JP2015021618A - バルブ - Google Patents
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Abstract
Description
特に、本発明に係るバルブは、いわゆる真空技術に適用される真空バルブに該当する。一般的に0.001[mbar]または0.1[Pa]以下の圧力に動作条件において真空技術と呼ばれる。
Claims (10)
- 少なくとも1つの貫通孔(2)と、少なくとも1つの閉塞部材(3)と、少なくとも1つのシール(4)と、少なくとも1つの支持部材(5)と、少なくとも1つのバルブシート(6)と、少なくとも1つの対向シート(7)と、を有する真空バルブなどのバルブ(1)であって、
前記閉塞部材(3)が閉位置においてシール(4)を介在させてバルブシート(6)に対して密着し、前記閉塞部材(3)および前記支持部材(5)の相対運動により前記閉位置に駆動可能であり、前記支持部材(5)は前記閉塞部材(3)の閉位置において対向シート(7)に支持され、前記バルブ(1)はさらに閉位置において前記閉塞部材(3)を電気的に接地するために少なくとも1つの接地要素(8)を備え、前記接地要素(8)が前記バルブ(1)の第1構成要素に固定され、前記第1構成要素は、前記閉塞部材(3)、前記支持部材(5)、前記バルブシート(6)または前記対向シート(7)であり、
前記接地要素(8)が少なくとも1つの接触要素(9)と、前記接触要素(9)に対して好ましくは恒久的に連結されている支持要素(10)とを備え、前記接触要素(9)および前記支持要素(10)は相互に異なる材料または材料組成により構成され、前記接触要素(9)が前記支持要素(10)よりも柔軟性が高いことを特徴とするバルブ。 - 請求項1記載のバルブ(1)において、前記支持要素(10)が前記接触要素(9)に対向する側で前記第1構成要素に対して固定されているまたは少なくとも支持されていることを特徴とするバルブ。
- 請求項1または2記載のバルブ(1)において、前記接触要素(9)が、前記閉塞部材(3)の閉位置において前記閉塞部材(3)を前記バルブ(1)の第2構成要素分に対して接地するために導電性を有し、かつ、前記閉塞部材(3)の閉位置とは異なる開位置において前記第2構成要素分から離間し、前記第2構成要素分は、前記閉塞部材(3)、前記支持部材(5)、前記バルブシート(6)または前記対向シート(7)および前記第1構成要素とは異なる部分であることを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記支持要素(10)は、アルミニウムまたはステンレス鋼などの少なくとも1つの金属を含むまたは当該金属からなることを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記接触要素(9)がエラストマーを含むまたは当該エラストマーからなることを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記接触要素(9)の低い電気抵抗率を実現するため、前記接触要素(9)が少なくとも1つのエラストマーおよび少なくとも1つの添加剤の混合物であることを特徴とするバルブ。
- 請求項6記載のバルブ(1)において、前記エラストマーは、ゴム、フッ素ゴム、パーフルオロまたはシリコンを含むまたはゴム、フッ素ゴム、パーフルオロまたはシリコンから構成され、付加的または代替的に前記添加剤は、金属粉末または炭素含有粉末を含むまたは金属粉末または炭素含有粉末からなることを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜7のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記接触要素(9)が前記支持要素(10)に接合されていることを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記接触要素(9)が、40〜90ショアAの範囲、好ましくは70〜90ショアAの範囲のショア硬度を有し、付加的または代替的に、主荷重方向(11)について0.4〜3mmの範囲の厚さ(12)を有することを特徴とするバルブ。
- 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載のバルブ(1)において、前記閉塞部材(3)の閉位置において前記支持部材(5)が一または複数の前記接地要素(8)によって前記対向シート(7)に支持されていることを特徴とするバルブ。
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