JP2015023607A - アクチュエータおよびアクチュエータの駆動方法 - Google Patents

アクチュエータおよびアクチュエータの駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】複数のモータを備えたアクチュエータを1つのドライバで簡易に同期駆動することを可能とする。【解決手段】複数のモータと伝達手段を具備したアクチュエータにおいて、前記アクチュエータの伝達手段の一端にはモータが取付けられ、また、前記アクチュエータの伝達手段の他端には前記一端に取付けられたモータと位相を合わせて取付けることによって、1つのドライバで簡易に同期駆動することができる。【選択図】図4

Description

本発明は、複数のモータを具備したアクチュエータおよびアクチュエータの駆動方法に関する。
種々の作業の自動化に寄与するアクチュエータにおいて、アクチュエータの可動部に載置する搬送物の重量が大きい等の理由により、1個のモータのみで駆動すると所望の加減速度で駆動することが出来ない場合がある。
そのような場合には、ボールねじ両端にモータを具備したアクチュエータを用いて、各々のモータに対してそれぞれ接続された2台のドライバから同期させる指令を出力することによって、ボールねじ両端のモータを同期駆動し、前記可動部を所望の加減速度で往復運動させるアクチュエータの同期駆動方法が知られている。
特許文献1には、ボールねじ等の送りねじを軸受部材により両端支持し、送りねじの両端に各々サーボモータを連結し、同期駆動する送りねじの駆動方法および装置が記載されている。
また、特許文献2には1つのドライバ回路に複数のアクチュエータを並列接続し、同時に駆動することができるアクチュエータ駆動回路が記載されている。
特開平10−86027号公報 特開平5−276794号公報
特許文献1に記載の送りねじ駆動装置では、送りねじ両端に連結されたサーボモータを同期駆動するために、各々のサーボモータに接続されているサーボコントローラに指令発生部からの指令を同一のタイミングで入力し、各々のサーボモータに接続されたロータリエンコーダから出力する位置情報により位置制御を行なっている。また、サーボコントローラのうち一方には指令反転部により回転方向を反転させた指令が与えられる。従って、特許文献1に記載の送りねじ駆動装置では、複数のサーボコントローラを用いて制御を行なっているため、各々のサーボコントローラに指令発生部からの指令を同一のタイミングで与える必要がある。また、複数のロータリエンコーダからの位置情報で同期駆動を行なう必要があるため、複雑な制御が必要であった。また、どちらか一方のサーボコントローラに異常があった場合、駆動することができなくなってしまうという問題があった。
特許文献2に記載のアクチュエータ駆動回路では、1つのドライバで複数のアクチュエータを駆動しているが、位相調整が必要なサーボモータ等を使用したアクチュエータに適用する場合、位相のズレにより脱調する可能性があった。したがって、特許文献2記載のアクチュエータ駆動回路では、複数のサーボモータの各々に磁極検出センサを搭載することにより、ロータの磁極位置を検出し、各々のサーボモータの磁極位置により指令を補正しながら駆動する必要があった。
本発明は、上述の事情の下になされたもので、位相調整が必要な複数のモータを具備したアクチュエータを簡易な方法で同期駆動することが可能なアクチュエータおよびアクチュエータの駆動方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決すべく本発明は、複数のモータと伝達手段を具備したアクチュエータであって、前記アクチュエータの伝達手段の一端にはモータが取付けられており前記アクチュエータの伝達手段の他端には前記一端に取付けられたモータと位相を合わせたモータが取付けられているため、複数のモータを具備したアクチュエータであっても簡易な方法で駆動することが可能なアクチュエータを提供することができる。
本発明によれば、1つのドライバで位相調整が必要な複数のモータを駆動することができる。そのため、簡易な構成および駆動方法で高加減速、高応答性を備えたアクチュエータを駆動することが可能となる。また、伝達手段の一端と他端にあらかじめ位相を合わせてモータを連結することにより、モータ同士の位相がずれることがない。従って、複数のモータ間の位相のズレによる脱調やトルク低下を防止することができる。
第1の実施形態に係るアクチュエータシステムの接続図。 第1の実施形態に係るアクチュエータのI−I断面図。 第1の実施形態に係るコントローラのブロック図。 第1の実施形態に係るコントローラのドライバ部の詳細ブロック図。 第1の実施形態に係るモータの回転角度と電力の関係を示した図。 第1の実施形態におけるアクチュエータの動作を示す図。 ACサーボモータを示した図。 第2の実施形態に係るアクチュエータシステムの接続図。 第2の実施形態に係るアクチュエータのII−II断面図、III−III断面図である。 第2の実施形態におけるコントローラのドライバ部の詳細ブロック図。 第3の実施形態に係るアクチュエータシステムの接続図。 第3の実施形態に係るアクチュエータのIV−IV断面図である。 第3の実施形態に係るコントローラのブロック図。
