JP2015005742A - 剥離装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ワークWの構造について図7および図8を参照して説明する。
吸着ステージ14の構成を図2、図5、図6、図9および図10を参照して説明する。
開裂発生機構2の構成を図2、図5、図6、図9、図10および図18を参照して説明する。
開裂成長機構3の構成を図2、図11、図12、図13、図14及び図17を参照して説明する。
開裂支援機構4の構成を図2および図15を参照して説明する。
101…ウェハ
102…ダイシングテープ
103…支持基板
104…テープフレーム
1…剥離装置
2…開裂発生機構
3…開裂成長機構
4…開裂支援機構
5…制御部
10,10A…処理室
11…下チャンバ
12…上チャンバ
13…昇降装置
14…吸着ステージ
140…吸着面
146…凹部
18…第1ロードセル
19…第2ロードセル
20…底床板
21…作用片
211…爪
22…固定壁
23,24,25…リニアガイド
30…第1アクチュエータ
40…第2アクチュエータ
50…吸盤
51…アクチュエータ
55…吸着パッド(シール部材)
56…シール部材
60,70,80…減圧装置
90…増圧装置
Claims (10)
- 支持基板の主面にウェハが接着され、前記ウェハの片面に、前記ウェハよりも大サイズのダイシングテープが貼り付けられたワークから前記支持基板を剥離させる剥離装置であって、
前記ワークを前記ダイシングテープ側で吸着保持する吸着面を有する吸着ステージと、
前記吸着ステージに吸着保持された前記ワークにおける前記支持基板の主面側と裏面側との間に、前記主面側が陽圧となる圧力差を、前記主面における前記ウェハの一端から他端へ向かって範囲を徐々に拡大させつつ作用させ、前記一端で前記ウェハと前記支持基板との間に発生した開裂を、前記ウェハの一端から他端へ向かって漸次成長させる開裂成長機構と、
を備える剥離装置。 - 前記開裂成長機構は、前記吸着ステージの吸着面に対向配置され、前記支持基板の裏面を吸引する吸盤と、前記吸盤の吸引面における前記ウェハの一端から他端へ向かって範囲を徐々に拡大させつつ前記支持基板の裏面と前記吸盤の吸引面との間に吸引力を作用させる減圧装置と、を備える、請求項1に記載の剥離装置。
- 前記吸着ステージが配置される処理室であって気密にシールされる処理室を備え、
前記開裂成長機構は、前記支持基板の裏面側と前記処理室との間をシールするシール部材と、前記処理室内を加圧する増圧装置と、をさらに備える、請求項2に記載の剥離装置。 - 前記吸着ステージが配置される処理室であって気密にシールされる処理室を備え、
前記開裂成長機構は、前記支持基板の前記裏面における前記ウェハの一端から他端へ向かって範囲を徐々に減少させつつ前記支持基板の前記主面を前記ウェハに押圧する圧力を作用させる第1の増圧装置と、前記支持基板の裏面側と前記処理室との間をシールするシール部材と、前記処理室内を加圧する第2の増圧装置と、を備える、請求項1に記載の剥離装置。 - 前記ワークの側方における前記一端に対向する位置で前記主面方向及び前記主面の法線方向に移動自在にされた当接部材と、前記当接部材を前記支持基板の前記主面の一端部に下方から当接させた後に上方に移動させる駆動装置と、を有する開裂発生機構をさらに備える、請求項1乃至4の何れかに記載の剥離装置。
- 前記吸着ステージは、前記ウェハの一端に対応して前記吸着面に凹部を有し、
前記凹部を介して前記ダイシングテープおよび前記ウェハを吸引することにより、前記ウェハの一端において、前記ウェハと前記支持基板との間に開裂を生じさせる開裂発生機構を備える、請求項1乃至4の何れかに記載の剥離装置。 - 前記凹部の端部がR面に加工されている、請求項5に記載の剥離装置。
- 前記ワークの側方における前記一端に対向する位置で前記主面方向及び前記主面の法線方向に移動自在にされた当接部材と、前記当接部材を前記支持基板の前記主面の一端部に下方から当接させた後に上方に移動させる駆動装置と、を有する開裂支援機構をさらに備える、請求項6又は7に記載の剥離装置。
- 前記駆動装置は、前記当接部材を前記支持基板の前記主面の一端部に下方から当接させる前に、前記当接部材を下降させて前記ダイシングテープを前記凹部内へ押圧する、請求項8に記載の剥離装置。
- 前記押圧部材に、前記支持基板の一端に係合する爪が設けられた、請求項8又は9に記載の剥離装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015106711A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 基板分離装置 |
JP2017130627A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
CN108565244A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-09-21 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 减薄工艺的揭膜方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004327728A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Seiko Epson Corp | 転写方法、転写体の製造方法、回路基板の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2010010207A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
JP2013058800A (ja) * | 2012-12-05 | 2013-03-28 | Lintec Corp | 脆質部材加工用粘着シートおよび脆質部材の処理方法 |
WO2013136982A1 (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 剥離装置、剥離システム及び剥離方法 |
JP2014220436A (ja) * | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 信越エンジニアリング株式会社 | 貼り合わせ分離方法及び分離装置 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004327728A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Seiko Epson Corp | 転写方法、転写体の製造方法、回路基板の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2010010207A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
WO2013136982A1 (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 剥離装置、剥離システム及び剥離方法 |
JP2013058800A (ja) * | 2012-12-05 | 2013-03-28 | Lintec Corp | 脆質部材加工用粘着シートおよび脆質部材の処理方法 |
JP2014220436A (ja) * | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 信越エンジニアリング株式会社 | 貼り合わせ分離方法及び分離装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015106711A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 基板分離装置 |
JP2017130627A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
CN108565244A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-09-21 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 减薄工艺的揭膜方法 |
CN108565244B (zh) * | 2018-01-11 | 2021-01-22 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 减薄工艺的揭膜方法 |
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