとアウタシャフト３０との間に形成された空間、ノズルシャフト２８の縮径部２８ｂに形成された連通孔２８ｃ、およびノズルシャフト２８の内部流路２８ａを介して、ノズルユニット２２（ノズル２６）吸引孔２６ａに連通する。

図４に示すように、また図４のＡ−Ａ線に沿って且つノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬと直交する断面（Ｘ−Ｙ平面と平行な断面）を表す図６に示すように、ノズルドラムユニット２０（ノズルドラム２４）に形成された複数の第１の開口２４ｂ中において、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第１の開口２４ｂは、接続プラグ（特許請求の範囲の「接続部」に対応）８０に接続されている。

接続プラグ８０は、ノズルドラムユニット２０に弾性的に接触し、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通するノズルドラムユニット２０（ノズルドラム２４）の第１の開口２４ｂに対して接続し、その第１の開口２４ｂに負圧または正圧を選択的に供給する。本実施の形態の場合、接続プラグ８０は、図６に示すように、移載ヘッド１２のベース部４０に設けられ、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２０（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第１の開口２４ｂと空圧供給ユニット５０とを連通するように接続する。

また、本実施の形態の場合、図４に示すように、接続プラグ８０は、筒状の部材であって、例えばジュラコン（登録商標）などの樹脂材料から作製されている。さらに、空圧供給ユニット５０が取り付けられた移載ヘッド１２のベース部４０の面４０ｈに対して形成されてノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに連通するプラグ収容孔４０ｃ内に、接続プラグ８０は摺動可能に収容されている。

さらにまた、本実施の形態の場合、接続プラグ８０は、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａとの接触を維持するために、すなわちノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第１の開口２４ｂとの接続を維持するために、例えばばねなどの付勢部材８２によってノズルドラムユニット２０に向かって付勢されている。この付勢部材８２は、接続プラグ８０内に収容されている。なお、付勢部材８２は、接続プラグ８０と接触した状態のノズルドラムユニット２０がスムーズに回転できる付勢力で接続プラグ８０をノズルドラムユニット２０に向かって付勢している。加えて、接続プラグ８０は、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通するノズルドラムユニット２０（ノズルドラム２４）の第１の開口２４ｂに対して空圧供給ユニット５０を接続するための内部流路８０ａを備える。

このような接続プラグ８０によれば、図５に示すように、ノズル動作位置Ｐに配置されたノズルユニット２２に対して、負圧源６２からの負圧または正圧源６４からの正圧を空気圧供給ユニット５０の２基の電磁弁５８、６０を介して選択的に供給することができる。また、接続プラグ８０が付勢部材８２に付勢されることによってノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに弾性的に接触しているため、接続プラグ８０とノズルドラム２４との間から負圧または正圧が漏れることが抑制される。その結果、ノズル動作位置Ｐに配置されたノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａは、十分な負圧または正圧の供給を受けて、部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作または部品をリリースして該部品を実装する動作を確実に実行することができる。

なお、空圧供給ユニット５０から接続プラグ８０に供給される負圧または正圧が空圧供給ユニット５０と移載ヘッド１２のベース部４０との間から漏れないように、図２に示すように、接続プラグ８０を囲むリング状のシール部材８４がベース部４０と空圧供給ユニット５０との間に設けられている。

また、樹脂製の接続プラグ８０とその接続プラグ８０を付勢するばねなどの付勢部材８２とに代わって、例えばゴムなどの弾性材料から作製されてノズルドラムユニット２０と空圧供給ユニット５０とに弾性的に接触する筒状の接続プラグを、移載ヘッド１２のベース部４０のプラグ収容孔４０ｃ内に設けてもよい。すなわち、接続プラグ８０は、広義には、接続プラグ８０とノズルドラムユニット２０との間をシールして負圧または正圧の漏れを抑制できるシール材料から作製され、ノズルドラムユニット２０と弾性的に接触することができればよい。

一方、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通するノズルドラムユニット２０（ノズルドラム２４）の第１の開口２４ｂは、図６に示すように、移載ヘッド１２のベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂと対向する。

