JP2015088552A - 多数個取りコイル内蔵配線基板 - Google Patents
多数個取りコイル内蔵配線基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015088552A JP2015088552A JP2013224392A JP2013224392A JP2015088552A JP 2015088552 A JP2015088552 A JP 2015088552A JP 2013224392 A JP2013224392 A JP 2013224392A JP 2013224392 A JP2013224392 A JP 2013224392A JP 2015088552 A JP2015088552 A JP 2015088552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- plating
- coil
- wiring
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
【課題】 絶縁層にめっき用パターンを設けて、電解めっき法を用いて配線導体にめっき層を安定的に形成することができる多数個取りコイル内蔵配線基板を提供する。
【解決手段】 絶縁層3、4と、絶縁層3、4との間にコイル用パターン2aが設けられている第3の絶縁層2とを含んでおり、電解めっき法を用いて配線導体3a、4aにめっき層を設ける多数個取りコイル内蔵配線基板10であって、電流供給用パターン8、第1〜第3のめっき用パターン6a、6b、6cとを備えており、第2および第3めっき用パターン6b、6cは配線導体3aまたは4aに電気的に接続されるとともにコイル用パターン2aを介して第1のめっき用パターン6aおよび電流供給用パターン8に電気的に接続されており、コイル用パターン2aは、第2および第3のめっき用パターン6cよりも低抵抗である。
【選択図】 図1
【解決手段】 絶縁層3、4と、絶縁層3、4との間にコイル用パターン2aが設けられている第3の絶縁層2とを含んでおり、電解めっき法を用いて配線導体3a、4aにめっき層を設ける多数個取りコイル内蔵配線基板10であって、電流供給用パターン8、第1〜第3のめっき用パターン6a、6b、6cとを備えており、第2および第3めっき用パターン6b、6cは配線導体3aまたは4aに電気的に接続されるとともにコイル用パターン2aを介して第1のめっき用パターン6aおよび電流供給用パターン8に電気的に接続されており、コイル用パターン2aは、第2および第3のめっき用パターン6cよりも低抵抗である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、絶縁層と同時焼成されて形成されるコイル用パターンが設けられた多数個取りコイル内蔵配線基板に関するものである。
従来、コイル用パターンを内蔵したコイル内蔵配線基板は、コイル用パターンが絶縁層の内部に設けられており、絶縁層の上面または下面に半導体チップやチップ部品を実装するための配線導体等が設けられている。このようなコイル内蔵配線基板としては、例えば、特許文献1に開示されたものがある。
このようなコイル内蔵配線基板は、多数個での取り扱いを容易なものとするとともにコイル内蔵配線基板の作製を効率よく行なうために、配線基板領域が縦横に配列された母基板から多数個のコイル内蔵配線基板を同時集約的に得ることができる、いわゆる多数個取りコイル内蔵配線基板の状態で作製される。また、多数個取りコイル内蔵配線基板の配線導体等の表面にめっき層を形成するために、めっき用パターンを必要としない無電解めっき法が用いられている。しかしながら、無電解めっき法を用いた場合には、母基板の表面に不要なめっき金属が析出する不具合(いわゆるめっき広がり等)あるいは必要なめっき層が形成されない無めっき等が発生しやすいという問題点があった。また、多数個取りコイル内蔵配線基板に電解めっき法を用いて配線導体等にめっき層を形成する場合には、外周部に電解めっき用の電流供給用パターンを設けるとともに電流供給用パターンに電気的に接続されためっき用パターンが配線基板領域に設けられており、この電解めっき用の電流供給用パターンから離れている中央部付近では、めっき用パターンの配線抵抗が高くなり電流が低下して、配線導体層等のめっき層の厚みが低下しやすくなるという問題点もあった。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、めっき用パターンと低抵抗のコイル用パターンとを電気的に接続して配線抵抗が高くなるのを抑制することにより、電解めっき法を用いて配線導体にめっき層を安定的に形成することができる多数個取りコイル内蔵配線基板を提供することにある。
本発明の一態様に係る多数個取りコイル内蔵配線基板は、上面に第1の配線導体が形成された第1の絶縁層と、下面に第2の配線導体が形成された第2の絶縁層と、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に設けられた、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続された、複数層のコイル用パターンが設けられた第3の絶縁層とを含むコイル内蔵配線基板の配線基板領域が複数個縦横に配列されているとともに、外周部に捨て代領域が形成された、電解めっき法を用いて前記第1の配線導体および前記第2の配線導体にめっき層を設ける多数個取りコイル内蔵配線基板であって、前記捨て代領域に設けられた電流供給用パターンと、該電流供給パターンの下方または上方に位置しており、前記捨て代領域から前記配線基板領域に延在している、前記電流供給パターンに電気的に接続されるとともに前記コイル用パターンに電気的に接続された第1のめっき用パター
ンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続された、前記コイル用パターンを介して前記第1のめっき用パターンに電気的に接続されるとともに縦方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンに電気的に接続された第2のめっき用パターンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続されるとともに横方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンを介して隣接する前記配線基板領域の前記第1のめっき用パターンに電気的に接続された第3のめっき用パターンとを備えており、前記コイル用パターンは、前記第2のめっき用パターンおよび第3のめっき用パターンよりも低抵抗であることを特徴とするものである。
ンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続された、前記コイル用パターンを介して前記第1のめっき用パターンに電気的に接続されるとともに縦方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンに電気的に接続された第2のめっき用パターンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続されるとともに横方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンを介して隣接する前記配線基板領域の前記第1のめっき用パターンに電気的に接続された第3のめっき用パターンとを備えており、前記コイル用パターンは、前記第2のめっき用パターンおよび第3のめっき用パターンよりも低抵抗であることを特徴とするものである。
本発明の多数個取りコイル内蔵配線基板によれば、めっき用パターンと低抵抗のコイル用パターンとを電気的に接続して配線抵抗が高くなるのを抑制することにより、電解めっき法を用いて配線導体にめっき層を安定的に形成することができる。
以下、本発明の実施形態に係る多数個取りコイル内蔵配線基板について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、多数個取りコイル内蔵配線基板およびコイル内蔵配線基板は、説明の便宜上、直交座標系XYZを定義するとともに、Z方向の正側を上方として、上面(表面)もしくは下面の語を用いるものとする。
また、実施形態等の説明において、既に説明した構成と同一若しくは類似する構成については、同一の符号を付して説明を省略することがある。
本発明の実施の形態に係る多数個取りコイル内蔵配線基板10について、図1乃至図8を参照しながら以下に説明する。なお、コイル内蔵配線基板1は、多数個取りコイル内蔵配線基板10から個片体されるものである。
実施の形態に係る多数個取りコイル内蔵配線基板10のコイル内蔵配線基板1は、図1
に示すような構成を備えている。コイル内蔵配線基板1は、上面に第1の配線導体3aが形成された第1の絶縁層3と、下面に第2の配線導体4aが形成された第2の絶縁層4と、第1の絶縁層3と第2の絶縁層4との間に設けられた、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続された、複数層のコイル用パターン2aが設けられた第3の絶縁層2とを含んでおり、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、コイル内蔵配線基板1の配線基板領域1aが複数個縦横に配列されており、外周部に捨て代領域10aが設けられている。
に示すような構成を備えている。コイル内蔵配線基板1は、上面に第1の配線導体3aが形成された第1の絶縁層3と、下面に第2の配線導体4aが形成された第2の絶縁層4と、第1の絶縁層3と第2の絶縁層4との間に設けられた、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続された、複数層のコイル用パターン2aが設けられた第3の絶縁層2とを含んでおり、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、コイル内蔵配線基板1の配線基板領域1aが複数個縦横に配列されており、外周部に捨て代領域10aが設けられている。
