JP2015045521A - 画像検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることが可能な画像検査装置を提供する。【解決手段】被検査体Ｓの撮像画像に基づいて、被検査体Ｓの検査を行う画像検査装置１であって、被検査体Ｓを照らすための複数の照明装置１１・１１・・・と、複数の照明装置１１・１１・・・によって照らされた被検査体Ｓの撮像画像を取得する撮像装置１３と、各照明装置１１の向きを、被検査体Ｓの大きさに応じて調整するサーボモータ１１ｂと、各照明装置１１の発光強度を、被検査体Ｓの大きさに応じて調整する発光強度調整装置１２と、を具備する。【選択図】図２

Description

本発明は、被検査体の撮像画像に基づいて、当該被検査体の検査を行う画像検査装置に関し、特に被検査体を照らすための照明装置を具備する画像検査装置に関する。

従来、被検査体を照らすための照明装置と、当該照明装置によって照らされた被検査体の撮像画像を取得する撮像装置を具備し、当該撮像装置によって取得された撮像画像に基づいて被検査体の検査を行う画像検査装置が広く知られている（例えば、特許文献１参照）。

上記の画像検査装置は、被検査体の周囲に設けられた照明装置によって被検査体を照らしつつ、当該被検査体を上方から撮像装置によって撮像するように構成されている。

このように構成された画像検査装置においては、検査対象である被検査体が、大きさの異なる別の被検査体に変更された場合、照明装置から被検査体までの距離が変化するため、被検査体の被検査面において照度にムラが生じる。
つまり、上記の画像検査装置では、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることが困難である。

特開２００８−４２８４号公報

本発明は、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることが可能な画像検査装置を提供することを課題とする。

本発明に係る画像検査装置は、被検査体の撮像画像に基づいて、前記被検査体の検査を行う画像検査装置であって、前記被検査体を照らすための複数の照明装置と、前記複数の照明装置によって照らされた前記被検査体の撮像画像を取得する撮像装置と、各照明装置の向きおよび発光強度、または位置を、前記被検査体の大きさに応じて調整する調整手段と、を具備する。

本発明に係る画像検査装置において、各照明装置は、前記被検査体に対して、互いに異なる入射角度で光を照射する複数の照明部を有し、前記調整手段は、前記被検査体の大きさに応じて、前記複数の照明部のうちの、少なくとも一つの照明部を点灯させると共に、当該点灯させた照明部の発光強度を調整することが好ましい。

本発明に係る画像検査装置において、前記複数の照明装置は、平面視にて前記被検査体を囲むように配置され、前記調整手段は、平面視における前記複数の照明装置によって囲まれた範囲の面積が、平面視における前記被検査体の面積に比例するように、前記複数の照明装置の配置を変更することが好ましい。

本発明に係る画像検査装置において、前記複数の照明装置は、隣接する照明装置同士が回動自在となるように、鎖状に連結され、前記複数の照明装置のうちの、一端に位置する照明装置は、所定の位置に固定され、前記複数の照明装置のうちの、他端に位置する照明装置は、前記調整手段に取り付けられ、前記調整手段は、前記他端に位置する照明装置を移動させることによって、前記複数の照明装置の配置を変更することが好ましい。

本発明によれば、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることができる。

本発明の第一実施形態に係る画像検査装置を示す図。 本発明の第一実施形態に係る画像検査装置の動作態様を示す図。 本発明の第一実施形態に係る画像検査装置の別形態を示す図。 本発明の第一実施形態に係る画像検査装置の別形態の動作態様を示す図。 本発明の第二実施形態に係る画像検査装置を示す図。 本発明の第二実施形態に係る画像検査装置の動作態様を示す図。 本発明の第二実施形態に係る画像検査装置の別形態を示す図。 本発明の第二実施形態に係る画像検査装置の別形態の動作態様を示す図。

