JP2015088964A - 振動子、発振器、電子機器及び移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】実装による振動特性への影響が小さく、振動特性のばらつきが小さい振動子を提供する。
【解決手段】振動子１は、基部１０、平面視で基部１０から延出されている一対の振動腕１２、及び平面視で基部１０から延出され、電極パッド２２，２４が表面に設けられている支持腕１６、を含む振動片２と、電極パッド２２，２４がバンプ５６，５８を介して取り付けられているベース基板と、を含み、電極パッド２２．２４の外縁に沿って溝３０が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動子、発振器、電子機器及び移動体に関する。

パーソナルコンピューター、プリンター、又はＤＶＤプレーヤー等の情報機器や、携帯電話、スマートフォン、又はタブレット端末等の移動体通信機器等において、小型軽量化が強く要求されており、それらに用いられている振動子についても小型化及び薄型化への対応が求められている。近年では、特許文献１や特許文献２において提案されているように、１対の振動腕の間に支持部を設けた形状の音叉型振動片が全長を小さくすることができ、小型化が図られるとして、多用されている。しかし、導電性接着剤により支持部を支持しているため、導電性接着剤の面積のばらつきに起因して、主振動の振動漏れのばらつきが生じるため、ＣＩ値がばらついてしまうという問題があった。そのため、特許文献３では、これを回避するために、導電性接着剤に比べ、接合面積のばらつきが小さい導電性バンプを用いて、振動片を実装する方法が開示されている。

特開２００２−１４１７７０号公報 米国特許出願公開第２００６／０２７９１７５号明細書 特開２００８−７９０１４号公報

しかしながら、特許文献３の導電性バンプを用いた実装方法では、振動片を取り付ける導電性バンプの接合面積の直径が約１００μｍであるため、より小型の振動片を取り付ける場合、接合面積のばらつきに起因して、屈曲振動の主振動に不要モードのスプリアスが結合してしまい、主振動の振動特性を劣化してしまうという問題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る振動子は、基部、平面視で前記基部から延出されている一対の振動腕、及び平面視で前記基部から延出され、電極パッドが表面に設けられている支持腕、を含む振動片と、前記電極パッドがバンプを介して取り付けられているベース基板と、を含み、前記電極パッドの外縁に沿って溝が設けられていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動片を支持する電極パッドの外縁に沿って溝が設けられているため、実装時の加圧によってパンプが押し潰され面積が広がったとしても、電極パッドの面積よりはみ出したバンプは電極パッドの外縁に沿った溝に入るので、バンプによる接合部の面積は電極パッドの面積と同等となる。そのため、常にバンプによる接合面積を一定に保つことができるので、不要なスプリアスとの結合を低減することができ、安定な振動特性を有する振動子を提供することができるという効果がある。

［適用例２］上記適用例に記載の振動子において、前記電極パッドは、平面視で四角形状であり、辺の長さが、５０μｍ以下であることを特徴とする。

本適用例によれば、電極パッドが四角形状であり、辺の長さを５０μｍ以下とすることで、バンプによる接合部の面積をより小さくすることができるため、不要なスプリアスとの結合をより低減することができ、より安定な振動特性を有する振動子を提供することができるという効果がある。

［適用例３］上記適用例に記載の振動子において、前記溝は、貫通孔であり、前記電極パッドは、前記貫通孔の内壁に設けられている導電膜を介して、前記表面とは反対側の裏面に設けられている電極パターンに接続されていることを特徴とする。

本適用例によれば、電極パッドの外縁に沿った溝を貫通孔とすることで、溝の場合と同様に、バンプによる接合部の面積を一定に保つことができる。また、貫通孔の内壁に導電膜を設けることができるため、断線が生じ易い支持腕の側面部への導電膜の形成が不要となり、断線による不良を低減することができる。よって、安定な振動特性と高い信頼性品質とを有する振動子を提供することができるという効果がある。

