KR101248184B1 - 비전 검사용 조명 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 비전 검사용 조명 장치에 관한 것으로, 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하고, 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공한다.

Description

비전 검사용 조명 장치{Lighting Apparatus for Vision Inspection}

본 발명은 비전 검사용 조명 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하고, 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치에 관한 것이다.

일반적으로 최근 사용되는 각종 전자제품들에는 반도체, 인쇄회로기판 등 다양한 전자부품들에 의해 구성되는데, 이러한 전자부품들은 전자정보기기들의 소형화 추세에 따라 내부에 미세하고 복잡한 회로 패턴이 고집적된 형태로 구성된다.

따라서, 이러한 전자부품에 미세한 표면 손상이나 불량 패턴 등이 발생하게 되면, 전자기기의 오작동 및 고장을 일으키게 되므로, 일반적으로 전자부품은 실제 기기에 적용되기 전 그 불량 여부를 반드시 판단하여 불량 제품이 적용되지 않도록 하고 있다.

이러한 전자부품에 대한 불량 여부 판단은 일반적으로 머신 비전 검사 기술을 이용하여 전자부품의 표면 상태를 카메라로 촬영하고 촬영된 이미지를 처리 및 분석하여 전자부품의 불량 여부를 판단하는 방식으로 진행되고 있는데, 이러한 비전 검사를 위해서는 카메라가 촬영하는 전자부품에 조명광을 조사하는 조명 장치가 매우 중요하다.

도 1은 종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 케이스(10)의 내부 공간 일측에 조명 광원(30)이 장착되고, 케이스(10)의 내부 공간 중앙부에는 조명 광원(30)으로부터 발생되는 조명광(E)을 피검사체(P)로 반사하는 하프 미러(40)가 배치된다. 케이스(10)에는 하프 미러(40)가 배치되는 공간의 상하부에 각각 카메라(200) 및 피검사체(P)로 빛이 진행할 수 있도록 관통홀(11,12)이 형성되며, 조명 광원(30)의 전방에는 조명광(E)이 균일하게 하프 미러(40) 측으로 향해 진행될 수 있도록 확산판(31)이 장착된다.

하프 미러(40)는 조명광(E) 경로에 대해 45°각도를 이루도록 경사지게 배치되며, 반반사 미러로서 입사되는 빛의 절반은 반사하고 절반은 투과시키도록 구성된다. 따라서, 조명 광원(30)으로부터 발생된 조명광(E) 중 절반(E1)은 하프 미러(40)를 통과하여 진행하고 나머지 절반(E2)은 하프 미러(40)에 의해 반사되어 피검사체(P)로 조사된다. 피검사체(P)로 조사되는 조명광(E)은 피검사체(P)를 통해 반사되어 카메라(200)로 입사되며, 이와 같이 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)을 통해 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득하게 된다.

이와 같은 구조의 조명 장치는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)의 광축과 피검사체(P)로 조사되는 조명광(E)의 광축이 서로 평행하게 구성되는바, 이러한 구조의 조명 장치를 동축 조명 장치라 하며, 이러한 동축 조명 장치를 사용하는 경우 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상은 흑백 구분이 명확하게 나타나기 때문에 널리 사용되고 있다.

그러나, 이러한 동축 조명 장치는 조명광(E)의 광축과 입사광(I)의 광축이 서로 평행하므로, 조명광(E)을 반사하는 미러가 입사광(I)의 진행 경로 상에 배치되어야 하고, 이에 따라 입사광(I)이 미러를 통과할 수 있도록 하프 미러(40)를 사용하는 방식으로 제작되고 있다. 이러한 하프 미러(40)는 전술한 바와 같이 빛의 절반은 투과하고 절반은 반사하도록 형성되기 때문에, 실질적으로 조명 광원(30)에서 발생하는 조명광(E)의 50%만이 피검사체(P)로 반사되므로, 피검사체(P)에 조사되는 광량은 조명 광원(30)의 광량에 비해 50%로 감소하게 된다. 이와 같은 광량의 감소는 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상의 선명도 및 명암을 저하시키게 되므로, 피검사체(P)에 대한 검사 작업을 부정확하고 어렵게 하는 등의 문제가 있었다.

