JP2005221587A - 反射型液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板側に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現することが可能な反射型液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 スイッチングトランジスタ33により駆動される画素電極11をマトリクス状に配置した半導体基板1と、共通な透明電極を形成した透明基板13とを、前記画素電極と前記透明電極とが対向するように配置し、前記半導体基板と前記透明基板との間に液晶35を封入してなる反射型液晶表示装置100において、前記画素電極間に掘り込み部50を形成すると共に、該掘り込み部に前記画素電極の厚さ以上の厚さで非導電性の光吸収部材23を形成する。これにより、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板側に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現する。
【選択図】 図1
【解決手段】 スイッチングトランジスタ33により駆動される画素電極11をマトリクス状に配置した半導体基板1と、共通な透明電極を形成した透明基板13とを、前記画素電極と前記透明電極とが対向するように配置し、前記半導体基板と前記透明基板との間に液晶35を封入してなる反射型液晶表示装置100において、前記画素電極間に掘り込み部50を形成すると共に、該掘り込み部に前記画素電極の厚さ以上の厚さで非導電性の光吸収部材23を形成する。これにより、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板側に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、プロジェクタ等に用いるアクティブマトリクス型の反射型液晶表示装置に係り、特に、読出し光を反射する画素電極間に光吸収部材を設けるようにし、画素サイズを小さくして高密度構造にした場合に、不要な侵入光が増加して表示品質が低下するのを防止するのに好適な構造を有する反射型液晶表示装置に関するものである。
従来、プロジェクタ等に用いる液晶表示装置としてアクティブマトリクス型の反射型液晶表示装置が知られている(特許文献1及び2)。図5はこの従来のアクティブマトリクス型の反射型液晶表示装置の1画素を示す等価回路図である。同図に示すように、このアクティブマトリクス型の反射型液晶表示装置30は、マトリクス状に配置された複数の画素40(図5では1つのみ記す)を有している。上記画素40は、スイッチングトランジスタ33と、保持容量34と、反射型の画素電極37と、これに対向する透明電極36と、これらの両電極37、36間に封止・保持された液晶35とにより主に構成される。
上記スイッチングトランジスタ33のゲートGには、選択線32が接続されており、ドレインDには、データ線31が接続されている。上記選択線32には、図示しない垂直シフトレジスタより選択信号が出力され、上記データ線31には、図示しない水平シフトレジスタより、画像に対応した画像信号電圧が出力される。上記保持容量34の一端は、スイッチングトランジスタ33のソースS及び画素電極37にそれぞれ接続されており、他端はアースされている。
上記選択線32に出力される選択信号により選択されたスイッチングトランジスタ33がオンする。このとき、データ線31に出力された画像信号電圧は、スイッチングトランジスタ33のドレインD及びソースSを経て、保持容量34に印加蓄積される。この画像信号電圧は、同時に画素電極37にも印加される。所定の電圧に保持されている透明電極36と画像信号電圧が印加されている画素電極37との間に生じる電圧により液晶35は駆動される。この動作が全画素40について、1フレーム毎に繰り返し行われ、この結果、液晶表示装置30により画像が表示される。
上記選択線32に出力される選択信号により選択されたスイッチングトランジスタ33がオンする。このとき、データ線31に出力された画像信号電圧は、スイッチングトランジスタ33のドレインD及びソースSを経て、保持容量34に印加蓄積される。この画像信号電圧は、同時に画素電極37にも印加される。所定の電圧に保持されている透明電極36と画像信号電圧が印加されている画素電極37との間に生じる電圧により液晶35は駆動される。この動作が全画素40について、1フレーム毎に繰り返し行われ、この結果、液晶表示装置30により画像が表示される。