［適用例４］上記適用例に記載の振動子において、前記バンプが金を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、バンプの材料として金を用いると、半田や他の金属に比べ軟らかいため、接合がし易く高い信頼性品質を有する振動子を提供することができるという効果がある。

［適用例５］上記適用例に記載の振動子において、前記支持腕は、前記一対の振動腕の間に配置されていることを特徴とする。

本適用例によれば、支持腕を一対の振動腕の間に配置した構造の振動片とすることで、振動片の全長を小さくすることができ、より小型の振動子を提供することができるという効果がある。

［適用例６］本適用例に係る発振器は、上記適用例に記載の振動子と、回路と、を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、安定な振動特性を有する振動子を備えているため、安定な発振特性を有する発振器を構成することができるという効果がある。

［適用例７］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の振動子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、安定な振動特性を有する振動子を備えているため、安定な特性で高い信頼性評価を有する電子機器を構成することができるという効果がある。

［適用例８］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の振動子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、安定な振動特性を有する振動子を備えているため、高い信頼性評価を有する移動体を構成することができるという効果がある。

本発明の第１実施形態に係る振動子の構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線の断面図。 本発明の第１実施形態に係る振動子の図１（ｂ）のＳ部の拡大図。 本発明の第２実施形態に係る振動子の支持腕の概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ線の断面図。 （ａ），（ｂ）変形例１に係る支持腕の構造のバリエーションの例を示す概略平面図。 （ａ）〜（ｃ）変形例２に係る振動片の構造のバリエーションの例を示す概略平面図。 本発明の一実施形態に係る発振器の構造を示す概略断面図。 本発明の一実施形態に係る振動子を備える電子機器を示す概略図であり、（ａ）はモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図、（ｂ）は携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。 本発明の一実施形態に係る振動子を備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図。 本発明に係る振動子を備える移動体としての自動車の構成を示す斜視図。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

［振動子］
＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態に係る振動子の一例として、音叉型振動片を有する振動子を挙げ、図１（ａ），（ｂ）と図２を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動子１の構成を示す概略図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すＡ−Ａ線の断面図である。なお、図１（ａ）において、振動子１の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材５４を取り外した状態を図示している。図２は、図１（ｂ）のＳ部の拡大図である。また、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸を図示している。更に、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視において、＋Ｚ軸方向の面を上面、−Ｚ軸方向の面を下面として説明する。

振動子１は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、導電膜の電極２０が形成された振動片２と、振動片２を収容するための凹陥部が形成されているパッケージ本体４０と、ガラス、セラミック、金属等からなる蓋部材５４と、から構成されている。なお、振動片２を収容するキャビティー６０内は減圧雰囲気あるいは窒素等の不活性気体雰囲気に気密封止されている。

振動片２は、水晶等の圧電材料で構成され、基部１０と、基部１０から延出されている一対の振動腕１２と、基部１０から延出され、一対の振動腕１２の間に配置され、四角形状の電極パッド２２，２４が裏側の表面（下面）に設けられている支持腕１６と、から構成されている。この構造の振動片２とすることで、振動片２の全長を小さくすることができ、より小型の振動子１を提供することができるという効果がある。また、電極パッド２２，２４の外縁に沿って有底の溝３０が形成されている。更に、一対の振動腕１２の基部１０が連結されている側とは反対側の先端に錘部１４がそれぞれ設けられている。よって、振動腕１２は、基部１０から延出している一対の振動腕１２と、錘部１４とから構成されている。錘部１４を設けることによって、振動片２の小型化を図ることができたり、一対の振動腕１２の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。なお、錘部１４は、必要に応じて複数の幅（Ｘ軸方向の長さ）を有していても良く、省略しても良い。

パッケージ本体４０は、図１（ｂ）に示すように、第１の基板４２と、第２の基板４４と、外部端子５０と、封止材５２と、を積層して形成されている。外部端子５０は、第１の基板４２の外部側の底面に複数形成されている。また、第１の基板４２の上面の所定の位置には、図示しない貫通電極や層間配線を介して、外部端子５０と電気的に導通する電極端子４６，４８とが設けられている。第２の基板４４は中央部が除去された環状体であり、振動片２を収容するキャビティー６０が形成されている。第２の基板４４の上部周縁に、低融点ガラス等の封止材５２が形成されている。

