JP2015032359A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
走査電子顕微鏡において、電子源から放出される電子ビームの中で試料に照射するビームを選択することにより、一定量の電子ビームを試料に照射し続ける技術を提供する。
【解決手段】電子源から放出される電子ビームの放出された方向に対する電流強度の分布を検出する機構を有し、その検出結果を基に電流分布を予測することで試料に照射される電流の変動を予測する機能を有し、その予測結果を基に試料に照射するビームを取得する位置を判断する機能を有し、その判断結果に基づきプローブビームを取得する位置を制御する機構を有する荷電粒子装置。
【選択図】 図1A
Description
301 タイル状電極しぼり、302 タイル状電極しぼりの孔、303 電子源から放出された電子ビーム、304プローブビーム、305 配線、308ピコアンメータ
401 表示画面、402 ダークリングの位置、速度、到達予測時間を表示した画面、403 現在までのプローブ電流モニタリング結果と予測推移を表示した画面、404 ダークリング、405 電流分布二次元マッピングデータを表示した画面、406 しぼりの孔からダークリングまでの方向と距離を表示した画面、407 プローブ電流取得に最適な位置の判断結果を表示視した画面
501 CCD配列しぼり、502 CCD配列しぼりの孔、503 電子源から放出された電子ビーム、504 プローブビーム、505 配線、506 しぼり、507 しぼりの孔、508 CCD読み取り装置、
701 第一分割しぼり、702 第一分割しぼりの孔、703 第二分割しぼり、704 第二分割しぼりの孔、705 しぼり、706 しぼりの孔、707電子源から放出された電子ビーム、708 絶縁部材、709 プローブビーム、710 配線、711 ピコアンメータ、
801 第一偏向電極、802 第二偏向電極、803 電子源から放出されたビームの内、ビームの中心からθ方向ずれた方向に放出されたビームの軌道、804 電子源から放出されたビームの内、805、808 プローブ電流取得用しぼり、ビームの中心に放出されたビームの軌道、806 電子銃出口のしぼり、807 コンデンサレンズ、809 対物レンズ。
Claims (15)
- 荷電粒子線源から放出された荷電粒子ビームの放出された方向に対する電流量の分布を計測するための分布検出部と、
前記分布検出部が測定した前記荷電粒子ビームの電流分布から試料に照射される電流の変動を予測する変動予測部と、
前記変動予測部の予測結果を基に、前記試料に照射する電流の位置を判断する位置判断部と、
前記位置判断部の判断に基づき、前記試料に照射する前記荷電粒子ビームを取得する位置を制御する位置制御部とを備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記変動予測部は、
前記電流量の分布に表れるダークリングの位置を予測し、
前記位置制御部は、
前記ダークリングの予測位置を避けて、前記荷電粒子ビームを取得する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記分布検出部は、
前記試料に照射する荷電粒子ビームを検出する二次元の荷電粒子線検出器で構成する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
光軸上に、前記試料に照射する前記荷電粒子ビームを遮ることでその電流量を調節するしぼりを更に備え、
前記分布検出部を、
前記しぼりの表面に設置した二次元の荷電粒子線検出器で構成する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線源からから放出される荷電粒子線を偏向する偏向器を更に備え、
前記偏向器を、
電場によって前記荷電粒子線を偏向するための電極、又は、磁場によって前記荷電粒子線を偏向するためのコイルで構成する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置であって、
前記偏向器は、
二つ以上の電極またはコイルを用いて多段階で偏向を行う、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を収束させる収束コイルを更に備え、
前記偏向器を構成する前記二つ以上の電極またはコイルを、前記収束コイルより前段に設置した、
請求項1の荷電粒子線装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を収束させる収束コイルを更に備え、
前記偏向器を構成する前記二つ以上の電極またはコイルを、前記収束コイルの前段及び後段に設置した、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を収束させる収束コイルを更に備え、
前記偏向器を構成する前記二つ以上の電極またはコイルを、前記収束コイルより後段に設置した、
請求項1の荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記試料の前記荷電粒子線源側に設置された対物レンズを更に備え、
前記分布検出部は、前記荷電粒子線源より下部で、前記対物レンズより上部に設置した、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
表示部を更に備え、
前記表示部に、
前記分布検出部が検出する前記荷電粒子ビームの電流分布を表示する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記表示部に、
前記分布検出部が検出するダークリングを表示する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12記載の荷電粒子線装置であって、
前記表示部に、
前記変動予測部が予測する前記ダークリングの予想位置、径、速度を表示する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12記載の荷電粒子線装置であって、
前記表示部に、
前記変動予測部が予測する前記ダークリングの移動方向、移動時間を表示する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記表示部に、
前記位置判断部が判断した、前記荷電粒子ビームの最適取得位置を表示する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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