JP2015039715A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1/2波長板61の角度を調整することによりレーザー光線LBの出力を調整して被加工物Wにレーザー光線を集光するレーザー加工装置において、1/2波長板61の角度を順次変更することにより出力が調整されたレーザー光線を被加工物Wの表面側から照射して形成された加工溝の表面からの深さを実測した複数の実測値と、実測値に対応する1/2波長板61の複数の角度との相関関係データを記憶手段82に記憶しておき、入力手段81から被加工物Wの表面からの所望の加工溝深さ情報が入力されると、制御手段80が、記憶手段82に記憶された相関関係データに基づいて、1/2波長板61の角度を、所望の加工溝深さに対応する角度に調整することで、パワーメーターを使用せずに加工溝深さのバラツキが生じるのを防止する。
【選択図】図2
Description
10:チャックテーブル
20:X軸方向送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:ガイドレール
24:移動基台
30:Y軸方向送り手段 31:ボールネジ 32:モータ 33:ガイドレール
34:移動基台
40:レーザー加工手段
50:レーザー光線照射手段
51:偏光方向設定部 52:ミラー素子 53:集光器
60:出力調整手段 61:1/2波長板 62:モータ 63:偏光ビームスプリッタ
64:アブソーバ
70:レーザー光線発振器
80:制御手段 81:入力手段 82:記憶手段
W:被加工物 9:加工溝
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、レーザー光線を発振するレーザー光線発振器と、1/2波長板の角度を調整することにより該レーザー光線発振器から発振された該レーザー光線の出力を調整する出力調整手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に該レーザー光線を集光する集光器を備えるレーザー光線照射手段と、少なくとも該出力調整手段を制御する制御手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該出力調整手段の該1/2波長板の角度を順次変更することにより出力が調整されたレーザー光線を被加工物の表面側から照射して形成された加工溝の該表面からの深さを実測した複数の実測値と、該実測値に対応する該1/2波長板の順次変更させた複数の角度との相関関係データを記憶する記憶手段と、
被加工物の表面からの所望の加工溝深さ情報を入力する入力手段と、を備え、
該入力手段により所望の加工溝深さ情報が入力されると、該制御手段は、該記憶手段に記憶された該実測値の相関関係データに基づいて、該出力調整手段の該1/2波長板の角度を、所望の加工溝深さに対応する角度に調整すること、を特徴とするレーザー加工装置。
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- 2013-08-22 JP JP2013172128A patent/JP6151130B2/ja active Active
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