蓋部材５４は、好ましくは、光を通過する材料、例えば、ホウケイ酸ガラス等により形成されており、封止材５２により接合されることで、パッケージ本体４０のキャビティー６０内を気密封止している。これにより、パッケージ本体４０の蓋封止後において、外部からレーザー光を蓋部材５４を透過させて振動片２の先端の錘部１４に照射し、ここに設けた電極を一部蒸散させることにより、質量削減方式による周波数調整をすることができるようになっている。なお、このような周波数調整をしない場合には、蓋部材５４をコバール合金等の金属材料で形成することができる。

パッケージ本体４０のキャビティー６０内に収容された振動片２は、支持腕１６に形成された電極パッド２２，２４とパッケージ本体４０の第１の基板４２の上面に形成された電極端子４６，４８とが位置合わせされ、バンプ５６，５８を介して接合されている。つまり、支持腕１６の電極パッド２２と第１の基板４２上の電極端子４６とがバンプ５６を介して、また、支持腕１６の電極パッド２４と第１の基板４２上の電極端子４８とがバンプ５８を介して、それぞれ接合されている。

バンプ５６，５８が実装時の加圧によって押し潰され面積が広がったとしても、図２に示すように、電極パッド２２，２４の外縁に沿って有底の溝３０が設けられているため、電極パッドの面積よりはみ出したバンプ５６，５８は、溝３０に入り込む。そのため、バンプ５６，５８による接合部の面積は電極パッド２２，２４の面積と同等となり、常にバンプ５６，５８による接合面積を一定に保つことができる。よって、不要なスプリアスとの結合を低減することができ、安定な振動特性を有する振動子１を提供することができるという効果がある。

なお、四角形状の電極パッド２２，２４の辺の長さを５０μｍ以下とすることが好ましく、バンプ５６，５８による接合部の面積をより小さくすることができ、不要なスプリアスとの結合をより低減することができるため、より安定な振動特性を有する振動子１を提供することができるという効果がある。また、バンプ５６，５８の材料は、例えば、金あるいは半田等からなり、電気的な接続を図るとともに機械的な接合を兼ねている。なお、金は、半田や他の金属に比べ軟らかいため、接合がし易く高い信頼性品質を有する振動子１を得ることができるので、より好ましい。

次に、振動片２を実装する振動子１の製造方法について、図１（ｂ）を参照しながら説明する。
振動片２を実装する振動子１の製造方法はフリップチップ実装と言われる方法であり、振動片２を吸着するコレットを用いて、ベース基板上に設けられたバンプ５６，５８と接合する。

先ず、ベース基板となるパッケージ本体４０を準備し、バンプボンダー等によりパッケージ本体４０のキャビティー６０内で、第１の基板４２上に設けられた電極端子４６，４８の上に、バンプ５６，５８をそれぞれ形成する。その後、コレットを振動片２に近接し、振動片２を吸着する。

次に、電極パッド２２をバンプ５６に、電極パッド２４をバンプ５８にそれぞれ位置合わせし、当接する。その後、振動片２を吸着しているコレットをパッケージ本体４０側に下降しバンプ５６，５８に圧力を加えて押し潰し、電極パッド２２とバンプ５６とを、また、電極パッド２４とバンプ５８とを接合する。
その後、振動片２の吸着を解除し、コレットをパッケージ本体４０側から上昇させることで、振動片２のフリップチップ実装が完了する。

次に、パッケージ本体４０の第２の基板４４の上面に形成した低融点ガラス等の封止材５２上に、蓋部材５４を載置し、減圧雰囲気中あるいは窒素等の不活性気体雰囲気中で、封止材５２を溶融し密着することで気密封止され、振動子１が完成する。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る振動子の支持腕の構造について、図３を参照して説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る振動子１ａの支持腕１６ａの概略図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）に示すＢ−Ｂ線の断面図である。
以下、第２実施形態に係る支持腕１６ａの構造について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の構成や事項については、同符号を付してその説明を省略する。

