JP2015005578A - 固体撮像装置、その製造方法及びカメラ - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 26
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 24
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 19
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 15
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N tetramethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)C CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L27/144—Devices controlled by radiation
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
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- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
【解決手段】固体撮像装置の製造方法は、光電変換部と、光電変換部の上に設けられた絶縁部材および当該絶縁部材の中に配された配線パターンを含む構造とを有する半導体基板を準備する第1工程と、前記構造の上に、SiC及びSiCNの少なくとも一方で構成された膜を形成する第2工程と、前記膜と前記絶縁部材の少なくとも一部とを除去して前記光電変換部の直上に開口を形成し、当該開口の中及び前記膜の上に透光性部材を堆積させる第3工程と、前記膜が露出されるように前記透光性部材を研磨して導光部を形成する第4工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
図1(a)は、本実施形態にかかる固体撮像装置100の全体構成例の上面図を模式的に示している。固体撮像装置100は、撮像領域103および周辺領域104を有する。撮像領域103には、複数の画素が配列された画素アレイが設けられ、撮像領域103は、図1(a)に例示されるように、撮像用の画素が配された受光領域103aと、暗電流成分の信号を読み出すための遮光領域103bとを有してもよい。周辺領域104には、撮像領域103の各画素を駆動するための駆動部や、撮像領域103の各画素から読み出された信号を処理する信号処理部が設けられうる。例えば、周辺領域104には、垂直走査回路302、アンプ303、アナログデジタル変換部304(ADC304)、メモリ305、水平走査回路306、タイミングジェネレータ307、及びパッド群308が配されうる。
図5を参照しながら、固体撮像装置100の製造方法の例を説明する。まず、図5(a)に例示されるように、基板101の上に、光電変換部105や転送トランジスタ等の各素子が設けられ、その上に絶縁部材及び絶縁部材の中に設けられた配線パターンを含む構造STが設けられる。この工程は、公知の半導体製造プロセスを用いて為されうる。具体的には、まず、例えばシリコン等の半導体で構成され、P型領域を有する基板101に、後に形成されるべき各素子を電気的に分離する素子分離部109が設けられうる。素子分離部109は、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法やLOCOS(LOCal Oxidation of Silicon)法により形成されうる。
また、以上では、カメラ等に代表される撮像システムに含まれる固体撮像装置について述べたが、撮像システムの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末)も含まれる。撮像システムは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像装置と、この固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部とを含みうる。この処理部は、例えば、A/D変換器、および、このA/D変換器から出力されるデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。
Claims (9)
- 光電変換部と、前記光電変換部の上に設けられた絶縁部材および当該絶縁部材の中に配された配線パターンを含む構造とを有する半導体基板を準備する第1工程と、
前記構造の上に、SiC及びSiCNの少なくとも一方で構成された膜を形成する第2工程と、
前記膜と前記絶縁部材の少なくとも一部とを除去して前記光電変換部の直上に開口を形成し、当該開口の中及び前記膜の上に透光性部材を堆積させる第3工程と、
前記膜が露出されるように前記透光性部材を研磨して導光部を形成する第4工程と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2工程では、前記膜としてSiCを使用し、
屈折率が1.75以上1.90以下の範囲内であること、
比誘電率が4.2以上5.4以下の範囲内であること、
硬度が9.5[GPa]以上13[GPa]以下の範囲内であること、及び
弾性率が70[GPa]以上110[GPa]以下の範囲内であること、のうちの少なくとも1つをみたす
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2工程では、前記膜としてSiCNを使用し、
屈折率が1.85以上1.95以下の範囲内であること、
比誘電率が5.0以上5.5以下の範囲内であること、
硬度が14[GPa]以上15[GPa]以下の範囲内であること、及び
弾性率が110[GPa]以上130[GPa]以下の範囲内であること、のうちの少なくとも1つをみたす
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第3工程の後かつ前記第4工程の前において、前記第3工程で開口を形成する領域とは異なる領域において、前記透光性部材の一部を除去する工程をさらに有する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 半導体基板に設けられた光電変換部と、
前記半導体基板の上に配された絶縁部材および当該絶縁部材の中に配された配線パターンを含む構造と、
前記構造の上に設けられ、SiC及びSiCNの少なくとも一方で構成された膜と、
前記光電変換部に光を導くように、前記膜及び前記絶縁部材に埋め込まれ、前記膜の上面と同一面に上面を有する導光部と、を備える
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記膜は、SiCで構成されており、
屈折率が1.75以上1.90以下の範囲内であること、
比誘電率が4.2以上5.4以下の範囲内であること、
硬度が9.5[GPa]以上13[GPa]以下の範囲内であること、及び
弾性率が70[GPa]以上110[GPa]以下の範囲内であること、のうちの少なくとも1つをみたす
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記膜は、SiCNで構成されており、
屈折率が1.85以上1.95以下の範囲内であること、
比誘電率が5.0以上5.5以下の範囲内であること、
硬度が14[GPa]以上15[GPa]以下の範囲内であること、及び
弾性率が110[GPa]以上130[GPa]以下の範囲内であること、のうちの少なくとも1つをみたす
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記導光部を構成する部材は、前記絶縁部材よりも屈折率が高い
ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 請求項5乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、を備える
ことを特徴とするカメラ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013129031A JP6190175B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
US14/294,484 US9601533B2 (en) | 2013-06-19 | 2014-06-03 | Solid-state imaging apparatus, method of manufacturing the same, and camera |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013129031A JP6190175B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015005578A true JP2015005578A (ja) | 2015-01-08 |
JP2015005578A5 JP2015005578A5 (ja) | 2016-06-23 |
JP6190175B2 JP6190175B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=52110623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013129031A Expired - Fee Related JP6190175B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9601533B2 (ja) |
JP (1) | JP6190175B2 (ja) |
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-
2013
- 2013-06-19 JP JP2013129031A patent/JP6190175B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2014
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JP6190175B2 (ja) | 2017-08-30 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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