JP2015029093A - チャンバ内整合及びチャンバ間整合のための、複数パラメータを使用したエッチング速度モデル化及びその使用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のプラズマシステムのRF発生器の出力において測定される電圧及び電流、及び電力に基づいて、第1のモデルエッチング速度を算出する。更に、第2のプラズマシステムのRF発生器の出力において測定される電圧及び電流に基づいて、第2のモデルエッチング速度を決定し、第2のモデルエッチング速度を第1のモデルエッチング速度と比較する。第2のモデルエッチング速度が第1のモデルエッチング速度に一致しない場合に、第1のプラズマシステムに関係付けられた第1のモデルエッチング速度を実現するために、第2のプラズマシステムのRF発生器の出力における電力を調整する。
【選択図】図1
Description
より低歩留りのツールを使用して達成されるよりも高いアスペクト比を達成する場合に、又は、
そのツールを使用した結果、より低歩留りのツールを使用して洗浄されるよりも清浄なウエハが得られた場合に、又は、
そのツールが、より低歩留りのツールを使用して達成されるよりも速いエッチング速度でエッチングを行う場合に、又は、
そのツールが、より低歩留りのツールで達成されるよりも速い速度でウエハを洗浄する場合に、又は、
そのツールが、より低歩留りのツールよりも速いウエハ処理速度を有する場合に、又は、
これらの組み合わせの場合に、
別のプラズマシステムの同じ又は類似のタイプのツールよりも高い歩留まりを有する。
Claims (23)
- モデルエッチング速度に基づいて、エッチング速度のチャンバ間整合を実施するための方法であって、
第1のプラズマシステムの高周波(RF)発生器の出力において測定される電圧及び電流を受信することと、
前記電圧及び電流、及び電力に基づいて、第1のモデルエッチング速度を算出することであって、前記電力は、前記電圧及び電流、及び前記電圧と前記電流との間の位相に基づいて算出される、ことと、
第2のプラズマシステムのRF発生器の出力において測定される電圧及び電流を受信することと、
前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電圧及び電流に基づいて、第2のモデルエッチング速度を決定することと、
前記第2のモデルエッチング速度を前記第1のモデルエッチング速度と比較することと、
前記第2のモデルエッチング速度が前記第1のモデルエッチング速度に一致しないことが決定された際に、前記第1のプラズマシステムに関係付けられた前記第1のモデルエッチング速度を実現するために、前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における電力を調整することと、
を備え、
プロセッサによって実行される方法。 - 請求項1に記載の方法であって、更に、
前記第1のプラズマシステムに関係付けられた前記第1のモデルエッチング速度を実現するために、前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電圧又は電流を調整することを備える方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のモデルエッチング速度を算出するために使用される前記電圧及び電流は、電圧振幅、及び電流振幅、及び前記電圧振幅と前記電流振幅との間の位相を含み、前記モデルエッチング速度を算出するために使用される前記電力は、電力振幅を含み、前記電力振幅は、前記電圧振幅と、前記電流振幅と、前記位相との積として算出される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、更に、
前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力において測定される周波数を受信することと、
前記周波数に基づいて、第3のモデルエッチング速度を算出することと、
前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力において測定される周波数を受信することと、
前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力において測定される前記周波数に基づいて、第4のモデルエッチング速度を算出することと、
前記第3のモデルエッチング速度を前記第4のモデルエッチング速度と比較することと、
前記第1のプラズマシステムに関係付けられた前記第3のモデルエッチング速度を実現するために、前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電力を調整することと、
を備える方法。 - 請求項4に記載の方法であって、更に、
前記第1のプラズマシステムに関係付けられた前記第3のモデルエッチング速度を実現するために、前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記周波数を調整することを備える方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力において測定される前記電圧及び電流、及び前記周波数を受信することは、前記第1のプラズマシステムのプラズマチャンバ内でダミーウエハを使用して実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器は、ケーブルを通じてインピーダンス整合回路に接続され、前記インピーダンス整合回路は、RF伝送路を通じてプラズマチャンバに接続される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力は、インピーダンス整合回路の入力に接続され、前記出力は、前記インピーダンス整合回路を通じてプラズマチャンバにRF信号を送ることを促すために使用される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電力を調整することは、前記第2のプラズマシステムが半導体ウエハをエッチングするために使用されるときに実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記電力を調整することは、前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力において測定される前記電力を引き上げる又は引き下げることを