そして、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電解めっき法を用いて第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aにめっき層を形成するためのめっき用パターンが設けられている。また、コイル内蔵配線基板1には、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの配置に応じて、第1〜第6のめっき用パターン6a〜6fが設けられている。なお、説明の便宜上、第1〜第6のめっき用パターン6a〜6fをまとめた総称としてめっき用パターンということがある。また、図1および図7において、コイル内蔵配線基板1の上下方向の電気的な接続関係が点線によって示されており、それぞれはビア導体7によって上下方向で電気的に接続されている。なお、ビア導体7は、多数個取りコイル内蔵配線基板10において上下方向の電気的な接続をするものとして用いている。図1および図7において、点線で示す部分がビア導体7となる。
多数個取りコイル内蔵配線基板10は、捨て代領域10aに設けられた電流供給用パターン8と、電流供給パターン8の下方または上方に位置しており、捨て代領域10aから配線基板領域1aに延在している、コイル用パターン2aに電気的に接続された第1のめっき用パターン6aと、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続された、コイル用パターン2aを介して第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されるとともに縦方向に隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aに電気的に接続された第2のめっき用パターン6bと、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続されるとともに横方向に隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aを介して隣接する配線基板領域1aの第1のめっき用パターン6aに電気的に接続された第3のめっき用パターン6cとを備えている。そして、コイル用パターン2aは、第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cよりも低抵抗になるように設けられている。これらのめっき用パターンを用いることにより、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの表面には、ニッケルまたは金等のめっき層(図示せず)が設けられる。
コイル内蔵配線基板1は、図1および図2に示すように、第3の絶縁層2の上面側には第1の絶縁層3が配置され、また、第3の絶縁層2の下面側には第2の絶縁層4が配置されており、これらの第1の絶縁層3と第2の絶縁層4とからなる一対の絶縁層で第3の絶縁層2を挟持している。すなわち、第3の絶縁層2は、上下面が一対の絶縁層3、4で挟持されている。また、第3の絶縁層2は、図1に示すように、内部に複数層のコイル用パターン2aが設けられている。
また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、図1および図2に示すように、第3の絶縁層2に第1のめっき用パターン6aおよび第2のめっき用パターン6bがそれぞれ設けられており、第2の絶縁層4に第3のめっき用パターン6cが設けられている。
図1および図7において、複数のコイル用パターン2a同士の上下方向の電気的な接続関係、コイル用導体パターン2aとめっき用パターンとの上下方向の電気的な接続関係、コイル用パターン2aと第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aとの上下方向の電気的な接続関係または配線パターン5と第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aとの上下方向の電気的な接続関係等が点線によって示されており、それぞれは、ビア導体7
を用いて上下方向に電気的に接続されている。これらのビア導体7は、グリーンシートに貫通孔を設けて、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属粉末の金属材料を貫通孔に充填することで形成される。
を用いて上下方向に電気的に接続されている。これらのビア導体7は、グリーンシートに貫通孔を設けて、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属粉末の金属材料を貫通孔に充填することで形成される。
第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2は、同じ絶縁材料が用いられていてもよく、また、第3の絶縁層2は、第1の絶縁層3と第2の絶縁層4とは異なる絶縁材料を用いてもよい。
第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2は、例えば、フェライト材料からなる場合には、多数個取りコイル内蔵配線基板10の全体がフェライト層で構成されることなり、ZnFe2O4、MnFe2O4、FeFe2O4、CoFe2O4、NiFe2O4、BaFe2O4、SrFe2O4およびCuFe2O4のうちの少なくとも1種類のフェライト材料を含むことによって、より高い透磁性率が得られるので好ましい。また、コイル内蔵配線基板1は、図1では、第3の絶縁層2に2つのコイル用パターン2aが設けられている、すなわち、コイル内蔵配線基板1は、図1では、第3の絶縁層2に2層のコイル用パターン2aが設けられている場合を例示しているが、コイル用パターン2aの層数は、これに限定されない。
また、第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2がフェライト材料からなるフェライト層である場合には、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、フェライト層用のフェライトグリーンシートを積層して焼成することで作製される。フェライトグリーンシートは、強磁性フェライト粉末が用いられており、この強磁性フェライト粉末は、例えば、FeFe2O4とCuO、ZnOまたはNiOとを予め仮焼することにより作製されるものである。また、フェライト粉末は、平均粒径が0.1(μm)〜0.9(μm)の範囲にあり、粒形状が球形状に近いものが望ましい。
これは、フェライト粉末は、平均粒径が0.1(μm)以上であると、フェライトグリーンシートの製作においてフェライト粉末の均一な分散が容易となり、また、平均粒径が0.9(μm)以下であると、フェライトグリーンシートの焼結温度を低く抑えることができるからである。また、フェライトグリーンシートは、フェライト粉末の粒径が均一で球状に近いことにより均一な焼結状態を得ることができる。フェライト粉末の粒径が上記の範囲内であると、局所的に結晶粒の成長が低下するといったこともなく、焼結後に得られるフェライト層の透磁率が安定しやすい。
コイル用パターン2aは、図1に示すように、第3の絶縁層2に配置されており、スパイラル形状あるいはU字形状を有している。コイル用パターン2aは、第3の絶縁層2に埋設されるように設けられている。また、コイル用パターン2aは、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aと同様の金属粉末の焼結体であるメタライズからなるものであり、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属材料からなる。また、コイル用パターン2aの厚みは、例えば、50(μm)〜200(μm)である。また、コイル用パターン2aの幅は、例えば、150(μm)〜600(μm)である。
また、コイル用パターン2aは、第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cよりも低抵抗となるように設けられている。コイル用パターン2aは、例えば、2(mΩ)〜20(mΩ)の抵抗値を有しており、第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cは、例えば、100(mΩ)〜500(mΩ)の抵抗値を有している。このように、コイル用パターン2aは、第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cよりも低い抵抗値を有しており、第2のめっき用パターン6bまたは第3のめっき用パターン6cは、コイル用パターン2aを介して第1のめっき用パ
ターン6aに電気的に接続されている。
ターン6aに電気的に接続されている。
コイル用パターン2aは、厚みまたは幅を大きくすることによって低抵抗化することができる。また、コイル用パターン2aは、低抵抗の材料を用いることによって低抵抗化することができる。コイル用パターン2aは、添加物等の添加量を調整することよって、全体の抵抗を下げるとともにインダクタ特性を向上させることができる。このように、コイル用パターン2aは、添加物等の添加量を調整することで低抵抗化することもできる。
また、コイル用パターン2aは、次のようにして第3の絶縁層2に設けられる。例えば、第3の絶縁層2のコイル用パターン2aに該当する部分の絶縁層を金型加工またはレーザー加工等などを用いてコイル用パターン2aの形状となるように除去する。そして、絶縁層が除去された部分に印刷法またはプレス充填法等の埋め込み手段を用いてコイル用パターン2a用の導体ペーストを充填することによって第3の絶縁層2にコイル用パターン設けて、焼成することによって第3の絶縁層2にコイル用パターン2aが設けられる。また、コイル用パターン2a用の導体ペーストは、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属粉末に、適当なバインダー、溶剤等を混練して作製する。
