JP2018041933A - 半導体装置及び半導体基板 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 143
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 131
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 120
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 120
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 120
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 72
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 63
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 21
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 4
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000004645 scanning capacitance microscopy Methods 0.000 description 3
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 2
- AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N alumane;indium Chemical compound [AlH3].[In] AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/107—Substrate region of field-effect devices
- H01L29/1075—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1079—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/1083—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate with an inactive supplementary region, e.g. for preventing punch-through, improving capacity effect or leakage current
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/063—Reduced surface field [RESURF] pn-junction structures
- H01L29/0634—Multiple reduced surface field (multi-RESURF) structures, e.g. double RESURF, charge compensation, cool, superjunction (SJ), 3D-RESURF, composite buffer (CB) structures
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/201—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including two or more compounds, e.g. alloys
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
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- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
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Abstract
【課題】シリコン基板と電極との間の耐圧を向上させることが可能な半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態の半導体装置は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、第2の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、第3の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、第4の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、第5の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置する第1の電極と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置し、第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置及び半導体基板に関する。
窒化物半導体層を用いた半導体装置は、高い耐圧を実現することが可能である。
例えば、窒化物半導体層上に形成されるトランジスタのソース電極は接地され、ドレイン電極には数百ボルトの電圧が印加される。ソース電極とドレイン電極の間には高い電圧が印加される。絶縁破壊耐圧の高い窒化物半導体層を用いることでソース電極とドレイン電極の間の耐圧を高くすることが可能となる。
窒化物半導体層は、例えば、シリコン基板上に形成される。シリコン基板が接地される場合、シリコン基板とトランジスタのドレイン電極の間にも高い電圧が印加される。したがって、シリコン基板とドレイン電極の間の耐圧の向上が望まれる。
