JP2015020927A - 高耐熱性ガラス接合材 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、近年、軽量化、高性能化、低コスト化等の観点から、高温環境に曝される部位に接合部を配置したい要望が高まっている。これに関する従来技術として、特許文献1が挙げられる。特許文献1には、アルミナ硼珪酸系のガラス接合材でアルミナ管とセラミックスとを接合した接合体が開示されている。
(A)ホウ素成分およびアルカリ成分を実質的に含まないこと;
(B)その組成の95%以上が、酸化物換算の質量%で、BaO:25〜50質量%、MgO、CaOおよびSrOのうちの少なくとも1種(以下、「MO」と略称することがある。):1〜10質量%、SiO2:35〜60質量%、A12O3:5〜15質量%、Bi2O3:0〜15質量%、から構成されること;を特徴としている。
なお、本明細書において「線熱膨張係数」とは、30℃から500℃までの温度領域において熱機械分析装置(Thermomechanical Analysis:TMA)を用いて測定した平均線膨張係数であり、試料の初期長さに対する試料長さの変化量を温度差で割った値をいう。線熱膨張係数の測定は、JIS R 3102(1995)に準じて行うことができる。
被接合材であるアルミナ系セラミック部材の熱膨張係数は、ガラス接合材と同程度か、それより若干高いことが望ましい。アルミナ系セラミック部材が上記熱膨張係数を有するセラミック材料で構成されることにより、気密で良好な接合を実現することができる。
ここに開示される耐熱性ガラス接合材は、一のアルミナ系セラミック部材と一の他部材とを接合するために用いることのできるガラス接合材である。かかるガラス接合材は、ホウ素成分およびアルカリ成分を実質的に含まない。また、その組成の95%以上が、酸化物換算の質量%で、以下の成分;
BaO :25〜50質量%(好ましくは30〜50質量%)、
MgO、CaOおよびSrOのうちの少なくとも1種: 1〜10質量%(好ましくは2〜8質量%)、
SiO2 :35〜60質量%(好ましくは36〜59質量%)、
A12O3 : 5〜15質量%(好ましくは8〜12質量%)、
Bi2O3 : 0〜15質量%(好ましくは0〜12質量%)、
で構成されていることを特徴としている。かかる構成のガラス接合材によれば、高い耐熱性や耐久性を備えた接合部を実現することができる。例えば、1000℃以上の高温環境下においても、熱膨張係数を6×10−6K−1〜8×10−6K−1の範囲で長期間維持可能な接合部を好適に実現することができる。
このようなガラス接合材の製造方法は特に制限されず、従来と同様の手法(代表的には、溶融法、ゾルゲル法等)を用いて製造することができる。例えば、溶融法によって耐熱性ガラス接合材を製造する場合には、下記の手順で行うことができる。
先ず、粉末状の原料化合物(例えば、上記構成成分を含有する酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物の形態であり得る。)を上記組成となるように秤量、調合し、必要に応じて添加物等を加えて調製する。次に、このようにして得られたガラス原料粉末を乾燥した後、溶融炉等で適切な温度(例えば1400℃〜1600℃)にまで加熱することで、溶融させる。そして、この溶融物を冷却または急冷させることによってガラス化させ、ここに開示されるガラス接合材を得ることができる。あるいは、これを適当な粒径(典型的には1μm〜10μm)まで粉砕した後、さらに適切な温度(例えば1000℃〜1200℃)で結晶化処理(熱処理)することによって、上記ガラス接合材中に結晶が析出した結晶含有ガラスとすることもできる。
上記のようにして準備したペレット状またはペースト状のガラス接合材は、従来のガラス接合材と同様に用いることができる。例えば、先ず、上記のようにガラス接合材を調製する。また、被接合部材として、アルミナ系セラミック部材と他部材とを用意する。次に、アルミナ系セラミック部材と他部材とが相互に接触・接続するよう配置し、当該接続部位に上記ペレット状またはペースト状のガラス接合材を付与(配置または塗布)する。そして、この複合体を乾燥後、当該ガラス接合材の軟化点以上の温度域(典型的には600℃以上、例えば1000℃〜1200℃)で焼成する。これによって、被接合部材間に気密性に優れた接合部を形成することができる。
また、接合の形態についても特に制限はされず、一のアルミナ系セラミック部材と一の他部材との接合に広く使用することができる。例えば、アルミナ系セラミック部材同士の接合や、アルミナ系セラミック部材と金属部材との接合に好適に採用し得る。一のアルミナ系セラミック部材と一の他部材とは、いずれも熱膨張係数がここに開示されるガラス接合材と同程度か、それよりも若干高いセラミック材料からなることが好ましい。
(a)1000℃以上の高温環境下においても気密に維持することのできる高耐熱性を実現し得る。
(b)優れた長期耐久性(特には長期高温耐久性)を実現し得る。
(c)30℃から500℃までの線熱膨張係数を、6×10−6K−1〜8×10−6K−1の範囲に維持し得る。