次に、図6に示した従来の反射型液晶表示装置の素子構造を説明する。図6は従来の反射型液晶表示装置を示す概略断面構成図である。同図には、反射型液晶表示装置30の1画素分の構造が示されている。半導体基板である例えばP型のシリコン基板1の表面には、所定サイズのN型拡散層2D、2S、2Cが形成されている。このN型拡散層2D、2Sは、図5中のドレインD、ソースSにそれぞれ対応する。
このシリコン基板1を覆って、SiO2よりなる第1の絶縁層3が形成されて いる。この第1の絶縁層3の上には、ポリシリコンからなるそれぞれ所定の形状の電極部4G,4Cが形成されている。この電極部4Gは図5中のゲートGに対応する。上記電極部4Gは、N型拡散層2DとN型拡散層2Sとの間の上方に、上記電極部4CはN型拡散層2Cの上方にそれぞれ配置されている。そして、上記電極部4G、4Cを含む表面全体を覆ってSiO2からなる第2の絶縁層5が 形成されている。
このシリコン基板1を覆って、SiO2よりなる第1の絶縁層3が形成されて いる。この第1の絶縁層3の上には、ポリシリコンからなるそれぞれ所定の形状の電極部4G,4Cが形成されている。この電極部4Gは図5中のゲートGに対応する。上記電極部4Gは、N型拡散層2DとN型拡散層2Sとの間の上方に、上記電極部4CはN型拡散層2Cの上方にそれぞれ配置されている。そして、上記電極部4G、4Cを含む表面全体を覆ってSiO2からなる第2の絶縁層5が 形成されている。
上記N型拡散層2D、2S、2C上にある第1の絶縁層3及び第2の絶縁層5の一部、及び電極部4C上にある第2の絶縁層5の一部はそれぞれ除去されて、その除去箇所にAlからなるコンタクト6D、6S、6C、6C’が形成されている。上記第2の絶縁層5、及びコンタクト6D、6S、6C、6C’を覆って、Alからなる第1のメタル層が堆積されると共に、その一部が除去されており、これにより上記コンタクト6Dに接続された第1のメタル層7D、上記コンタクト6S及びコンタクト6Cに接続された第1のメタル層7S、及びコンタクト6C’に接続された第1のメタル層7Cがそれぞれ形成されている。
上記第1のメタル層7D、7S、7C及びそれらの間隙部を覆って、SiO2 からなる第3の絶縁層8及び埋め込み絶縁層20CD、20DS、20SCがそれぞれ形成されている。上記第1のメタル層7S上の第3の絶縁層8の一部を除去して、そこにAlからなるコンタクト21が形成されている。上記第3の絶縁層8及びコンタクト21上に、所定の形状の第2のメタル層9、9Sがそれぞれ形成されている。ここで一方の第2のメタル層9は、後述する侵入光15S、15S’を減衰する遮光層として機能する。
上記第2のメタル層9と第2のメタル層9Sとの間隙部にはSiO2からなる 埋め込み絶縁層18が形成されている。また第2のメタル層9、9S及び埋め込み絶縁層18を覆って、SiO2からなる第4の絶縁層10が形成されている。 他方の第2のメタル層9S上の第4の絶縁層10の一部は除去されて、そこにAlからなるコンタクト22が形成されている。また上記第4の絶縁層10及びコンタクト22上に所定の形状のAlからなる第3のメタル層を形成し、それを所定の形状に加工することにより画素電極11(図5中の画素電極37に対応)が形成されている。ここで互いに隣り合う画素電極11間には、SiO2からなる 埋め込み絶縁層24が形成されている。そして、上記画素電極11及び埋め込み絶縁層24を覆って配向層(図示しない)が形成されている。
一方、透明基板14上(図中では下側)には、対向電極として全画素に共通する透明電極13(図5中の透明電極36に対応)が形成されている。さらに、透明電極13上(図中では下側)には配向層(図示しない)が形成されている。上記透明基板14とシリコン基板1とは、透明電極13と画素電極11とを向かい合わせて配置され、その間には液晶12が封入されており、これにより液晶表示装置30が形成される。ここで反射型液晶表示装置においては、上述したように透明電極13は全画素に共通する対向電極であり、画素電極11は反射電極である。