本発明が解決しようとする課題は、シリコン基板と電極との間の耐圧を向上させることが可能な半導体装置及び半導体基板を提供することにある。
本発明の一態様の半導体装置は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、前記第1の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、前記第2の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、前記第3の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、前記第4の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、前記第5の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置する第1の電極と、前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置し、前記第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。
本明細書中、同一又は類似する部材については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。
本明細書中、「アンドープ」とは、不純物濃度が1×1015cm−3以下であることを意味する。
本明細書中、部品等の位置関係を示すために、図面の上方向を「上」、図面の下方向を「下」と記述する。本明細書中、「上」、「下」の概念は、必ずしも重力の向きとの関係を示す用語ではない。
(第1の実施形態)
本実施形態の半導体装置は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、第2の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、第3の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、第4の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、第5の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置する第1の電極と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置し、第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。
本実施形態の半導体装置は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、第2の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、第3の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、第4の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、第5の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置する第1の電極と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置し、第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。
図1は、本実施形態の半導体装置の模式断面図である。本実施形態の半導体装置は、III−V族半導体を用いたHEMTである。
図1に示すように、HEMT100(半導体装置)は、シリコン基板10、窒化物半導体層20、ゲート絶縁層22、ゲート電極24、ソース電極(第1の電極)26、ドレイン電極(第2の電極)28、金属板30を備える。
金属板30は、例えば、リードフレーム又はベッドである。金属板30は、例えば、42アロイである。
シリコン基板10は、例えば、表面の面方位が(111)のシリコンである。シリコン基板10は、金属板30上に接着されている。シリコン基板10は、金属板30上に、例えば、はんだを用いて接着されている。シリコン基板10の厚さは、例えば、100μm以上300μm以下である。
シリコン基板10は、p型の第1の領域10a、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fを備える。シリコン基板10内には、p型領域とn型領域が交互に形成されている。シリコン基板10内には、5個のpn接合が設けられている。
p型の第1の領域10a、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fの厚さは、例えば、0.5μm以上2.0μm以下である。
p型の第1の領域10aの厚さ(図1中のt1)は、例えば、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、n型の第6の領域10fのいずれの厚さ(t2〜t6)よりも厚い。
p型の第1の領域10a、p型の第3の領域10c、p型の第5の領域10eのp型不純物濃度は、例えば、1×1014atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下である。p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は、例えば、p型の第3の領域10c、p型の第5の領域10eのp型不純物濃度よりも高い。
n型の第2の領域10b、n型の第4の領域10d、n型の第6の領域10fのn型不純物濃度は、例えば、1×1014atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下である。
p型の第3の領域10cのp型不純物濃度をN3、p型の第3の領域10cの厚さをt3、n型の第4の領域10dのn型不純物濃度をN4、n型の第4の領域10dの厚さをt4とする。この場合、例えば、0.8≦(N4×t4)/(N3×t3)≦1.2が充足される。