［第一実施形態］
以下では、図１を参照して、本発明に係る画像検査装置の第一実施形態である画像検査装置１について説明する。
画像検査装置１は、被検査体Ｓの撮像画像に基づいて、被検査体Ｓの検査を行う装置である。
本実施形態において、被検査体Ｓは、平面視にて矩形状に形成された電子基板である。被検査体Ｓは、例えば、搬送手段により所定の方向へ搬送され、被検査体Ｓの搬送経路の途中に画像検査装置１が配置される。前記搬送経路には、複数の大きさの被検査体Ｓが搬送されており、画像検査装置１の配置箇所に、複数の大きさの被検査体Ｓが搬送されることとなる。
なお、以下において、説明の便宜上、図１における上下方向および左右方向を、それぞれ画像検査装置１の上下方向および左右方向と定義する。

図１に示すように、画像検査装置１は、四つの照明装置１１・１１・１１・１１と、発光強度調整装置１２と、撮像装置１３と、判定装置（不図示）とを具備する。

照明装置１１は、画像検査装置１の配置箇所に搬送されてきた被検査体Ｓの被検査面（上面）を照らす装置である。本実施形態においては、四つの照明装置１１・１１・１１・１１が設けられている。
照明装置１１・１１・１１・１１は、平面視にて被検査体Ｓを囲むように、被検査体Ｓの上方に配置されている。照明装置１１・１１・１１・１１は、平面視にて、矩形状の被検査体Ｓの一辺に対して一つの照明装置１１が位置するように、矩形状に配置されている。照明装置１１・１１・１１・１１は、被検査体Ｓの被検査面において照度が均一となるように配置されている。
なお、図１においては、二つの照明装置１１・１１のみが図示されている。

照明装置１１は、照明本体１１ａと、サーボモータ１１ｂとを有する。
照明本体１１ａは、複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）が設けられた部材である。
サーボモータ１１ｂは、照明本体１１ａの角度を調整するための部材である。サーボモータ１１ｂは、所定の制御手段（不図示）によって制御される。

発光強度調整装置１２は、各照明装置１１の発光強度を調整するための装置である。詳細には、発光強度調整装置１２は、各照明装置１１における照明本体１１ａのＬＥＤと電気的に接続されており、当該ＬＥＤを制御するように構成されている。

撮像装置１３は、照明装置１１・１１・１１・１１によって照らされた被検査体Ｓの被検査面の撮像画像を取得する装置である。撮像装置１３は、被検査体Ｓの上方に配置され、上方から被検査体Ｓの被検査面を撮像する。撮像装置１３は、マトリクス状に配置された複数のカメラから構成されており、撮像装置１３の下方に位置する被検査体Ｓの位置および大きさに応じて必要なカメラのみが作動するように制御される。

前記判定装置は、撮像装置１３によって取得された撮影画像に基づいて、被検査体Ｓの被検査面に欠陥が存在するか否かを判定する。

以下では、図２を参照して、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）が比較的小さい場合における、画像検査装置１の動作態様について説明する。

図２に示すように、被検査体Ｓの左右寸法が小さく、左側の照明装置１１が右側の照明装置１１よりも被検査体Ｓに対して遠くなった場合には、左側の照明装置１１の発光強度と右側の照明装置１１の発光強度が同じであれば、被検査体Ｓの被検査面における左側の照明装置１１の照度が低下する。そのため、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となる。
このような問題を解決するために、画像検査装置１においては、サーボモータ１１ｂが、左側の照明装置１１から照射される光の入射角が大きくなるように、左側の照明装置１１における照明本体１１ａの角度を調整する（図２における黒塗り矢印参照）と共に、発光強度調整装置１２が、左側の照明装置１１の発光強度を増加させる。ここで、光の入射角とは、被検査体Ｓの被検査面における垂線と照明装置１１から照射される光の進行方向との間の角度であり、以下も同様である。
これにより、左側の照明装置１１が、被検査体Ｓの被検査面を充分な照度で照らすことができる。
したがって、小さい被検査体Ｓに対しても、各照明装置１１が適切に照明を当てることができ、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となることを防止できる。

以上のように、画像検査装置１においては、サーボモータ１１ｂおよび発光強度調整装置１２が、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）に応じて、各照明装置１１の向きおよび発光強度を調整する、本発明に係る調整手段として機能するのである。
これにより、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることができる。
特に、画像検査装置１の構成は、被検査体Ｓの大きさに応じて、サーボモータ１１ｂにより、照明装置１１の照明本体１１ａを所望の角度に設定できる利点を有する。
なお、画像検査装置１の代わりに画像検査装置１００を構成することも可能である。