図5中のスイッチングトランジスタ33は、ドレインDであるN型拡散層2D、ソースSであるN型拡散層2S、選択線に接続されるゲートGである電極部4Gと、ソースSとドレインD間の半導体領域より構成される。上記第1のメタル層7Dはデータ線に接続される。また第1のメタル層7CはN型拡散層2Cに接続されて、アース電位が与えられる。上記画素電極11は、第2のメタル層9S及び第1のメタル層7Sを介してN型拡散層2S及び電極部4Cにそれぞれ接続されている。また電極部4Cと、N型拡散層2Cと、これらの間に配置された第1の絶縁層3とにより保持容量34が形成される。
このような液晶表示装置30において、読出し光15は、透明基板14側より入射し、液晶12を通過して画素電極11で反射されて出射する。この読出し光15は、液晶12中を通過する際に、透明電極13と画素電極11との間に印加された画像信号電圧に対応した変調(偏光状態が変わる)を受けることにより、画像を表示できるようになっている。このような反射型液晶表示装置30の利点としては、画素電極11の下にスイッチングトランジスタ33等を形成できるため、高密度に画素を配置できる点が上げられる。
ところで、この種の反射型液晶表示装置30においては、上述したように画像を表示する間、読出し光15が、透明基板14を通して液晶12中に照射され、画素電極11にて反射されて再び液晶12中を通過して、透明基板14から外部に出射する。この際、明るい表示画像を得るために、一般的には読出し光15としては非常に強い光が用いられる。しかし、この場合には、読出し光15の一部は、透明であるSiO2からなる開口部10K、10K’(埋め込み層24に対 応)、第4の絶縁層10、埋め込み絶縁層18、第3の絶縁層8、埋め込み絶縁層20DS、20SC、第2の絶縁層5及び第1の絶縁層3を反射しながら侵入光15S、15S’として伝っていく。そしてこの侵入光15S、15S’の一部の光は減衰・吸収されることなくシリコン基板1中に侵入することになる。
この侵入光15S、15S’は、シリコン基板1中に入射すると電荷キャリアを発生し、スイッチングトランジスタ33の誤動作を引き起こし、表示品質の劣化を招くという不都合がある。そのため、この侵入光15S、15S’をなくすために、遮光膜として上記第2のメタル層9を設けて隣接する埋め込み絶縁層18の横方向の長さをできるだけ小さくして侵入光15S、15S’が伝わり難くしている。また、画素電極11の下面上及び第2のメタル層9の上面上には、光吸収効果の優れたTiN等の薄膜を形成して侵入光15S、15S’を途中でできるだけ吸収するようにしている。
しかしながら、液晶表示装置の小型化のため、又表示画像の高解像度化のために、画素電極11のサイズをできるだけ小さくする傾向にあり、この場合には第2のメタル層9(遮光膜)の長さも短くなるため、侵入光15S、15S’を十分に減衰できずに、スイッチングトランジスタ33の誤動作を引き起こし易くなる、という問題があった。
また侵入光15S、15S’を少なくするために、第2のメタル層9の長さの減少を補う目的で、第4の絶縁層10及び第3の絶縁層8の厚さを薄くすることも考えられるが、この場合にはこれら第4又は第3の絶縁層10、8の形成時に、この層中に導電性の塵埃などが巻き込まれると、画素電極11と第2のメタル層9との間及び第2のメタル層9と第1のメタル層7D、7Cとの間に、それぞれ短絡を引き起こし易くなり、液晶表示装置の製造歩留まりを低下させる、という問題があるので採用することはできない。
また侵入光15S、15S’を少なくするために、第2のメタル層9の長さの減少を補う目的で、第4の絶縁層10及び第3の絶縁層8の厚さを薄くすることも考えられるが、この場合にはこれら第4又は第3の絶縁層10、8の形成時に、この層中に導電性の塵埃などが巻き込まれると、画素電極11と第2のメタル層9との間及び第2のメタル層9と第1のメタル層7D、7Cとの間に、それぞれ短絡を引き起こし易くなり、液晶表示装置の製造歩留まりを低下させる、という問題があるので採用することはできない。
また、開口部10K、10K’を通過した光の一部は第2メタル層9で反射して再び開口部10K、10K’に到達して投射レンズ側に戻ってくるので、この時、液晶12の偏光状態が散乱などで変化してしまってコントラストを低下させる問題もあった。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであり、本発明の目的は、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板側に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現することが可能な反射型液晶表示装置を提供することにある。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであり、本発明の目的は、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板側に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現することが可能な反射型液晶表示装置を提供することにある。