또한, 피검사체(P)로부터 반사되어 카메라(200)로 입사되는 입사광(I) 또한 입사광(I) 경로 상에 배치된 하프 미러(40)를 통과해야 하므로, 하프 미러(40)를 통과하는 과정에서 빛의 굴절 현상이 발생하게 되고, 이에 따라 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상은 선명도가 감소할 뿐만 아니라 왜곡된 상태로 나타나게 되므로, 피검사체(P)에 대한 검사 작업의 정확도 및 신뢰도를 크게 저하시키게 되는 문제가 있었다.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 반사 미러에 의해 반사되는 조명광의 광축이 입사광의 광축과 동축이 되도록 반사 미러를 배치하고, 반사 미러의 배치 각도를 유지한 상태로 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 피검사체에 돔 조명광을 조사할 수 있는 돔 조명 유닛을 탈착 가능하게 장착함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 반사 미러의 배치 각도를 조절 가능하게 장착함으로써, 피검사체에 대한 다양한 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 조절할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은, 피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서, 상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스; 상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및 상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치를 제공한다.

이때, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 상기 입사광의 광축과 동축 방향으로 반사하도록 배치될 수 있다.

또한, 상기 반사 미러는 상기 입사광의 경로와 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.

또한, 상기 비전 검사용 조명 장치에는 상기 반사 미러의 배치 각도가 유지된 상태로 상기 반사 미러를 직선 이동시키는 직선 이송 유닛이 더 구비될 수 있다.

이때, 상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 배치 방향과 평행하게 상기 반사 미러를 이동시키도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 직선 이송 유닛은 상기 입사광 경로에 대한 직각 방향으로 상기 반사 미러를 이동시키도록 구성될 수도 있다.

한편, 상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 이송 방향을 따라 길게 배치되며 외주면에 나선형의 스크류 홈이 형성된 스크류 로드; 상기 스크류 홈에 삽입되도록 상기 반사 미러의 일측에 형성되는 가이드 돌기; 상기 반사 미러의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일; 및 상기 스크류 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터를 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성될 수 있다.

이때, 상기 직선 이송 유닛은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러를 각각 독립적으로 직선 이동시키도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 메인 케이스의 전방에는 피검사체로 돔 조명광을 조사하는 돔 조명 유닛이 장착되고, 상기 돔 조명 유닛은 일측에 오목한 반구형의 조명 장착부가 형성되며 상기 조명 장착부의 중심부에는 상기 입사광 및 조명광이 통과하도록 중심홀이 형성되는 돔 조명 케이스; 및 상기 조명 장착부에 다수개 장착되어 상기 돔 조명광을 발생하는 돔 조명 광원을 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되고, 상기 비전 검사용 조명 장치에는 상기 제 1 및 제 2 반사 미러의 배치 각도를 각각 별개로 조절할 수 있는 각도 조절 유닛이 더 구비될 수 있다.

이때, 상기 메인 광원은 제 1 및 제 2 메인 광원으로 분리 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 메인 광원에 의해 각각 발생되는 조명광은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러에 의해 각각 별개로 반사되도록 구성될 수 있다.

이때, 상기 각도 조절 유닛은 상기 제 1 반사 미러 또는 제 2 반사 미러의 일측면에 각각 장착되며 상기 입사광 광축과 직각 방향으로 배치되는 작동 로드; 및 상기 작동 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터를 포함하여 구성될 수 있다.

본 발명에 의하면, 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확하고 신뢰도 높은 비전 검사를 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 반사 미러에 의해 반사되는 조명광의 광축이 입사광의 광축과 동축이 되도록 반사 미러를 배치하고, 반사 미러의 배치 각도를 유지한 상태로 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있고, 이러한 조명 효과를 선택적으로 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 이와 같이 반사 미러를 전반사 미러로 적용함으로써, 기존의 동축 조명 장치에 대한 크기를 현격히 축소할 수 있어 카메라의 옵틱 구성에 편리성을 제공할 수 있다.

또한, 피검사체에 돔 조명광을 조사할 수 있는 돔 조명 유닛을 탈착 가능하게 장착함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 효과가 있다.

또한, 반사 미러의 배치 각도를 조절 가능하게 장착함으로써, 피검사체에 대한 다양한 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 이와 같은 본 발명에 따른 비전 검사용 조명 장치는 라인 카메라에 대한 조명 적용시 더욱 유용하게 사용될 수 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러에 대한 형상을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치를 사용하여 획득한 검사 영상 결과를 나타내는 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러의 이동에 따른 효과를 보여주는 검사 영상 결과를 나타내는 도면,
도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 12는 도 11에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 14는 도 13에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 돔 조명 유닛이 결합된 형태의 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 16은 도 15에 도시된 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 18은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 미러에 대한 각도 조절 유닛의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러에 대한 형상을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치를 사용하여 획득한 검사 영상 결과를 나타내는 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치는 피검사체(P)로부터 반사되어 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)을 통해 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체(P)에 조명광(E)을 조사하는 장치로서, 메인 케이스(100)와, 메인 광원(300)과, 반사 미러(400)를 포함하여 구성된다.