以下では、図３を参照して、画像検査装置１００について説明する。
なお、以下において、説明の便宜上、図３における上下方向および左右方向を、それぞれ画像検査装置１００の上下方向および左右方向と定義する。
また、画像検査装置１００において、画像検査装置１と共通する部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。

図３に示すように、画像検査装置１００は、四つの照明装置１０１・１０１・１０１・１０１と、発光強度調整装置１０２と、撮像装置１３と、前記判定装置とを具備する。

照明装置１０１は、被検査体Ｓの被検査面（上面）を照らす装置である。本実施形態においては、四つの照明装置１０１・１０１・１０１・１０１が設けられている。
照明装置１０１・１０１・１０１・１０１は、平面視にて被検査体Ｓを囲むように、被検査体Ｓの上方に配置されている。照明装置１０１・１０１・１０１・１０１は、平面視にて、矩形状の被検査体Ｓの一辺に対して一つの照明装置１０１が位置するように、矩形状に配置されている。照明装置１０１・１０１・１０１・１０１は、被検査体Ｓの被検査面において照度が均一となるように配置されている。
なお、図３においては、二つの照明装置１０１・１０１のみが図示されている。

照明装置１０１は、第一照明部１０１ａと、第二照明部１０１ｂと、第三照明部１０１ｃとを有する。
第一照明部１０１ａは、複数のＬＥＤが設けられ、所定の角度で固定されている。
第二照明部１０１ｂは、複数のＬＥＤが設けられ、第一照明部１０１ａに固定されている。第二照明部１０１ｂは、第二照明部１０１ｂから照射される光の入射角が、第一照明部１０１ａから照射される光の入射角よりも大きくなるような角度に設定されている。
第三照明部１０１ｃは、複数のＬＥＤが設けられ、第一照明部１０１ａに固定されている。第三照明部１０１ｃは、第三照明部１０１ｃから照射される光の入射角が、第一照明部１０１ａから照射される光の入射角よりも小さくなるような角度に設定されている。

発光強度調整装置１０２は、各照明装置１０１の発光強度を調整するための装置である。詳細には、発光強度調整装置１０２は、各照明装置１０１における、第一照明部１０１ａのＬＥＤ、第二照明部１０１ｂのＬＥＤ、および第三照明部１０１ｃのＬＥＤと電気的に接続されており、それらのＬＥＤを制御するように構成されている。

以下では、図４を参照して、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）が比較的小さい場合における、画像検査装置１００の動作態様について説明する。

図４に示すように、被検査体Ｓの左右寸法が小さく、左側の照明装置１０１が右側の照明装置１０１よりも被検査体Ｓに対して遠くなった場合には、左側の照明装置１０１の発光強度と右側の照明装置１０１の発光強度が同じであれば、被検査体Ｓの被検査面における左側の照明装置１０１の照度が低下する。そのため、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となる。
このような問題を解決するために、画像検査装置１００においては、発光強度調整装置１０２が、左側の照明装置１０１の第二照明部１０１ｂのみを点灯させると共に、当該第二照明部１０１ｂの発光強度を増加させる。
これにより、左側の照明装置１０１が、被検査体Ｓの被検査面を充分な照度で照らすことができる。
したがって、小さい被検査体Ｓに対しても、各照明装置１０１が適切に照明を当てることができ、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となることを防止できる。
なお、本実施形態においては、左側の照明装置１０１の第二照明部１０１ｂのみを点灯させるように制御したが、被検査体Ｓの位置および大きさに応じて、少なくとも一つの照明部を点灯させるように制御すればよい。

以上のように、画像検査装置１００においては、各照明装置１０１における互いに異なる角度で設けられた第一照明部１０１ａ、第二照明部１０１ｂおよび第三照明部１０１ｃと、それらを制御する発光強度調整装置１０２とが、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）に応じて、各照明装置１０１の向きおよび発光強度を調整する、本発明に係る調整手段として機能するのである。
これにより、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることができる。
特に、画像検査装置１００の構成は、各照明装置１０１の可動部が存在しないため、保全性が高いという利点を有する。

