JP2015056556A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015056556A JP2015056556A JP2013189746A JP2013189746A JP2015056556A JP 2015056556 A JP2015056556 A JP 2015056556A JP 2013189746 A JP2013189746 A JP 2013189746A JP 2013189746 A JP2013189746 A JP 2013189746A JP 2015056556 A JP2015056556 A JP 2015056556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semiconductor
- type
- semiconductor device
- upper portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 215
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 17
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
- H01L29/0646—PN junctions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
- H01L29/0649—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
- H01L29/7787—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66446—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET]
- H01L29/66462—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET] with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
【課題】反転層、蓄積層、および転位に起因するリーク電流の流れを抑制して、耐圧を向上させることが可能な半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置は、半導体基板1と、半導体基板1上に形成された第1の膜2とを備える。さらに、装置は、第1の膜2上に形成された第1導電型またはイントリンシック型の第1半導体層3と、第1半導体層3上に形成された第1導電型またはイントリンシック型の第2半導体層4とを備える。さらに、装置は、第1半導体層3に接する第1の上部S3と、第1の膜に接する第2の上部S4と、第1の上部S3と第2の上部S4との間に位置する第1の側部S5と、第2の上部S4と半導体基板の下部S2との間に位置する第2の側部S6と、を有する第2導電型の第3半導体層11、12を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
GaN(窒化ガリウム)系材料を利用したHEMT(高電子移動度トランジスタ)は、GaN層とAlGaN(窒化アルミニウムガリウム)層とのヘテロ界面に自然に発生する2DEG(2次元電子ガス)層により、GaN系材料の特性を最大限に活用でき、次世代の増幅器やスイッチング素子などに用いられるデバイスとして注目されている。HEMTに求められる性能の1つとして、絶縁破壊耐圧がある。絶縁破壊耐圧は、HEMTのソース電極とドレイン電極との間に印加できる最大電圧である。
HEMTのGaN層とAlGaN層は、半導体基板上にバッファ層(緩衝層)を介して積層されている。しかしながら、半導体基板とGaN層の格子定数や熱膨張係数が互いに異なることから、バッファ層、GaN層、AlGaN層は、結晶欠陥の一種である転位を含んでいる。これらの転位は、HEMTに高電圧が印加された際に、リーク電流が生じる原因となる。また、HEMTの耐圧を大きくすると、半導体基板とバッファ層との間にキャリアが生じ、反転層または蓄積層が形成される。その結果、ソース電極とドレイン電極がショートチャネル化された状態となり、リーク電流が発生してしまう。これらのリーク電流は、HEMTの耐圧向上の障壁となっている。
反転層、蓄積層、および転位に起因するリーク電流の流れを抑制して、耐圧を向上させることが可能な半導体装置を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成された第1の膜とを備える。さらに、前記装置は、前記第1の膜上に形成された第1導電型またはイントリンシック型の第1半導体層と、前記第1半導体層上に形成された前記第1導電型またはイントリンシック型の第2半導体層とを備える。さらに、前記装置は、前記第1半導体層に接する第1の上部と、前記第1の膜に接する第2の上部と、前記第1の上部と前記第2の上部との間に位置する第1の側部と、前記第2の上部と前記半導体基板の下部との間に位置する第2の側部と、を有する第2導電型の第3半導体層を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、電力用トランジスタとしてHEMTを備えている。
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、電力用トランジスタとしてHEMTを備えている。
図1の半導体装置は、n型またはp型の半導体基板1と、第1の膜の例であるバッファ層2と、第1半導体層の例であるn型またはi型(イントリンシック型)の電子走行層3と、第2半導体層の例であるn型またはi型の電子供給層4と、ゲート電極5と、ソース電極6と、ドレイン電極7と、絶縁膜8と、第3半導体層の例である第1および第2のp型半導体層11、12と、第1および第2の絶縁膜13、14とを備えている。