메인 케이스(100)는 카메라(200)의 전방에 위치하도록 카메라(200)와 결합하며, 카메라(200)와 결합되는 부위에는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)이 통과할 수 있도록 상부 관통홀(110)이 형성되며, 피검사체(P)와 인접한 부위에는 피검사체(P)를 향해 조명광(E) 및 입사광(I)이 통과할 수 있도록 상부 관통홀(110)과 대향하는 위치에 하부 관통홀(120)이 형성된다.

메인 광원(300)은 메인 케이스(100)의 내부 공간 일측에 장착되어 조명광(E)을 발생시키도록 구성되는데, 일반 형광 램프가 사용될 수도 있으나 에너지 효율이 우수하고 고휘도를 갖는 LED 램프가 사용되는 것이 바람직하다. 메인 광원(300)의 조명광(E) 진행 방향을 따라 전방에는 조명광(E)이 넓은 영역에서 균일한 강도로 진행할 수 있도록 별도의 확산판(310)이 장착될 수 있다.

반사 미러(400)는 메인 케이스(100)의 내부에 상부 관통홀(110)과 하부 관통홀(120)의 사이 공간에 배치되며, 메인 광원(300)으로부터 발생된 조명광(E)이 피검사체(P)로 조사되도록 조명광(E)을 반사한다. 이때, 반사 미러(400)는 종래 기술과 달리 조명광(E)을 전부 반사할 수 있도록 전반사 미러가 적용되며, 중앙부에는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)이 통과할 수 있도록 슬릿홀(430)이 형성된다. 슬릿홀(430)은 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 반사 미러(400)의 중앙부에 형성될 수 있으나, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 하나의 반사 미러(400)가 슬릿홀(430)을 중심으로 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리 이격되도록 반사 미러(400)의 폭방향으로 관통 형성될 수도 있다.

이러한 슬릿홀(430)은 피검사체(P)로부터 카메라(200)로 향하는 입사광(I)을 간섭하지 않고 입사광(I)이 원활하게 통과할 수 있도록 입사광(I) 영역보다 더 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 다시 말하면, 카메라(200)에는 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 뷰영역(210)이 존재하는데, 뷰영역(210)을 향해 직각 방향으로 입사광(I)이 입사되므로, 이러한 입사광(I)이 반사 미러(400)에 의해 간섭받지 않고 카메라(200)의 뷰영역(210)으로 정확하게 입사될 수 있도록 슬릿홀(430)이 형성되며, 슬릿홀(430)은 뷰영역(210)으로 입사되는 입사광(I)에 대해 어느 일부라도 차단하지 않도록 충분히 크게 형성되는 것이 바람직하다.

이때, 반사 미러(400)는 메인 광원(300)으로부터 발생된 조명광(E)을 입사광(I)의 광축과 동축 방향으로 피검사체(P)에 반사하도록 장착될 수 있으며, 이를 위해 반사 미러(400)는 입사광(I)의 경로와 교차하는 방향으로 경사지게 배치될 수 있다. 물론, 이 경우 메인 광원(300)으로부터 발생되는 조명광(E)의 위치에 따라 반사 미러(400)의 배치 상태는 다양하게 조절될 수 있다. 예를 들면, 메인 광원(300)의 조명광(E)이 도 2에 도시된 방향을 기준으로 수평 방향으로 반사 미러(400)에 조사되도록 구성되고, 반사 미러(400)는 이러한 조명광(E)을 수직 방향으로 피검사체(P)에 반사하도록 45°각도만큼 경사지게 배치된다. 이러한 조명광(E)에 의해 피검사체(P)로부터 카메라(200)로 입사광(I)이 수직 방향으로 입사되며, 따라서, 입사광(I)의 광축과 조명광(E)의 광축은 서로 동축 방향으로 형성된다. 이때, 입사광(I)은 반사 미러(400)의 슬릿홀(430)을 통과하여 카메라(200)로 직접 입사된다.