［第二実施形態］
以下では、図５を参照して、本発明に係る画像検査装置の第二実施形態である画像検査装置２について説明する。
画像検査装置２は、被検査体Ｓの撮像画像に基づいて、被検査体Ｓの検査を行う装置である。
本実施形態において、被検査体Ｓは、平面視にて矩形状に形成された電子基板である。
なお、以下において、説明の便宜上、図５（ａ）における左右方向を、画像検査装置２の左右方向と定義し、図５（ａ）における下方向および上方向を、それぞれ画像検査装置２の前方向および後方向と定義し、図５（ａ）における紙面手前方向および紙面奥方向を、それぞれ画像検査装置２の上方向および下方向と定義する。

図５（ａ）、図５（ｂ）および図５（ｃ）に示すように、画像検査装置２は、複数の照明装置２１・２１・・・と、アクチュエータ２２と、ガイド機構２３と、撮像装置（不図示）と、判定装置（不図示）とを具備する。
なお、図５（ａ）は、画像検査装置２の平面図であり、図５（ｂ）は、画像検査装置２の正面図であり、図５（ｃ）は、画像検査装置２の左側面図である。
ただし、図５（ｂ）においては、前側における六個の照明装置２１・２１・・・以外の照明装置の図示を省略し、図５（ｃ）においては、左側における四個の照明装置２１・２１・・・以外の照明装置の図示を省略している。

照明装置２１は、被検査体Ｓの被検査面（上面）を照らす装置である。本実施形態においては、二十個の照明装置２１・２１・・・が設けられている。
図５（ａ）に示すように、複数の照明装置２１・２１・・・は、隣接する照明装置２１・２１同士が回動自在となるように、ヒンジ等の連結手段（不図示）によって鎖状に連結されている。複数の照明装置２１・２１・・・は、被検査体Ｓの上方において、平面視にて被検査体Ｓを囲むように配置されている。複数の照明装置２１・２１・・・のうちの、一端（図５（ａ）における内側の端）に位置する照明装置２１は、所定の位置に固定されている。複数の照明装置２１・２１・・・のうちの、他端（図５（ａ）における外側の端）に位置する照明装置２１は、アクチュエータ２２に取り付けられている。

アクチュエータ２２は、複数の照明装置２１・２１・・・のうちの、他端に位置する照明装置２１を左右方向に移動させる装置である。アクチュエータ２２としては、エアシリンダおよびサーボモータ等を採用可能である。

ガイド機構２３は、複数の照明装置２１・２１・・・をガイド可能に構成されている。ガイド機構２３は、左右ガイド板２３１と、前後ガイド板２３２と、摺動部２３３と、第一ガイドレール２３４と、第二ガイドレール２３５と、第三ガイドレール２３６と、第四ガイドレール２３７とを有する。

図５（ａ）、図５（ｂ）および図５（ｃ）に示すように、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２は、それぞれ左右方向および前後方向に延出する板材である。

左右ガイド板２３１は、前後ガイド板２３２の上方に配置されている。左右ガイド板２３１は、前後ガイド板２３２に対して前後方向に移動するように、摺動部２３３を介して前後ガイド板２３２に取り付けられている。左右ガイド板２３１の下面には、左右ガイド板２３１の左端部から左右方向における中途部にかけて、摺動部２３３の左右方向への摺動経路としての左右レール２３１ａが設けられている。

前後ガイド板２３２は、その前端から前後方向における中途部にかけて、右側部分を矩形状に切除された形状を有する。詳細には、前後ガイド板２３２は、その前端から前後方向における中途部にかけて、他の部分よりも左右寸法が小さい小幅部が、一定の左右寸法で形成されている。前後ガイド板２３２は、左右ガイド板２３１の下方に配置されている。前後ガイド板２３２は、左右ガイド板２３１に対して左右方向に移動するように、摺動部２３３を介して左右ガイド板２３１に取り付けられている。前後ガイド板２３２の小幅部の下面には、当該小幅部の前端部から後端部にかけて、摺動部２３３の前後方向への摺動経路としての前後レール２３２ａが設けられている。

