JP2015011031A - 回折イメージング - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、発明に従った方法において使用された装置の概略的な図面を示す、
図2は、異なる方向からの図1の装置の光学的な配置の透視図を示すと共に、
図3から6までは、発明の実施形態の方法を使用することで記録された様々な試料のイメージを示す。
tsinθ2=rsinθ1
(ブラッグ−ブレンターノ(Brentano)のパラフォーカシングの幾何学的配置)は、当てはまる。
Claims (17)
- 少なくとも第一の結晶性の構成成分の複数の微結晶を有する不均質の多結晶性の試料をイメージングする方法であって、
入射のビームのフォーカスからの実質的に単色のX線で試料の表面にわたって延びる照明されるエリアを照明すること、前記実質的に単色のX線が前記試料の表面へ第一の角度θ1で入射すること、
ピンホールの配置を通じて第二の角度θ2で前記試料によって回折させられたX線を通すこと
を具備する、方法において、
回折の角度θ1+θ2は、前記第一の結晶性の構成成分についてのブラッグの条件を充足すると共に、
前記ピンホールの配置は、パラフォーカスの条件によって決定された位置に位置させられると共に、
前記X線が前記試料の表面に前記第一の結晶性の構成成分の二次元のイメージを提供するために前記ピンホールの配置を通じて及び検出器へと通る、
方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記入射するX線は、入射のビームのフォーカスから前記照明されるエリアに入射すると共に、
前記ピンホールの配置は、前記入射のビームのフォーカスと前記試料の表面の前記照明されるエリアから実質的に同じ距離に位置させられる、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
前記試料の表面に前記第二の結晶性の構成成分の二次元のイメージを提供するために前記不均質の多結晶性の試料の第二の結晶性の構成成分に対応するように前記回折の角度θ1+θ2を変化させること
を具備する、方法。 - 請求項1、2、又は3に記載の方法において、
前記検出器は、二次元の検出器である、方法。 - 請求項4に記載の方法において、
前記二次元の検出器は、前記試料の表面に対して平行に配向させられる、方法。 - 請求項5に記載の方法において、
前記試料及び前記検出器は、イメージングの間に前記検出器に対して平行に前記試料の表面を保つために並行して揺らされる、方法。 - 請求項1から6までのいずれかに記載の方法において、
前記ピンホール及び前記検出器は、θ2が80°から100°まで、好ましくは85°から95°まで、であるように、配向させられる、方法。 - 請求項1から7までのいずれかに記載の方法において、
θ1は、5°から70°までの範囲にある、方法。 - 請求項1から8までのいずれかに記載の方法であって、さらに、
前記照明されるエリアを定義するために前記試料の入射の側でマスクにおける穴又はスリットを通じて前記試料に入射する前記単色のX線を通すこと
を具備する、方法。 - 請求項1から9までのいずれかに記載の方法であって、さらに、
前記照明されるエリアにわたって前記第一の角度θ1の軸方向の発散を制御するためにソーラースリットを通じて前記単色のX線を通すこと
を具備する、方法。 - 請求項9又は10に記載の方法において、
前記第一の角度θ1の軸方向の発散及び前記ピンホールの配置は、前記試料の表面の前記照明されるエリアにわたるどこにでも前記第一の結晶性の構成成分についての上記のブラッグの条件についてブラッグのピークへブラッグのピークを隣接させるために前記ブラッグの条件が充足されないように、前記試料の前記照明されるエリアにわたる前記回折の角度θ1+θ2の変動が十分に小さいものであるように、選択される、方法。 - 請求項1から8までのいずれかに記載の方法であって、さらに、
多層のアルファ−1モノクロメーター又はX線レンズで前記試料を照明すること
を具備する、方法。 - 請求項1から12までのいずれかに記載の方法において、
前記第一の角度θ1の軸方向の発散及び前記ピンホールの配置は、前記第一の結晶性の構成成分についての前記ブラッグの条件が前記試料の表面の前記照明されるエリアにわたって充足されるように、前記試料の照明されるエリアにわたる前記回折の角度θ1+θ2の変動が十分に大きいものであるように、選択される、方法。 - 請求項1から13までのいずれかに記載の方法であって、さらに、
θ1、θ2、又はそれら両方を変動させることによって前記回折の角度θ1+θ2を変動させること
を具備する、方法。 - 請求項1から14までのいずれかに記載の方法であって、さらに、
空間的な分解能及び前記スリットを通る強度を選択するために前記ピンホールの配置のサイズを調節すること
を具備する、方法。 - 請求項1から15までのいずれかに記載の方法であって、
前記試料の表面におけるある一定の相の前記微結晶の配向を調査するために、異なる入射のビームの角度θ1を備えた、同じブラッグの反射θ1+θ2について数個のイメージングのステップを行うこと
を具備する、方法。 - 方法であって、
X線で試料を照明すること、
少なくとも一つの適切な回折の角度θ1+θ2を検出するためのポイント検出器として検出器を使用すること、及び、
回折の角度θ1+θ2を使用することで少なくとも一つの二次元のイメージを得るために請求項1から16までのいずれかに記載の方法を実行すること
を具備する、方法。
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