図1の第1、第2のp型半導体層11、12はそれぞれ、第3半導体層の第1、第2の層の例である。また、n型、p型はそれぞれ、第1、第2導電型の例である。なお、i型の半導体層とは、n型不純物およびp型不純物が意図的に含まれていない半導体層を意味する。i型の半導体層は、アンドープの半導体層とも呼ばれる。
半導体基板1は、上部S1と下部S2とを有している。半導体基板1は、例えばシリコン基板である。図1は、半導体基板1の上部S1、下部S2に平行で、互いに垂直なX方向およびY方向と、半導体基板1の上部S1、下部S2に垂直なZ方向とを示している。
本明細書においては、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。例えば、半導体基板1の上部S1、下部S2の位置関係は、半導体基板1の上部S1が半導体基板1の下部S2の上方に位置していると表現される。
バッファ層2は、半導体基板1の上部S1上に形成されている。バッファ層2は例えば、AlN(窒化アルミニウム)層、AlGaN層、GaN層などを含む積層膜である。バッファ層2は、炭素原子がドープされていてもよい。
電子走行層3は、バッファ層2上に形成されている。電子走行層3は例えば、n型またはi型のGaN層である。符号Rは、電子走行層3の上端に2DEG層が生じる領域を示す。
電子供給層4は、電子走行層3上に形成されている。電子供給層4は例えば、n型またはi型のAlGaN層である。
ゲート電極(制御電極)5は、電子供給層4上に絶縁膜8を介して形成されている。一方、ソース電極(第1の主電極)6とドレイン電極(第2の主電極)7は、電子供給層4上に直接形成されており、電子供給層4と電気的にされてオーミックコンタクトを形成している。ゲート電極5は、一組の第1および第2のp型半導体層11、12の真上に配置されている。また、ソース電極6は、二組の第1および第2のp型半導体層11、12の間に挟まれる位置に配置されている。同様に、ドレイン電極7は、二組の第1および第2のp型半導体層11、12の間に挟まれる位置に配置されている。ゲート電極5、ソース電極6、およびドレイン電極7は、Y方向に延びる形状を有している。また、絶縁膜8は例えば、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である。
第1、第2のp型半導体層11、12は、電子走行層3に接する第1の上部S3と、バッファ層2に接する第2の上部S4と、第1の上部S3と第2の上部S4との間に位置する第1の側部S5と、第2の上部S4と半導体基板1の下部S2との間に位置する第2の側部S6とを有している。
第1の上部S3は、電子走行層3の上端とバッファ層2の上端との間の高さに位置している。ただし、第1の上部S3は、電子走行層3と第1のp型半導体層11との間のpn接合(またはpi接合)による空乏層が、2DEGの生じる領域Rに接しない高さに設けられている。また、第2の上部S4は、半導体基板1の上部S1とほぼ同じ高さに位置している。符号Kは、第2の上部S4と第1の側部S5との間に位置する角部を示している。第1、第2の上部S3、S4は、ゲート電極5、ソース電極6、ドレイン電極7と同様に、Y方向に延びる形状を有している。
符号A1は、第2の上部S4近傍における第1の側部S5で囲まれた領域の面積を示す。また、符号A2は、第2の上部S4近傍における第2の側部S6で囲まれた領域の面積を示す。本実施形態において、面積A2は、面積A1よりも大きく設定されており(A2>A1)、具体的には、面積A1の2倍以上に設定されている(A2≧2A1)。
第1のp型半導体層11は、第1の上部S3と第1の側部S5とを有している。第1のp型半導体層11は、Ga(ガリウム)およびN(窒素)を含有する化合物半導体層であり、例えば、ホモエピタキシャル成長により形成されたp型のGaN層である。ホモエピタキシャル層は、含まれる転位が少ないという利点がある。
第2のp型半導体層12は、第2の上部S4と第2の側部S6とを有し、第1のp型半導体層11と異なる半導体材料で形成されている。第2のp型半導体層12は、Al(アルミニウム)、Ga、およびNを含有する化合物半導体層であり、例えば、p型のAlGaN層である。第2のp型半導体層12は、第1の上部S3と半導体基板1の上部S1との間に位置する第1の部分12aと、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に位置する第2の部分12bとを含んでいる。
第1の絶縁膜13は、第2の上部S4と半導体基板1の下部S2との間に、第2のp型半導体層12に接するように形成されている。第2の絶縁膜14は、半導体基板1の下部S2に、第2のp型半導体層12と第1の絶縁膜13とを覆うように形成されている。第1の絶縁膜13と第2の絶縁膜14は、例えば、SiO2膜(シリコン酸化膜)またはAl2O3膜(アルミニウム酸化膜)である。
第1、第2のp型半導体層11、12と第1、第2の絶縁膜13、14は、例えば、半導体基板1の下部S2に溝(トレンチ)を形成し、溝の内部に第1のp型半導体層11、第2のp型半導体層12、第1の絶縁膜13を順に形成し、第2のp型半導体層12および第1の絶縁膜13を覆うように第2の絶縁膜14を形成することで形成可能である。ただし、第1、第2のp型半導体層11、12と第1、第2の絶縁膜13、14は、その他の方法で形成してもよい。
図2は、第1実施形態の半導体装置の詳細を説明するための断面図である。
図2に示すように、バッファ層2や電子走行層3は、多くの転位αを含んでいる。バッファ層2、電子走行層3、電子供給層4の転位αの密度は、バッファ層2が最も大きく、電子供給層4が最も小さい。HEMTの耐圧を大きくすると、矢印βで示すように、転位αに沿ってリーク電流が流れてしまう。このリーク電流は、半導体装置のチップ端面に向かって流れることとなる。
また、HEMTの耐圧を大きくすると、半導体基板1とバッファ層2との間にキャリアが生じ、反転層(または蓄積層。以下同様)γが形成される。その結果、ソース電極6とドレイン電極7がショートチャネル化された状態となり、リーク電流が発生してしまう。このリーク電流も、半導体装置のチップ端面に向かって流れることとなる。