摺動部２３３は、リニアガイド等の部材であり、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２を、それぞれ前後方向および左右方向に移動可能とする。摺動部２３３は、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２の間に配置され、左右レール２３１ａ上を左右方向に摺動すると共に、前後レール２３２ａ上を前後方向に摺動する。
このように、摺動部２３３を介して、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２が設けられているため、左右ガイド板２３１が前後方向に、前後ガイド板２３２が左右方向に移動可能となっている。なお、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２は、エアシリンダおよびサーボモータ等のアクチュエータ（不図示）によって、それぞれ前後方向および左右方向に移動される。

第一ガイドレール２３４、第二ガイドレール２３５、第三ガイドレール２３６、および第四ガイドレール２３７は、それらの下方において、複数の照明装置２１・２１・・・を移動可能に支持し、複数の照明装置２１・２１・・・の移動経路として機能する。第一ガイドレール２３４、第二ガイドレール２３５、第三ガイドレール２３６、および第四ガイドレール２３７は、鎖状に連結された複数の照明装置２１・２１・・・における屈曲部分に配置されている。つまり、第一ガイドレール２３４、第二ガイドレール２３５、第三ガイドレール２３６、および第四ガイドレール２３７は、左右方向に沿って配置された照明装置２１・２１・・・と、前後方向に沿って配置された照明装置２１・２１・・・との間に位置する照明装置２１を、左右方向および前後方向に対して傾斜した状態で支持する。

第一ガイドレール２３４は、複数の照明装置２１・２１・・・の移動経路上において、四つのガイドレールのうち、他端（図５（ａ）における外側の端）に位置する照明装置２１に、最も近い位置に固定されている。

第二ガイドレール２３５は、左右ガイド板２３１の右端部の下面に固定されている。

第三ガイドレール２３６は、前後ガイド板２３２に接触しないように、摺動部２３３の下端部に固定されている。

第四ガイドレール２３７は、前後ガイド板２３２の後端部、つまり、前後ガイド板２３２における小幅部以外の部分、の下面に固定されている。

前記撮像装置は、複数の照明装置２１・２１・・・によって照らされた被検査体Ｓの被検査面の撮像画像を取得する装置である。前記撮像装置は、被検査体Ｓの上方に配置され、上方から被検査体Ｓの被検査面を撮像する。前記撮像装置は、マトリクス状に配置された複数のカメラから構成されており、前記撮像装置の下方に位置する被検査体Ｓの位置および大きさに応じて必要なカメラのみが作動するように制御される。

前記判定装置は、前記撮像装置によって取得された撮影画像に基づいて、被検査体Ｓの被検査面に欠陥が存在するか否かを判定する。

以下では、図６を参照して、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）が比較的小さい場合における、画像検査装置２の動作態様について説明する。

図６に示すように、被検査体Ｓの前後寸法および左右寸法が小さく、左側の照明装置２１・２１・・・および前側の照明装置２１・２１・・・が、それぞれ右側の照明装置２１・２１・・・および後側の照明装置２１・２１・・・よりも被検査体Ｓに対して遠くなった場合には、左側の各照明装置２１の発光強度および右側の各照明装置２１の発光強度、ならびに前側の各照明装置２１の発光強度および後側の各照明装置２１の発光強度が、それぞれ同じであれば、被検査体Ｓの被検査面における、左側および前側の各照明装置２１の照度が低下する。そのため、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となる。
このような問題を解決するために、画像検査装置２においては、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２が、それぞれ後方向および右方向に移動すると同時に、アクチュエータ２２が他端（図５（ａ）における外側の端）に位置する照明装置２１を左方向に移動させる。
これにより、平面視における複数の照明装置２１・２１・・・によって囲まれた範囲の面積が、被検査体Ｓの大きさに合うように小さくなる。つまり、平面視における複数の照明装置２１・２１・・・によって囲まれた範囲の面積が、平面視における被検査体Ｓの面積に比例するように、複数の照明装置２１・２１・・・の配置が変化する。
したがって、小さい被検査体Ｓに対しても、被検査体Ｓを囲んだ照明装置２１・２１・・・が適切に照明を当てることができ、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となることを防止できる。
なお、平面視における複数の照明装置２１・２１・・・によって囲まれた範囲の面積を大きくする場合には、左右ガイド板２３１および前後ガイド板２３２を、それぞれ前方向および左方向に移動させると同時に、アクチュエータ２２によって他端（図５（ａ）における外側の端）に位置する照明装置２１を右方向に移動させればよい。