p型の第5の領域10eのp型不純物濃度をN5、p型の第5の領域10eの厚さをt5、n型の第6の領域10fのn型不純物濃度をN6、n型の第6の領域10fの厚さをt6とする。この場合、例えば、0.8≦(N6×t6)/(N5×t5)≦1.2が充足される。
なお、シリコン基板10中のp型不純物濃度、及び、n型不純物濃度は、例えば、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)により測定することが可能である。p型不純物濃度、及び、n型不純物濃度は、例えば、それぞれの不純物領域の中央部の値を用いる。また、シリコン基板10中のp型領域、及び、n型の領域の厚さは、例えば、SIMS又はSCM(Scanning Capacitance Microscopy)により測定することが可能である。
シリコン基板10と金属板30は電気的に接続されている。例えば、シリコン基板10は金属板30を介して接地されている。言い換えれば、シリコン基板10には金属板30を介してグラウンド電位が印加される。
より厳密に言えば、p型の第1の領域10aは接地される。しかし、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fは、電位が固定されないフローティング状態である。
n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fと金属板30との間にはpn接合が存在する。また、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fは、ゲート電極24、ソース電極26、及び、ドレイン電極28のいずれとも電気的、物理的に接続されていない。したがって、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fは、フローティング状態となる。
窒化物半導体層20は、シリコン基板10上に設けられる。窒化物半導体層20は、バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cを備える。窒化物半導体層20の厚さは、例えば、2μm以上10μm以下である。
バッファ層20aは、シリコン基板10上に設けられる。バッファ層20aは、シリコン基板10とチャネル層20bとの間の格子不整合を緩和する機能を備える。また、バッファ層20aは、シリコン基板10とドレイン電極28間の耐圧を向上させる機能を備える。バッファ層20aは、例えば、窒化ガリウム、窒化アルミニウムガリウム、窒化アルミニウムガリウムなどで形成される。
チャネル層20bは、バッファ層20a上に設けられる。チャネル層20bは電子走行層とも称される。
チャネル層20bは、例えば、アンドープのAlXGa1−XN(0≦X<1)である。より具体的には、例えば、アンドープの窒化ガリウム(GaN)である。チャネル層14の厚さは、例えば、0.2μm以上2μm以下である。
バリア層20cは、チャネル層20b上に設けられる。バリア層20cは電子供給層とも称される。バリア層20cの電子親和力は、チャネル層20bの電子親和力よりも小さい。
電子親和力は、伝導体の下端と真空準位のエネルギー差である。バリア層20cの電子親和力がチャネル層20bの電子親和力よりも小さいことで、チャネル層20bに2DEG(2次元電子ガス)が形成される。バリア層20cのバンドギャップは、チャネル層20bのバンドギャップよりも大きい。
バリア層20cは、例えば、アンドープのAlYGa1−YN(0<Y≦1、X<Y)である。バリア層20cは、例えば、アンドープの窒化アルミニウムガリウムである。より具体的には、例えば、アンドープのAl0.2Ga0.8Nである。バリア層20cの厚さは、例えば、2nm以上50nm以下である。
チャネル層20bとバリア層20cとの間は、ヘテロ接合界面となる。チャネル層20bには、ヘテロ接合界面の分極電荷によって、2DEGが形成される。2DEGは高い電子移動度を有し、デバイス動作中の低オン抵抗と高速スイッチングを可能にする。
ゲート絶縁層22は、バリア層20c上に設けられる。ゲート絶縁層22は、バリア層20cに接して設けられる。
ゲート絶縁層22は、例えば、窒化シリコンである。ゲート絶縁層22の厚さは、例えば、4nm以上20nm以下である。
ゲート電極24は、ゲート絶縁層22上に設けられる。ゲート電極24は、ソース電極26とドレイン電極28との間に設けられる。ゲート電極24は、例えば、金属電極である。
ソース電極26とドレイン電極28は、バリア層20c上に設けられる。ソース電極26とドレイン電極28は、例えば、金属電極である。
ソース電極26及びドレイン電極28は、例えば、バリア層20cに接する。ソース電極26及びドレイン電極28とバリア層20cとの間は、例えば、オーミックコンタクトである。ソース電極26及びドレイン電極28は、バリア層20cを介してチャネル層20bに電気的に接続される。
HEMT100は、ゲート絶縁層22、ゲート電極24上に図示しないパッシベーション層などを備える。
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法の一例について説明する。図2〜図4は、本実施形態の製造途中の半導体装置の模式断面図である。
最初に、例えば、表面の面方位が(111)のp型のシリコン基板1を準備する(図2)。p型のシリコン基板1は、後に、p型の第1の領域10aとなる。
次に、シリコン基板1上にエピタキシャル成長により、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、n型の第6の領域10fを順に形成する(図3)。
なお、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、n型の第6の領域10fは、低不純物濃度のシリコン層の形成と、不純物のイオン注入により形成することも可能である。
次に、例えば、n型の第6の領域10f上にエピタキシャル成長により、バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cを成長させる(図4)。バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cは、例えば、有機金属化学気相成長(MOCVD)法により成長させる。