上記目的を達成するための手段としての本発明は、スイッチングトランジスタにより駆動される画素電極をマトリクス状に配置した半導体基板と、共通な透明電極を形成した透明基板とを、前記画素電極と前記透明電極とが対向するように配置し、前記半導体基板と前記透明基板との間に液晶を封入してなる反射型液晶表示装置において、前記画素電極間に掘り込み部を形成すると共に、該掘り込み部に前記画素電極の厚さ以上の厚さで非導電性の光吸収部材を形成するようにしたことを特徴とする反射型液晶表示装置である。
本発明の反射型液晶表示装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
画素電極間に光吸収材を設けるようにしたので、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現することができる。
また画素電極間が平坦になって不要な反射光をなくすことができるので、その分、高いコントラスト比を得ることができる。
画素電極間に光吸収材を設けるようにしたので、画素を高密度に配置した場合でも、半導体基板に入射する不要光を抑制して、良好な表示品質を実現することができる。
また画素電極間が平坦になって不要な反射光をなくすことができるので、その分、高いコントラスト比を得ることができる。
以下、本発明の反射型液晶表示装置の一例について添付図面を参照して説明する。尚、説明の簡便のため、参照符号については従来の装置例と同一の構成に対しては、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
<第1実施例>
図1は本発明の反射型液晶表示装置の第1実施例を示す概略断面構成図である。この図1中には2画素分の画素40が示されており、同じ機能の部材には同一の参照番号を付している。
この反射型液晶表示装置100は、半導体基板として例えばP型のシリコン基板1を有している。このP型のシリコン基板1の表面には、所定の形状のN型拡散層2D、2S、2Cがそれぞれ形成されている。
<第1実施例>
図1は本発明の反射型液晶表示装置の第1実施例を示す概略断面構成図である。この図1中には2画素分の画素40が示されており、同じ機能の部材には同一の参照番号を付している。
この反射型液晶表示装置100は、半導体基板として例えばP型のシリコン基板1を有している。このP型のシリコン基板1の表面には、所定の形状のN型拡散層2D、2S、2Cがそれぞれ形成されている。
このシリコン基板1の全表面を覆って、厚さ35nmのSiO2よりなる第1 の絶縁層3が形成されている。そして、この第1の絶縁層3の上には、厚さ250nmのポリシリコンからなる所定の形状の電極部4G、4Cがそれぞれ形成されている。一方の電極部4GはN型拡散層2DとN型拡散層2Sとの間隙部の上方に、他方の電極部4CはN型拡散層2Cの上方にそれぞれ配置されている。上記電極部4G、4Cを覆って第1の絶縁層3の上に、厚さ500nmのSiO2 からなる第2の絶縁層5が例えばCVD法により形成されている。
上記N型拡散層2D、2S、2C上にある第1の絶縁層3と上記第2の絶縁層5の一部、及び電極部4C上にある上記第2の絶縁層5の一部はそれぞれ除去されて、それらの除去箇所にはAlからなるコンタクト6D、6S、6C、6C’がそれぞれ形成されている。これらのコンタクト6D、6S、6C、6C’の横方向の幅は0.5μmである。
上記第2の絶縁層5及びコンタクト6D、6S、6C、6C’を覆って、Alからなる厚さ500nmの第1のメタル層が成膜されて、その一部が幅0.8μmで除去されており、これにより上記コンタクト6Dに接続される第1のメタル層7D、上記コンタクト6S及びコンタクト6Cに接続される第1のメタル層7S、及び上記コンタクト6C’に接続される第1のメタル層7Cがそれぞれ形成されている。これらの第1のメタル層7D、7S、7Cは配線層である。