以下、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータシステム1について図1を用いて説明する。アクチュエータシステム1は、アクチュエータ2と、コントローラ3と、モータケーブル41と、エンコーダケーブル42とから構成されている。
このアクチュエータ2は、可動部24が往復運動する直動アクチュエータである。アクチュエータ2は、モータケーブル41とエンコーダケーブル42によってコントローラ3に接続される。
次に、図1および図2を用いてアクチュエータ2について説明する。
図2は、図1に示すアクチュエータ2のI−I断面図である。
アクチュエータ2は第1モータユニット21と、第2モータユニット22と、ベース23と、可動部24と、ボールねじ25と、第1ベアリングハウジング26と、第2ベアリングハウジング27と、第1カップリング28と、第2カップリング29と本体カバー30とを具備している。
アクチュエータ2の第1モータユニット21は、第1モータ211と、エンコーダやレゾルバなどの位置検出器212と、第1モータユニットカバー213とを具備している。 第2モータユニット22は、第2モータ221と、第2モータユニットカバー222とを具備している。すなわち、位置検出器212は、第1モータユニット21のみに具備している。したがって、モータケーブル41は第1モータユニット21と第2モータユニット22とに接続されるが、エンコーダケーブル42は、第1モータユニット21のみに接続される。
ベース23は、断面U字形状をしている。ベース23の内側壁には図示しないレール部が形成されており、可動部24の側壁にも図示しないレール部が形成されている。ベース23の内側壁に形成されたレール部と、可動部24に形成されたレール部との間を図示しない鋼球が転動することにより、可動部24は直動方向にガイドされる。また、ボールねじ25は第1ベアリングハウジング26のベアリング261と第2ベアリングハウジング27のベアリング271によって回転可能に支承される。また、ボールねじ25の端部には、それぞれ第1カップリング28と第2カップリング29を介して第1モータ211の出力軸211aと第2モータ221の出力軸221aが連結されている。また、第1モータ211および第2モータ221はACサーボモータであり、それぞれロータ211b、221bおよびステータ211c、221cを具備している。
ACサーボモータは図7に示すように、ロータおよびステータから構成され、ステータにはコイルが巻きつけられている。
本実施例のACサーボモータは図4に示すように、ステータに巻きつけられたコイルがY結線されている。すなわち、ステータに組込まれた三相のコイルに図5に示すような三相交流電流を流すと、三相交流電流の周波数に相当する回転磁界が発生しモータの出力軸は回転する。
第1モータ211および第2モータ221はACサーボモータであるため、各々のモータの位相を合わせてアクチュエータ2に組付ける必要がある。各々のモータの位相がずれていた場合、第2モータ211が脱調したり、トルクが著しく低下するなど問題が生じる。
したがって、第1モータ211および第2モータ221の特定の相に電力を供給(例えば、u相からv相、w相など)しながら、第1モータ211および第2モータ221をアクチュエータ2に組付けることにより、位相を合わせてアクチュエータ2に組付けることが可能となる。
可動部24にはボールナット241が固定されている。また、ボールナット241は、ボールねじ25に螺合している。したがって、アクチュエータ2の長手方向に延在するボールねじ25およびボールナット241は、第1モータ211および第2モータ221の出力軸211a、221aの回転運動を直線運動に変換する。従って、第1モータ211および第2モータ221の出力軸211a、221aが回転することにより、ボールナット241が固定されている可動部24が往復運動する。
次に、図1を用いてコントローラ3について説明する。コントローラ3は、第1モータ211および第2モータ221に電力を供給するための電力供給コネクタ部31と位置検出器212によって検出された回転角信号をコントローラ3へ入力するエンコーダコネクタ部32を具備している。
コントローラ3の機能ブロックについて図3を用いて説明する。