その後、公知のプロセス技術により、ゲート絶縁層22、ゲート電極24、ソース電極26、ドレイン電極28、図示しないパッシベーション層などを形成する。
その後、シリコン基板10及び窒化物半導体層20を、金属板30上にはんだにより接着し、図1のHEMT100が製造される。
次に、本実施形態の半導体装置の作用及び効果について説明する。
図5は本実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図5は比較形態のHEMT900の模式断面図である。比較形態のHEMT900は、シリコン基板10内にpn接合を備えないp型のシリコンである。
HEMT900のオフ状態では、金属板30が接地されているとすると、シリコン基板10とドレイン電極28との間に高い電圧が印加される。例えば、ドレイン電圧が450Vであるとすると、シリコン基板10とドレイン電極28との間に450Vが印加されることになる。
シリコン基板10とドレイン電極28との間に高い電圧が印加されると、シリコン基板10とドレイン電極28間のリーク電流が増大し、HEMTが誤動作するおそれがある。また、シリコン基板10とドレイン電極28間の絶縁破壊が生じ、HEMTが破壊されるおそれがある。したがって、シリコン基板10とドレイン電極28との間の耐圧を向上させることが望まれる。
なお、本明細書では、シリコン基板10とドレイン電極28間のリーク電流の低減、及び、シリコン基板10とドレイン電極28間の絶縁破壊の抑制を、共に、シリコン基板10とドレイン電極28間の耐圧の向上と称する。
例えば、シリコン基板10とドレイン電極28間の耐圧を向上させるために、HEMT900のシリコン基板10に不純物濃度が低い高抵抗基板を用いる方法がある。高抵抗基板中に伸びる空乏層により、シリコン基板10とドレイン電極28間の電界強度が緩和され、シリコン基板10とドレイン電極28との間の耐圧が向上する。
しかし、シリコン基板10の高抵抗化には限界がある。例えば、ドーパントとなる不純物の濃度を低減させても、溶解していた酸素がHEMT製造中の400℃程度の熱処理でドナー化し抵抗が低下する。また、溶解する酸素量を減らすと、HEMT製造中の700℃以上の熱処理でシリコン基板にスリットが入るおそれがある。
また、シリコン基板10とドレイン電極28間の耐圧を向上させるために、シリコン基板10を接地せず、フローティング状態とすることも考えられる。しかしながら、シリコン基板10は容量カップリングにより電位が固定されるため、シリコン基板10をフローティング状態にすることによる耐圧の向上効果は小さい。
本実施形態のHEMT100は、p型領域とn型領域が交互に積層した構造をシリコン基板10中に有する。言い換えれば、シリコン基板10中に複数のpn接合を備える。
シリコン基板10とドレイン電極28との間に高い電圧が印加された場合、シリコン基板10中のpn接合を挟むp型領域とn型領域に空乏層が広がる。これにより、シリコン基板10とドレイン電極28間の電界強度が緩和され、シリコン基板10とドレイン電極28との間の耐圧が向上する。
p型領域とn型領域に空乏層を広がりやすくして電界強度を緩和する観点から、p型領域とn型領域の不純物濃度は低い方が望ましい。したがって、p型の第1の領域10a、p型の第3の領域10c、p型の第5の領域10eのp型不純物濃度は、例えば、1×1017atoms/cm3以下であることが望ましく、1×1016atoms/cm3以下であることがより望ましい。また、n型の第2の領域10b、n型の第4の領域10d、n型の第6の領域10fのn型不純物濃度は、例えば、1×1017atoms/cm3以下であることが望ましく、1×1016atoms/cm3以下であることがより望ましい。
また、p型領域とn型領域の積層構造による耐圧向上効果を上げる観点から、pn接合を挟むp型領域に含まれるアクセプタの量とn型領域に含まれるドナーの量を略同一にすることが望ましい。したがって、p型の第3の領域10cのp型不純物濃度をN3、p型の第3の領域10cの厚さをt3、n型の第4の領域10dのn型不純物濃度をN4、n型の第4の領域10dの厚さをt4、とした場合、0.8≦(N4×t4)/(N3×t3)≦1.2が充足されることが望ましい。同様に、p型の第5の領域10eのp型不純物濃度をN5、p型の第5の領域10eの厚さをt5、n型の第6の領域10fのn型不純物濃度をN6、n型の第6の領域10fの厚さをt6、とした場合、0.8≦(N6×t6)/(N5×t5)≦1.2が充足されることが望ましい。
シリコン基板10の裏面をラッピング加工する際に生じるダメージが、シリコン基板10中のpn接合にまで及ばないようにする観点から、p型の第1の領域10aの厚さ(図1中のt1)は、厚いことが望ましい。したがって、p型の第1の領域10aの厚さは、n型の第2の領域10b、p型の第3の領域10c、n型の第4の領域10d、p型の第5の領域10e、及び、n型の第6の領域10fのいずれの厚さ(t2〜t6)よりも厚いことが望ましい。
シリコン基板10と金属板30との間のコンタクト抵抗を低減する観点から、p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は高い方が望ましい。また、p型の第1の領域10aをフィールドプレートとして機能させ、HEMT100の電流コラプスを改善する観点から、p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は高い方が望ましい。
したがって、p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は、p型の第3の領域10c、p型の第5の領域10eのp型不純物濃度よりも高いことが望ましい。p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は、例えば、1×1018atoms/cm3以上であることが望ましく、1×1019atoms/cm3以上であることがより望ましい。