上記第2の絶縁層5及びコンタクト6D、6S、6C、6C’を覆って、Alからなる厚さ500nmの第1のメタル層が成膜されて、その一部が幅0.8μmで除去されており、これにより上記コンタクト6Dに接続される第1のメタル層7D、上記コンタクト6S及びコンタクト6Cに接続される第1のメタル層7S、及び上記コンタクト6C’に接続される第1のメタル層7Cがそれぞれ形成されている。これらの第1のメタル層7D、7S、7Cは配線層である。
上記第1のメタル層7D、7S、7C及びそれらの間隙部を覆って、SiO2 からなる厚さ500nmの第3の絶縁層8及び埋め込み絶縁層20CD、20DS、20SCがそれぞれ形成されている。上記埋め込み絶縁層20CD、20DS、20SCは、隣り合う上記第1のメタル層7D、7S、7C間の間隙部に形成されている。上記第1のメタル層7S上の第3の絶縁層8の一部を除去して、そこにAlからなる横及び奥行き幅が0.8μmであるコンタクト21が形成されている。また上記第3の絶縁層8及びコンタクト21上に、これらを覆って所定の形状の厚さ1μmの第2のメタル層9、9Sが形成されている。これらの第2のメタル層9、9Sは遮光層の機能を有する。
また、これらの第2のメタル層9、9Sの間隙部にはSiO2からなる埋め込 み絶縁層18が形成されている。上記両第2のメタル層9、9S及び埋め込み絶縁層18を覆って、SiO2からなる厚さ1000nmの第4の絶縁層10が形 成されている。上記第2のメタル層9S上の第4の絶縁層10の一部は除去されて、ここにAlからなる横及び奥行き幅が0.8μmであるコンタクト22が形成されている。上記第4の絶縁層10及びコンタクト22上に、Alからなる厚さ200nmの第3のメタル層を形成し、それを横及び奥行きがそれぞれ13μmになるように加工して画素電極11が形成されている。
ここで隣り合う画素電極11間の開口部10K、10K’において第4の絶縁層10は、上記画素電極11の厚さ以上の深さで掘り込まれてここに掘り込み部50を形成しており、この掘り込み部50に画素電極11の厚さ以上の厚さで本発明の特徴とする非導電性の光吸収部材23が埋め込むようにして形成される。上記掘り込み部50の形成は、画素電極11を形成する際のフォトリソグラフィーとドライエッチング等の半導体製造工程の技術を用いることで可能である。また、上記光吸収部材23としては、TFT(Thin Film Transistor)などに用いられるブラックマトリクス用の材料が利用できる。ここで樹脂タイプのブラックマトリクス材を用いる場合には、画素電極11を形成後にスピンコートなどにより基板上にブラックマトリクス材を塗布する。その後、プリベークを行うことにより画素電極11間の段差を埋めるように基板全面にブラックマトリクス材を平坦に形成することができる。この状態で、画素電極11上のブラックマトリクス材が消滅するまで、O2 によるアッシングやCF系ガスによるドライエッチングを行えば図1に示すように画素電極11間への埋め込みが実現できる。
以上のように、上記構造はフォトリソグラフィーなどのパターニング技術を用いずに容易に形成が可能で有るという利点を持つ。尚、ブラックマトリクス材の光吸収はその膜厚に依存するため厚ければ厚いほど良い。図2は代表的なブラックマトリクス材の光学濃度と膜厚との関係を示すグラフであるが、この場合、光吸収部材23であるブラックマトリクス材の厚さが画素電極11で通常用いられる0.2μm以下では光学濃度が1以下となり、十分な光吸収ができない。従って、本発明の構造では第4の絶縁層10を掘り込んで掘り込み部50を形成し、そこまで光吸収部材23を埋め込むようにしているので光吸収率を大きくすることが可能となる。また前述のように工法も容易である。
一方、透明基板14上(図1中では下面側)には、全画素40に共通な透明電極13が対向して形成されている。さらに、上記透明電極14上(図1中では下面側)には配向層(図示しない)が形成されている。上記透明基板14とシリコン基板1とは、透明電極13と画素電極11とが向かい合うように配置され、その間には液晶12が封入されており、これにより反射型液晶表示装置100が形成される。