また、図1および図2に示すように、第1の絶縁層3の上面には第1の配線導体3aが形成されており、また、第2の絶縁層4の下面には第2の配線導体4aが形成されている。第1の配線導体3aは、半導体素子等の電子部品に電気的に接続されるものであり、また、第2の配線導体4aは、外部の回路基板等に電気的に接続されるものである。なお、図2(a)は、コイル内蔵配線基板1においてめっき用パターンを除いた模式的な縦断面図であり、図2(b)は、コイル内蔵配線基板1においてめっき用パターンを設けた模式的な縦断面図である。
第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、低抵抗金属材料の粉末の焼結体であるメタライズからなるものであり、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属材料からなるものであり、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のフェライトグリーンシートに第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4a用の導体ペーストを印刷することによって第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aとなる配線導体パターンを形成しておき、第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートを積層して同時焼成することによって形成される。
配線パターン5は、図1および図2に示すように、第1の絶縁層3に設けられており、ビア導体7を介して第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに電気的に接続されるとともに第4のめっき用パターン6dに電気的に接続されており、また配線パターン5は、第2の絶縁層4に設けられており、ビア導体7を介して第1の配線導体3aおよび第2
の配線導体4aに電気的に接続されるとともに第3のめっき用パターン6cに電気的に接続されている。配線パターン5は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aと同様の金属粉末の焼結体であるメタライズからなるものであり、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属材料からなる。また、配線パターン5の形状(例えば、線幅または線長)は、コイル内蔵配線基板1の第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aの配置または構成等によって適宜設定される。
の配線導体4aに電気的に接続されるとともに第3のめっき用パターン6cに電気的に接続されている。配線パターン5は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aと同様の金属粉末の焼結体であるメタライズからなるものであり、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の金属材料からなる。また、配線パターン5の形状(例えば、線幅または線長)は、コイル内蔵配線基板1の第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aの配置または構成等によって適宜設定される。
このように、コイル内蔵配線基板1は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aが、配線パターン5またはコイル用パターン2aを介して電気的に接続されることになる。したがって、コイル内蔵配線基板1は、第1の配線導体3aに電子部品が搭載されて電気的に接続されると、例えば、外部の回路基板からの駆動電流または電気信号等が第2の配線導体4aからコイル用パターン2aまたは配線パターン5を経由して、電子部品に供
給されることになる。
給されることになる。
また、コイル内蔵配線基板1は、第3の絶縁層2がフェライト層であり、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4が、ガラスセラミック絶縁層であってもよい。この場合には、フェライト層の第3の絶縁層2の上面および下面には、図1に示すように、ガラスセラミック絶縁層の第1の絶縁層3およびガラスセラミック絶縁層の第2の絶縁層4がそれぞれ設けられることになり、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4は、ガラス材料を有するガラスセラミックスからなるものである。
第1の絶縁層3および第2の絶縁層4のガラスセラミック絶縁層は、ガラス粉末およびフィラー粉末、さらに、有機バインダー、可塑剤、有機溶剤等を混合してスラリーを得て、このスラリーを、例えば、ドクターブレード等を用いてガラスセラミックグリーンシートを製作して、このガラスセラミックグリーンシートを複数積層した後、焼成することによって作製される。
上記のガラス粉末としては、SiO2系、SiO2−B2O3系、SiO2−Al2O3系、SiO2−MO系(但し、MはCa、Sr、Mg、BaまたはZnを示す)、SiO2−B2O3系−MO系、SiO2−M1O−M2O系(但し、M1およびM2は同一または異なってCa、Sr、Mg、BaまたはZnを示す)、SiO2−B2O3−M1O−M2O系、SiO2−M3 2O系(但し、M3はLi、NaまたはKを示す)およびSiO2−B2O3−M3 2O系等のガラスが挙げられる。また、上記以外に、Co、Cd、Inやその酸化物が含まれていてもよい。
また、上記のフィラー粉末としては、例えば、Al2O3、SiO2またはZrO2とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、TiO2とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、あるいはAl2O3およびSiO2から選ばれる少なくとも1種を含む複合酸化物(例えばスピネル,ムライト,コージェライト)等を用いることができる。
また、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートに第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4a用の導体ペーストを印刷することによって第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aとなる配線導体パターンを形成しておき、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンと第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートとを積層して同時焼成することによって形成される。
ここで、多数個取りコイル内蔵配線基板10のめっき用パターンについて図3乃至図6を参照しながら説明する。図3および図4は、多数個取りコイル内蔵配線基板10のめっき用パターンの配置状態を説明するための模式的な縦断面図であり、図5に示す多数個取りコイル内蔵配線基板10をX方向において正側から負側に向かって見た場合の模式的な縦断面図を図3に示しており、また、同様にY方向において負側から正側に向かって見た場合の模式的な縦断面図を図4に示している。
図3および図4では、説明の便宜上、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4a、めっき用パターンまたは配線パターン5を一部省略している。また、図5は、説明の便宜上、多数個取りコイル内蔵配線基板10の配線基板領域1aが縦横2つずつ配列された状態を示しており、図5(a)は、第1のめっき用パターン6aと第2のめっき用パターン6bとの接続状態を説明するためのものであり、図5(b)は、第3のめっき用パターン6cの接続状態を説明するためのものである。
多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電解めっき法を用いてめっき層を形成するため
のめっき用パターンが第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2に設けられている。また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、図5に示すように、切断線Lが、隣接する配線基板領域1aの間にそれぞれ設定される。また、後述する電流供給用パターン8が、多数個取りコイル内蔵配線基板10の捨て代領域10aの第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層4の下面に設けられている。
のめっき用パターンが第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2に設けられている。また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、図5に示すように、切断線Lが、隣接する配線基板領域1aの間にそれぞれ設定される。また、後述する電流供給用パターン8が、多数個取りコイル内蔵配線基板10の捨て代領域10aの第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層4の下面に設けられている。