이러한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치는 동축 조명 장치의 기능을 수행할 수 있다. 종래 기술에 의한 동축 조명 장치는 입사광(I)의 광축과 조명광(E)의 광축이 서로 동축 방향으로 형성되기 때문에, 조명광(E)을 반사하는 미러가 입사광(I)의 진행 경로 상에 위치하게 되므로, 입사광(I)이 통과할 수 있도록 하프 미러를 사용하였고, 이에 따라 입사광(I)의 굴절 및 조명광(E)의 광량 감소 등의 문제가 있었다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 동축 조명 장치의 기능을 수행함에도 불구하고, 조명광(E)을 전반사하는 반사 미러(400)를 사용하여 조명광(E)을 전부 피검사체(P)로 반사함으로써, 조명광(E)의 광량 감소 현상을 방지할 수 있고, 또한 반사 미러(400)에 슬릿홀(430)을 형성하여 입사광(I)이 원활하게 카메라(200)로 입사될 수 있도록 함으로써, 입사광(I)의 굴절 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 카메라(200)를 통해 획득한 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시킬 수 있다.

도 4 및 도 5에는 본 발명에 따른 조명 장치를 사용한 경우와 종래 기술의 조명 장치를 사용한 경우를 실제 테스트하여 추출한 검사 영상이 도시된다. 도 4의 (a)는 종래 기술의 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득된 검사 영상이고, 도 4의 (b)는 본 발명에 따른 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득된 검사 영상인데, 도 4의 (b)에 도시된 검사 영상이 상대적으로 매우 선명하게 나타남을 알 수 있다. 마찬가지로 도 5의 (a) 및 (b)는 각각 종래 기술과 본 발명의 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득한 검사 영상이며, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 본 발명의 조명 장치를 사용한 경우에 검사 영상이 상대적으로 매우 밝게 나타남을 알 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러의 이동에 따른 효과를 보여주는 검사 영상 결과를 나타내는 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 반사 미러(400)가 그 배치 각도를 유지한 상태로 이동할 수 있도록 장착될 수 있으며, 이와 같이 반사 미러(400)를 이동시킬 수 있는 직선 이송 유닛(500)을 더 구비할 수 있다.

직선 이송 유닛(500)은 도 6에 도시된 바와 같이 반사 미러(400)를 그 배치 방향과 평행하게 이동시키도록 구성될 수 있으며, 이때, 반사 미러(400)의 배치 상태는 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 입사광(I)이 반사 미러(400)의 슬릿홀(430)을 통과하도록 배치된 상태에서, 도 6의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 그 배치 방향을 따라 하향 경사 이동한 상태로 배치될 수 있다. 이때, 도 6의 (b) 및 (c) 상태에서 반사 미러(400)가 입사광(I)의 진행 경로를 간섭하지 않도록 배치되어야 할 것이다.

또한, 이와 같은 반사 미러(400)의 이동에 따라 반사 미러(400)를 향해 조명광(E)을 발생시키는 메인 광원(300)의 위치 또한 도 6의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이 이동하도록 구성될 수 있다. 그러나 이와 달리 메인 광원(300)에 의해 발생되는 조명광(E)이 반사 미러(400)의 전체 이동 구간에 걸쳐 발생하도록 구성하는 경우라면, 메인 광원(300)의 위치 이동에 대한 구성이 불필요할 것이다. 또한, 이 경우에도 메인 광원(300)에 의해 발생되는 조명광(E)이 반사 미러(400)의 배치 상태에 따라 해당 구간에만 선택적으로 발생하도록 구성함으로써, 조명광(E)에 대한 낭비 없이 효율적인 운영이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.

한편, 반사 미러(400)가 이동하게 되면, 반사 미러(400)에 의해 반사되어 피검사체(P)로 향하는 조명광(E)의 진행 경로가 변화하게 되는데, 이 경우에도 반사 미러(400)의 배치 각도는 그대로 유지되므로 조명광(E)의 광축이 입사광(I)의 광축과 평행하게 유지된 상태로 조명광(E)의 진행 경로가 변화하게 된다. 이러한 방식으로 조명광(E)의 진행 경로가 변화하면 각각 서로 다른 조명 효과가 발휘되는데, 예를 들어 도 6의 (a) 상태에서는 입사광(I) 광축과 동일한 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 동축 조명 효과를 발휘하게 되고, 도 6의 (b) 상태에서는 입사광(I) 광축과 인접한 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 입체 조명 효과를 발휘하게 되며, 도 6의 (c) 상태에서는 입사광(I) 광축과 상당 거리 이격되는 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 측면 조명 효과를 발휘하게 된다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 이와 같은 반사 미러(400)의 3단계 이동을 통해 3가지 종류의 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 선택할 수 있다.

