JP2015031856A - 光学フィルター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学フィルター10は、所定波長の光を透過する光学フィルター10であって、基板11と、基板11上に形成された第1導電材料薄膜12と、第1導電材料薄膜12を貫通し、所定波長未満の周期で配置された開口部16と、少なくとも一部が開口部16に間隔を有して対向する第2導電材料薄膜14と、を備えた構成とする。
【選択図】図2
Description
図1は、第1実施形態の光学フィルターの一部の平面透過図であり、図2は、図1の正面透過図である。図2において光の入射方向を矢印Aで示している。光学フィルター10は、基板11上に、第1導電材料薄膜12、第1誘電体13、第2導電材料薄膜14、第2誘電体15が順に積層されて構成される。
図6は、第2実施形態の光学フィルターの一部の平面透過図であり、図7は、図6の正面透過図である。図7において光の入射方向を矢印Aで示している。光学フィルター20は、基板11上に、第2導電材料薄膜14、第1誘電体13、第1導電材料薄膜12、第2誘電体15が順に積層されて構成される。つまり、第2導電材料薄膜14、第1誘電体13、第1導電材料薄膜12が第1実施形態とは逆順に積層された構成である。開口部16及び第2導電材料薄膜14のパターンは第1実施形態と同様である。基板11上に順に各層を積層した場合、第2導電材料薄膜14のパターン間には第1誘電体13が充填され、開口部16には第2誘電体15が充填される。
図11は、第3実施形態の光学フィルターの一部の平面透過図であり、図12は、図11の正面透過図である。図12において光の入射方向を矢印Aで示している。光学フィルター30は、基板11上に、第2導電材料薄膜14、第1誘電体13、第1導電材料薄膜12、第2誘電体15が順に積層されて構成される。つまり、第2実施形態と同じ積層順序である。
図14は、第4実施形態の光学フィルターの一部の平面透過図であり、図15は、図14の正面透過図である。図15において光の入射方向を矢印Aで示している。光学フィルター40は、基板11上に、第1導電材料薄膜12、第3誘電体17、第1導電材料薄膜12、第1誘電体13、第2導電材料薄膜14、第2誘電体15が順に積層されて構成される。第1導電材料薄膜12の膜厚は10nm以上100nm以下であることが好ましい点で第1実施形態とは異なる。
第1〜第4実施形態の何れかを用いて可視領域の波長を透過する光学フィルターを作製し、この光学フィルターを撮像素子の画素上に配設することで、分光器一体型の分光撮像素子を得ることができる。図17は、分光撮像素子60の斜視図とその拡大図である。図17では、分光撮像素子60と、その部分拡大図である複数の光学フィルター50が配設された図とを示している。
第1〜第4実施形態の何れかを用いて紫外領域の波長を透過する光学フィルターを作製し、この光学フィルターを発光素子の上に配設することで、所望の波長以外のスペクトルが選択的にカットされた発光素子を得ることができる。図19は、発光素子70の部分断面図である。LED(Light Emitting Diode)チップ72は、電極73、n型半導体74、p型半導体75の順に積層され、その上にLEDチップ72の電極を兼ねた光学フィルター76が配設されている。このLEDチップ72はマウント・リード77上に搭載され、導電性ワイヤー71でマウント・リード77及びインナー・リード78にそれぞれ接続され、モールド部材79で封止されている。
12 第1導電材料薄膜
14 第2導電材料薄膜
16、18、19 開口部
Claims (5)
- 所定波長の光を透過する光学フィルターであって、
基板と、
前記基板上に形成された第1導電材料薄膜と、
第1導電材料薄膜を貫通し、前記所定波長未満の周期で配置された開口部と、
少なくとも一部が前記開口部に間隔を有して対向する第2導電材料薄膜と、を備えたことを特徴とする光学フィルター。 - 前記開口部が穴又はスリットであることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルター。
- 前記開口部及び第2導電材料薄膜の形成パターンが同周期であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学フィルター。
- 第1導電材料薄膜及び/又は第2導電材料薄膜が、
アルミニウム、銅、銀、金、窒化チタン、窒化ジルコニウム、ニッケル、コバルト又はこれらの合金からなる群から選択される材料、または、ITO(Sn:In2O3)を含むIn2O3系、AZO(Al:ZnO)、GZO(Ga:ZnO)、BZO(B:ZnO)、IZO(In:ZnO)を含むZnO系、IGZO系の金属酸化物透明導電材料から選択される材料を含むことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光学フィルター。 - 第1導電材料薄膜と第2導電材料薄膜との間に設けられる膜の材料と、前記開口部に充填される材料と、第2導電材料薄膜のパターン間に充填される材料とが同一材料であり、
酸化シリコン、窒化シリコン、酸化チタン、酸化アルミニウムからなる群から選択される材料を含むことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の光学フィルター。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021010672A1 (ko) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 도전성 편광-컬러필터 및 이를 구비한 표시장치 |
JP2021521481A (ja) * | 2018-04-16 | 2021-08-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 一次的結合及び永久的結合を用いた多重積層光学素子 |
WO2023074539A1 (ja) * | 2021-10-26 | 2023-05-04 | デクセリアルズ株式会社 | 光学フィルタ、フォトダイオードモジュール、及び光学フィルタの製造方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10234613B2 (en) * | 2015-02-06 | 2019-03-19 | Moxtek, Inc. | High contrast inverse polarizer |
KR102480902B1 (ko) * | 2015-09-18 | 2022-12-22 | 삼성전자주식회사 | 표시 장치 |