第1のめっき用パターン6aは、図3および図5に示すように、第3の絶縁層2に設けられているとともに外周部の捨て代領域10aから配線基板領域1aに延在して設けられており、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列されている配線基板領域1aの周辺に設けられている。このように、第1のめっき用パターン6aは、多数個取りコイル内蔵配線基板10の外周部の捨て代領域10aに設けられており、一部が捨て代領域10aから配線基板領域1aに向かって突出するように延在して、配線基板領域1aの上方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。
このように、第1のめっき用パターン6aは、第3の絶縁層2の内部に設けられているとともに多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列した配線基板領域の外周部に設けられている。また、図6に示すように、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、第1の絶縁層3の上面には、めっき層を設けるために内部のめっき用パターンにめっき用の電流を供給するための電流供給用パターン8が捨て代領域10aに設けられており、第1のめっき用パターン6aは、ビア導体7を介してこの電流供給用パターン8に電気的に接続されている。
また、第1のめっき用パターン6aは、上方側に位置しているコイル用パターン2aに電気的に接続されており、図1および図2では、コイル用パターン2aと同じ幅と厚みで設けられている場合を例示しているが、これに限らず、幅と厚みを適宜設定することができる。
また、第6のめっき用パターン6fは、図6に示すように、第2の絶縁層4に設けられているとともに外周部の捨て代領域10aから配線基板領域1aに延在して設けられており、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列されている配線基板領域1aの周辺に設けられている。このように、第6のめっき用パターン6fは、多数個取りコイル内蔵配線基板10の外周部の捨て代領域10aから配線基板領域1aにかけて設けられており、一部が捨て代領域10aから配線基板領域1aに向かって突出するように延在して、配線基板領域1aの下方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。なお、第6のめっき用パターン6fは、後述する第3のめっき用パターン6cと同一面内に設けられている。
また、第6のめっき用パターン6fは、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列した配線基板領域1aの外周部に設けられており、ビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されており、電流供給用パターン8からめっき用の電流が供給されることになる。第6のめっき用パターン6fは、第1のめっき用パターン6aと同様に、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列されている配線基板領域1aの周辺に設けて、配線基板領域1aへの突出部を連結するようなパターン形状にしてビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続してもよい。また、これに限らず、例えば、第6のめっき用パターン6fは、配線基板領域1aへの突出部のそれぞれがビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されていてもよく、また、第1のめっき用パターン6aにビア導体7を介して電気的に接続されていてもよく、電流供給用パターン8に電気的に接続されている構成であればよい。
また、図6では、電流供給用パターン8が多数個取りコイル内蔵配線基板10の第1の
絶縁層3の上面の捨て代領域10aに設けられている場合を例示しているが、電流供給用パターン8は第2の絶縁層4の下面の捨て代領域10aに設けられていてもよい。また、電流供給用パターン8は、第1の絶縁層3の上面の捨て代領域10aおよび第2の絶縁層4の下面の捨て代領域10aにそれぞれ設けて、上下面に設けられた電流供給パターン8同士をビア導体7で互いに電気的に接続してもよい。また、電流供給用パターン8を第1の絶縁層3または第2の絶縁層4の内部に設けて、ビア導体7を介して第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層の下面に導出してもよい。また、電流供給用パターン8は、第3の絶縁層2に設けて、ビア導体7を介して第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層の下面に導出してもよい。
絶縁層3の上面の捨て代領域10aに設けられている場合を例示しているが、電流供給用パターン8は第2の絶縁層4の下面の捨て代領域10aに設けられていてもよい。また、電流供給用パターン8は、第1の絶縁層3の上面の捨て代領域10aおよび第2の絶縁層4の下面の捨て代領域10aにそれぞれ設けて、上下面に設けられた電流供給パターン8同士をビア導体7で互いに電気的に接続してもよい。また、電流供給用パターン8を第1の絶縁層3または第2の絶縁層4の内部に設けて、ビア導体7を介して第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層の下面に導出してもよい。また、電流供給用パターン8は、第3の絶縁層2に設けて、ビア導体7を介して第1の絶縁層3の上面または第2の絶縁層の下面に導出してもよい。
電流供給用パターン8は、上述したCu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の低抵抗金属の粉末の焼結体であるメタライズ金属からなるものであり、第1の絶縁層3または第2の絶縁層4用のグリーンシートに電流供給用パターン8用の導体ペーストを印刷することによって電流供給用パターン8となる導体パターンを形成しておき、焼成することによって設けられる。
第2のめっき用パターン6bは、図3に示すように、第3の絶縁層2に設けられており、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続されている。そして、第2のめっき用パターン6bは、上方側に位置するコイル用パターン2aを介して第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されている。第2のめっき用パターン6bは、さらに、縦方向(Y方向)に隣接する配線基板領域1aの上方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。すなわち、第2のめっき用パターン6bは、隣接する配線基板領域1aの上方側に位置するコイル用パターン2aの間に配置されており、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2a同士を電気的に接続するものである。これによって、図5(a)に示すように、縦方向(Y方向)において、第1のめっき用パターン6a、コイル用パターン2aおよび隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aが電気的に接続されることになる。
このように、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、隣接する配線基板領域1aにおいて、第2のめっき用パターン6bを介して隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2a同士が電気的に接続されることになる。したがって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、縦方向(Y方向)にわたって、第1のめっき用パターン6aの間に複数のコイル用パターン2aが配置されており、これらのコイル用パターン2aが第2のめっき用パターン6bを介して電気的に接続されることになる。すなわち、第2のめっき用パターン6bは、隣接する配線基板領域1aの抵抗の低いコイル用パターン2aに電気的に接続されることになる。第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aは、コイル用パターン2aに電気的に接続されており、このような構成にすることによって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、第1のめっき用パターン6aおよび第2のめっき用パターン6bを介して、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに同時にめっき層を設けることができる。
第3のめっき用パターン6cは、図4に示すように、第2の絶縁層4に設けられており、第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続されている。そして、第3のめっき用パターン6cは、横方向(X方向)に隣接する配線基板領域1aの下方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。そして、隣接する配線基板領域1aの下方側および上方側に位置するコイル用パターン2aを介して隣接する配線基板領域1aの第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されている。すなわち、第3のめっき用パターン6cは、隣接する配線基板領域1aの間に配置されており、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aに電気的に接続されることによって、これらのコイル用パターン2aを介して隣接する配線基板領域1aの第1のめっき用パターン6aに電
気的に接続されるものである。すなわち、第3のめっき用パターン6cは、隣接する配線基板領域1aの抵抗の低いコイル用パターン2aに電気的に接続されることになる。これよって、図5(b)に示すように、横方向(X方向)において、第3のめっき用パターン6cは、横方向に隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aを介して隣接する配線基板領域1aの第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されることになる。