도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러(400)의 이동에 따라 각각 나타나는 검사 영상을 추출한 도면으로, 도 8의 (a)에는 도 6의 (a) 상태에 대응되는 동축 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시되고, 도 8의 (b)에는 도 6의 (b) 상태에 대응되는 입체 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시되며, 도 8의 (c)에는 도 6의 (c) 상태에 대응되는 측면 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시된다.

동축 조명 효과는 일반적으로 피검사체(P)에 대한 이물, 치핑(chipping), 패턴(pattern) 등의 검사에 유리하게 사용될 수 있고, 입체 조명 효과는 피검사체(P)에 대한 얼룩, 크랙(crack), 표면의 거칠기 등의 검사에 유리하게 사용될 수 있으며, 측면 조명 효과는 피검사체(P)에 대한 이물, 손상(damage), 얼룩 등의 검출에 유리하게 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 하나의 피검사체(P)를 다양한 조명 효과를 선택하여 좀 더 정확하고 세밀하게 검사할 수 있으며, 특정 조명 효과로 세팅된 다수개의 조명 장치로 각각 교체하지 않더라도 하나의 조명 장치로서 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있으므로 더욱 편리한 검사 작업을 가능하게 한다.

예를 들어, 도 9에는 피검사체(P)의 상면에 형성된 치핑을 검출하기 위한 검사 영상이 도시되는데, 도 9의 (a),(b) 및 (c)는 각각 도 6의 (a),(b),(c)에 대응하는 것으로 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과에 따른 검사 영상을 나타낸다. 여기에서, 피검사체(P)의 치핑은 도 9의 (a)에서, 즉, 동축 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (a) 상태로 반사 미러(400)의 배치 상태를 이동한 경우에 가장 잘 관찰됨을 알 수 있다.

또한, 도 10에는 피검사체(P)의 상면에 부착된 이물(particle)을 검출하기 위한 검사 영상이 도시되는데, 도 10의 (a),(b) 및 (c) 또한 마찬가지로 각각 도 6의 (a),(b),(c)에 대응하는 것으로 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과에 따른 검사 영상을 나타낸다. 여기에서, 피검사체(P)의 이물은 도 10의 (a) 또는 (c)에서, 즉, 동축 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (a) 상태 또는 측면 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (c) 상태로 반사 미러(400)의 배치 상태를 이동한 경우에 잘 관찰됨을 알 수 있다.

한편, 이와 같이 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있도록 반사 미러(400)를 이동시키는 직선 이송 유닛(500)은 다양한 기계 요소를 이용하여 다양하게 구성될 수 있는데, 예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이 외주면에 나선형의 스크류 홈(511)이 형성된 스크류 로드(510)와, 스크류 홈(511)에 삽입되도록 반사 미러(400)의 일측에 돌출 형성되는 가이드 돌기(520)와, 반사 미러(400)의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일(530)과, 스크류 로드(510)를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터(540)을 포함하여 구성될 수 있다.

이때, 스크류 로드(510)는 반사 미러(400)의 이송 방향을 따라 길게 배치되며, 가이드 레일(530) 또한 스크류 로드(510)와 동일한 방향으로 길게 배치된다. 따라서, 구동 모터(540)를 통해 스크류 로드(510)를 회전시키면, 반사 미러(400)에 형성된 가이드 돌기(520)가 스크류 로드(510)의 스크류 홈(511)을 따라 이동하게 되고, 이에 따라 반사 미러(400)는 가이드 레일(530)을 따라 즉, 스크류 로드(510)의 길이 방향을 따라 직선 이동하게 된다.

이러한 직선 이송 유닛(500)에 대한 구성은 이러한 방식 이외에도 구동 벨트를 이용하거나 링크 장치를 이용한 방식 등 다양하게 변경 가능할 것이다.

도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 12는 도 11에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 11에 도시된 반사 미러(400)는 도 6에 도시된 바와 달리 입사광(I) 경로에 대한 직각 방향으로 이동 가능하게 장착되며, 도 12에는 이와 같은 방식으로 반사 미러(400)의 이동시키는 직선 이송 유닛(500)에 대한 구성이 도시된다.