図５に示すようにノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルドラムユニット２０の各ノズルユニット２２（ノズル２６）に負圧源６２からの負圧を連続的に供給するために、図３に示すように、ノズルドラムユニット２０は、各ノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａにそれぞれ連通する複数の第２の開口２４ｃを備える。複数の第２の開口２４ｃは、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として環状に配置されている。具体的には、複数の第２の開口２４ｃは、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａにおける、第１の開口２４ｂと異なるノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向の位置（Ｚ軸方向の位置）に形成されている。

複数の第２の開口２４ｃは、図４に示すように、ノズルユニット２２のノズルシャフト２８が摺動可能に挿通されているアウタシャフト３０の縮径部３０ａとノズルドラム２４との間の空間に対して連通している。これにより、複数の第１の開口２４ｂと同様に、複数の第２の開口２４ｃは、ノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通している。

また、図４のＢ−Ｂ線に沿って且つノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬと直交する断面（Ｘ―Ｙ平面と平行な断面）を表す図７に示すように、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット２２それぞれのノズル２６の吸引孔２６ａに連通する複数の第２の開口２４ｃに対して負圧源６２からの負圧を連続的に供給するマニホールド流路（特許請求の範囲の「流路」に対応）４０ｅを移載ヘッド１２は備える。

具体的には、図７に示すように、マニホールド流路４０ｅは、ノズルドラムユニット２０の回転によって周回する第２の開口２４ｃの周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向視（Ｚ軸方向視）で円弧状の流路である。本実施の形態の場合、マニホールド流路４０ｅは、移載ヘッド１２に設けられているベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂに第２の開口２４ｃの周回方向に延在するように形成された有端状の溝によって構成されている。

図５および図７に示すように、移載ヘッド１２のベース部４０に形成されたマニホールド流路４０ｅは、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２に対応する第２の開口２４ｃに対して対向せず（接続せず）、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対応する第２の開口２４ｃに対向する（接続する）。また、空圧供給ユニット５０が取り付けられたベース部４０における面４０ｈから延在してマニホールド流路４０ｅに連通する連通孔４０ｆを介して、空圧供給ユニット５０とマニホールド流路４０ｅとが接続されている。

このような移載ヘッド１２のベース部４０に形成されたマニホールド流路４０ｅにより、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する複数の第２の開口２４ｃに対して、負圧源６２からの負圧を空圧供給ユニット５０の電磁弁７０を介して連続的に供給することができる。その結果、ノズル動作位置Ｐで部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持し、その後にノズルドラムユニット２０の回転によってノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２は、部品を確実に保持し続けることができる。

なお、本実施の形態の場合、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット２２に対応する複数の第２の開口２４ｃと接続するマニホールド流路４０ｅは、移載ヘッド１２のベース部４０に形成されているが、これに代わって、ノズルドラムユニット２０に設けることも可能である。例えば、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａにノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬを中心として周回する無端状の溝を形成し、その溝の底に第２の開口２４ｃを形成する。このようなノズルドラムユニット２０の無端状の溝に負圧を連続的に供給することにより、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した複数のノズルユニット２２に負圧を供給することができる。

図７に示すように、マニホールド流路４０ｅに接続されておらず、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通し、第１の開口２４ｂと異なる第２の開口２４ｃは、閉塞プラグ（特許請求の範囲の「閉栓部」に対応）８６によって閉塞されている。

閉塞プラグ８６は、ノズルドラムユニット２０に弾性的に接触し、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２のノズル２６の吸引孔２６ａに連通する第２の開口を閉塞する。

本実施の形態の場合、閉塞プラグ８６は、有底筒状の部材であって、例えばジュラコン（登録商標）などの樹脂材料から作製されている。また、空圧供給ユニット５０が取り付けられた移載ヘッド１２のベース部４０における面４０ｈに対して形成されてノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに連通するプラグ収容孔４０ｄ内に、閉塞プラグ８６は摺動可能に収容されている。

さらに、本実施の形態の場合、閉塞プラグ８６は、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａとの接触を維持するために、すなわちノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第２の開口２４ｃを閉塞し続けるために、例えば、ばねなどの付勢部材８８によってノズルドラムユニット２０に向かって付勢されている。この付勢部材８８は、閉塞プラグ８６内に収容されている。なお、付勢部材８８は、閉塞プラグ８６と接触した状態のノズルドラムユニット２０がスムーズに回転できる付勢力で閉塞プラグ８６をノズルドラムユニット２０に向かって付勢している。