気的に接続されるものである。すなわち、第3のめっき用パターン6cは、隣接する配線基板領域1aの抵抗の低いコイル用パターン2aに電気的に接続されることになる。これよって、図5(b)に示すように、横方向(X方向)において、第3のめっき用パターン6cは、横方向に隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aを介して隣接する配線基板領域1aの第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されることになる。
このように、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、隣接する配線基板領域1aにおいて、第3のめっき用パターン6cは、隣接する配線基板領域1aの下方側および上方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されることになる。したがって、横方向(X方向)にわたって、第3のめっき用パターン6cは、隣接する配線基板領域1aの間に配置されており、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aに電気的に接続されることになる。第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aは、配線パターン5を介して第3のめっき用パターン6cに電気的に接続されており、このような構成にすることによって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、第1のめっき用パターン6aおよび第3のめっき用パターン6cを介して、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに同時にめっき層を設けることができる。
第4のめっき用パターン6dは、第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されているものであり、図1に示すように、配線パターン5に電気的に接続されている。そして、第4のめっき用パターン6dは、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに電気的に接続されている。第4のめっき用パターン6dは、電流供給用パターン8からめっき用の電流が供給されることによって、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに同時にめっき層を設けることができる。すなわち、第6のめっき用パターン6fと同様な構成を有しており、第4のめっき用パターン6dは、図6(c)に示すように、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列した配線基板領域1aの外周部に設けられており、ビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されており、電流供給用パターン8からめっき用の電流が供給されることになる。
第4のめっき用パターン6dは、第1のめっき用パターン6aと同様に、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列されている配線基板領域1aの周辺に設けて、配線基板領域1aへの突出部を連結するようなパターン形状にしてビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続してもよい。また、これに限らず、例えば、第4のめっき用パターン6dは、配線基板領域1aへの突出部のそれぞれがビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されていてもよく、また、第1のめっき用パターン6aにビア導体7を介して電気的に接続されていてもよく、電流供給用パターン8に電気的に接続されている構成であればよい。
第5のめっき用パターン6eは、第4のめっき用パターン6dと同一面に設けられており、第2のめっき用パターン6bに電気的に接続されているとともに第1のめっき用パターン6aに電気的に接続されている。そして、横方向(X方向)に隣接する配線基板領域1aの第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに電気的に接続されている。第5のめっきパターン6eは、第1のめっき用パターン6aからのめっき用の電流の供給によって、隣接する配線基板領域1aの第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに同時にめっき層を設けることができる。
このように、本実施形態に係る多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電解めっき法を用いて、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aに同時にめっき層を設けることができる。また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、隣接する配線基板領域1aにおいて第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cが、抵抗の低いコイル用パターン2aを介して電気的に接続されているので、電流供給用パターン8から離れて
いてもめっき用パターンの配線抵抗の増加が抑制される。
いてもめっき用パターンの配線抵抗の増加が抑制される。
すなわち、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、コイル用パターン2aを利用することによって外側に位置する配線基板領域1aから中央部に位置する配線基板領域1aにわたってめっき用の電流経路となる配線の配線抵抗の増加を抑制することができる。これによって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電流供給用パターン8から供給されるめっき用の電流の低下が抑制されて、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aのめっき層の厚みが低下しにくくなる。したがって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電解めっき法を用いて、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの表面にめっき層を安定的に設けることができる。
また、コイル用パターン2aは、インダクタ特性を良くするために、めっき用パターン等よりも低抵抗で設けられており、このコイル用パターン2aを利用して配線抵抗の増加を抑制しているので、配線抵抗の増加を抑制するための配線パターンを新たに設けなくてもよい。新たな配線パターンを設けなくてもよいので、多数個取りコイル内蔵配線基板10の取り数、あるいは、コイル内蔵配線基板1の小型化等に対して好ましい。
ここで、多数個取りコイル内蔵配線基板10の他のめっき用パターンの例について説明する。
図7に示すように、多数個取りコイル内蔵配線基板10Aは、多数個取りコイル内蔵配線基板10と異なるのは、第1のめっき用パターン6Aおよび第2のめっき用パターン6Bが、第1の絶縁層3に設けられていることである。
第1のめっき用パターン6Aは、図7に示すように、第1の絶縁層3の第4のめっき用パターン6dと同一面内に設けられているとともに外周部の捨て代領域10aから配線基板領域1aに延在して設けられており、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列されている配線基板領域1aの周辺に設けられている。第1のめっき用パターン6Aは、多数個取りコイル内蔵配線基板10の外周部の捨て代領域10aから配線基板領域1aにかけて設けられており、一部が捨て代領域10aから配線基板領域1aに向かって突出するように延在して、配線基板領域1aの上方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。
また、第1のめっき用パターン6Aは、第1のめっき用パターン6aと同様に、多数個取りコイル内蔵配線基板10の縦横に配列した配線基板領域1aの外周部に設けられており、ビア導体7を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されている。
第2のめっき用パターン6Bは、図7に示すように、第1の絶縁層3の第1のめっき用パターン6Aと同一面内に設けられており、隣接する配線基板領域1aの第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aに電気的に接続されている。そして、第2のめっき用パターン6Bは、上方側に位置するコイル用パターン2aを介して第1のめっき用パターン6Aに電気的に接続されており、さらに、縦方向(Y方向)に隣接する配線基板領域1aの上方側に位置するコイル用パターン2aに電気的に接続されている。すなわち、第2のめっき用パターン6Bは、平面視で隣接する配線基板領域1aの上方に位置するコイル用パターン2aの間に位置するように設けられており、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2a同士を電気的に接続するものである。これによって、縦方向(Y方向)において、第2のめっき用パターン6Bは、第1のめっき用パターン6A、コイル用パターン2aおよび隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aを電気的に接続することになる。