図1では、p型領域とn型領域がシリコン基板10内に合計6層、積層される場合、すなわち、シリコン基板10内にpn接合が5個設けられる場合を説明した。シリコン基板10内に設けられるpn接合の数は、5個より多くてもかまわない。p型領域とn型領域の合計の総数は、例えば、6層以上30層以下である。シリコン基板10内に設けられるpn接合の数は、例えば、5個以上29個以下である。
pn接合の数は、シリコン基板10に要求される耐圧に応じて決定すれば良い。pn接合の数は、例えば、シリコン基板10に要求される耐圧を10Vで割った数より少なく、20Vで割った数よりも多くする。例えば、シリコン基板10に要求される耐圧が300Vであれば、pn接合の数は15個より多く20個より少なくする。
本実施形態のHEMT100によれば、シリコン基板10とドレイン電極28間のリーク電流の低減、及び、シリコン基板10とドレイン電極28間の絶縁破壊の抑制が実現できる。本実施形態によれば、シリコン基板と電極との間の耐圧を向上させることが可能なHEMTが提供される。
(第2の実施形態)
本実施形態の半導体基板は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、第2の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、第3の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、第4の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、第5の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、を備える。
本実施形態の半導体基板は、窒化物半導体層と、第1導電型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、第2の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、第3の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、第4の領域と窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、第5の領域と窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、を備える。
本実施形態の半導体基板は、第1の実施形態の半導体装置で用いられる半導体基板である。したがって、第1の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
図6は、本実施形態の半導体基板の模式断面図である。図6に示すように、半導体基板200は、シリコン基板10と窒化物半導体層20を備える。
本実施形態の半導体基板200によれば、シリコン基板と電極との間の耐圧を向上させることが可能なHEMTが製造できる。
(第3の実施形態)
本実施形態の半導体装置は、窒化物半導体層と、p型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間に設けられたn型の第2の領域と、第1の領域と第2の領域との間に設けられ、第1の領域に接した複数のp型の第3の領域と、を有するシリコン基板と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置する第1の電極と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置し、第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。
本実施形態の半導体装置は、窒化物半導体層と、p型の第1の領域と、第1の領域と窒化物半導体層との間に設けられたn型の第2の領域と、第1の領域と第2の領域との間に設けられ、第1の領域に接した複数のp型の第3の領域と、を有するシリコン基板と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置する第1の電極と、シリコン基板との間に窒化物半導体層が位置し、第1の電極と離間した第2の電極と、を備える。
本実施形態の半導体装置は、シリコン基板10内の不純物領域の構造が異なる以外は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
図7は、本実施形態の半導体装置の模式断面図である。本実施形態の半導体装置は、III−V族半導体を用いたHEMTである。
図7に示すように、HEMT300(半導体装置)は、シリコン基板15、窒化物半導体層20、ゲート絶縁層22、ゲート電極24、ソース電極(第1の電極)26、ドレイン電極(第2の電極)28、金属板30を備える。
シリコン基板15は、p型の第1の領域15a、n型の第2の領域15b、複数のp型の第3の領域15cを備える。
p型の第1の領域15aは、金属板30に接する。p型の第1の領域15aのp型不純物濃度は、例えば、1×1018atoms/cm3以上1×1020atoms/cm3以下である。p型の第1の領域15aのp型不純物濃度は、例えば、p型の第3の領域15cのp型不純物濃度よりも高い。
n型の第2の領域15bは、p型の第1の領域15aと窒化物半導体層20との間に設けられる。n型の第2の領域15bのn型不純物濃度は、例えば、1×1014atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下である。
複数のp型の第3の領域15cは、p型の第1の領域15aとn型の第2の領域15bとの間に設けられる。p型の第3の領域15cは、p型の第1の領域15aに接する。p型の第3の領域15cと窒化物半導体層20は離間している。
複数のp型の第3の領域15cは、例えば、一定のピッチ(図7中のwとdの和)で横方向に繰り返し配置される。p型の第3の領域15cは、n型の第2の領域15bに挟まれる。
p型の第3の領域15cの長さ(図7中のL)は、例えば、30μm以上80μm以下である。