このような閉塞プラグ８６によれば、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第２の開口２４ｃを閉塞することできる。これにより、図４に示すようにノズル動作位置Ｐに配置されたノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第１の開口２４ｂに対して供給された負圧または正圧が、ノズル２６の吸引孔２６ａに十分に供給されずに、第２の開口２４ｃから漏れることが抑制される。その結果、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａは、十分な正圧または負圧の供給を受けて、部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作または部品をリリースして該部品を実装する動作を確実に実行することができる。

また、図７に示すように、閉塞プラグ８６により、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対応する第２の開口２４ｃに接続されたマニホールド流路４０ｅに対して供給された負圧が、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４と移載ヘッド１２のベース部４０との間の隙間を介して、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対応する第２の開口２４ｃ内に流入することが抑制される。その結果、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２は、十分な負圧の供給を受けて、部品を確実に保持し続けることができる。

なお、空圧供給ユニット５０とマニホールド流路４０ｅとを接続する連通孔４０ｆ（図７参照）に供給される負圧が空圧供給ユニット５０と移載ヘッド１２のベース部４０との間から漏れないように、図２に示すように、連通孔４０ｆと閉塞プラグ８６とを囲むリング状のシール部材９０がベース部４０と空圧供給部５０との間に設けられている。

また、樹脂製の閉塞プラグ８６とその閉塞プラグ８６を付勢するばねなどの付勢部材８８とに代わって、例えばゴムなどの弾性材料から作製されてノズルドラムユニット２０と空圧供給ユニット５０とに弾性的に接触する閉塞プラグを、移載ヘッド１２のベース部４０のプラグ収容孔４０ｄ内に設けてもよい。すなわち、閉塞プラグ８６は、広義には、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第２の開口２４ｂを閉塞することができればよい。

図４に示すように、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａと移載ヘッド１２のベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとの間には、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４を周回するリング状の第１および第２のシール部材９２、９４が圧入されている。具体的には、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向（Ｚ軸方向）における第１のシール部材９２と第２のシール部材９４との間に該ノズルドラムユニット２０の第１の開口２４ｂおよび第２の開口２４ｃが位置するように、第１および第２のシール部材９２、９４は配置されている。

これらの第１および第２のシール部材９２、９４によれば、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａとベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとの間に対して外気が侵入することが抑制される。

具体的には、第１および第２のシール部材９２、９４により、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する第１の開口２４ｂに外気が侵入することが抑制される。

説明すると、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対応する第２の開口２４ｃに対して負圧が供給されているために、対応する第１の開口２４ｃは空気を吸い込む。そのため、第１および第２のシール部材９２、９４が存在しない場合、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対応する第１の開口２４ｃは外気を吸い込み続ける。その結果、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａが、十分な負圧の供給を受けずに、部品をリリースする可能性がある。

したがって、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２（ノズル２６）に対応する第１の開口２４ｂが外気を吸い込むことを抑制するために、第１および第２のシール部材９２、９４が設けられている。その結果、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２は、部品をより確実に保持し続けることができる。

なお、第１および第２のシール部材９２、９４がなくてもノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２が部品をリリースすることなく保持し続けることができるのであれば、すなわちノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａとベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとの間の距離（隙間）が十分に小さい場合には、第１および第２のシール部材９２、９４を省略することができる。

また、図４に示すように、第１および第２のシール部材９２、９４とは別の第３のシール部材９６が、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａと移載ヘッド１２のベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとの間に圧入されている。第３のシール部材９６は、第１および第２のシール部材９２、９４と同様にノズルドラムユニット２０を周回するリング状であって、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向（本実施の形態の場合、Ｚ軸方向）における該ノズルドラムユニット２０の第１の開口２４ｂと第２の開口２４ｃとの間に配置されている。

この第３のシール部材９６を設ける理由を説明する。例えば、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２に対応する第１の開口２４ｂに対して接続プラグ８０（すなわち空圧供給ユニット５０）が正圧を供給しているときに、当該ノズルユニット２２に対応し、閉塞プラグ８６によって閉塞されている第２の開口２４ｃから正圧が漏れた場合、その漏れた正圧が、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した他のノズルユニット２２に対応する第１の開口２４ｂに対して進入する可能性が考えられる。その結果、ノズル動作位置Ｐから離間している他のノズルユニット２２が真空吸着保持している部品をリリースする可能性がある。

