JP2015057869A - 横型オーバフロードレインを有するイメージセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- イメージセンサであって、
光に露出すると荷電キャリアを蓄積する複数の画素であって、前記各画素は少なくとも1つのシフト素子を含む画素と、
前記画素の1つに対応するチャネルストップであって、前記荷電キャリアが前記画素から隣接する前記画素へ移動するのを防ぐチャネルストップと、
前記チャネルストップ内部に全体が収容され、前記少なくとも1つのシフト素子から余剰した前記荷電キャリアを排出する横型オーバーフロードレインであって、前記少なくとも1つのシフト素子に最も近い前記横型オーバーフロードレインの1辺は、前記少なくとも1つのシフト素子に最も近い前記チャネルストップの1辺と横方向の側辺を共用し、これによってそうなっていなければ前記チャネルストップによって妨げられる前記横型オーバーフロードレインへの移動を前記少なくとも1つのシフト素子と前記横型オーバーフロードレインとの間で前記チャネルストップを渡る領域に補助部を必要とせずに、余剰した前記荷電キャリアを前記横型オーバーフロードレインへ移動させるオーバーフロードレインと、
前記チャネルストップと前記横型オーバーフロードレインの上方に配置されたフィールド酸化物領域と、
を備えるイメージセンサ。 - 請求項1記載のイメージセンサであって、前記チャネルストップは第1導電型のドーパントを備え、前記横型オーバーフロードレインは前記第1導電型とは逆の第2導電型のドーパントを備えるイメージセンサ。
- 請求項2記載のイメージセンサであって、前記横型オーバーフロードレインのドーパント濃度は、前記チャネルストップのドーパント濃度よりも高いイメージセンサ。
- 請求項1記載のイメージセンサであって、前記チャネルストップの幅は、前記横型オーバーフロードレインの幅より大きいイメージセンサ。
- イメージセンサであって、
光に露出すると荷電キャリアを蓄積する複数の画素と、
前記画素の1つに対応するチャネルストップであって、前記荷電キャリアが前記画素から隣接する前記画素へ移動するのを防ぐチャネルストップと、
前記チャネルストップ内部に全体が収容され、前記画素から余剰した前記荷電キャリアを排出する横型オーバーフロードレインであって、前記横型オーバーフロードレインと前記チャネルストップは、横方向の1側辺のみを共用し、これによってそうなっていなければ前記チャネルストップによって妨げられる前記横型オーバーフロードレインへの移動を前記画素と前記横型オーバーフロードレインとの間で前記チャネルストップを渡る領域に補助部を必要とせずに、余剰した前記荷電キャリアを前記横型オーバーフロードレインへ移動させるオーバーフロードレインと、
前記チャネルストップと前記横型オーバーフロードレインの上方に配置されたフィールド酸化物領域と、
を備えるイメージセンサ。 - 請求項5記載のイメージセンサであって、前記チャネルストップは第1導電型のドーパントを備え、前記横型オーバーフロードレインは前記第1導電型とは逆の第2導電型のドーパントを備えるイメージセンサ。
- 請求項6記載のイメージセンサであって、前記横型オーバーフロードレインのドーパント濃度は、前記チャネルストップのドーパント濃度よりも高いイメージセンサ。
- 請求項5記載のイメージセンサであって、前記チャネルストップの幅は、前記横型オーバーフロードレインの幅より大きいイメージセンサ。
- 請求項5記載のイメージセンサであって、前記チャネルストップは、前記共用側辺と、前記共用側辺から離れた前記チャネルストップの第2辺との間で延伸し、前記横型オーバーフロードレインは、前記共有側辺と、前記共有側辺から離れた前記横型オーバーフロードレインの第2辺との間で延伸し、前記横型オーバーフロードレインの第2辺は前記チャネルストップ内部に収容されるイメージセンサ。
- 請求項5記載のイメージセンサであって、前記各画素はシフト素子を備え、前記共有側辺は前記シフト素子の付近にあるイメージセンサ。
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