コントローラ3は、図示しない教示装置で教示した、アクチュエータ2の動作が記述されているプログラムを記憶するプログラム記憶部33と、プログラム記憶部33に記憶されたプログラムを解析する命令解析部34と、命令解析部34によって解析されたプログラムに基づき位置指令を生成する制御部35と、制御部35から出力された位置指令と位置検出器212によって検出された回転角信号により第1モータ211および第2モータ221に電力を供給し、出力軸211aおよび221aを回転させるドライバ36から構成されている。
次に、図4を用いてコントローラ3のドライバ36と第1モータ211および第2モータ221との接続関係および動作について説明する。
コントローラ3のドライバ36は、位置制御器361と、速度制御器362と、電流制御器363と、変換器364と、インバータ回路365と、第1電流検出抵抗366aと、第2電流検出抵抗366bとから構成されている。
位置制御器361は、位置検出器212によって検出された第1モータ211の出力軸211aの回転角信号と制御部35によって生成された位置指令との差分である位置偏差を算出する。また、算出された位置偏差に基づきモータの回転速度の目標値である速度指令を生成し、速度制御器362へ出力する。
速度制御器362は、位置検出器212によって検出された第1モータ211の出力軸211aの回転角信号を変換器364により変換することにより得られた出力軸211a の回転速度と位置制御器361から出力された速度指令との差分である速度偏差を算出する。また、算出された速度偏差に基づき第1モータ211および第2モータ221に印加する電流値の目標値である電流指令を生成し、電流制御器363へ出力する。
電流制御器363は、第1電流検出抵抗366aおよび第2電流検出抵抗366bによって検出された電流値と電流指令との差分である電流偏差を算出する。
また、算出された電流偏差に基づき第1モータ211および第2モータ221に印加する電流値を算出し、算出された電流値と位置検出器212によって検出された第1モータ211のロータ211bの磁極位置から、インバータ回路365のトランジスタを駆動させる為のPWM信号を生成し、インバータ回路365の各トランジスタへPWM信号を出力する。
インバータ回路365は、電流制御器363から出力されたPWM信号によりトランジスタを駆動し、電力供給コネクタ部31を介して第1モータ211および第2モータ221の各相へ電力を供給する。
モータケーブル41は図4に示すように、3本の動力線411、412,413から構成されており、インバータ回路365と第1モータ211および第2モータ221の各相は電力供給コネクタ部31を介して接続される。
第1モータ211のu相および第2モータ221のu相には動力線411が接続される。また、第1モータ211のw相および第2モータ221のv相には動力線412が接続される。また、第1モータ211のv相および第2モータ221のw相には動力線413が接続される。すなわち、第1モータ211のu相および第2モータ221のu相は電力供給コネクタ部31を介してインバータ回路365の第1接点365aに接続され、第1モータ211のw相および第2モータ221のv相は電力供給コネクタ部31を介してインバータ回路365の第2接点365bに接続され、第1モータ211のv相および第2モータ221のw相は電力供給コネクタ部31を介してインバータ回路365の第3接点365cに接続される。
図5に示すように、第1モータ211および第2モータ221はu相、v相、w相のそれぞれに電気角の位相が120°ずれた正弦波状の電力を供給することにより回転する。また、u相、v相、w相の順に電力を供給することにより、モータの出力軸はccw(反時計回り)方向に回転し、u相、w相、v相の順に電力を供給することにより、モータの出力軸はcw(時計回り)方向に回転する。
第1モータ211の各相を図5に示すようにu相、v相、w相の順に電力を供給した場合、第1モータ211の出力軸211aはccw(反時計回り)方向に回転する。しかし、第2モータ221は第1モータ211に対してインバータ回路365の第2接点365bおよび第3接点365cに接続されているモータの相が反転している。したがって、第2モータ221はu相、w相、v相の順に電力を供給することとなり、第2モータ221の出力軸221aはcw(時計回り)方向に回転する。
また、第1モータ211をu相、w相、v相の順に電力を供給した場合、第2モータ221はu相、v相、w相の順に電力を供給することとなる。したがって、第1モータ211の出力軸211aはcw(時計回り)方向に回転し、第2モータ221の出力軸221aはccw(反時計回り)方向に回転する。
第1モータ211と第2モータ221の出力軸211a、221aは第1カップリング28および第2カップリング29を介して、ボールねじ25の両端に対向して連結されている。したがって、第1モータ211の出力軸211aおよび第2モータ221の出力軸221aはボールねじに対して同一方向に回転する。
