JP2015008198A - 位置合わせ構造および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (2)
- 平面視円形の第1位置合わせ面を備える第1位置合わせ構造と、
平面視円形の第2位置合わせ面を備えて前記第1位置合わせ構造と対になる第2位置合わせ構造とを備え、
前記第1位置合わせ面は、
前記第1位置合わせ面の中心を同心として同一周期で形成された円形の複数の溝と、
前記溝の底部と内側の前記溝の頂部との間に形成されて断面が直線状の第1斜面と、
前記溝の底部と外側の前記溝の頂部との間に形成されて断面が前記第1斜面より長い直線状の第2斜面と
を備え、
前記第2位置合わせ面は、
複数の前記溝に対応する前記第2位置合わせ面の中心を同心とした複数の円周部に配置され、前記溝の深さより長い高さの平面視円形の複数の凸部を備える
ことを特徴とする位置合わせ構造。 - 平面視円形の第1位置合わせ面を備える第1位置合わせ構造と、
平面視円形の第2位置合わせ面を備えて前記第1位置合わせ構造と対になる第2位置合わせ構造とを備え、
前記第1位置合わせ面は、
前記第1位置合わせ面の中心を同心として同一周期で形成された円形の複数の溝と、
前記溝の底部と内側の前記溝の頂部との間に形成されて断面が直線状の第1斜面と、
前記溝の底部と外側の前記溝の頂部との間に形成されて断面が前記第1斜面より長い直線状の第2斜面と
を備え、
前記第2位置合わせ面は、
複数の前記溝に対応する前記第2位置合わせ面の中心を同心とした複数の円周部に配置され、前記溝の深さより長い高さの平面視円形の複数の凸部を備える位置合わせ構造の位置合わせ方法であって、
前記第1位置合わせ構造と前記第2位置合わせ構造とを、前記第1位置合わせ面と前記第2位置合わせ面とで接触させる第1工程と、
前記第1位置合わせ面と前記第2位置合わせ面とを接触させている状態で、前記第1位置合わせ構造および前記第2位置合わせ構造の少なくとも一方に、複数の前記溝の周期の1周期以上2周期以下の音響波を印加する第2工程と
を備えることを特徴とする位置合わせ方法。
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