JP2015082485A - 走査透過電子顕微鏡システム、画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラム - Google Patents
走査透過電子顕微鏡システム、画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 走査透過電子顕微鏡システムは、環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第1STEM像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第2STEM像を生成する画像処理装置と、を備える。
【選択図】 図3
Description
11 電子源
12 収束レンズ
13 走査コイル
14 対物レンズ
15 結像レンズ
16 検出器
17 遮蔽部材
18 EELS分光器
19 EDX分光器
20 制御部
21 画像生成部
22 分光結果取得部
30 画像処理装置
31 画像入出力部
32 GB像出力部
33 RGB像演算部
34 R像演算部
35 分光結果入力部
100 走査透過電子顕微鏡システム
Claims (8)
- 環状暗視野検出器と、
前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第1STEM像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第2STEM像を生成する画像処理装置と、を備えることを特徴とする走査透過電子顕微鏡システム。 - 前記電子線エネルギー損失分光装置が電子ビームを取り込む取込範囲を制限する遮蔽部材を備えることを特徴とする請求項1記載の走査透過電子顕微鏡システム。
- 前記画像処理装置は、前記第1STEM像と前記第2STEM像とを異なる色で生成し、前記第1STEM像と前記第2STEM像とを重ね合わせることを特徴とする請求項1または2記載の走査透過電子顕微鏡システム。
- 前記画像処理装置は、グリーン色とブルー色とで前記第1STEM像を生成し、レッド色で前記第2STEM像を生成することを特徴とする請求項3記載の走査透過電子顕微鏡システム。
- 前記電子線エネルギー損失分光装置は、試料を構成する元素の内殻励起を含まないエネルギー領域の電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査透過電子顕微鏡システム。
- 環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第1STEM像を生成し、
前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第2STEM像を生成する、ことを特徴とする画像処理方法。 - 環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第1STEM像を生成し、
前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第2STEM像を生成する、処理をコンピュータに実行させることを特徴とする画像処理プログラム。 - 環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第1STEM像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第2STEM像を生成する画像処理装置。
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