したがって、第1モータ211を図5にあるようにu相、w相、v相の順に電力を供給した場合、ボールねじ25に螺合しているボールナット241により、回転運動は直線運動に変換され、可動部24は−方向(図6中左側)に移動する。また、第1モータ211をu相、v相、w相の順に電力を供給した場合、第1モータ211および第2モータ221の出力軸211aおよび221aの回転運動は直線運動に変換され可動部24を+方向(図6中右側)に移動させる。
以上説明したように、第1の実施形態では1つのドライバ36でアクチュエータ2を駆動することができる。したがって、簡易な構成で高加減速、高応答性をもったアクチュエータ2を駆動することができる。また、第1の実施形態の場合、伝達手段であるボールねじ25の一端には第1モータ211が連結されており、ボールねじ25の他端には第1モータ211と位相を合わせた第2モータ221が連結されている。したがって、ボールねじ25を介して第1モータ211の出力軸211aと第2モータ221の出力軸221aが連結されているため、それぞれの位相がずれることがない。なお、第1の実施形態では第1モータ211および第2モータ221はACサーボモータとして説明したが、各々のモータの位相の調整が必要なモータに適用することが出来る、すなわちステッピングモータでもよいし、ブラシレスDCサーボモータでもよい
次に図8を用いて第2の実施形態について説明する。図8に示すように、アクチュエータシステム6は、アクチュエータ7と、コントローラ3と、モータケーブル90と、エンコーダケーブル42とから構成されている。
アクチュエータ7は、搬送物を積載する可動部80と、第1モータユニット71を備えた第1アクチュエータユニット7aと、第2モータユニット72を備えた第2アクチュエータユニット7bとから構成されている。また、アクチュエータ7の可動部80は、アクチュエータユニット7aのスライダ74aとアクチュエータユニット7bのスライダ74bを固定部材81によって連結した構成となっている。
図9を用いて第1アクチュエータユニット7aおよび第2アクチュエータユニット7bについて説明する。図9(a)は第1アクチュエータユニット7aの、図10(b)は第2アクチュエータユニット7bの断面図である。図9(a)に示す第1アクチュエータユニット7aは、第1モータユニット71と、ベース73aと、スライダ74aと、ボールネジ75aと、フロントベアリングハウジング76aとリアベアリングハウジング77aと、カップリング78aと、本体カバー79aとを具備している。第1モータユニット71は第1モータ711と、位置検出器712と、モータカバー713とを具備している。また、スライダ74aにはナット741aが固定されており、ナット741aはフロントブラケット761aとリアブラケット77aのベアリング761a、771aに支承されたボールネジ75aに螺合している。
また、図9(b)に示す第2アクチュエータユニット7bは第2モータユニット72と、ベース73bと、スライダ74bと、ボールネジ75bと、フロントベアリングハウジング76bとリアベアリングハウジング77bと、カップリング78bと、本体カバー79bとを具備している。第2モータユニット72は第2モータ721と、モータカバー722とを具備しており位置検出器は備えていない。また、スライダ74bにはナット741bが固定されており、ナット741bは、フロントブラケット761bとリアブラケット77bのベアリング761b、771bに支承されたボールネジ75bに螺合している。
前述したようにアクチュエータ7は、スライダ74aと74bを固定部材81により連結した構成となっている。したがって、ベース73aおよび73b内のボールねじ75aおよび75bと、カップリング78aおよび79bとを介して、第1モータ711および第2モータ721の出力軸711aおよび721bが連結されている。また、第1の実施形態と同様に第1モータ711および第2モータ721は特定の相に電力を供給(例えば、u相からv相、w相など)しながらアクチュエータ7に組付けられる。したがって、第1モータ711および第2モータ721はあらかじめ位相を合わせてアクチュエータ7に組付けられる。
アクチュエータ7は、モータケーブル90とエンコーダケーブル42によってコントローラ3に接続される。モータケーブル90は、アクチュエータ7の第1モータユニット71と、第2モータユニット72とに接続される。エンコーダケーブル42は、アクチュエータユニット7aの第1モータユニット71のみに接続される。なお、コントローラ3の構成は前述の第1の実施形態と同一構造である。
次に、図10を用いてコントローラ3のドライバ36と第1モータ711および第2モータ721との接続関係および動作について説明する。
第1モータ711および第2モータ721は第1の実施形態に記載のACサーボモータと同一である。