以上のように、画像検査装置２においては、アクチュエータ２２およびガイド機構２３が、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）に応じて、複数の照明装置２１・２１・・・の位置を調整する、本発明に係る調整手段として機能するのである。
これにより、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることができる。
特に、画像検査装置２の構成は、複数の照明装置２１・２１・・・の配置を、アクチュエータ２２およびガイド機構２３のみで一度に変更できる利点を有する。
なお、画像検査装置２の代わりに画像検査装置２００を構成することも可能である。

以下では、図７を参照して、画像検査装置２００について説明する。
なお、以下において、説明の便宜上、図７における左右方向を、画像検査装置２の左右方向と定義する。さらに、図７における下方向および上方向を、それぞれ画像検査装置２の前方向および後方向と定義する。

図７に示すように、画像検査装置２００は、後方照明装置２０１と、右方照明装置２０２と、前方照明装置２０３と、左方照明装置２０４と、前記撮像装置と、前記判定装置とを具備する。

後方照明装置２０１、右方照明装置２０２、前方照明装置２０３、および左方照明装置２０４は、被検査体Ｓの被検査面を照らす装置である。後方照明装置２０１、右方照明装置２０２、前方照明装置２０３、および左方照明装置２０４は、それぞれ被検査体Ｓの後方、右方、前方および左方に配置されている。つまり、後方照明装置２０１、右方照明装置２０２、前方照明装置２０３、および左方照明装置２０４は、平面視にて被検査体Ｓを囲むように配置されている。

後方照明装置２０１は、被検査体Ｓの左端部から右端部までの範囲よりも若干広い範囲において延出している。換言すれば、後方照明装置２０１は、被検査体Ｓの左右寸法よりも若干大きい左右寸法を有する。後方照明装置２０１は、被検査体Ｓの後方における所定の位置に固定されている。

右方照明装置２０２は、被検査体Ｓの前端部から後端部までの範囲よりも若干広い範囲において延出している。換言すれば、右方照明装置２０２は、被検査体Ｓの前後寸法よりも若干大きい前後寸法を有する。右方照明装置２０２は、被検査体Ｓの右方における所定の位置に固定されている。

前方照明装置２０３は、第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂ、第三照明部２０３ｃ、および第四照明部２０３ｄを有する。
第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂ、第三照明部２０３ｃ、および第四照明部２０３ｄは、概ね、後方照明装置２０１を左右方向に四等分した構造を有する。第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂ、第三照明部２０３ｃ、および第四照明部２０３ｄは、被検査体Ｓの左端部から右端部までの範囲よりも若干広い範囲において、右から順に、互いに所定の間隔をあけて配置されている。第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂ、第三照明部２０３ｃ、および第四照明部２０３ｄは、それぞれ、エアシリンダおよびサーボモータ等のアクチュエータにより、前後方向に移動可能に構成されている。

左方照明装置２０４は、第一照明部２０４ａ、第二照明部２０４ｂ、および第三照明部２０４ｃを有する。
第一照明部２０４ａ、第二照明部２０４ｂ、および第三照明部２０４ｃは、概ね、右方照明装置２０２を前後方向に三等分した構造を有する。第一照明部２０４ａ、第二照明部２０４ｂ、および第三照明部２０４ｃは、被検査体Ｓの前端部から後端部までの範囲よりも若干広い範囲において、前から順に、互いに所定の間隔をあけて配置されている。第一照明部２０４ａ、第二照明部２０４ｂ、および第三照明部２０４ｃは、それぞれ、エアシリンダおよびサーボモータ等のアクチュエータにより、左右方向に移動可能に構成されている。