また、多数個取りコイル内蔵配線基板10Aでは、コイル内蔵配線基板1は、第1のめっき用パターン6Aおよび第2のめっき用パターン6Bが第1の絶縁層3に設けられているので、第3の絶縁層2に設けられているコイル用パターン2aのインダクタの特性に影響が及びにくくなり、インダクタ特性の劣化が生じにくくなる。
ここで、多数個取りコイル内蔵配線基板10のおけるめっき層の形成について説明する。
第1のめっき用パターン6aは、コイル用パターン2aに電気的に接続されており、このコイル用パターン2aは第2のめっき用パターン6bに電気的に接続されている。また、コイル用パターン2aは、上下方向(Z方向)に、平面視において一部が重なるように設けられており、これらのコイル用パターン2aはビア導体を介して電気的に接続されている。また、第2のめっき用パターン6bは、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aに電気的に接続されている。第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、多数個取りコイル内蔵配線基板の内部で、第1〜第6のめっき用パターン6a〜6f、コイル用パターン2aまたは配線パターン5を介して電流供給用パターン8に電気的に接続されている。このような構成によって、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、多数個取りコイル内蔵配線基板10において、めっき用の電流を供給する電流供給用パターン8に電気的に接続されることになる。
したがって、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、第1〜第6のめっき用パターン6a〜6fがコイル用パターン2aまたは配線パターン5等を介して電気的に接続されているとともに電流供給用パターン8に電気的に接続されており、電流供給用パターン8をめっき用電源に接続して第1〜第6のめっき用パターン6a〜6fに電流を流すことによって、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの露出する表面に同時にめっき層を設けることができる。
ここで、多数個取りコイル内蔵配線基板10について説明する。
図8では、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、配線基板領域1aが縦横4つずつ配列されており、コイル内蔵配線基板を16個取りできるものである。なお、配線基板領域1aの配列数は、すなわち、コイル内蔵配線基板1の取り個数は、母基板の大きさとコイル内蔵配線基板1の大きさとで適宜設定される。
図8では、電流供給用パターン8および第1の配線導体3aが第1の絶縁層3の上面に設けられており、それらの配置をそれぞれ示している。なお、めっき用パターン、配線パターン等は、第1の絶縁層3および第3の絶縁層2に設けられている。なお、図8では、多数個取りコイル内蔵配線基板10の取り数等を考慮して捨て代領域10aが少なくなるように、電流供給用パターン8は、縦横に配列した配線基板領域1aの周囲の3辺に設けられている。また、電流供給パターン8は、3辺に限らず、めっき用の電流を安定的にめっき用パターンに供給するために、縦横に配列した配線基板領域1aの周囲を囲むように捨て代領域10aの4辺に設けてもよい。
多数個取りコイル内蔵配線基板10が電解めっき沿中に浸漬されて、電流供給用パターン8がめっき用電源に接続されると、電解めっき法によって、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、露出する表面にめっき層が形成される。このように、めっき液中の金属成分(例えば、ニッケル、金等)が析出して、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの露出した表面に同時にめっき層が形成される。
また、このようなめっき層としては、ニッケルまたは金等の耐食性に優れる金属材料が
用いられており、めっき層の厚みは、例えば、1(μm)〜20(μm)である。めっき層は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの酸化腐食を抑制することができるとともに、電子部品等の電極との電気的接続性または外部の回路基板との電気的接続性を向上されることができる。また、めっき層は、ニッケルめっき層と金めっき層とが順次形成されるのが好ましい。なお、ニッケルめっき層は、厚みが、例えば、1(μm)〜10(μm)であり、金めっき層は、厚みが、例えば、0.1(μm)〜3(μm)である。
用いられており、めっき層の厚みは、例えば、1(μm)〜20(μm)である。めっき層は、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの酸化腐食を抑制することができるとともに、電子部品等の電極との電気的接続性または外部の回路基板との電気的接続性を向上されることができる。また、めっき層は、ニッケルめっき層と金めっき層とが順次形成されるのが好ましい。なお、ニッケルめっき層は、厚みが、例えば、1(μm)〜10(μm)であり、金めっき層は、厚みが、例えば、0.1(μm)〜3(μm)である。
また、電流供給用パターン8、第1のめっき用パターン6aおよび第6めっき用パターン6fは、隣接する配線基板領域1a間に設定される切断線Lに沿って切断されるので、切断後には配線基板領域1aとは電気的に分離されることになる。また、同様に、第2のめっき用パターン6bおよび第3のめっき用パターン6cは、切断線Lに沿って切断されるので、切断後には隣接する配線基板領域1a間において互いに電気的に分離されることになる。また、同様に、隣接する配線基板領域1aを跨いで設けられているその他のめっき用パターンも切断線Lに沿って切断されるので、切断後には隣接する配線基板領域1a間において互いに電気的に分離されることになる。
ここで、多数個取りコイル内蔵配線基板10の製法について以下に説明する。なお、ここでは、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4がガラスセラミック絶縁層であり、第3の絶縁層2がフェライト絶縁層である場合について説明する。
多数個取りコイル内蔵配線基板10は、ガラスセラミックからなる第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートを準備する工程と、フェライト層からなり第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートを準備する準備工程と、セラミックグリーンシートとフェライトグリーンシートとを積層してグリーンシート積層体を作製する工程と、グリーンシート積層体を焼成する工程と、焼成後の多数個取りコイル内蔵配線基板10にめっき層を形成する工程と、めっき層形成後に多数個取りコイル内蔵配線基板10を個片に切断する工程を経て作製される。
第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートは、上述のガラス粉末と上述のフィラー粉末とからなる絶縁体粉末、有機バインダー、可塑剤、有機溶剤等を含むものである。
また、第2の絶縁層2用のフェライトグリーンシートは、例えば、FeFe2O4とCuO、ZnOまたはNiOとを予め仮焼することによって作製されたフェライト粉末、および有機バインダー等を含むものである。
第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートおよび第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートは、スラリーを調製して、このスラリーをドクターブレード法等の塗布方法を用いて塗布してスラリー中の溶剤を乾燥することによって作製する。
第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aは、上述したCu、Ag、Au、Pt、Ag−Pd合金またはAg−Pt合金等の低抵抗金属の粉末の焼結体であるメタライズ金属からなるものであり、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートに第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4a用の導体ペーストを印刷することによって第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aとなる配線導体パターンを形成しておき、焼成することによって形成される。また、同様にして、第1の絶縁層3または第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートに電流供給用パターン8が形成される。
コイル用パターン2aは、上記した第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aと同
様のメタライズ金属からなるものであり、第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートに対して、第3の絶縁層2のコイル用パターン2aに該当する部分の絶縁層を金型加工またはレーザー加工等などを用いてコイル用パターン2aの形状となるように除去する。そして、絶縁層が除去された部分に印刷法またはプレス充填法等の埋め込み手段を用いてコイル用パターン2a用の導体ペーストを充填することによってコイル用パターン2aとなるコイル用導体パターンを形成しておき、焼成することによってコイル用パターン2aが形成される。
様のメタライズ金属からなるものであり、第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートに対して、第3の絶縁層2のコイル用パターン2aに該当する部分の絶縁層を金型加工またはレーザー加工等などを用いてコイル用パターン2aの形状となるように除去する。そして、絶縁層が除去された部分に印刷法またはプレス充填法等の埋め込み手段を用いてコイル用パターン2a用の導体ペーストを充填することによってコイル用パターン2aとなるコイル用導体パターンを形成しておき、焼成することによってコイル用パターン2aが形成される。