第1モータ711の各相をu相、v相、w相の順に電力を供給した場合、第1モータ711の出力軸711aがccw(反時計回り)方向に回転する。インバータ回路365の第1接点365a、第2接点365b、第3接点365cには第1モータ711および第2モータ721の同一の相が接続さているため、第2モータ722の出力軸722aもccw(時計回り)に回転する。また、第1モータ711の各相をu相、w相、v相の順に電力を供給し、第1モータ711の出力軸711aがcw(時計回り)方向に回転する時、第2モータ721の出力軸721aもcw(時計回り)方向に回転することになる。
したがって、第1モータ711の出力軸711aおよび第2モータ721の出力軸721bが同一方向に回転するため、ボールねじ75a、75bに螺合しているボールナット741a、741bにより、出力軸711aおよび721bの回転運動は直線運動に変換され可動部80が駆動する。
第1モータ711の出力軸711aおよび第2モータ721の出力軸721bは可動部80の固定部材81によりボールねじ75a、75bと、カップリング78a、78bと、固定部材81を介して連結されているため、第1モータ711および第2モータ721の位相がずれることはない。
次に図11を用いて第3の実施形態について説明する。アクチュエータシステム10は、アクチュエータ11と、コントローラ3と、モータケーブル41と、エンコーダケーブル42を具備している。コントローラ3およびモータケーブル41とエンコーダケーブル42は第1の実施例と同一である。アクチュエータ11は、搬送物を積載するための可動部113と、モータユニット111とベース112とから構成されている。
図12を用いてアクチュエータ11について説明する。モータユニット111は、第1モータ1111と、第2モータ1112と、位置検出器1113と、モータカバー1114と、第1ギア1115と、第2ギア1116と、第3ギア1117と、カップリング1118を具備している。また、可動部113にはナット1131が固定されており、ナット1131はフロントブラケット115とリアブラケット116のベアリングに支承されたボールネジ114に螺合している。
第1モータ1111は位置検出器1113を備えているが、第2モータ1112は位置検出器を備えていない。また、第1モータ1111の出力軸には第1ギア1115が、第2モータ1112の出力軸には第2ギア1116が取付けられており、フロントブラケット115とリアブラケット116のベアリングに支承されたボールネジ114にカップリング1118を介して接続されている第3ギア1117に歯合する。したがって、第1モータ1111および第2モータ1113の出力軸は第1ギア1115、第2ギア1116、第3ギア1117を介して連結される。また、第1の実施形態と同様に第1モータ1111および第2モータ1113は特定の相に電力を供給(例えば、u相からv相、w相など)しながらアクチュエータ11に組付けられる。したがって、第1モータ1111および第2モータ1112はあらかじめ位相を合わせてアクチュエータ11に組付けられる。
アクチュエータ11は、モータケーブル41とエンコーダケーブル42によってコントローラ3に接続される。モータケーブル41は、アクチュエータ11の第1モータ1111と、第2モータユニット1112とに接続される。また、エンコーダケーブル42は、第1モータ1111に備えた位置検出器1113に接続される。なお、コントローラ3の構成は前述の第1の実施形態と同一である。
次に、図13を用いてコントローラ3のドライバ36と第1モータ1111および第2モータ1112との接続関係および動作について説明する。
また、第1モータ1111および第2モータ1112は第1の実施形態に記載のACサーボモータと同一である。
第1モータ1111の各相をu相、v相、w相の順に電力を供給した場合、第1モータ1111の出力軸1111aはccw(反時計回り)方向に回転する。 しかし、第2モータ1112は第1モータ1111に対してインバータ回路365の第2接点365bおよび第3接点365cに接続されているモータの相が反転しているため、第2モータ1112はu相、w相、v相の順に電力を供給することとなり、第2モータ1112の出力軸1112aはcw(時計回り)方向に回転する。
また、第1モータ1111をu相、w相、v相の順に電力を供給した場合、第2モータ221はu相、v相、w相の順に電力を供給することとなり、第1モータ211の出力軸1111aはcw(時計回り)方向に回転し、第2モータ221の出力軸1112aはccw(反時計回り)方向に回転する。
第3の実施形態では、1つのドライバ36でアクチュエータ11を駆動することができるため、複数のモータを同期制御する必要がない。したがって、前述の実施形態同様に簡易な駆動方式で高加減速、高応答性をもったアクチュエータを提供することができる。また、第1モータ1111および第2モータ1112の出力軸はギアを介して連結されているため、第1モータ1111および第2モータ1112の位相がずれることはない。