p型の第3の領域15cのp型不純物濃度は、例えば、1×1014atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下である。
2個のp型の第3の領域15cに挟まれるn型の第2の領域15bのn型不純物濃度をNn、p型の第3の領域15cの幅をw、間隔をd、p型不純物濃度をNp、とした場合に、例えば、0.8≦(Nn×d)/(Np×w)≦1.2である。
なお、シリコン基板15中のp型不純物濃度、及び、n型不純物濃度は、例えば、SIMSにより測定することが可能である。p型不純物濃度、及び、n型不純物濃度は、例えば、それぞれの不純物領域の中央部の値を用いる。また、シリコン基板10中のp型領域、及び、n型領域の長さ、幅、間隔などは、例えば、SCMにより測定することが可能である。
シリコン基板15と金属板30は電気的に接続されている。例えば、シリコン基板10は金属板30を介して接地されている。言い換えれば、シリコン基板10には金属板30を介してグラウンド電位が印加される。
より厳密に言えば、p型の第1の領域15aは接地される。p型の第3の領域15cも、p型の第1の領域15aを介して接地される。n型の第2の領域15bは、フローティング状態である。
窒化物半導体層20は、シリコン基板15上に設けられる。窒化物半導体層20は、バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cを備える。
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法の第1の例について説明する。図8〜図14は、本実施形態の製造途中の半導体装置の模式断面図である。
最初に、例えば、表面の面方位が(111)のp型のシリコン基板2を準備する(図8)。p型のシリコン基板2は、後に、p型の第1の領域15aとなる。
次に、シリコン基板2上にエピタキシャル成長により、n型層3aを形成する(図9)。次に、リソグラフィ法とイオン注入法により、p型領域4aを形成する(図10)。
次に、n型層3a及びp型領域4a上にエピタキシャル成長により、n型層3bを形成する(図11)。n型層とp型領域の形成を繰り返し、複数のp型の第3の領域15cを形成する(図12)。次に、複数のp型の第3の領域15c上にエピタキシャル成長により、n型層を形成する(図13)。
次に、例えば、n型の第2の領域15b上にエピタキシャル成長により、バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cを成長させる(図14)。
その後、公知のプロセス技術により、ゲート絶縁層22、ゲート電極24、ソース電極26、ドレイン電極28、図示しないパッシベーション層などを形成する。
その後、シリコン基板10及び窒化物半導体層20を、金属板30上にはんだにより接着し、図7のHEMT300が製造される。
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法の第2の例について説明する。図15〜図20は、本実施形態の製造途中の半導体装置の模式断面図である。
最初に、例えば、表面の面方位が(111)のp型のシリコン基板2を準備する(図15)。p型のシリコン基板2は、後に、p型の第1の領域15aとなる。
次に、シリコン基板2上にエピタキシャル成長により、n型層3を形成する(図16)。次に、リソグラフィ法とドライエッチング法により、マスク材40を形成する。マスク材40は、例えば、酸化シリコンである。
次に、マスク材40をマスクにドライエッチングを行い、n型層3をシリコン基板2が露出するまでエッチングする(図17)。
次に、選択エピタキシャル成長により、複数のp型の第3の領域15cを形成する(図18)。次に、マスク材40をウェットエッチングにより剥離し、複数のp型の第3の領域15c上にエピタキシャル成長により、n型層を形成する(図19)。
次に、例えば、n型の第2の領域15b上にエピタキシャル成長により、バッファ層20a、チャネル層20b、バリア層20cを成長させる(図20)。
その後、公知のプロセス技術により、ゲート絶縁層22、ゲート電極24、ソース電極26、ドレイン電極28、図示しないパッシベーション膜などを形成する。
その後、シリコン基板10及び窒化物半導体層20を、金属板30上にはんだにより接着し、図7のHEMT300が製造される。
次に、本実施形態の半導体装置の作用及び効果について説明する。
本実施形態のHEMT300は、p型領域とn型領域が横方向に交互に配置された構造をシリコン基板15中に有する。言い換えれば、シリコン基板15中に縦方向に伸びる複数のpn接合が、横方向に並んで形成される。
シリコン基板10とドレイン電極28との間に高い電圧が印加された場合、シリコン基板15中のpn接合を挟むp型領域とn型領域に横方向に空乏層が広がる。これにより、シリコン基板10とドレイン電極28間の電界強度が緩和され、シリコン基板10とドレイン電極28との間の耐圧が向上する。
p型領域とn型領域に空乏層が広がりやすくする観点から、p型領域とn型領域の不純物濃度は低い方が望ましい。したがって、p型の第3の領域15cのp型不純物濃度は、例えば、1×1017atoms/cm3以下であることが望ましく、1×1016atoms/cm3以下であることがより望ましい。また、n型の第2の領域15bのn型不純物濃度は、例えば、1×1017atoms/cm3以下であることが望ましく、1×1016atoms/cm3以下であることがより望ましい。
また、p型領域とn型領域の配置構造による耐圧向上効果を上げる観点から、pn接合を挟むp型領域とn型領域のアクセプタとドナーの量を略同一にすることが望ましい。したがって、p型の第3の領域15cに挟まれるn型の第2の領域15bのn型不純物濃度をNn、p型の第3の領域15cの幅をw、間隔をd、p型不純物濃度をNp、とした場合に、0.8≦(Nn×d)/(Np×w)≦1.2であることが望ましい。
シリコン基板15と金属板30との間のコンタクト抵抗を低減する観点から、p型の第1の領域15aのp型不純物濃度は高い方が望ましい。また、p型の第1の領域15aをフィールドプレートとして機能させ、HEMT300の電流コラプスを改善する観点から、p型の第1の領域15aのp型不純物濃度は高い方が望ましい。