여기서는 반사 미러(400)의 이동 방향이 도 11에 도시된 방향을 기준으로 수평 방향으로 이동한다는 점 이외에는 모두 도 6의 (a),(b),(c)와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 11의 (a),(b),(c)에 도시된 각각의 반사 미러(400) 이동 상태는 도 6과 동일하게 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과를 나타낼 것이다. 마찬가지로, 직선 이송 유닛(500)은 스크류 로드(510) 및 가이드 레일(530)의 배치 방향이 수평 방향으로 형성된다는 점 이외에는 도 7에 도시된 직선 이송 유닛(500)과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 14는 도 13에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 13 및 도 14에 도시된 반사 미러(400)는 반사 미러(400)에 형성된 슬릿홀(430)이 반사 미러(400)를 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리하도록 관통 형성되는 형태를 도시한 것으로, 이 경우, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 직선 이송 유닛(500)에 의해 모두 같은 방향으로 동시에 이동하도록 구성될 수 있으나, 이와 달리 각각 독립적으로 직선 이동하도록 장착될 수 있으며, 직선 이송 유닛(500) 또한 이러한 독립적인 이송을 가능하게 하도록 형성될 수 있다.

도 13의 (a) 및 (b)에는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)가 각각 서로 근접하게 이동하거나(도 13의 (a)), 또는 서로 멀어지게 이동한 상태(도 13의 (b))가 도시되는데, 이때, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 각각 별개의 직선 이송 유닛(500)을 통해 독립적으로 이동할 수도 있고, 도 14에 도시된 바와 같이 하나의 직선 이송 유닛(500)을 통해 동시에 이동하도록 구성될 수도 있다. 하나의 직선 이송 유닛(500)을 통해 동시에 서로 근접하거나 멀어지는 방향으로 이동하기 위해서는 스크류 로드(510)의 외주면에 형성된 스크류 홈(511)을 도 14에 도시된 바와 같이 서로 다른 방향으로 형성하고, 각 스크류 홈(511)에 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 가이드 돌기(520)가 각각 삽입되도록 하는 방식으로 구성할 수 있다. 이러한 구성에 따라 제 1 반사 미러(410) 및 제 2 반사 미러(420)는 서로 다른 방향의 스크류 홈(511)에 의해 서로 반대 방향으로 동시에 이동하며, 서로 근접하거나 서로 멀어지도록 이동할 수 있다. 이외의 구성 및 동작 원리는 도 7과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

한편, 도 13의 (a)에 도시된 반사 미러(400)의 배치 상태는 도 6의 (a) 상태와 동일하므로 동축 조명 효과를 나타내는데, 도 13의 (b)에 도시된 반사 미러(400)의 배치 상태는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 이동 거리에 따라 동축 조명 효과를 나타낼 수도 있고 입체 조명 효과 또는 측면 조명 효과를 나타낼 수도 있을 것이다. 즉, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 의한 각각의 조명광(E) 광축이 입사광(I)의 광축으로부터 얼마나 이격되게 위치하는지에 따라 전술한 입체 조명 효과 또는 측면 조명 효과를 나타낼 수 있을 것이다.

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 돔 조명 유닛이 결합된 형태의 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 16은 도 15에 도시된 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 카메라(200)의 전방에 메인 케이스(100)가 위치하도록 카메라(200)와 메인 케이스(100)가 결합되는데, 메인 케이스(100)의 전방에는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 피검사체(P)로 돔 조명광(E')을 조사하는 돔 조명 유닛(600)이 장착될 수 있다.

돔 조명 유닛(600)은 돔 조명 케이스(610)와, 돔 조명 광원(620)을 포함하여 구성되는데, 돔 조명 케이스(610)는 일측에 오목한 반구형의 조명 장착부(611)가 형성되며, 조명 장착부(611)의 중심부에는 입사광(I) 및 조명광(E)이 통과할 수 있도록 중심홀(612)이 형성된다. 이때, 돔 조명 케이스(610)가 메인 케이스(100)의 전방에 결합되는데, 메인 케이스(100)와 돔 조명 케이스(610)는 상호 탈착 가능하게 결합되도록 구성되는 것이 바람직하며, 예를 들면, 상호 맞물림 결합되는 걸림 고리(미도시) 및 걸림 홈(미도시)이 서로 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 또한, 돔 조명 케이스(610)와 메인 케이스(100)가 상호 결합될 때, 조명광(E) 및 입사광(I)이 통과할 수 있도록 돔 조명 케이스(610)의 중심홀(612)과 메인 케이스(100)의 하부 관통홀(120)이 서로 동일한 위치에서 연통되도록 결합되는 것이 바람직하다.