したがって、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａとベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂとの間におけるノズルドラムユニット２０の第１の開口２４ｂと第２の開口２４ｃとの間での空気の往来を抑制するために、ノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向（Ｚ軸方向）における第１の開口２４ｂと第２の開口２４ｃとの間に第３のシール部材９６が配置されている。

なお、閉塞プラグ８６によって閉塞されている第２の開口２４ｃから漏れる正圧がごくわずかの量であれば、すなわちノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２による部品の実装動作に影響を与えず、また漏れたごくわずかな量の正圧の影響が少なく、部品動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した他のノズルユニット２２が真空吸着保持している部品をリリースせずに保持できるのであれば、第３のシール部材９６は省略可能である。

また、図４に示すように、第１、第２、および第３のシール部材９２、９４、および９６は、ベース部４０のノズルドラム収容孔４０ａの内周面４０ｂに形成された周溝４０ｇに収容されている。これに代わって、ノズルドラムユニット２０のノズルドラム２４の外周面２４ａに形成された周溝に、第１、第２、および第３のシール部材９２、９４、および９６が収容されてもよい。

本実施の形態によれば、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズルユニット２２それぞれに対して負圧または正圧を供給するための空圧回路が簡素化される。

具体的に説明すると、本実施の形態の場合、１つのノズルドラムユニット２０に１２基のノズルユニット２２が搭載されている。また、図５に示すように、１つのノズルドラムユニット２０において、３基のバルブ（電磁弁）５８、６０、および７０によって各ノズルユニット２２に負圧または正圧を選択的に供給することができる。したがって、各ノズルユニット２２のそれぞれに対して負圧または正圧を選択的に供給するバルブ（電磁弁）を設ける場合に比べて、すなわち１２基の電磁弁を設ける場合に比べて、本実施の形態の場合、ノズルドラムユニット２２に空圧を供給するための空圧回路を簡素化することができる。

以上、上述の実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施の形態によって限定されない。

例えば図３および図４に示すように、上述実施の形態のノズルドラムユニット２０は、１つのノズルユニット２２に対して第１および第２の開口２４ｂ、２４ｃを備える。第１の開口２４ｂは、ノズルユニット２２がノズル動作位置Ｐに位置するときに負圧または正圧を該ノズルユニット２２に選択的に供給するために使用される。一方、第２の開口２４ｃは、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したときに負圧を該ノズルユニット２２に連続的に供給するために使用される。これに代わって、共通の１つの開口が、１つのノズルユニット２２に対して、ノズル動作位置Ｐに位置するときは負圧または正圧を選択的に供給するために使用され、一方、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したときは負圧を連続的に供給するために使用されてもよい。

図８は別の実施の形態に係る部品実装装置の移載ヘッド１１２の断面図を示し、図９は図８のＣ−Ｃ線に沿って且つノズルドラムユニット１２０の回転中心線ＣＬと直交する移載ヘッド１１２の断面図である。なお、図８および図９においては、図１〜図７に示す上述の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号が付されている。

図８および図９に示すように、別の実施の形態に係る部品実装装置のノズルドラムユニット１２０のノズルドラム１２４は、ノズルドラムユニット１２０の回転中心線ＣＬを中心として環状に配置され、ノズルドラム１２４の外周面１２４ａに形成された複数の開口１２４ｂを備える。それぞれの開口１２４ｂは、それぞれのノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通している。

図９に示すように、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２に対応するノズルドラムユニット１２０の開口１２４ｂに対して接続プラグ８０が接続される。これにより、ノズル動作位置Ｐ上のノズルユニット２２に対して、ノズルドラムユニット１２０のノズルドラム１２４の開口１２４ｂと接続プラグ８０の内部流路８０ａとを介して、空圧供給ユニット１５０から負圧または正圧が選択的に供給される。