ここで、上記反射型液晶表示装置100では、透明電極13は、上述のように全画素に共通する対向電極であり、画素電極11は反射電極である。図5で示されるスイッチングトランジスタ33に対応するスイッチングトランジスタは、図1中ではドレインDとなるN型拡散層2Dと、ソースSとなるN型拡散層2Sと、選択線に接続されるゲートとなる電極部4Gと、ソースSとドレインD間のシリコン基板1の領域とにより構成される。また第1のメタル層7Dはデータ線に接続される。また第1のメタル層7CはN型拡散層2Cに接続されて、アース電位が与えられる。画素電極11は、第2のメタル層9S及び第1のメタル層7Sを介してN型拡散層2S及び電極部4Cに共通に接続されている。また電極部4Cと、N型拡散層2Cと、これらの間に配置された第1の絶縁層3とで保持容量34を形成している。
ここで、上記反射型液晶表示装置100では、透明電極13は、上述のように全画素に共通する対向電極であり、画素電極11は反射電極である。図5で示されるスイッチングトランジスタ33に対応するスイッチングトランジスタは、図1中ではドレインDとなるN型拡散層2Dと、ソースSとなるN型拡散層2Sと、選択線に接続されるゲートとなる電極部4Gと、ソースSとドレインD間のシリコン基板1の領域とにより構成される。また第1のメタル層7Dはデータ線に接続される。また第1のメタル層7CはN型拡散層2Cに接続されて、アース電位が与えられる。画素電極11は、第2のメタル層9S及び第1のメタル層7Sを介してN型拡散層2S及び電極部4Cに共通に接続されている。また電極部4Cと、N型拡散層2Cと、これらの間に配置された第1の絶縁層3とで保持容量34を形成している。
以上のように形成された反射型液晶表示装置100においては、読出し光15は、透明基板14側より入射する。この読出し光15の一部は、開口部10K、10K’からシリコン基板1側に、侵入光15S、15S’として侵入しようとするが、この侵入光15S、15S’は上記開口部10K、10K’に設けた光吸収部材23により大幅に減衰されるため、第2のメタル層9、9S間の隙間に到達する侵入光15S、15S’はほとんど発生せず、シリコン基板1に形成されたトランジスタ33に達する割合が非常に少なくなり、反射型液晶表示装置100の表示品質を向上させることができる。
またこの光吸収部材23の厚さは、光学濃度が十分に大きくなるように画素電極11の厚さ以上の厚さになるように設定しているので、この点よりも侵入光15S、15S’がトランジスタ33に到達することを略確実に阻止することができ、表示品質を一層向上させることができる。
またこの光吸収部材23の厚さは、光学濃度が十分に大きくなるように画素電極11の厚さ以上の厚さになるように設定しているので、この点よりも侵入光15S、15S’がトランジスタ33に到達することを略確実に阻止することができ、表示品質を一層向上させることができる。
また、第2のメタル層9からの反射光であって開口部10K、10K’を抜けて戻ってくる光も大幅に抑制できるため、高いコントラスト比を実現することができる。さらに、画素電極11間に段差があると液晶12の配向が乱れてコントラストの低下などの画質劣化を生じるが、本発明の構造では光吸収部材23が画素電極11とほぼ同じ高さに埋め込まれるため、液晶12の配向を均一にでき、この点よりも画質劣化が生じることを防止することができる。
<第2実施例>
上記実施例1では画素電極11間に設けた光吸収部材23により侵入光15S、15S’を十分に減衰させることができる。従って、図3に示す第2実施例のように第2のメタル層9、9S中のパターン間隔L1を大きく広げるようにしてもよい。これによれば、パターン間の短絡の発生頻度を抑制できるので製品歩留まりを更に向上させることができ、しかも、寄生容量を低減できるので、画質を更に向上させることができる。尚、図3及び以下に説明する図4では、画素電極11より上方の構造の記載は省略している。
上記実施例1では画素電極11間に設けた光吸収部材23により侵入光15S、15S’を十分に減衰させることができる。従って、図3に示す第2実施例のように第2のメタル層9、9S中のパターン間隔L1を大きく広げるようにしてもよい。これによれば、パターン間の短絡の発生頻度を抑制できるので製品歩留まりを更に向上させることができ、しかも、寄生容量を低減できるので、画質を更に向上させることができる。尚、図3及び以下に説明する図4では、画素電極11より上方の構造の記載は省略している。
<第3実施例>
図4は本発明の反射型液晶表示装置の第3実施例を示す概略断面構成図である。
