JP2014531045A - ローリングシャッタモードでx線検出器から読み出されるx線データにおけるタイミングスキューを補正するための方法 - Google Patents
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- 238000005096 rolling process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000013480 data collection Methods 0.000 claims description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 3
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 3
- 230000001815 facial effect Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000002447 crystallographic data Methods 0.000 description 2
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000373 single-crystal X-ray diffraction data Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
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- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20016—Goniometers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
- G01T1/247—Detector read-out circuitry
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F17/00—Digital computing or data processing equipment or methods, specially adapted for specific functions
- G06F17/10—Complex mathematical operations
- G06F17/17—Function evaluation by approximation methods, e.g. inter- or extrapolation, smoothing, least mean square method
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Computational Mathematics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Algebra (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Molecular Biology (AREA)
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Abstract
Description
Claims (18)
- 試料によって生成され、X線検出器によって検出され、ローリングシャッタモードで前記検出器から読み出されるX線結晶学的反射データにおけるタイミングスキューを補正するための方法であって、
(a)反射データを収集する前に、どのX線反射もブラッグ共振状態のままである角度幅が前記X線検出器のデータ収集フレーム幅より実質的に大きくなるように、前記フレーム幅を設定するステップと、
(b)データフレーム内の各反射のX線強度を、そのフレームの読出し時間に対して予め決定される基準時間にて計算される中間X線強度によって置き換えることによって、収集された反射データを補正するステップと
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記ステップ(a)は、
(a1)前記試料のロッキング曲線を決定するステップと、
(a2)前記データ収集フレーム幅を前記ロッキング曲線幅の所定の整数分の一に設定するステップと
を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記所定の整数分の一は、2分の1未満であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記所定の整数分の一は、4分の1であることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記ステップ(a1)は、
複数のデータフレームを収集するステップであって、各データフレームは小さいフレーム幅を有する、該ステップと、
前記複数のデータフレームから複数のX線反射のロッキング曲線を決定するステップと、
前記決定されたロッキング曲線幅の平均を計算するステップと
を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記ステップ(b)は、データフレーム内の反射の前記強度値を、後続のデータフレーム内の同じ反射の前記強度値を用いて補間することによって、前記中間X線強度を計算するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記補間は、一次補間、ラグランジュ補間、およびスプライン補間のうちの1つであることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記試料の3Dモデルを生成するために、前記補正されたデータを従来のX線積分ルーチンで処理するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記試料は、回転するゴニオメータに取り付けられ、
当該方法は、前記反射データを検出する前に、前記X線検出器の読出しと前記ゴニオメータの回転を同期するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記X線検出器は複数のピクセルを備え、
前記ピクセルのそれぞれはX線結晶学的反射データを検出し、
各ピクセルはデータが読み出された後でリセットされることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記X線検出器は複数のピクセルを備え、
前記ピクセルのそれぞれはX線結晶学的反射データを検出し、
各ピクセルはデータが読み出された後でリセットされないことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記X線検出器は、CMOS検出器であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記反射データは、前記X線検出器から非破壊で読み出されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記反射データは、前記X線検出器から破壊的に読み出されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ステップ(b)は、前記X線検出器内の電子回路および前記X線検出器から分離された処理システムのうちの1つによって実施されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 試料によって生成され、複数のピクセルを有するX線検出器によって検出され、ローリングシャッタモードで前記X線検出器から読み出されるX線結晶学的反射データにおけるタイミングスキューを補正するための方法であって、
ゴニオメータスピンドル位置に基づいてピクセルの回転を指定する回転式が前記ゴニオメータスピンドル位置を前記ピクセルの読出し時間によって決まるスピンドル位置で置き換えることによって修正された3Dインテグレーションルーチンで前記反射データを積分するステップ
を備えたことを特徴とする方法。 - 各ピクセルjについて、各回転式における前記スピンドル位置
- 前記X線検出器は、CMOS検出器であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/279,393 US8903043B2 (en) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | Method for correcting timing skew in X-ray data read out of an X-ray detector in a rolling shutter mode |
US13/279,393 | 2011-10-24 | ||