また、図９に示すように、ノズルドラムユニット１２０の回転によって周回するノズルドラムユニット１２０の複数の開口１２４ｂの周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニット１２０の回転中心線ＣＬの延在方向視（Ｚ軸方向視）で円弧状のマニホールド流路１４０ｅが、ノズルドラムユニット１２０のノズルドラム１２４の外周面１２４ａと対向するベース部１４０のノズルドラム収容孔１４０ａの内周面１４０ｂに形成されている。マニホールド流路１４０ｅは、連通孔１４０ｆを介して空圧供給ユニット１５０に接続されている。これにより、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間したノズルユニット２２に対して、ノズルドラムユニット１２０のノズルドラム１２４の開口１２４ｂ、ベース部１４０のマニホールド流路１４０ｅ、および連通孔１４０ｆを介して、空圧供給ユニット１５０から負圧が連続的に供給される。

図８および図９に示す実施の形態の場合、図１〜図７に示す実施の形態に比べて、閉塞プラグ８６が必要がなくなるなどの理由から、移載ヘッドの構成がシンプル化される。しかしながら、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通して接続プラグ８０を介して負圧または正圧が選択的に供給される開口１２４ｂと、ノズル動作位置Ｐから周回方向Ｒに離間した他のノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通してマニホールド流路１４０ｅを介して負圧を連続的に供給される開口１２４ｂとが近い（図１〜図７に示す実施の形態に比べて）。したがって、ノズルドラムユニット１２０とベース部１４０との間において、ノズル動作位置Ｐ上に位置するノズルユニット２２に対応する開口１２４ｂとノズル動作位置Ｐから離間した他のノズルユニット２２に対応する開口１２４ｂとの間で空気の往来がないように、接続プラグ８０をノズルドラムユニット１２０に対してより隙間なく接触させる必要がある。

また例えば、上述の実施の形態の場合、例えば図４に示すようにノズルドラムユニット２０の回転中心線ＣＬの延在方向とそのノズルドラムユニット２２に支持されたノズルユニット２２の昇降方向は同一方向（Ｚ軸方向）であるが、本発明の実施の形態はこれに限らない。

別の実施の形態のノズルドラムユニットは、例えば、底面に対して４５度傾いた外周面を備える円錐台形状であって、その中心軸が水平方向に対して４５度傾き、その４５度傾いた中心軸を回転中心線として回転する。このような円錐台形状のノズルドラムユニットの外周面に対して昇降方向が平行になるように、複数のノズルユニットがノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置されて支持されている。そして、ノズルユニットの昇降方向が鉛直方向に一致するノズルユニットの周回軌道上の位置が、ノズルユニットが部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作および部品をリリースして該部品を実装する動作を実行するノズル動作位置に設定されている。

また、上述の実施の形態の場合、図４、図６、図８、および図９に示すように、接続プラグ８０は、ノズルドラムユニット２０（１２０）のノズルドラム２４（１２４）の外周面２４ａ（１２４ａ）と弾性的に接触する。これに代わって、例えば、ノズルユニット２２が摺動可能に挿通されたアウタシャフト３０に弾性的に接触させることも可能である。広義には、ノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する開口２４ｂ（１２４ｂ）は、接続プラグ８０と接触できるノズルドラムユニット２０（１２０）の部分にあればよい。したがって、接続プラグ８０は、ノズルユニット２２（ノズル２６）の吸引孔２６ａに連通する開口２４ｂ（１２４ｂ）が形成されたノズルドラムユニット２０（１２０）の部分に弾性的に接触する。

本発明は、部品を吸着してリリース可能に保持する複数のノズル部が回転体（ノズルドラム）によって支持され、その回転体の回転によって複数のノズル部が該回転体の回転中心線を中心として周回するように構成されている部品実装装置および部品実装方法であれば適用可能である。

１０ 部品実装装置
２０ ノズルドラムユニット
２２ ノズル部（ノズルユニット）
２４ｂ 第１の開口
２４ｃ 第２の開口
２６ａ 吸引孔
４０ ノズルドラム収容部（ベース部）
４０ｅ 流路（マニホールド流路）
８０ 接続部（接続プラグ）
８６ 閉栓部（閉塞プラグ）
１２０ ノズルドラムユニット
１２４ｂ 開口
１４０ ノズルドラム収容部（ベース部）
１４０ｅ 流路（マニホールド流路）
ＣＬ 回転中心線
Ｐ ノズル動作位置

Claims (8)