しかしながら、本実施形態においては、電子走行層3と第1のp型半導体層11との間や、半導体基板1と第2のp型半導体層12との間に、pn接合(またはpi接合。以下同様)が形成されている。これらのpn接合部には、電子や正孔が不足する空乏層が発生する。そのため、これらのpn接合によるポテンシャル障壁によりリーク電流の流れが制限される、すなわち、リークパスが遮断される。よって、本実施形態によれば、反転層γや転位αに起因するリーク電流の流れを抑制して、HEMTの耐圧を向上させることが可能となる。
また、本実施形態の第1および第2のp型半導体層11、12は、第1の側部S5と第2の側部S6との間に、バッファ層2に接する第2の上部S4を有している。そのため、反転層γによるリーク電流がチップ端面まで流れるためには、この第2の上部S4に沿った長いp型層(第2のp型半導体層12)を通過する必要がある。よって、本実施形態によれば、このような長いp型層により、反転層γによるリーク電流がチップ端面まで流れることを抑制することが可能となる。
このp型層のX方向の長さは、なるべく長いことが望ましい。しかしながら、第2の上部S4と第1の側部S5との間に位置する角部Kは、エッチング加工やエッチバック加工などにより丸められる場合がある。そのため、p型層のX方向の長さは、角部Kが丸み部を有している場合も考慮に入れて、十分に長く設定することが望ましい。
よって、本実施形態においては、面積A2を面積A1の2倍以上に設定している。これにより、本実施形態によれば、このp型層のX方向の長さを十分に長く設定することが可能となる。
(第1実施形態の変形例の半導体装置)
図3は、第1実施形態の第1変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図3は、第1実施形態の第1変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図1の第2のp型半導体層12は、第1の上部S3と半導体基板1の上部S1との間に位置する第1の部分12aと、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に位置する第2の部分12bとを含んでいる。
一方、図3の第2のp型半導体層12は、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に位置する第2の部分12bは含んでいるが、第1の上部S3と半導体基板1の上部S1との間に位置する第1の部分12aは含んでいない。
図4は、第1実施形態の第2変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図4の半導体装置は、図1の半導体装置の第1、第2のp型半導体層11、12を第3のp型半導体層15で置き換えた構造を有している。よって、図4の第1の上部S3、第2の上部S4、第1の側部S5、および第2の側部S6は、同じ半導体材料(第3のp型半導体層15の材料)で形成されている。第3のp型半導体層15は、GaおよびNを含有する化合物半導体層であり、例えば、ホモエピタキシャル成長により形成されたp型のGaN層である。第3のp型半導体層15は、第3半導体層の例である。
図5は、第1実施形態の第3変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図1のゲート電極5の真下の第1の上部S3は、ソース電極6やドレイン電極7の真下の第1の上部S3と同じ高さに設けられている。図1に示す形状の第1の上部S3は、例えば、製造が容易という利点がある。
一方、図5のゲート電極5の真下の第1の上部S3は、ソース電極6やドレイン電極7の真下の第1の上部S3よりも低い高さに設けられている。図5のゲート電極5の真下の第1の上部S3は、例えば、バッファ層2の上端の高さに近い高さに設けることが望ましい。図5に示す形状の第1の上部S3は、例えば、電子の通り道である2DEG層の電子移動度を低下させないという利点がある。なお、図5に示す形状の第1の上部S3は、図3や図4の半導体装置や、後述する図6〜図8の半導体装置にも適用可能である。
本実施形態においては、図1に示す構造の代わりに、図3、図4、または図5に示す構造を採用してもよい。
以下、図1、図3、図4、および図5の半導体装置を比較する。
図1、図3、図5の半導体装置においては、GaN層である第1のp型半導体層11だけでなく、AlGaN層である第2のp型半導体層12も使用する。AlGaN層は、例えば、GaN層よりもバンドギャップが大きく、HEMTの耐圧をより向上できるという利点がある。
一方、図4の半導体装置においては、第1および第2のp型半導体層11、12の代わりに、GaN層である第3のp型半導体層15のみを使用する。この場合、AlGaN層を使用せずにGaN層のみを使用するため、GaN層およびAlGaN層を使用する場合に比べて、半導体装置の製造工程を単純化できるという利点が得られる。また、第3のp型半導体層15は、GaN層の代わりにAlGaN層としてもよい。
以上のように、本実施形態の半導体装置は、電子走行層3に接する第1の上部S3と、バッファ層2に接する第2の上部S4と、第1の上部S3と第2の上部S4との間に位置する第1の側部S5と、第2の上部S4と半導体基板1の下部S2との間に位置する第2の側部S6とを有するp型半導体層11、12(または15)を備えている。よって、本実施形態によれば、反転層、蓄積層、転位に起因するリーク電流の流れを抑制して、HEMTの耐圧を向上させることが可能となる。
(第2実施形態)
図6は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。
図6は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。