振動子１ａは、振動片２ａの支持腕１６ａの裏面（下面）に四角形状の電極パッド２２ａ，２４ａと、電極パッド２２ａ，２４ａの外縁に沿って貫通孔３２と、が形成されている。また、電極パッド２２ａ，２４ａと支持腕１６ａとは、接続部３４により連結されている。更に、電極パッド２２ａ，２４ａは、電極パッド２２ａ，２４ａが形成された支持腕１６ａの側面と支持腕１６ａの表面（上面）とに形成された導電膜の電極２０ａにより１対の振動腕に形成された電極と電気的に接続され、実装することでバンプを介してパッケージの電極端子と電気的に接続されている。

このような構成とすることにより、前述した第１実施形態の有底の溝３０と同様に、バンプ５６，５８による接合部の面積を一定に保つことができる。また、貫通孔３２の内壁に導電膜の電極２０ａを設けることができるため、断線が生じ易い支持腕１６ａの側面部への導電膜の形成が不要となり、断線による不良を低減することができる。よって、安定な振動特性と高い信頼性品質とを有する振動子１ａを提供することができるという効果がある。

＜変形例１＞
次に、図４（ａ），（ｂ）は、変形例１に係る振動子であり、振動子の支持腕の構造のバリエーションの例を示す概略平面図である。

図４（ａ）は、支持腕１６ｂの裏面（下面）に形成された電極パッド２４ｂと溝３０ｂの形状を略円形とした例である。電極パッド２４ｂの形状と、電極パッド２４ｂの外縁に沿って形成された溝３０ｂの形状とが略円形に形成されている。また、電極パッド２４ｂは支持腕１６ｂの裏面（下面）と側面に形成された導電膜の電極２０ｂにより１対の振動腕に形成された電極と電気的に接続され、実装することでバンプを介してパッケージの電極端子と電気的に接続されている。
振動片２ｂの電極パッド２４ｂの形状が略円形であっても、バンプによる接合面積を一定に保つことができるため、不要なスプリアスとの結合を低減することができ、安定な振動特性を有する振動子１ｂを提供することができるという効果がある。なお、本実施形態では、溝３０ｂの形状が略円形の例を示し説明したが、電極パッド２４ｂと接しない外周部の形状を四角形状あるいは矩形としても良い。

図４（ｂ）は、支持腕１６ｃの裏面（下面）に形成された電極パッド２４ｃが略円形で、貫通孔３２ｃの内周形状が略円形で、且つ外周形状が四角形とした例である。電極パッド２４ｃの形状は略円形で、接続部３４ｃにより支持椀１６ｃと連結されている。貫通孔３２ｃの内周形状は電極パッド２４ｃと接続部３４ｃに沿った形状に、また、貫通孔３２ｃの外周形状は矩形に形成されている。更に、電極パッド２４ｃは電極パッド２４ｃが形成された側面と支持腕１６ｃの表面（上面）とに形成された導電膜の電極２０ｃにより１対の振動腕に形成された電極と電気的に接続され、実装することでバンプを介してパッケージの電極端子と電気的に接続されている。
振動片２ｃの電極パッド２４ｃの形状が略円形であり、周辺に貫通孔３２ｃが形成されているため、バンプによる接合面積を一定に保つことができ、不要なスプリアスとの結合を低減し、安定な振動特性を有する振動子１ｃを提供することができるという効果がある。なお、本実施形態では、貫通孔３２ｃの外周形状が四角形の例を示し説明したが、矩形や図４（ａ）に示すように、電極パッド２４ｂの形状と同様に略円形としても良い。

