JP2015094732A - 磁気検知装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記磁界誘導層は、前記磁気センサと対向する第1の部分と、前記磁気センサから離れた第2の部分とを有しており、第1の部分の透磁率が第2の部分よりも低いことを特徴とするものである。
また本発明は、第2の部分の保磁力が第1の部分よりも低いものとなる。
この場合も、第2の部分の保磁力が第3の部分よりも低いものとなる。
Z 第1の方向
X 第2の方向
1 第1の抵抗変化部
2 第2の抵抗変化部
3 第3の抵抗変化部
4 第4の抵抗変化部
11 基板
20 磁気センサ
20a 第1の磁気検知部
20b 第2の磁気感知部
20c 非感知部
21 仮想面
22 固定磁性層
23 非磁性層
24 フリー磁性層
30 磁界誘導層
31 第1の部分
32 第2の部分
33 第3の部分
Claims (9)
- 第1の方向の磁界成分を誘導する磁界誘導層と、前記磁界誘導層の端部が対向する仮想面上に位置して前記第1の方向と直交する第2の方向へ感度軸を有する磁気センサとが設けられた磁気検知装置において、
前記磁界誘導層は、前記磁気センサと対向する第1の部分と、前記磁気センサから離れた第2の部分とを有しており、第1の部分の透磁率が第2の部分よりも低いことを特徴とする磁気検知装置。 - 第2の部分の保磁力が第1の部分よりも低い請求項1記載の磁気検知装置。
- 前記磁界誘導層は、鉄を含む合金で形成されており、鉄の含入量は、第1の部分が第2の部分よりも少ない請求項1または2記載の磁気検知装置。
- 前記磁気誘導層は、前記第2の部分よりも前記磁気センサから離れた第3の部分を有しており、第3の部分の透磁率が第2の部分よりも低い請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気検知装置。
- 第2の部分の保磁力が第3の部分よりも低い請求項4記載の磁気検知装置。
- 前記磁界誘導層は、鉄を含む合金で形成されており、鉄の含入量は、第3の部分が第2の部分よりも少ない請求項4または5記載の磁気検知装置。
- 前記第1の部分の鉄の含有量が11質量%以上で14質量%以下である請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検知装置。
- 前記第1の部分の第1の方向での厚さ寸法が、前記磁界誘導層の同方向での厚さ寸法の45%以下である請求項1ないし7のいずれかに記載の磁気検知装置。
- 前記磁気センサは、固定磁性層とフリー磁性層が非磁性層を介して積層された磁気抵抗効果素子を有しており、前記固定磁性層の固定磁化が第2の方向へ向けられている請求項1ないし8のいずれかに記載の磁気検知装置。
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