図6の半導体装置は、図4に示す構成要素に加えて、第4のp型半導体層16を備えている。図6の第3および第4のp型半導体層15、16は、第3半導体層の例である。また、図6の第3および第4のp型半導体層15、16はそれぞれ、第3半導体層の第1、第2の層の例である。
第3のp型半導体層15は、第1の上部S3、第1の側部S5、および第2の側部S6を有している。一方、第4のp型半導体層16は、第2の上部S4を有している。第4のp型半導体層16は、例えば、p型不純物を含有するシリコン層である。
第4のp型半導体層16は、例えば、半導体基板1の下部S2に、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に底部を有する第1の溝を形成し、第1の溝の底部の半導体基板1にp型不純物を注入し、その後、第1の溝の底部に第2の溝を形成することで形成可能である。この場合、第4のp型半導体層16は、半導体基板1内に形成されたp型半導体領域である。
なお、半導体基板1がn型基板の場合には、第4のp型半導体層16の不純物濃度が、pn接合によりポテンシャル障壁が形成される濃度となるように、上記のp型不純物の注入が行われる。一方、半導体基板1がp型基板の場合には、p型の半導体基板1の結晶性に影響が出ない程度に、第4のp型半導体層16の不純物濃度をp型の半導体基板1の不純物濃度よりも高く設定することが好ましい。これらの場合、第3のp型半導体層16の厚さは、p型不純物を注入できる厚さに設定することが好ましく、例えば1μm以上(より詳細には3μm以上)とすることが望ましい。
また、第3のp型半導体層15と第1、第2の絶縁膜13、14は、例えば、第1および第2の溝の内部に第3のp型半導体層15、第1の絶縁膜13を順に形成し、第3のp型半導体層15および第1の絶縁膜13を覆うように第2の絶縁膜14を形成することで形成可能である。ただし、第3のp型半導体層15と第1、第2の絶縁膜13、14は、その他の方法で形成してもよい。
次に、引き続き図6を参照し、第2実施形態の半導体装置の詳細を説明する。符号α、β、γの意味については、図2と同様である。
図2の第1および第2のp型半導体層11、12は、第1の側部S5と第2の側部S6との間に、バッファ層2に接する第2の上部S4を有している。そのため、反転層(または蓄積層。以下同様)γによるリーク電流がチップ端面まで流れるためには、この第2の上部S4に沿った長いp型層(第2のp型半導体層12)を通過する必要がある。
同様に、図6の第3および第4のp型半導体層15、16も、第1の側部S5と第2の側部S6との間に、バッファ層2に接する第2の上部S4を有している。そのため、反転層γによるリーク電流がチップ端面まで流れるためには、この第2の上部S4に沿った長いp型層(第4のp型半導体層16)を通過する必要がある。
よって、本実施形態によれば、このような第4のp型半導体層16により、反転層γによるリーク電流がチップ端面まで流れることを抑制することが可能となる。
(第2実施形態の変形例の半導体装置)
図7は、第2実施形態の第1変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図7は、第2実施形態の第1変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図7の半導体装置は、図6の半導体装置の第3のp型半導体層15を第1、第2のp型半導体層11、12で置き換えた構造を有している。図7の第1、第2、第4のp型半導体層11、12、16は、第3半導体層の例である。また、図7の第1、第2、第4のp型半導体層11、12、16はそれぞれ、第3半導体層の第1、第2、第3の層の例である。
第1のp型半導体層11は、第1の上部S3と第1の側部S5とを有している。第2のp型半導体層12は、第2の側部S6を有している。第1、第2、第4のp型半導体層11、12、16は、互いに異なる半導体材料で形成されている。
図8は、第2実施形態の第2変形例の半導体装置の構造を示す断面図である。
図7の第2のp型半導体層12は、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に位置する第2の部分12bは含んでいるが、第1の上部S3と半導体基板1の上部S1との間に位置する第1の部分12aは含んでいない。
一方、図8の第2のp型半導体層12は、第1の上部S3と半導体基板1の上部S1との間に位置する第1の部分12aと、半導体基板1の上部S1と下部S2との間に位置する第2の部分12bとを含んでいる。
本実施形態においては、図6に示す構造の代わりに、図7や図8に示す構造を採用してもよい。
以上のように、本実施形態の半導体装置は、電子走行層3に接する第1の上部S3と、バッファ層2に接する第2の上部S4と、第1の上部S3と第2の上部S4との間に位置する第1の側部S5と、第2の上部S4と半導体基板1の下部S2との間に位置する第2の側部S6とを有するp型半導体層15、16(または11、12、16)を備えている。よって、本実施形態によれば、反転層、蓄積層、および転位に起因するリーク電流の流れを抑制して、HEMTの耐圧を向上させることが可能となる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:半導体基板、2:バッファ層、3:電子走行層、4:電子供給層、
5:ゲート電極、6:ソース電極、7:ドレイン電極、8:絶縁膜、
11:第1のp型半導体層、12:第2のp型半導体層、
12a:第1の部分、12b:第2の部分、
13:第1の絶縁膜、14:第2の絶縁膜、
15:第3のp型半導体層、16:第4のp型半導体層
5:ゲート電極、6:ソース電極、7:ドレイン電極、8:絶縁膜、
11:第1のp型半導体層、12:第2のp型半導体層、
12a:第1の部分、12b:第2の部分、
13:第1の絶縁膜、14:第2の絶縁膜、
15:第3のp型半導体層、16:第4のp型半導体層
Claims (8)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第1の膜と、