PCT/US2012/061561 WO2013063022A1 (en) | 2011-10-24 | 2012-10-24 | A method for correcting timing skew in x-ray data read out of an x-ray detector in a rolling shutter mode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014531045A true JP2014531045A (ja) | 2014-11-20 |
JP6084229B2 JP6084229B2 (ja) | 2017-02-22 |
Family
ID=47263565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014538900A Active JP6084229B2 (ja) | 2011-10-24 | 2012-10-24 | ローリングシャッタモードでx線検出器から読み出されるx線データにおけるタイミングスキューを補正するための方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8903043B2 (ja) |
EP (1) | EP2771678B1 (ja) |
JP (1) | JP6084229B2 (ja) |
CN (1) | CN103930773B (ja) |
WO (1) | WO2013063022A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9541148B1 (en) * | 2012-08-29 | 2017-01-10 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | Process for forming a high temperature single crystal canted spring |
US9374532B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-06-21 | Google Inc. | Cascaded camera motion estimation, rolling shutter detection, and camera shake detection for video stabilization |
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US9864075B2 (en) * | 2014-05-28 | 2018-01-09 | Bruker Axs, Inc. | Integrated reciprocal space mapping for simultaneous lattice parameter refinement using a two-dimensional X-ray detector |
US10032813B2 (en) | 2016-02-05 | 2018-07-24 | General Electric Company | Active pixel radiation detector array and use thereof |
US11137504B2 (en) | 2016-02-05 | 2021-10-05 | General Electric Company | Tiled radiation detector |
JP6775777B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2020-10-28 | 株式会社リガク | X線回折測定における測定結果の表示方法 |
CN113945591B (zh) * | 2021-09-14 | 2023-10-24 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种半峰宽自动化测试工装 |
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Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7298401B2 (en) | 2001-08-10 | 2007-11-20 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for removing flicker from images |
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JP3731207B2 (ja) * | 2003-09-17 | 2006-01-05 | 株式会社リガク | X線分析装置 |
JP3759524B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2006-03-29 | 株式会社リガク | X線分析装置 |
US7619670B2 (en) | 2005-04-26 | 2009-11-17 | Micron Technology Inc. | Rolling shutter for prevention of blooming |
JP4509925B2 (ja) | 2005-12-27 | 2010-07-21 | 株式会社メガチップス | 画像処理装置及びカメラシステム並びに画像処理方法及び動画像表示方法 |
US7667740B2 (en) | 2006-07-28 | 2010-02-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Elimination of modulated light effects in rolling shutter CMOS sensor images |
US7936945B2 (en) | 2006-12-18 | 2011-05-03 | Nokia Corporation | System, method, device, and computer program product for providing image correction |
JP2010527457A (ja) | 2007-04-18 | 2010-08-12 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 移動物体を撮像するための撮像方法及び撮像装置 |
JP4915423B2 (ja) * | 2009-02-19 | 2012-04-11 | ソニー株式会社 | 画像処理装置、フォーカルプレーン歪み成分算出方法、画像処理プログラム及び記録媒体 |
-
2011
- 2011-10-24 US US13/279,393 patent/US8903043B2/en active Active
-
2012
- 2012-10-24 EP EP12794574.9A patent/EP2771678B1/en active Active
- 2012-10-24 CN CN201280052061.1A patent/CN103930773B/zh active Active
- 2012-10-24 WO PCT/US2012/061561 patent/WO2013063022A1/en active Application Filing
- 2012-10-24 JP JP2014538900A patent/JP6084229B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-24 US US14/523,484 patent/US9784698B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN5015000398; HE T: '"A LARGE AREA X-RAY IMAGER WITH ONLINE LINEARIZATION AND NOISE SUPPRESSION"' Proc. of SPIE Vol.8142, 20110821, p.1-8, THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8903043B2 (en) | 2014-12-02 |
EP2771678B1 (en) | 2021-06-23 |
JP6084229B2 (ja) | 2017-02-22 |
WO2013063022A1 (en) | 2013-05-02 |
CN103930773B (zh) | 2016-12-07 |
US20130103339A1 (en) | 2013-04-25 |
US9784698B2 (en) | 2017-10-10 |
US20150046112A1 (en) | 2015-02-12 |
CN103930773A (zh) | 2014-07-16 |
EP2771678A1 (en) | 2014-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160615 |
|
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