1. 部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を有する部品実装装置において、
   複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットと、
   ノズルドラムユニットを回転可能に収容するノズルドラムユニット収容部と、
   ノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置するノズルドラムユニット回転機構と、
   を有し、
   ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の開口を備えており、
   ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続して負圧または正圧を選択的に供給する接続部と、
   ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続して負圧を連続的に供給し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路と、
   をさらに有する、部品実装装置。
2. 部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を有する部品実装装置において、
   複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットと、
   ノズルドラムユニットを回転可能に収容するノズルドラムユニット収容部と、
   ノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置するノズルドラムユニット回転機構と、
   を有し、
   ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第１の開口と、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通し、第１の開口と異なるノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向の位置で、ノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第２の開口と、
   を備えており、
   ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に対して接続して負圧または正圧を選択的に供給する接続部と、
   ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口を閉塞する閉栓部と、
   ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口に対して接続して負圧を連続的に供給し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路と、
   をさらに有する、部品実装装置。
3. ノズルドラムユニットが第１および第２の開口が形成された外周面を備え、
   ノズルドラムユニット収容部がノズルドラムユニットの外周面と対向する内周面を備え、
   ノズルドラムユニットの外周面とノズルドラムユニット収容部の内周面との間に該ノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向に並んだ状態で圧入され、ノズルドラムユニットを周回するリング状の第１および第２のシール部材をさらに有し、
   ノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向における第１のシール部材と第２のシール部材との間に、ノズルドラムユニットの第１および第２の開口が位置する、請求項２に記載の部品実装装置。
4. ノズルドラムユニットの外周面とノズルドラムユニット収容部の内周面との間に圧入され、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向における該ノズルドラムユニットの第１の開口と第２の開口との間に配置され、ノズルドラムユニットを周回するリング状の第３のシール部材をさらに有する、請求項３に記載の部品実装装置。
5. 流路が、ノズルドラムユニット収容部の内周面にノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在するように形成された有端状の溝によって構成されている、請求項３または４に記載の部品実装装置。
6. 接続部が、シール材料から作製され、付勢部材によって付勢されてノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズルの吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に接続する内部流路を備える、請求項２から５のいずれか一項に記載の部品実装装置。
7. 部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を用いて部品を実装する部品実装方法であって、
   複数のノズル部を環状に配置した状態で昇降可能に支持し、且つ複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置し、
   ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の開口を備えており、
   ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、且つノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続する接続部を介して、ノズル動作位置上のノズル部に負圧または正圧を選択的に供給することにより、ノズル動作位置上のノズル部が部品を吸着するまたは部品を実装し、
   ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの開口に対して接続し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路を介して、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部に負圧を連続的に供給することにより、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部が部品を保持し続ける、部品実装方法。
8. 部品を吸着してリリース可能に保持し、昇降する複数のノズル部を用いて部品を実装する部品実装方法であって、
   複数のノズル部を環状に配置した状態で支持し、複数のノズル部の環状配置の中心を通過する回転中心線を備えるノズルドラムユニットを回転させることにより、ノズル部が部品の吸着を開始して該部品をリリース可能に保持する動作およびノズル部が部品をリリースして該部品を実装する動作の少なくとも一方をノズル部が実行する位置であるノズル動作位置にノズル部を配置し、
   ノズルドラムユニットが、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通してノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第１の開口と、各ノズル部の吸引孔にそれぞれ連通し、第１の開口と異なるノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向の位置で、ノズルドラムユニットの回転中心線を中心として環状に配置された複数の第２の開口と、
   を備えており、
   ノズルドラムユニットに弾性的に接触し、ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第１の開口に対して接続する接続部を介して、ノズル動作位置上のノズル部に負圧または正圧を選択的に供給することにより、ノズル動作位置上のノズル部が部品を吸着するまたは部品を実装し、
   ノズル動作位置上のノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口を閉栓部によって閉塞し、
   ノズルドラムユニットの回転によって周回する該ノズルドラムユニットの第２の開口の周回軌道に沿って延在し、ノズルドラムユニットの回転によってノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部の吸引孔に連通するノズルドラムユニットの第２の開口に対して接続し、且つノズルドラムユニットの回転中心線の延在方向視で円弧状である流路を介して、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部に負圧を連続的に供給することにより、ノズル動作位置から周回方向に離間したノズル部が部品を保持し続ける、部品実装方法。

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