JP2015022187A - 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 - Google Patents
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Abstract
Description
[1] He光源のd線(波長587.56 nm)における屈折率が1.43以上2.01以下の光学基材の表面上に、第1層〜第14層を前記基材側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、
前記第1層,前記第3層,前記第5層,前記第7層,前記第9層,前記第11層及び第13層は前記d線における屈折率が2.201以上2.7以下の高屈折率材料により形成された高屈折率層からなり、
前記第2層,前記第4層,前記第6層,前記第8層,前記第10層及び前記第12層は前記d線における屈折率が1.501以上1.7以下の中間屈折率材料により形成された中間屈折率層であり、
前記第14層は前記d線における屈折率が1.37以上1.44以下の低屈折率材料により形成された低屈折率層であり、
前記第1層の光学膜厚が5nm以上45 nm以下であり、
前記第2層の光学膜厚が15 nm以上125 nm以下であり、
前記第3層の光学膜厚が40 nm以上130 nm以下であり、
前記第4層の光学膜厚が1nm以上45 nm以下であり、
前記第5層の光学膜厚が135 nm以上175 nm以下であり、
前記第6層の光学膜厚が20 nm以上50 nm以下であり、
前記第7層の光学膜厚が30 nm以上65 nm以下であり、
前記第8層の光学膜厚が155 nm以上180 nm以下であり、
前記第9層の光学膜厚が10 nm以上35 nm以下であり、
前記第10層の光学膜厚が45 nm以上75 nm以下であり、
前記第11層の光学膜厚が147 nm以上170 nm以下であり、
前記第12層の光学膜厚が5nm以上28 nm以下であり、
前記第13層の光学膜厚が55 nm以上85 nm以下であり、
前記第14層の光学膜厚が120 nm以上145 nm以下であることを特徴とする反射防止膜。
[2] 上記[1] に記載の反射防止膜において、前記光学基材は光学ガラス、樹脂材料又は光学結晶からなることを特徴とした反射防止膜。
[3] 上記[1] 又は[2] に記載の反射防止膜において、
前記高屈折率材料はTiO2又はNb2O5の単体又はTiO2とNb2O5の混合材料であり、
前記中間屈折率材料はAl2O3の単体,SiO2とTiO2の混合材料,SiO2とNb2O5の混合材料,Al2O3とTiO2の混合材料又はAl2O3とNb2O5の混合材料であり、
前記低屈折率材料はMgF2の単体であることを特徴とした反射防止膜。
[4] 上記[1] 〜[3] のいずれかに記載の反射防止膜を施したことを特徴とする光学部材。
[5] 上記[4] に記載の光学部材を有することを特徴とする光学機器。
図1に示す基材10及び反射防止膜20を用いて分光反射率のシミュレーションを行った。図2〜8の表(A) は、実施例1〜7の基材10としてそれぞれ光学ガラスS-FPL53(株式会社オハラ製、nd=1.4388)、S-BSL7(株式会社オハラ製、nd=1.5163)、S-BSM15(株式会社オハラ製、nd=1.6230)、S-LAL10(株式会社オハラ製、nd=1.72000)、S-LAH54(株式会社オハラ製、nd=1.8155)、S-NPH2(株式会社オハラ製、nd=1.9229)、TAFD40(HOYA株式会社製、nd=2.0007)を使用したときの反射防止膜20の各層21〜34の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。
図9〜15の表(A) に示すように、高屈折率材料をTiO2とし、中間屈折率材料をAl2O3とした以外は実施例1〜7と同様の条件で反射防止膜20の各層21〜34の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。各実施例8〜14の反射防止膜20の表面に対して垂直に入射する光(0°入射光)に対する分光反射率を実施例1〜7と同様にシミュレーションにより求めた。得られた計算結果を図9〜15のグラフ(B) に示す。
特許文献1の実施態様4を参照し、S-BSL7からなる基材に第1層〜第14層からなる反射防止膜を真空蒸着法により形成したときの各層の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。その際、Ta2O5の屈折率を2.233とし、SiO2の屈折率を1.487とし、MgF2の屈折率を1.388とした。得られた結果を図16の表(A) に示す。この反射防止膜の表面に対して垂直に入射する光(0°入射光)に対する分光反射率を実施例1〜14と同様にシミュレーションにより求めた。得られた計算結果を図16のグラフ(B) に示す。
特許文献2の実施態様3を参照し、S-BSL7からなる基材に第1層〜第14層からなる反射防止膜を真空蒸着法により形成したときの各層の光学膜厚の設計値をシミュレーションにより求めた。その際、Ta2O5の屈折率を2.233とし、TiO2の屈折率を2.455とし、SiO2の屈折率を1.450とした。得られた結果を図17の表(A) に示す。この反射防止膜の表面に対して垂直に入射する光(0°入射光)に対する分光反射率を実施例1〜14と同様にシミュレーションにより求めた。得られた計算結果を図17のグラフ(B) に示す。
20・・・反射防止膜
Claims (5)
- He光源のd線(波長587.56 nm)における屈折率が1.43以上2.01以下の光学基材の表面上に、第1層〜第14層を前記基材側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、
前記第1層,前記第3層,前記第5層,前記第7層,前記第9層,前記第11層及び第13層は前記d線における屈折率が2.201以上2.7以下の高屈折率材料により形成された高屈折率層からなり、
前記第2層,前記第4層,前記第6層,前記第8層,前記第10層及び前記第12層は前記d線における屈折率が1.501以上1.7以下の中間屈折率材料により形成された中間屈折率層であり、
前記第14層は前記d線における屈折率が1.37以上1.44以下の低屈折率材料により形成された低屈折率層であり、
前記第1層の光学膜厚が5nm以上45 nm以下であり、
前記第2層の光学膜厚が15 nm以上125 nm以下であり、
前記第3層の光学膜厚が40 nm以上130 nm以下であり、
前記第4層の光学膜厚が1nm以上45 nm以下であり、
前記第5層の光学膜厚が135 nm以上175 nm以下であり、
前記第6層の光学膜厚が20 nm以上50 nm以下であり、
前記第7層の光学膜厚が30 nm以上65 nm以下であり、
前記第8層の光学膜厚が155 nm以上180 nm以下であり、
前記第9層の光学膜厚が10 nm以上35 nm以下であり、
前記第10層の光学膜厚が45 nm以上75 nm以下であり、
前記第11層の光学膜厚が147 nm以上170 nm以下であり、
前記第12層の光学膜厚が5nm以上28 nm以下であり、
前記第13層の光学膜厚が55 nm以上85 nm以下であり、
前記第14層の光学膜厚が120 nm以上145 nm以下であることを特徴とする反射防止膜。 - 請求項1に記載の反射防止膜において、前記光学基材は光学ガラス、樹脂材料又は光学結晶からなることを特徴とした反射防止膜。
- 請求項1又は2に記載の反射防止膜において、
前記高屈折率材料はTiO2又はNb2O5の単体又はTiO2とNb2O5の混合材料であり、
前記中間屈折率材料はAl2O3の単体,SiO2とTiO2の混合材料,SiO2とNb2O5の混合材料,Al2O3とTiO2の混合材料又はAl2O3とNb2O5の混合材料であり、
前記低屈折率材料はMgF2の単体であることを特徴とした反射防止膜。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の反射防止膜を施したことを特徴とする光学部材。
- 請求項4に記載の光学部材を有することを特徴とする光学機器。
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