なお、本件発明は上述の実施の形態に限られない。例えば、上述の実施例においてモータはACサーボモータであったがステッピングモータやブラシレスDCサーボモータであってもよい。また、モータの数は3個以上であっても良い。具体的には、第1の実施形態で説明したが第1モータおよび第2モータがボールねじ両端に対向して配置されていたが、第1の実施形態で説明したアクチュエータ2を並行で並べ第3の実施形態で説明した固定部材で連結しても良い。すなわち、4つのモータを1つのドライバで駆動することとなる。また、伝達手段はベルトであってもよい。
1 アクチュエータシステム
2 アクチュエータ
21 第1モータユニット
211 第1モータ
211a 出力軸
211b ロータ
211c ステータ
212 位置検出器
213 第1モータユニットカバー
22 第2モータユニット
221 第2モータ
221a 出力軸
221b ロータ
221c ステータ
222 第2モータユニットカバー
23 ベース
24 可動部
241 ボールナット
25 ボールねじ
26 第1ベアリングハウジング
261 ベアリング
27 第2ベアリングハウジング
271 ベアリング
28 第1カップリング
29 第2カップリング
30 本体カバー
3 コントローラ
31 電力供給コネクタ部
32 エンコーダコネクタ部
33 プログラム記憶部
34 命令解析部
35 制御部
36 ドライバ
361 位置制御器
362 速度制御器
363 電流制御器
364 変換器
365 インバータ回路
365a 第1接点
365b 第2接点
365c 第3接点
366a 第1電流検出抵抗
366b 第2電流検出抵抗
41 モータケーブル
411、412、413 動力線
42 エンコーダケーブル
6 アクチュエータシステム
7 アクチュエータ
7a 第1アクチュエータユニット
7b 第2アクチュエータユニット
71 第1モータユニット
711 第1モータ
711a 出力軸
712 位置検出器
713 モーターカバー
72 第2モータユニット
721 第2モータ
721b 出力軸
722 モータカバー
73a、73b ベース
74a、74b スライダ
741a、741b ナット
75a、75b ボールねじ
76a、76b フロントブラケット
77a、77b リアブラケット
78a、78b カップリング
80 可動部
81 固定部材
90 モータケーブル
901、902、903 動力線
10 アクチュエータシステム
11 アクチュエータ
111 モータユニット
1111 第1モータ
1112 第2モータ
1113 位置検出器
1114 モータカバー
1115 第1ギア
1116 第2ギア
1117 第3ギア
112 ベース
113 可動部
114 ボールねじ
115 フロントブラケット
116 リアブラケット

Claims (6)

  1. 複数のモータと伝達手段を具備したアクチュエータであって、
    前記アクチュエータの伝達手段の一端にはモータが取付けられており前記アクチュエータの伝達手段の他端には前記一端に取付けられたモータと位相を合わせたモータが取付けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 前記複数のモータは第1モータおよび第2モータであり、前記第1モータおよび前記第2モータは送りねじを介して対向して連結されており、前記第1モータのみに位置検出器が設けられたことを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
  3. 前記第1モータおよび前記第2モータは3相ACサーボモータであり各相がケーブルにより接続されており、前記第1モータに対して前記第2モータは3相のうち2相が反転されて接続されていることを特徴とする請求項2記載のアクチュエータ。
  4. 前記アクチュエータは複数のアクチュエータユニットから構成されており、前記複数のアクチュエータユニットはスライダと前記スライダに固定されたナットと前記ナットが螺合された送りねじを備えており、前記複数のアクチュエータユニットのスライダが1つの固定部材によって連結されていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
  5. 前記複数のアクチュエータユニットのうち何れか1つのみに位置検出器が設けられたことを特徴とする請求項4記載のアクチュエータ。
  6. 前記伝達手段はギアであることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
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