同図に示すように、この第3実施例は上記第1及び第2実施例で用いた第2のメタル層9、9Sを除いた構造である。これは、画素電極11間に設けた光吸収部材23により十分に侵入光15S、15S’を遮断することができるようになったために実現できる構造である。効果としては、侵入光15S、15S’の遮断のために全面に形成していた第2のメタル層9、9Sを取り除いたことで、ダスト等による第1のメタル層7D、7S、7Cと第2のメタル層9、9S間、及び第3のメタル層である画素電極11と第2のメタル層9、9S間のショートを大幅になくすことができ、その分、歩留りを大幅に向上できる。さらにメタルを形成するプロセスが少なくなったことから製品歩留まりを更に向上できる。
図4は本発明の反射型液晶表示装置の第3実施例を示す概略断面構成図である。
同図に示すように、この第3実施例は上記第1及び第2実施例で用いた第2のメタル層9、9Sを除いた構造である。これは、画素電極11間に設けた光吸収部材23により十分に侵入光15S、15S’を遮断することができるようになったために実現できる構造である。効果としては、侵入光15S、15S’の遮断のために全面に形成していた第2のメタル層9、9Sを取り除いたことで、ダスト等による第1のメタル層7D、7S、7Cと第2のメタル層9、9S間、及び第3のメタル層である画素電極11と第2のメタル層9、9S間のショートを大幅になくすことができ、その分、歩留りを大幅に向上できる。さらにメタルを形成するプロセスが少なくなったことから製品歩留まりを更に向上できる。
1…シリコン基板(半導体基板)、2C,2D,2S…N型拡散層、3…第1の絶縁層、4C,4G…電極部、5…第2の絶縁層、6C,6C’,6D,6S…コンタクト、7C,7D,7S…第1のメタル層、8…第3の絶縁層、9,9S…第2メタル層、10…第4の絶縁層、11…画素電極、12…液晶、13…透明電極、15…読出し光、18…埋め込み絶縁層、20CD,20DS,20SC…埋め込み絶縁層、21…コンタクト、22…コンタクト、23…光吸収部材、33…スイッチングトランジスタ、34…保持容量、35…液晶、36…透明電極、40…画素、50…掘り込み部、100…反射型液晶表示装置。
Claims (1)
- スイッチングトランジスタにより駆動される画素電極をマトリクス状に配置した半導体基板と、共通な透明電極を形成した透明基板とを、前記画素電極と前記透明電極とが対向するように配置し、前記半導体基板と前記透明基板との間に液晶を封入してなる反射型液晶表示装置において、
前記画素電極間に掘り込み部を形成すると共に、該掘り込み部に前記画素電極の厚さ以上の厚さで非導電性の光吸収部材を形成するようにしたことを特徴とする反射型液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004027305A JP2005221587A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | 反射型液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004027305A JP2005221587A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | 反射型液晶表示装置 |
Publications (1)
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JP2005221587A true JP2005221587A (ja) | 2005-08-18 |
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ID=34997297
Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012220507A (ja) * | 2011-04-04 | 2012-11-12 | Jvc Kenwood Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
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2004
- 2004-02-03 JP JP2004027305A patent/JP2005221587A/ja active Pending
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