＜変形例２＞
次に、図５（ａ）〜（ｃ）は、変形例２に係る振動子であり、振動片の構造のバリエーションの例を示す概略平面図である。なお、電極は省略してある。また、図における電極パッド及び溝は四角形で説明しているが、それぞれ略円形であっても良く、それぞれが四角形状や矩形や略円形の組み合わせでも良い。

図５（ａ）は、１対の振動腕１２ｄの両側に１対の支持腕１６ｄが配置され、基部１０ｄにより連結された振動片２ｄの例である。１対の振動腕１２ｄの両側に配置された１対の支持腕の裏面（下面）にそれぞれ溝に囲まれた電極パッド２２ｄ，２４ｄが形成されている。よって、バンプによる接合面積を一定に保つことができ、不要なスプリアスとの結合を低減し、安定な振動特性を有する振動子１ｄを提供することができるという効果がある。

図５（ｂ）は、基部１０ｅから延出する１対の振動腕１２ｅと反対側の基部１０ｅに連結された支持腕１６ｅを有する振動片２ｅの例である。１対の振動腕１２ｅと反対側の基部１０ｅに連結された支持腕１６ｅの基部１０ｅから延出する１対の振動腕１２ｅと交わる方向の両端の裏面（下面）にそれぞれ溝に囲まれた電極パッド２２ｅ，２４ｅが形成されている。よって、バンプによる接合面積を一定に保つことができ、不要なスプリアスとの結合を低減し、安定な振動特性を有する振動子１ｅを提供することができるという効果がある。

図５（ｃ）は、図５（ｂ）に示す振動片２ｅと同様に、基部１０ｆから延出する１対の振動腕１２ｆと反対側の基部１０ｆに連結された支持腕１６ｆを有する振動片２ｆの例である。基部１０ｆに連結された支持腕１６ｆは基部１０ｆから延出する１対の振動腕１２ｆと交わる方向を長辺とする矩形状であり、１対の振動腕１２ｆのＸ軸方向の中心に対し、＋Ｘ軸方向が長くなるように配置されており、支持腕１６ｆの裏面（下面）にそれぞれ溝に囲まれた電極パッド２２ｆ，２４ｆが形成されている。よって、バンプによる接合面積を一定に保つことができ、不要なスプリアスとの結合を低減し、安定な振動特性を有する振動子１ｆを提供することができるという効果がある。

［発振器］
次に、本発明の振動子１を適用した発振器３について説明する。
図６は、本発明に係る発振器３の構造を示す概略断面図である。
発振器３は、振動片２と、振動片２を収納するパッケージ本体７０と、振動片２を駆動するための発振回路を有するＩＣチップ（チップ部品）７２と、ガラス、セラミック、金属等からなる蓋部材５４等で構成されている。なお、振動片２を収容するキャビティー６０内はほぼ真空の減圧空間となっている。

パッケージ本体７０は、図６に示すように、第１の基板４２と、第２の基板４４と、第３の基板６２と、第４の基板６４と、外部端子５０と、を積層して形成されている。また、パッケージ本体７０は、上面に開放するキャビティー６０と、下面に開放するキャビティー８０とを有している。

外部端子５０は、第４の基板６４の外部底面に複数設けられている。また、外部端子５０は、第１の基板４２の上面に設けられた電極端子４６，４８や第３の基板６２の下面に設けられた電極端子６６と、図示しない貫通電極や層間配線を介して、電気的に接続されている。

パッケージ本体７０のキャビティー６０は、前述した本実施形態の振動子１と同様に、振動片２に設けられた電極パッド２２，２４と、パッケージ本体７０の第１の基板４２の上面に設けられた電極端子４６，４８と、がそれぞれ対応するように位置合わせされ、バンプ５６，５８を介して接合されている。その後、パッケージ本体７０の上面に形成した低融点ガラス等の封止材５２上に、蓋部材５４を載置し、減圧雰囲気中あるいは窒素等の不活性気体雰囲気中で、封止材５２を溶融し密着することで気密封止されている。