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムは、前記第2のプラズマシステムのツールと機能的に同一であって前記第2のプラズマシステムの前記ツールと異なる識別情報を有するツールを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムは、前記第2のプラズマシステムのツールと構造的に同一であって前記第2のプラズマシステムの前記ツールと異なる識別情報を有するツールを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のプラズマシステムは、前記第2のプラズマシステムのツールと構造的に及び機能的に同一であって前記第2のプラズマシステムの前記ツールと異なる識別情報を有するツールを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のモデルエッチング速度を算出することは、テイラー級数である和を算出することを含む、方法。 - モデルエッチング速度に基づいて、エッチング速度のチャンバ内整合を実施するための方法であって、
プラズマシステムの高周波(RF)発生器の出力において第1の時点において測定される電圧及び電流を受信することと、
前記電圧、前記電流、及び電力に基づいて、第1のモデルエッチング速度を算出することであって、前記電力は、前記電圧と前記電流との間の位相に基づいて算出される、ことと、
前記RF発生器の前記出力において第2の時点において測定される電圧及び電流を受信することと、
前記電圧、前記電流、及び電力に基づいて、第2のモデルエッチング速度を算出することであって、前記電力は、前記第2の時点において測定される前記電圧と前記電流との間の位相に基づいて算出される、ことと、
前記第1のモデルエッチング速度を前記第2のモデルエッチング速度と比較することと、
前記第2のモデルエッチング速度が前記第1のモデルエッチング速度に一致しないことが決定された際に、前記第1のモデルエッチング速度を実現するために、前記RF発生器の前記出力における電力を調整することと、
を備え、
プロセッサによって実行される方法。 - 請求項15に記載の方法であって、更に、
前記RF発生器の前記出力において前記第1の時点において測定される周波数を受信することと、
前記周波数に基づいて、第3のモデルエッチング速度を算出することと、
前記RF発生器の前記出力において第2の時点において測定される周波数を受信することと、
前記第2の時点において測定される前記周波数に基づいて、第4のモデルエッチング速度を算出することと、
前記第3のモデルエッチング速度を前記第4のモデルエッチング速度と比較することと、
前記第3のモデルエッチング速度が前記第4のモデルエッチング速度に一致しないことが決定された際に、前記第3のモデルエッチング速度を実現するために、前記RF発生器の前記出力における前記電力を調整することと、
を備える方法。 - 請求項16に記載の方法であって、更に、
前記第3のモデルエッチング速度を実現するために、前記RF発生器の前記出力における前記電圧又は電流又は周波数を調整することを備える方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記RF発生器の前記出力において前記第1の時点において測定される前記電圧、前記電流、及び前記周波数を受信することは、前記プラズマシステムのプラズマチャンバ内でダミーウエハを使用して実施される、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記第2の時点は、前記第1の時点の後に起きる、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記第1のモデルエッチング速度を算出するために使用される前記電圧及び電流は、電圧振幅、及び電流振幅、及び前記電圧振幅と前記電流振幅との間の位相を含み、前記第1のモデルエッチング速度を算出するために使用される前記電力は、電力振幅を含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記RF発生器の前記出力における前記第2の時点における前記電力を調整することは、前記プラズマシステムが半導体ウエハをエッチングするために使用されるときに実施される、方法。 - 第1のプラズマシステムであって、
RF信号を生成するための高周波(RF)発生器であって、前記RF信号の送出を促すための出力を含むRF発生器と、
前記RF信号の電圧及び電流を測定するための、前記出力に接続された複素インピーダンスセンサと、
RF信号を修正して修正RF信号を生成するための、ケーブルを通じて前記RF発生器に及びRF伝送路を通じて前記プラズマチャンバに接続されたインピーダンス整合回路と、
前記インピーダンス整合回路から前記修正RF信号が受信されたときにプラズマを発生させるためのプラズマチャンバと、
前記複素インピーダンスセンサに接続されたプロセッサであって、
前記RF発生器の前記出力において測定される前記電圧及び電流を受信するためと、
前記電圧及び電流、及び電力に基づいて、第1のモデルエッチング速度を算出するためであって、前記電力は、前記電圧及び電流、及び前記電圧と前記電流との間の位相に基づいて算出される、ためと、
第2のプラズマシステムのRF発生器の出力において測定される電圧及び電流を受信することと、
前記第2のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電圧及び電流に基づいて、第2のモデルエッチング速度を決定するためと、
前記第2のモデルエッチング速度を前記第1のモデルエッチング速度と比較するためと、
前記第2のモデルエッチング速度が前記第1のモデルエッチング速度に一致しないことが決定された際に、前記第1のモデルエッチング速度を実現するために、前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における電力を調整するためと、
である、プロセッサと、
を備える第1のプラズマシステム。 - 請求項22に記載の第1のプラズマシステムであって、
前記プロセッサは、更に、前記第1のモデルエッチング速度を実現するために、前記第1のプラズマシステムの前記RF発生器の前記出力における前記電圧又は前記電流を調整するように構成される、第1のプラズマシステム。
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