したがって、ここに開示される発明によれば、一のアルミナ系セラミック部材と、一の他部材と、両部材間を接合する接合部とを備えたセラミック接合体が提供される。
[ガラス接合材の用意]
本試験においては、下表1に示す計10種類のガラス接合材のサンプル(S1〜S10)を作製した。具体的には、先ず、平均粒径が凡そ1μm〜3μmのガラス原料粉末を表1に示す組成となるように配合して混合し、それぞれ、1400℃〜1600℃で溶融した後、急冷した。これを粉砕して、平均粒径が凡そ1μm〜5μmのガラス接合材(S1〜S10)を作製した。また、比較例として市販のガラス接合材(S11)を準備した。
上記作製したガラス接合材(S1〜S10)および比較例(S11)を、それぞれ7mm×7mm×50mmの角柱状にプレス成形し、ガラス接合材ごとに成形体の角が丸くならない程度の温度で仮焼きした。仮焼き後、ダイヤモンドカッターでΦ5mm×10〜20mm程度の円柱状に切り出して、測定用の試験片とした。この試験片の線膨張係数を、熱機械分析装置(株式会社リガク製、TMA8310)を用いて評価した。具体的には、室温(25℃)から500℃まで10℃/分の一定速度で昇温したときの試験片と標準試料の熱膨張量の差から、試験片の熱膨張量を下式(1)で定義される線熱膨張係数βとして算出した。
β=(Lt−Lr)/{Lr×(Tt−Tr)} ・・・(1)
なお、式(1)中、Trは室温(25℃)、Ttは試験温度(500℃)、Lrは室温での試験片の長さ、Ltは試験温度(500℃)での試験片の長さを示す。得られた線熱膨張係数を下記の表2に示す。
上記作製したガラス接合材(S1〜S10)および比較例(S11)を、それぞれΦ15mm×2.5mmの円盤状にプレス成形し、ペレット(S1〜S11)を作製した。このペレットを、緻密なアルミナ系セラミック基板(線熱膨張係数:6×10−6K−1〜8×10−6K−1)の上に載せ、大気中、1200℃〜1400℃で1〜5分間焼成することで、ペレットと基板との接合を試みた。
その後、それぞれの積層体(S1〜S11)について、接合が実現されているか否か、接合が実現されている場合には気密な接合部となっているか否かを確認した。具体的には、先ず、ピンセットを用いてペレットが基板から剥がせるかどうかを確認し、機械的に接合されているか否かを評価した。接合が確認できた接合体については、さらに浸透探傷検査を行い、クラックの有無を確認した。結果を、表2に示す。なお、表2において「○」は両者が機械的に接合され、且つ、クラックが確認されなかったことを、「△」は両者が機械的に接合されてはいたが浸透探傷検査において接合部にクラックが認められたことを、「×」は両者が接合しなかったこと(剥離)を表している。
上記作製した接合体(S1〜S7,S10)を、それぞれ1200℃の高温環境下に1000時間暴露させた後、それぞれの接合体について、接合部の変化を確認した。具体的には、上記と同様の手法で接合部に剥離やクラックがないかを確認した。結果を、表2に示す。なお、表2において「○」は接合部に剥離やクラック等の不具合がなく、当該接合部が緻密に保たれていたことを、「△」は接合部に劣化またはクラックが認められたこと、「×」は基板と接合材とが完全に剥離したことを表している。
次に、表3に示す組成のガラス接合材(S12〜S14)を作製、評価した。具体的には、MOとして、CaOに替えてMgOまたはSrOを用いたこと以外は上記I.と同様にガラス接合材(S12〜S15)を作製して、測定・評価を行った。結果を表4に示す。
Claims (5)
- 一のアルミナ系セラミック部材と一の他部材とを接合するためのガラス接合材であって、
ホウ素成分およびアルカリ成分を実質的に含まず、その組成の95%以上が、酸化物換算の質量%で、
BaO :25〜50質量%、
MgO、CaOおよびSrOのうちの少なくとも1種 : 1〜10質量%、
SiO2 :35〜60質量%、
A12O3 : 5〜15質量%、
Bi2O3 : 0〜15質量%、
の成分で構成されていることを特徴とする、耐熱性ガラス接合材。 - 30℃から500℃までの線熱膨張係数が、6×10−6K−1〜8×10−6K−1である、請求項1に記載のガラス接合材。
- 1000℃以上の高温環境下においても、前記一のアルミナ系セラミック部材と前記一の他部材との接合部を気密に維持するよう構成されている、請求項1または2に記載のガラス接合材。
- 前記ガラス接合材は、酸化物換算の質量%で、
BaO :30〜50質量%、
CaO : 2〜 8質量%、
SiO2 :35〜60質量%、
A12O3 : 8〜12質量%、
Bi2O3 : 0〜12質量%、
の成分を含む、請求項1〜3のいずれかに記載のガラス接合材。 - セラミック接合体であって、
一のアルミナ系セラミック部材と、一の他部材と、両部材間を接合する接合部と、を備え、
前記一のアルミナ系セラミック部材は、線熱膨張係数が6×10−6K−1〜8×10−6K−1の範囲にあるセラミック材料で構成されており、
前記接合部は、請求項1〜4のいずれかに記載のガラス接合材により構成されている、セラミック接合体。
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