돔 조명 광원(620)은 반구형으로 오목하게 형성된 조명 장착부(611)에 다수개 장착되어 돔 조명광(E')을 발생시키며, 메인 광원(300)과 마찬가지로 LED 램프를 적용하는 것이 바람직하다. 이러한 구조에 따라 다수개의 돔 조명 광원(620)은 도 15에 도시된 바와 같이 반구형의 조명 장착부(611)에 대한 가상 중심인 피검사체(P)의 특정 영역(Q)에 집중되도록 돔 조명광(E')을 조사하게 되고, 이에 따라 피검사체(P)의 특정 영역(Q)은 돔 조명광(E')에 의해 사방에서 조명광이 조사되므로 돔 조명 효과에 의해 더욱 선명하고 밝은 검사 영상을 획득할 수 있다.

그러나 이러한 돔 조명 유닛(600)은 조명 장착부(611)에 대한 제작상의 공차 또는 돔 조명 광원(620)의 정렬 오차 등의 이유로 특정 영역(Q)에 정확하게 돔 조명광(E')을 조사할 수 없고, 정확하게 돔 조명광(E')을 조사한다고 하더라도 돔 조명 효과만으로는 피검사체(P)에 대한 다양한 검사 영상을 획득할 수 없다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 메인 케이스(100)에 이러한 돔 조명 유닛(600)을 함께 장착함으로써, 돔 조명 광원(620)에 의한 돔 조명광(E') 및 메인 광원(300)에 의한 조명광(E)을 동시에 피검사체(P)에 조사하고, 상호 단점을 보완하는 형태로 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있다.

특히, 도 16에 도시된 바와 같이 메인 케이스(100)에 돔 조명 유닛(600)을 결합한 상태에서 직선 이송 유닛(500)에 의해 반사 미러(400)를 직선 이동시키는 경우, (a),(b),(c) 각각의 상태에서는 전술한 바와 같이 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과에 더하여 각각 돔 조명 효과를 부가적으로 더 얻을 수 있으므로, 더욱 정확하고 다양한 검사 영상을 획득할 수 있다. 도 16에 도시된 반사 미러(400)의 이동에 대한 조명 효과는 도 6에 도시된 바와 마찬가지 원리이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 18은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 미러에 대한 각도 조절 유닛의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 전술한 바와 같이 반사 미러(400)가 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리 이격되도록 슬릿홀(430)이 형성될 수 있는데, 이 경우 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 도 17에 도시된 바와 같이 그 배치 각도가 각각 독립적으로 조절될 수 있도록 구성될 수 있으며, 이러한 배치 각도를 조절할 수 있도록 별도의 각도 조절 유닛(700)이 더 구비될 수 있다.

반사 미러(400)가 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리된 경우, 메인 광원(300)은 도 17에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)으로 분리 형성될 수 있고, 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)에 의해 각각 발생되는 조명광(E)은 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 의해 각각 별개로 반사되도록 구성될 수 있다.

즉, 메인 케이스(100)의 내부에는 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)이 각각 해당 조명광(Ea,Eb)에 대한 상호 간섭이 방지되도록 별도의 차단막(130)이 형성될 수 있고, 제 1 메인 광원(300a)에서 발생된 조명광(Ea)은 제 1 반사 미러(410)를 통해 피검사체(P)로 반사되고, 제 2 메인 광원(300b)에서 발생된 조명광(Eb)은 제 2 반사 미러(420)를 통해 피검사체(P)로 반사된다. 이때, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도가 각각 별개로 조절될 수 있는데, 도 17에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도가 실신으로 도시된 상태에서 점선으로 도시된 상태로 변경되는 경우, 제 1 반사 미러(410)를 통해 반사되는 조명광(Ea) 및 제 2 반사 미러(420)를 통해 반사되는 조명광(Eb)은 점선으로 도시된 바와 같이 각각 입사광(I) 광축에 더욱 근접하도록 피검사체(P)에 조사된다. 이와 같이 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로가 변화하게 되면, 이러한 변화 경로에 따라 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 17의 실선으로 도시된 진행 경로를 갖는 조명광(Ea,Eb)이 형성되면, 동축 조명 효과가 발휘되고, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도 조절을 통해 도 17의 점선으로 도시된 진행 경로를 갖는 조명광(Ea,Eb)이 형성되면, 입체 조명 효과가 발휘될 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도 조절을 통해 조명광(E)의 진행 경로를 다양한 각도로 변경함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있고, 이에 따라 더욱 정확하고 세밀한 검사 영상을 획득할 수 있다.