以下では、図８を参照して、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）が比較的小さい場合における、画像検査装置２００の動作態様について説明する。

図８に示すように、被検査体Ｓの前後寸法および左右寸法が比較的小さく、前方照明装置２０３および左方照明装置２０４が、それぞれ後方照明装置２０１および右方照明装置２０２よりも被検査体Ｓに対して遠くなった場合には、前方照明装置２０３の発光強度および後方照明装置２０１の発光強度、ならびに左方照明装置２０４の発光強度および右方照明装置２０２の発光強度が、それぞれ同じであれば、被検査体Ｓの被検査面における、前方照明装置２０３および左方照明装置２０４の照度が低下する。そのため、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となる。
このような問題を解決するために、画像検査装置２００においては、前方照明装置２０３の第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂおよび第三照明部２０３ｃが、被検査体Ｓに近接するように、後方向に移動すると共に、左方照明装置２０４の第二照明部２０４ｂおよび第三照明部２０４ｃが、被検査体Ｓに近接するように、右方向に移動する。
これにより、前方照明装置２０３（第一照明部２０３ａ、第二照明部２０３ｂおよび第三照明部２０３ｃ）および左方照明装置２０４（第二照明部２０４ｂおよび第三照明部２０４ｃ）が、被検査体Ｓの被検査面を充分な照度で照らすことができる。
したがって、小さい被検査体Ｓに対しても、各照明装置が適切に照明を当てることができ、被検査体Ｓの被検査面おいて照度が不均一となることを防止できる。

以上のように、画像検査装置２００においては、前方照明装置２０３および左方照明装置２０４における、アクチュエータによって移動可能に構成された複数の照明部が、被検査体Ｓの大きさ（平面視における面積）に応じて、前方照明装置２０３および左方照明装置２０４の位置を調整する、本発明に係る調整手段として機能するのである。
これにより、種々の被検査体に対して、均一に照明を当てることができる。
特に、画像検査装置２００の構成は、シンプルであり、安価に実現できるという利点を有する。

１ 画像検査装置
１１ 照明装置
１１ａ 照明本体
１１ｂ サーボモータ
１２ 発光強度調整装置
１３ 撮像装置
２ 画像検査装置
２１ 照明装置
２２ アクチュエータ
２３ ガイド機構
２３１ 左右ガイド板
２３２ 前後ガイド板
２３３ 摺動部
２３４ 第一ガイドレール
２３５ 第二ガイドレール
２３６ 第三ガイドレール
２３７ 第四ガイドレール

Claims (4)

1. 被検査体の撮像画像に基づいて、前記被検査体の検査を行う画像検査装置であって、
   前記被検査体を照らすための複数の照明装置と、
   前記複数の照明装置によって照らされた前記被検査体の撮像画像を取得する撮像装置と、
   各照明装置の向きおよび発光強度、または位置を、前記被検査体の大きさに応じて調整する調整手段と、を具備する、
   ことを特徴とする画像検査装置。
2. 各照明装置は、前記被検査体に対して、互いに異なる入射角度で光を照射する複数の照明部を有し、
   前記調整手段は、前記被検査体の大きさに応じて、前記複数の照明部のうちの、少なくとも一つの照明部を点灯させると共に、当該点灯させた照明部の発光強度を調整する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
3. 前記複数の照明装置は、平面視にて前記被検査体を囲むように配置され、
   前記調整手段は、平面視における前記複数の照明装置によって囲まれた範囲の面積が、平面視における前記被検査体の面積に比例するように、前記複数の照明装置の配置を変更する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
4. 前記複数の照明装置は、隣接する照明装置同士が回動自在となるように、鎖状に連結され、
   前記複数の照明装置のうちの、一端に位置する照明装置は、所定の位置に固定され、
   前記複数の照明装置のうちの、他端に位置する照明装置は、前記調整手段に取り付けられ、
   前記調整手段は、前記他端に位置する照明装置を移動させることによって、前記複数の照明装置の配置を変更する、
   ことを特徴とする請求項３に記載の画像検査装置。

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