前記第1の膜上に形成された第1導電型またはイントリンシック型の第1半導体層と、
前記第1半導体層上に形成された前記第1導電型またはイントリンシック型の第2半導体層と、
前記第1半導体層に接する第1の上部と、前記第1の膜に接する第2の上部と、前記第1の上部と前記第2の上部との間に位置する第1の側部と、前記第2の上部と前記半導体基板の下部との間に位置する第2の側部と、を有する第2導電型の第3半導体層と、
を備える半導体装置。 - 前記第3半導体層は、
前記第1の上部と前記第1の側部とを有する第1の層と、
前記第2の上部と前記第2の側部とを有し、前記第1の層と異なる材料で形成された第2の層と、
を備える請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第3半導体層の前記第1の上部、前記第2の上部、前記第1の側部、および前記第2の側部は、同じ材料で形成されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3半導体層は、
前記第1の上部、前記第1の側部、および前記第2の側部を有する第1の層と、
前記第2の上部を有し、前記第1の層と異なる材料で形成された第2の層と、
を備える請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第3半導体層は、
前記第1の上部と前記第1の側部とを有する第1の層と、
前記第2の側部を有し、前記第1の層と異なる材料で形成された第2の層と、
前記第2の上部を有し、前記第1および第2の層と異なる材料で形成された第3の層と、
を備える請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の層は、
前記第1の上部と前記半導体基板の上部との間に位置する第1の部分と、
前記半導体基板の上部と前記半導体基板の下部との間に位置する第2の部分と、
を含む請求項2または5に記載の半導体装置。 - さらに、前記第2の上部と前記半導体基板の下部との間に、前記第3半導体層に接するように形成された絶縁膜を備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第2の上部近傍における前記第2の側部で囲まれた領域の面積は、前記第2の上部近傍における前記第1の側部で囲まれた領域の面積の2倍以上である、請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013189746A JP2015056556A (ja) | 2013-09-12 | 2013-09-12 | 半導体装置 |
CN201410052440.1A CN104465740A (zh) | 2013-09-12 | 2014-02-17 | 半导体装置 |
US14/201,641 US9054171B2 (en) | 2013-09-12 | 2014-03-07 | HEMT semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013189746A JP2015056556A (ja) | 2013-09-12 | 2013-09-12 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015056556A true JP2015056556A (ja) | 2015-03-23 |
Family
ID=52624702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013189746A Pending JP2015056556A (ja) | 2013-09-12 | 2013-09-12 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9054171B2 (ja) |
JP (1) | JP2015056556A (ja) |
CN (1) | CN104465740A (ja) |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7084441B2 (en) * | 2004-05-20 | 2006-08-01 | Cree, Inc. | Semiconductor devices having a hybrid channel layer, current aperture transistors and methods of fabricating same |
JP5051980B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2012-10-17 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
JP2007095858A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 化合物半導体デバイス用基板およびそれを用いた化合物半導体デバイス |
US7859021B2 (en) * | 2007-08-29 | 2010-12-28 | Sanken Electric Co., Ltd. | Field-effect semiconductor device |
JP5431667B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2014-03-05 | 富士電機株式会社 | 窒化ガリウム半導体装置 |
US7898004B2 (en) | 2008-12-10 | 2011-03-01 | Transphorm Inc. | Semiconductor heterostructure diodes |