また、配線パターン5は、上述した第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aと同様のメタライズ金属からなるものであり、第1の絶縁層3用または第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートに配線パターン5用の導体ペーストを印刷することによって配線パターンを形成しておき、焼成することによって配線パターン5が形成される。
また、第1のめっき用パターン6aは、上述した第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aと同様のメタライズ金属からなるものであり、コイル用パターン2aが設けられる第3の絶縁層2のフェライトグリーンシートに対して、コイル用パターン2aに接するように、第3の絶縁層2の第1のめっき用パターン6aに該当する部分の絶縁層を金型加工またはレーザー加工等などを用いて第1のめっき用パターン6aの形状となるように除去し、絶縁層が除去された部分に印刷法またはプレス充填法等の埋め込み手段を用いてコイル用パターン2aの導体ペーストと同時に第1のめっき用パターン6aの導体ペーストを充填することによって第1のめっき用パターンを形成しておき、焼成することによって第1のめっき用パターン6aが形成される。また、コイル用パターン2a用の導体ペーストと第1のめっき用パターン6a用の導体ペーストは同じ導体ペーストが用いられる。
また、第2のめっき用パターン6bは、上述した第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aと同様のメタライズ金属からなるものであり、コイル用パターン2aが設けられる第3の絶縁層2のフェライトグリーンシートに対して、隣接する配線基板領域1aのコイル用パターン2aの間に配置されるように、第3の絶縁層2の第2のめっき用パターン6bに該当する部分の絶縁層を金型加工またはレーザー加工等などを用いて第2のめっき用パターン6bの形状となるように除去し、絶縁層が除去された部分に印刷法またはプレス充填法等の埋め込み手段を用いてコイル用パターン2aの導体ペーストと同時に第2のめっき用パターン6bの導体ペーストを充填することによって第2のめっき用パターン6bを形成しておき、焼成することによって第2のめっき用パターン6bは、形成される。また、コイル用パターン2a用の導体ペーストと第2のめっき用パターン6b用の導体ペーストは同じ導体ペーストが用いられる。
上述のように、コイル用パターン2a、第1のめっき用パターン6aおよび第2のめっき用パターン6bは、第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートにそれぞれの導体ペーストをスクリーン印刷法またはグラビア印刷法等の印刷法またはプレス充填法等を用いて所定パターンに印刷または充填して形成される。また、コイル用パターン2a、第1のめっき用パターン6aおよび第2のめっき用パターン6bは、同じ導体ペーストを用いることが好ましい。
また、第3のめっき用パターン6cは、上述した第1の配線導体3aまたは第2の配線導体4aと同様のメタライズ金属からなるものであり、第2の絶縁層4のセラミックグリーンシートに、第3のめっき用パターン6c用の導体ペーストを印刷することによって第3のめっき用パターンを形成しておき、焼成することによって形成される。
第1の配線導体3a、第2の配線導体4a、配線パターン5または第3〜第6のめっき用パターン6c〜6f等は、第1の絶縁層3または第2の絶縁層4用のセラミックグリー
ンシートの表面にそれぞれの導体ペーストをスクリーン印刷法またはグラビア印刷法等の印刷法を用いて所定パターンに印刷して形成される。
ンシートの表面にそれぞれの導体ペーストをスクリーン印刷法またはグラビア印刷法等の印刷法を用いて所定パターンに印刷して形成される。
ビア導体は、上下方向において電気的な接続を行なうものであり、それぞれのパターンの形成に先立って第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートまたは第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートにパンチング加工またはレーザー加工等により貫通孔を形成し、この貫通孔に印刷またはプレス充填等の埋め込み手段を用いてビア導体7用の導体ペーストを充填することで形成される。
第1の絶縁層3用のセラミックグリーンシートの表面に第1の配線導体3aおよび電流供給用パターン8を形成し、また、同様に、第1の絶縁層3用のセラミックグリーンシートの表面に、配線パターン5、第4のめっき用パターン6dおよび第5のめっき用パターン6eを形成して、それらを積み重ねることによって第1の絶縁層3の積層体とする。また、第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートの表面に第2の配線導体4aを形成し、また、同様に、第2の絶縁層2用のセラミックグリーンシートの表面に配線パターン5、第3のめっき用パターン6cおよび第6のめっき用パターン6fを形成してそれらを積み重ねることによって第2の絶縁層4の積層体とする。また、第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートにコイル用パターン導体2aを形成し、また、同様に、フェライトグリーンシートにコイル用パターン2a、第1のめっき用パターン6aおよび第2のめっき用パターン6bを形成してそれらを積み重ねることによって、第3の絶縁層2の積層体とする。
そして、第1の絶縁層3用のセラミックグリーンシートの積層体と第2の絶縁層3用のセラミックグリーンシートの積層体との間に第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートの積層体を設けて重ね合わせて、これらの積層体に熱と圧力とを加えて熱圧着する方法等を用いることで、コイル内蔵配線基板1のグリーンシート積層体を作製することができる。また、このときのセラミックグリーンシートおよびフェライトグリーンシートは、コイル内蔵配線基板1に要求される特性に応じた厚みとなるように、必要な枚数のグリーンシートをそれぞれ積層すればよい。
第1の絶縁層3、第2の絶縁層4および第3の絶縁層2からなるグリーンシート積層体は、例えば、300(℃)〜600(℃)の温度で脱バインダーを行なった後に、例えば、800(℃)〜1000(℃)の温度で焼成される。これによって、第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートと第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートとが同時に焼成されることになる。
したがって、図1に示すように、コイル内蔵配線基板1の場合には、コイル用パターン2aが内蔵されたものを含む所定枚数の第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートの上下面に第1の配線導体3a等が形成された第1の絶縁層3用のセラミックグリーンシートと第2の配線導体4a等が形成された第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートとが積層された積層体を同時焼成することによって作製されることになる。
多数個取りコイル内蔵配線基板10は、電解めっき法を用いて、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの表面に、例えば、ニッケルめっき層および金めっき層が順次形成される。
また、めっき層を形成するための電解めっきは、多数個取りコイル内蔵配線基板10を電解めっき浴中に浸漬するとともに、電流供給用パターン8を電解めっき用電源に接続することで行われる。多数個取りコイル内蔵配線基板10は、このように電解めっき法を用いることによって、第1の配線導体3aおよび第2の配線導体4aの露出する表面に、ニ
ッケルおよび金等の耐蝕性に優れる金属めっき層を形成することができる。これによって、コイル内蔵配線基板1は、第1の配線導体3aと半導体チップまたはチップ部品等の電子部品との接合を強固なものにすることができる。または、コイル内蔵配線基板1は、第2の配線導体4aと外部の電気回路の配線導体との半田等による接合を強固なものにすることできる。
ッケルおよび金等の耐蝕性に優れる金属めっき層を形成することができる。これによって、コイル内蔵配線基板1は、第1の配線導体3aと半導体チップまたはチップ部品等の電子部品との接合を強固なものにすることができる。または、コイル内蔵配線基板1は、第2の配線導体4aと外部の電気回路の配線導体との半田等による接合を強固なものにすることできる。
また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、めっき層の形成後に、隣接する配線基板領域1a間の切断線Lに沿って切断することによって、個片体のコイル内蔵配線基板1を得ることができる。また、多数個取りコイル内蔵配線基板10は、隣接する配線基板領域1aの間に切断溝を設けて切断することによって、コイル内蔵配線基板1を個片体にしてもよい。
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を加えることは何ら差し支えない。
例えば、上記の例では、第3の絶縁層2用のフェライトグリーンシートの上下に第1の絶縁層3および第2の絶縁層4用のセラミックグリーンシートを配置して積層体を作製し、この積層体を焼成することによって多数個取りコイル内蔵配線基板10を作製する例について説明したが、先に、フェライトグリーンシートのみで積層体を作製して焼成した後に、その上下にセラミックグリーンシートを積層して、この積層体を焼成することによって多数個取りコイル内蔵配線基板10を作製してもよい。