FR3041772B1 (fr) * | 2015-09-30 | 2018-09-21 | St Microelectronics Sa | Procede de fabrication d'un filtre spectral nanostructure |
CN107588349B (zh) * | 2016-07-08 | 2021-06-15 | 卡任特照明解决方案有限公司 | 一种灯具 |
CN108399392B (zh) * | 2018-03-07 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 指纹识别结构和显示装置 |
CN113504595A (zh) * | 2021-07-22 | 2021-10-15 | 南京信息工程大学 | 一种基于掺杂铟镓锌氧化物的可切换颜色滤波器及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010009025A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-01-14 | Canon Inc | 光学フィルタ |
JP2010008990A (ja) * | 2007-07-13 | 2010-01-14 | Canon Inc | 光学フィルタ |
WO2012007147A1 (de) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. . | Optisches bandpass-filtersystem, insbesondere für mehrkanalige spektralselektive messungen |
JP2012059865A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Sony Corp | 撮像素子および撮像装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5973316A (en) | 1997-07-08 | 1999-10-26 | Nec Research Institute, Inc. | Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission |
WO2006102275A2 (en) * | 2005-03-21 | 2006-09-28 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Multi-layer subwavelength structures for imparting controllable phase delay |
JP5300495B2 (ja) | 2009-01-06 | 2013-09-25 | 株式会社東芝 | 選択的な光透過特性を有する金属薄膜複合体およびその製造方法 |
JP4770928B2 (ja) * | 2009-01-13 | 2011-09-14 | ソニー株式会社 | 光学素子および固体撮像素子 |
EP2409135A4 (en) * | 2009-03-20 | 2012-11-28 | Nanolambda Inc | MATRIX SENSOR WITH NANO-OPTIC FILTER |
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2013
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-
2014
- 2014-06-18 US US14/307,626 patent/US9513415B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008990A (ja) * | 2007-07-13 | 2010-01-14 | Canon Inc | 光学フィルタ |
JP2010009025A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-01-14 | Canon Inc | 光学フィルタ |
WO2012007147A1 (de) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. . | Optisches bandpass-filtersystem, insbesondere für mehrkanalige spektralselektive messungen |
JP2012059865A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Sony Corp | 撮像素子および撮像装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021521481A (ja) * | 2018-04-16 | 2021-08-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 一次的結合及び永久的結合を用いた多重積層光学素子 |
JP7210608B2 (ja) | 2018-04-16 | 2023-01-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 一次的結合及び永久的結合を用いた多重積層光学素子 |
US11626321B2 (en) | 2018-04-16 | 2023-04-11 | Applied Materials, Inc. | Multi stack optical elements using temporary and permanent bonding |
WO2021010672A1 (ko) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 도전성 편광-컬러필터 및 이를 구비한 표시장치 |
WO2023074539A1 (ja) * | 2021-10-26 | 2023-05-04 | デクセリアルズ株式会社 | 光学フィルタ、フォトダイオードモジュール、及び光学フィルタの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US9513415B2 (en) | 2016-12-06 |
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