US8390091B2 (en) * | 2009-02-03 | 2013-03-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor structure, an integrated circuit including a semiconductor structure and a method for manufacturing a semiconductor structure |
JP5456783B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2014-04-02 | 日本碍子株式会社 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法、および半導体素子 |
WO2011024367A1 (ja) | 2009-08-27 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置 |
US8637360B2 (en) * | 2010-04-23 | 2014-01-28 | Intersil Americas Inc. | Power devices with integrated protection devices: structures and methods |
US8772832B2 (en) | 2010-06-04 | 2014-07-08 | Hrl Laboratories, Llc | GaN HEMTs with a back gate connected to the source |
JP5678517B2 (ja) | 2010-08-23 | 2015-03-04 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
EP2538445B1 (en) * | 2011-06-22 | 2016-10-05 | Imec | Manufacturing method of a III-nitride device and associated III-nitride device |
-
2013
- 2013-09-12 JP JP2013189746A patent/JP2015056556A/ja active Pending
-
2014
- 2014-02-17 CN CN201410052440.1A patent/CN104465740A/zh active Pending
- 2014-03-07 US US14/201,641 patent/US9054171B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9054171B2 (en) | 2015-06-09 |
CN104465740A (zh) | 2015-03-25 |
US20150069468A1 (en) | 2015-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5758132B2 (ja) | 半導体素子 | |
CN107359196B (zh) | 半导体装置 | |
US8519439B2 (en) | Nitride semiconductor element with N-face semiconductor crystal layer | |
US20130240951A1 (en) | Gallium nitride superjunction devices | |
JP5189771B2 (ja) | GaN系半導体素子 | |
JP5494474B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20130046249A (ko) | 전극구조체, 이를 포함하는 질화갈륨계 반도체소자 및 이들의 제조방법 | |
JP5654884B2 (ja) | 窒化物半導体装置の製造方法 | |
US9059027B2 (en) | Semiconductor device | |
JP5919703B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2012204351A (ja) | 窒化物半導体装置及びその製造方法 | |
JP5997234B2 (ja) | 半導体装置、電界効果トランジスタおよび電子装置 | |
JP2011071307A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2008016588A (ja) | GaN系半導体素子 | |
JP2011029507A (ja) | 半導体装置 | |
US20160211357A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2018041933A (ja) | 半導体装置及び半導体基板 | |
JP6126354B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6550869B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017157711A (ja) | 半導体装置 | |
JP2016001651A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US10158012B1 (en) | Semiconductor device | |
US10797170B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2017055053A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2015056556A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160115 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160701 |