また、本発明は、上述した実施の形態に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
1 コイル内蔵配線基板
1a 配線基板領域
2 第3の絶縁層
2a コイル用パターン
3 第1の絶縁層
3a 第1の配線導体
4 第2の絶縁層
4a 第2の配線導体
5 配線パターン
6a、6A 第1のめっき用パターン
6b、6B 第2のめっき用パターン
6c 第3のめっき用パターン
7 ビア導体
8 電流供給用パターン
10、10A 多数個取りコイル内蔵配線基板
10a 捨て代
L 切断線
1a 配線基板領域
2 第3の絶縁層
2a コイル用パターン
3 第1の絶縁層
3a 第1の配線導体
4 第2の絶縁層
4a 第2の配線導体
5 配線パターン
6a、6A 第1のめっき用パターン
6b、6B 第2のめっき用パターン
6c 第3のめっき用パターン
7 ビア導体
8 電流供給用パターン
10、10A 多数個取りコイル内蔵配線基板
10a 捨て代
L 切断線
Claims (2)
- 上面に第1の配線導体が形成された第1の絶縁層と、下面に第2の配線導体が形成された第2の絶縁層と、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に設けられた、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続された、複数層のコイル用パターンが設けられた第3の絶縁層とを含むコイル内蔵配線基板の配線基板領域が複数個縦横に配列されているとともに、外周部に捨て代領域が形成された、電解めっき法を用いて前記第1の配線導体および前記第2の配線導体にめっき層を設ける多数個取りコイル内蔵配線基板であって、
前記捨て代領域に設けられた電流供給用パターンと、該電流供給パターンの下方または上方に位置しており、前記捨て代領域から前記配線基板領域に延在している、前記電流供給パターンに電気的に接続されるとともに前記コイル用パターンに電気的に接続された第1のめっき用パターンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続された、前記コイル用パターンを介して前記第1のめっき用パターンに電気的に接続されるとともに縦方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンに電気的に接続された第2のめっき用パターンと、前記第1の配線導体または前記第2の配線導体に電気的に接続されるとともに横方向に隣接する前記配線基板領域の前記コイル用パターンを介して隣接する前記配線基板領域の前記第1のめっき用パターンに電気的に接続された第3のめっき用パターンとを備えており、前記コイル用パターンは、前記第2のめっき用パターンおよび第3のめっき用パターンよりも低抵抗であることを特徴とする多数個取りコイル内蔵配線基板。 - 前記第3の絶縁層は、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層とは異なる絶縁材料であることを特徴とする請求項1に記載の多数個取りコイル内蔵配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013224392A JP2015088552A (ja) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 多数個取りコイル内蔵配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013224392A JP2015088552A (ja) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 多数個取りコイル内蔵配線基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015088552A true JP2015088552A (ja) | 2015-05-07 |
Family
ID=53051050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013224392A Pending JP2015088552A (ja) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 多数個取りコイル内蔵配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015088552A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002158135A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-31 | Tdk Corp | 電子部品 |
JP2005268391A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Kyocera Corp | コイル内蔵ガラスセラミック基板 |
JP2006210615A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Kyocera Corp | 複数個取り配線基板 |
JP2013016661A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Toyota Industries Corp | 配線板 |
JP2013135147A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Kyocera Corp | 多数個取り配線基板 |
-
2013
- 2013-10-29 JP JP2013224392A patent/JP2015088552A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002158135A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-31 | Tdk Corp | 電子部品 |
JP2005268391A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Kyocera Corp | コイル内蔵ガラスセラミック基板 |
JP2006210615A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Kyocera Corp | 複数個取り配線基板 |
JP2013016661A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Toyota Industries Corp | 配線板 |
JP2013135147A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Kyocera Corp | 多数個取り配線基板 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8237528B2 (en) | Electronic component | |
US8633794B2 (en) | Electronic component and manufacturing method for same | |
KR102004787B1 (ko) | 적층형 전자부품 및 그 제조방법 | |
JP6535450B2 (ja) | 電子部品 | |
KR20170032057A (ko) | 적층 전자부품 | |
CN106158244A (zh) | 芯片组件及其制造方法 | |
US20120062348A1 (en) | Laminated coil | |
JP2012038806A (ja) | 積層型コイル | |
CN105849831A (zh) | 电子部件及其制造方法 | |
JP2015026760A (ja) | 積層コイル | |
JP2012253332A (ja) | チップ型コイル部品 | |
US8143988B2 (en) | Multilayer inductor | |
JP2016162892A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
JP2020194810A (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP2015198244A (ja) | 積層アレイ電子部品及びその製造方法 | |
JP4475965B2 (ja) | コイル内蔵ガラスセラミック基板 | |
JP2015069980A (ja) | 多数個取りコイル内蔵配線基板 | |
JP2015088552A (ja) | 多数個取りコイル内蔵配線基板 | |
JP2007012825A (ja) | チップ部品及びその製造方法 | |
JP2006024878A (ja) | 多数個取り配線基板およびその製造方法 | |
JP5956185B2 (ja) | 多数個取り配線基板 | |
JP2022181019A (ja) | 電子部品及び電子機器 | |
JP4429051B2 (ja) | コイル内蔵ガラスセラミック基板 | |
JP2017195309A (ja) | 積層コイル部品 | |
US20190013121A1 (en) | Multilayer bead and board having the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170307 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170905 |