したがって、p型の第1の領域15aのp型不純物濃度は、p型の第3の領域15cのp型不純物濃度よりも高いことが望ましい。p型の第1の領域10aのp型不純物濃度は、1×1018atoms/cm3以上であることが望ましく、1×1019atoms/cm3以上であることがより望ましい。
本実施形態のHEMT300によれば、シリコン基板10とドレイン電極28間のリーク電流の低減、及び、シリコン基板10とドレイン電極28間の絶縁破壊の抑制が実現できる。本実施形態によれば、シリコン基板と電極との間の耐圧を向上させることが可能なHEMTが提供される。
第1及び第2の実施形態では、第1導電型がp型、第2導電型がn型の場合を例に説明したが、第1導電型をn型、第2導電型をp型とすることも可能である。
第1ないし第3の実施形態では、窒化物半導体層の材料として窒化ガリウムや窒化アルミニウムガリウムを例に説明したが、例えば、インジウム(In)を含有する窒化インジウムガリウム、窒化インジウムアルミニウム、窒化インジウムアルミニウムガリウムを適用することも可能である。また、窒化物半導体層の材料として窒化アルミニウムを適用することも可能である。
また、第1ないし第3の実施形態では、バリア層20cとして、アンドープの窒化アルミニウムガリウムを例に説明したが、例えば、n型の窒化アルミニウムガリウムを適用することも可能である。
第1及び第2の実施形態では、HEMTの構造としてゲート絶縁層を有するプレーナゲート構造のHEMTを例に説明したが、p型層を有する接合ゲート構造のHEMT、ショットキーゲート構造のHEMT、チャネル層又はバリア層に設けられたリセス内にゲート電極を有するリセスゲート構造のHEMTなど、その他の構造のHEMTに本発明を適用することも可能である。また、HEMTに限らず、例えば、ダイオードにも本発明を適用することが可能である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、一実施形態の構成要素を他の実施形態の構成要素と置き換え又は変更してもよい。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10 シリコン基板
10a 第1の領域
10b 第2の領域
10c 第3の領域
10d 第4の領域
10e 第5の領域
10f 第6の領域
15 シリコン基板
15a 第1の領域
15b 第2の領域
15c 第3の領域
20 窒化物半導体層
26 ソース電極(第1の電極)
28 ドレイン電極(第2の電極)
100 HEMT(半導体装置)
200 半導体基板
300 HEMT(半導体装置)
10a 第1の領域
10b 第2の領域
10c 第3の領域
10d 第4の領域
10e 第5の領域
10f 第6の領域
15 シリコン基板
15a 第1の領域
15b 第2の領域
15c 第3の領域
20 窒化物半導体層
26 ソース電極(第1の電極)
28 ドレイン電極(第2の電極)
100 HEMT(半導体装置)
200 半導体基板
300 HEMT(半導体装置)
Claims (10)
- 窒化物半導体層と、
第1導電型の第1の領域と、前記第1の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、前記第2の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、前記第3の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、前記第4の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、前記第5の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、
前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置する第1の電極と、
前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置し、前記第1の電極と離間した第2の電極と、
を備える半導体装置。 - 前記第2の領域、前記第3の領域、前記第4の領域、前記第5の領域及び前記第6の領域が、前記第1の電極及び前記第2の電極と接続されていない請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の領域、前記第3の領域及び前記第5の領域の第1導電型の不純物濃度、及び、前記第2の領域、前記第4の領域及び前記第6の領域の第2導電型の不純物濃度が、1×1014atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下である請求項1又は請求項2記載の半導体装置。
- 前記第3の領域の第1導電型の不純物濃度をN3、前記第3の領域の厚さをt3、前記第4の領域の第2導電型の不純物濃度をN4、前記第4の領域の厚さをt4、とした場合に、0.8≦(N4×t4)/(N3×t3)≦1.2である請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第1の領域の厚さが、前記第2の領域、前記第3の領域、前記第4の領域、前記第5の領域及び前記第6の領域のいずれの厚さよりも厚い請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第1の領域の第1導電型の不純物濃度が、前記第3の領域及び前記第5の領域の第1導電型の不純物濃度よりも高い請求項1ないし請求項5いずれか一項記載の半導体装置。
- 窒化物半導体層と、
第1導電型の第1の領域と、前記第1の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第2の領域と、前記第2の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第3の領域と、前記第3の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第4の領域と、前記第4の領域と前記窒化物半導体層との間の第1導電型の第5の領域と、前記第5の領域と前記窒化物半導体層との間の第2導電型の第6の領域と、を有するシリコン基板と、