한편, 이와 같은 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 도 18에 도시된 바와 같이 조명광(E)에 대한 반사면이 서로 마주보는 방향이 되도록 배치 각도가 조절될 수도 있는데, 이 경우에는 제 1 메인 광원(300a)과 제 2 메인 광원(300b)이 이러한 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 대응하여 서로 마주보는 방향으로 배치되도록 분리 형성될 수 있다. 이 경우에도 마찬가지로 각 반사 미러에 대한 배치 각도 조절을 통해 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로를 변경할 수 있으며, 이에 따라 전술한 바와 마찬가지로 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있다.

이와 같이 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도를 조절하는 각도 조절 유닛(700)은 다양한 기계 요소를 이용하여 다양한 형태로 구성할 수 있는데, 예를 들면, 도 19에 도시된 바와 같이 제 1 반사 미러(410) 또는 제 2 반사 미러(420)의 일측면에 각각 장착되는 작동 로드(710)와, 작동 로드(710)를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터(720)를 포함하여 구성될 수 있고, 작동 로드(710)와 제 1 반사 미러(410) 또는 제 2 반사 미러(420)는 별도의 고정 브래킷(711)을 통해 결합될 수 있다. 이때, 작동 로드(710)는 도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이 입사광(I)의 광축에 대한 직각 방향으로 배치되는 것이 바람직하며, 이를 통해 피검사체(P)를 향해 조사되는 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로를 효과적으로 조절할 수 있을 것이다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 메인 케이스 200: 카메라
300: 메인 광원 400: 반사 미러
430: 슬릿홀 500: 직선 이송 유닛
600: 돔 조명 유닛 700: 각도 조절 유닛
E: 조명광 I: 입사광

Claims (13)

1. 피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서,
   상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스; 상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및 상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되고,
   상기 반사 미러는 상기 조명광을 상기 입사광의 광축과 동축 방향으로 반사하도록 배치되고,
   상기 반사 미러는 상기 입사광의 경로와 교차하는 방향으로 배치되고,
   상기 반사 미러의 배치 각도가 유지된 상태로 상기 반사 미러를 직선 이동시키는 직선 이송 유닛이 더 구비되고,
   상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되고,
   상기 직선 이송 유닛은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러를 직선 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 배치 방향과 평행하게 상기 반사 미러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 직선 이송 유닛은 상기 입사광 경로에 대한 직각 방향으로 상기 반사 미러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
   
7. 제 1 항, 제 5항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 직선 이송 유닛은
   상기 반사 미러의 이송 방향을 따라 길게 배치되며 외주면에 나선형의 스크류 홈이 형성된 스크류 로드;
   상기 스크류 홈에 삽입되도록 상기 반사 미러의 일측에 형성되는 가이드 돌기;
   상기 반사 미러의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일; 및
   상기 스크류 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
   
8. 삭제
9. 삭제
10. 피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서,
    상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스; 상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및 상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되고,
    상기 메인 케이스의 전방에는 피검사체로 돔 조명광을 조사하는 돔 조명 유닛이 장착되고, 상기 돔 조명 유닛은: 일측에 오목한 반구형의 조명 장착부가 형성되며 상기 조명 장착부의 중심부에는 상기 입사광 및 조명광이 통과하도록 중심홀이 형성되는 돔 조명 케이스; 및 상기 조명 장착부에 다수개 장착되어 상기 돔 조명광을 발생하는 돔 조명 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
    
11. 피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서,
    상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스; 상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및 상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되고,
    상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되고,
    상기 제 1 및 제 2 반사 미러의 배치 각도를 각각 별개로 조절할 수 있는 각도 조절 유닛이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
    
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 메인 광원은 제 1 및 제 2 메인 광원으로 분리 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 메인 광원에 의해 각각 발생되는 조명광은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러에 의해 각각 별개로 반사되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
    
13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 각도 조절 유닛은
    상기 제 1 반사 미러 또는 제 2 반사 미러의 일측면에 각각 장착되며 상기 입사광 광축과 직각 방향으로 배치되는 작동 로드; 및
    상기 작동 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
    
    

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