一方、パッケージ本体７０のキャビティー８０内には、ＩＣチップ７２が収容されており、このＩＣチップ７２は、ろう材あるいは接着剤等の接合部材７４を介して第１の基板４２の下面に固定されている。また、キャビティー８０内には、少なくとも２つの電極端子６６が設けられている。電極端子６６は、ボンディングワイヤー７８によってＩＣチップ７２と電気的に接続されている。また、キャビティー８０内には樹脂材料７６が充填されており、この樹脂材料７６によって、ＩＣチップ７２が封止されている。

ＩＣチップ７２は、振動片２の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ７２によって振動片２を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。

［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る電子部品としての振動子１を適用した電子機器について、図７（ａ），（ｂ）、図８に基づき説明する。
図７は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器を示す概略図であり、図７（ａ）はモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューター１１００の構成を示す斜視図、図７（ｂ）は携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。

図７（ａ）において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する電子部品としての振動子１が内蔵されている。

図７（ｂ）において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４及び送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品（タイミングデバイス）としての振動子１が内蔵されている。

図８は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのデジタルカメラ１３００の構成を示す斜視図である。なお、図８には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
デジタルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１０００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部１０００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１０００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１３３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１３４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１３３０や、パーソナルコンピューター１３４０に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ１３００には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品としての振動子１が内蔵されている。

上述したように、電子機器として安定な振動特性を有する振動子１が活用されることにより、より高性能の電子機器を提供することができる。

なお、本発明の一実施形態に係る電子部品としての振動子１は、図７（ａ）のパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図７（ｂ）の携帯電話機１２００、図８のデジタルカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。

［移動体］
次いで、本発明の一実施形態に係る振動子１を適用した移動体について、図９に基づき説明する。
図９は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える移動体としての自動車１４００の構成を示す斜視図である。
自動車１４００には本発明に係る振動子１を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１４００には、タイヤ１４０１を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット１４０２が搭載されている。また、他の例としては、振動子１は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

上述したように、移動体として、安定な振動特性を有する振動子１が活用されることにより、より高性能の移動体を提供することができる。

以上、本発明の振動子１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ、発振器３、電子機器及び移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていても良い。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせても良い。

１…振動子、２…振動片、３…発振器、１０…基部、１２…振動腕、１４…錘部、１６…支持腕、２０…電極、２２，２４…電極パッド、３０…溝、３２…貫通孔、３４…接続部、４０，７０…パッケージ本体、４２…第１の基板、４４…第２の基板、４６，４８，６６…電極端子、５０…外部端子、５２…封止材、５４…蓋部材、５６，５８…バンプ、６０，８０…キャビティー、６２…第３の基板、６４…第４の基板、７２…ＩＣチップ、７４…接合部材、７６…樹脂材料、７８…ボンディングワイヤー、１０００…表示部、１１００…パーソナルコンピューター，１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…デジタルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１３３０…テレビモニター、１３４０…パーソナルコンピューター、１４００…自動車、１４０１…タイヤ、１４０２…電子制御ユニット。

Claims (8)

1. 基部、平面視で前記基部から延出されている一対の振動腕、及び平面視で前記基部から延出され、電極パッドが表面に設けられている支持腕、を含む振動片と、
   前記電極パッドがバンプを介して取り付けられているベース基板と、
   を含み、
   前記電極パッドの外縁に沿って溝が設けられていることを特徴とする振動子。
2. 請求項１において、
   前記電極パッドは、平面視で四角形状であり、
   辺の長さが、５０μｍ以下であることを特徴とする振動子。
3. 請求項１又は２において、
   前記溝は、貫通孔であり、
   前記電極パッドは、前記貫通孔の内壁に設けられている導電膜を介して、前記表面とは反対側の裏面に設けられている電極パターンに接続されていることを特徴とする振動子。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   前記バンプが金を含むことを特徴とする振動子。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項において、
   前記支持腕は、前記一対の振動腕の間に配置されていることを特徴とする振動子。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動子と、
   回路と、を含むことを特徴とする発振器。
7. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
8. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。

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