を備える半導体基板。 - 窒化物半導体層と、
p型の第1の領域と、前記第1の領域と前記窒化物半導体層との間に設けられたn型の第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域との間に設けられ、前記第1の領域に接した複数のp型の第3の領域と、を有するシリコン基板と、
前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置する第1の電極と、
前記シリコン基板との間に前記窒化物半導体層が位置し、前記第1の電極と離間した第2の電極と、
を備える半導体装置。 - 前記第3の領域の間の前記第2の領域のn型不純物濃度をNn、前記第3の領域の幅をw、間隔をd、p型不純物濃度をNp、とした場合に、0.8≦(Nn×d)/(Np×w)≦1.2である請求項8記載の半導体装置。
- 前記第1の領域のp型不純物濃度が、前記第3の領域のp型不純物濃度よりも高い請求項8又は請求項9記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016177020A JP2018041933A (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 半導体装置及び半導体基板 |
US15/449,440 US20180076287A1 (en) | 2016-09-09 | 2017-03-03 | Semiconductor device and semiconductor substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016177020A JP2018041933A (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 半導体装置及び半導体基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018041933A true JP2018041933A (ja) | 2018-03-15 |
Family
ID=61558713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016177020A Pending JP2018041933A (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 半導体装置及び半導体基板 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180076287A1 (ja) |
JP (1) | JP2018041933A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023127520A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | ローム株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018198337A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
CN111213241B (zh) * | 2018-06-30 | 2023-09-22 | 魏进 | 半导体器件、半导体设备及其制造方法 |
WO2020181548A1 (zh) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 中国科学院微电子研究所 | GaN基超结型垂直功率晶体管及其制作方法 |
CN112201693A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-08 | 锐石创芯(深圳)科技有限公司 | 一种氮化镓半导体器件和制造方法 |
CN115332314A (zh) * | 2020-10-20 | 2022-11-11 | 英诺赛科(苏州)科技有限公司 | 半导体器件 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8513703B2 (en) * | 2010-10-20 | 2013-08-20 | National Semiconductor Corporation | Group III-nitride HEMT with multi-layered substrate having a second layer of one conductivity type touching a top surface of a first layers of different conductivity type and a method for forming the same |
KR20150011238A (ko) * | 2013-07-22 | 2015-01-30 | 삼성전자주식회사 | 질화물계 반도체 장치 |
-
2016
- 2016-09-09 JP JP2016177020A patent/JP2018041933A/ja active Pending
-
2017
- 2017-03-03 US US15/449,440 patent/US20180076287A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023127520A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | ローム株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180076287A1 (en) | 2018-03-15 |
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---|---|---|---|
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