JP2015079876A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを収容するチャンバー40と、チャンバー40にエッチングガスを供給するガス供給機構43と、チャンバー40内を排気するターボ分子ポンプ84を有する排気機構44とを備えたエッチング装置5を用い、チャンバー40内に処理ガスを供給し、チャンバー40内の基板W上で処理ガスを反応させて基板を処理する。そして、処理ガスの反応により、処理ガスよりも分子量の大きな副生成物が生成される場合に、チャンバー40内の圧力を所定値として、ターボ分子ポンプ84の回転数を調節することにより、処理の均一性を調節する。
【選択図】図2
Description
本実施形態においては、被処理基板として、表面にシリコン酸化膜を有する半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)を用い、ウエハ表面のシリコン酸化膜をHFガスおよびNH3ガスを用いてノンプラズマドライエッチングする場合について説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るエッチング装置を備えた処理システムを示す概略構成図である。この処理システム1は、被処理基板としてウエハWを搬入出する搬入出部2と、搬入出部2に隣接させて設けられた2つのロードロック室(L/L)3と、各ロードロック室3にそれぞれ隣接して設けられた、ウエハWに対してPHT(Post Heat Treatment)処理を行なう熱処理装置4と、各熱処理装置4にそれぞれ隣接して設けられた、ウエハWに対してエッチング処理としてCOR処理を施すエッチング装置5と、制御部6とを備えている。ロードロック室3、熱処理装置4およびエッチング装置5は、この順に一直線上に並べて設けられている。
次に、エッチング装置5について説明する。図2はエッチング装置5の断面図である。エッチング装置5は、密閉構造のチャンバー40と、チャンバー40の内部に設けられた、基板であるウエハWを略水平にした状態で載置する載置台42と、チャンバー40にエッチングガスを供給するガス供給機構43と、チャンバー40内を排気する排気機構44とを備えている。
次に、本発明の効果を確認した実験例について説明する。
本実験例においては、図2に示す構成のエッチング装置を用いて、シリコン基板上のシリコン酸化膜をHFガスおよびNH3ガスによりエッチングした。この際に、チャンバー内の圧力が600mTorrになるように自動圧力制御弁(APC)により制御し、ターボ分子ポンプの回転数を変化させた。このエッチングの際の他の条件は、載置台温度:75℃、HFガス流量:200sccm、NH3ガス流量:200sccm、Arガス流量:100sccm、N2ガス流量:0sccmとした。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、エッチングガスとしてHFガスおよびNH3ガスを用いてシリコン酸化膜をエッチングする場合について示したが、F2ガスおよびNH3ガスでシリコンをエッチングする場合も同様に、エッチングガスよりも分子量が大きいAFSを主体とする副生成物が生成され、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、フッ素および水素および窒素を含有するエッチングガスを用いてシリコン含有膜をエッチングし、エッチングガスよりも分子量が大きいAFSを主体とする副生成物が生成する場合に、本発明を適用することが可能である。
2;搬入出部
3;ロードロック室
4;熱処理装置
5;エッチング装置
6;制御部
11;第1ウエハ搬送機構
17;第2ウエハ搬送機構
40;チャンバー
42;載置台
43;ガス供給機構
44;排気機構
82;排気配管
83;自動圧力制御弁
84;ターボ分子ポンプ
101;ハウジング
102;ステータ
104;ロータ
105;動翼
106;静翼
107;モータ
108;給気口
109;排気口
W;半導体ウエハ
Claims (8)
- 基板を収容する処理容器と、前記処理容器に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、前記処理容器内を排気するターボ分子ポンプを有する排気機構とを備えた処理装置を用い、前記処理容器内に処理ガスを供給し、前記処理容器内の基板上で処理ガスを反応させて基板を処理する基板処理方法であって、
前記処理ガスの反応により、処理ガスよりも分子量の大きな副生成物が生成される場合に、前記処理容器内の圧力を所定値として、前記ターボ分子ポンプの回転数を調節することにより、処理の均一性を調節することを特徴とする基板処理方法。 - 前記ターボ分子ポンプの回転数をより低い値に調節することを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記基板処理方法は、処理ガスを用いて処理を行う処理ステップと、その後処理容器内を排気する排気ステップとを有し、前記処理ステップでは、前記処理容器内の圧力を所定値として、前記ターボ分子ポンプの回転数を調節することにより、処理の均一性を調節し、前記排気ステップでは、ターボ分子ポンプの回転数を前記処理ステップよりも上昇させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理方法。
- 処理条件に応じて、予め、前記処理容器内の圧力が所定値のときの、前記ターボ分子ポンプの最適な回転数を求めておき、その回転数で処理を行うことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記処理は、前記処理ガスとしてエッチングガスを用いて所定の膜をエッチングするエッチング処理であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記エッチングガスは、フッ素および水素および窒素を含有するものであり、前記所定の膜はシリコン含有膜であり、副生成物はケイフッ化アンモニウムを主体とするものであることを特徴とする請求項5に記載の基板処理方法。
- 基板を収容する処理容器と、
前記処理容器に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、
前記処理容器内の圧力を自動的に制御する自動圧力制御バルブおよび前記処理容器内を排気するターボ分子ポンプを有する排気機構と、
前記ターボ分子ポンプの回転数を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、前記処理ガスの反応により、処理ガスよりも分子量の大きな副生成物が生成される場合に、前記自動圧力制御バルブにより、前記処理容器内の圧力を所定値として、前記ターボ分子ポンプの回転数を調節することにより、処理の均一性を調節することを特徴とする基板処理装置。 - コンピュータ上で動作し、基板処理装置を制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項1から請求項6のいずれかの基板処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させることを特徴とする記憶媒体。
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