JP2014529862A - 放射源及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、全体が参照により本明細書に組み込まれている2011年9月2日出願の米国仮特許出願第61/530,766号の利益を主張する。
F=音速/波長=XX MHz (式9)
となる。
Claims (21)
- 放射源燃料小滴流生成器であって、
燃料小滴の流れの第1の部分に第1の電圧を印加し、燃料小滴の流れの第2の部分に第2の電圧を印加する変調電圧源に接続される燃料小滴エミッタと、
前記燃料小滴エミッタの近傍に位置する第1の電極と、
前記燃料小滴エミッタからさらに離間した第2の電極と、
前記第1及び第2の電極の間に電位差を印加し、それによって、燃料小滴の前記流れの前記第1及び第2の部分の一方に減速力を加え、かつ燃料小滴の前記流れの前記第1及び第2の部分の他方に加速力を加える電界を前記第1及び第2の電極の間に生成する電圧源と
を備える、放射源燃料小滴流生成器。 - 前記第1及び第2の電圧が、前記第1の電極が保たれる電圧に対してそれぞれ正と負である、請求項1に記載の放射源。
- 前記第1の電極がゼロ電位に保たれる、請求項1又は2に記載の放射源。
- 前記第1及び第2の電極の間の電位差が実質的に一定である、請求項1から3のいずれかに記載の放射源。
- 前記第1の電圧と前記第2の電圧との印加の間の期間中は、小滴の前記流れに電圧が印加されない、請求項1から4のいずれかに記載の放射源。
- 前記第1の電極に印加される前記電圧に対する前記第1の電圧の大きさが、前記第1の電極に印加される前記電圧に対する前記第2の電圧の大きさと同一である、請求項1から5のいずれかに記載の放射源。
- 前記第1の電極に印加される前記電圧に対する前記第1の電圧の大きさが、前記第1の電極に印加される前記電圧に対する前記第2の電圧の大きさとは異なる、請求項1から5のいずれかに記載の放射源。
- 前記第1の電圧と前記第2の電圧が、同じ期間印加される、請求項1から7のいずれかに記載の放射源。
- 前記第1の電圧と前記第2の電圧が、異なる期間印加される、請求項1から8のいずれかに記載の放射源。
- 放射源燃料小滴流生成器であって、
燃料小滴エミッタと、
前記エミッタにより形成される小滴の形成ポイントの近傍に位置する電極と、
前記エミッタと前記電極との間に交流電圧を印加する電圧源と、を備え、
それによって、流れの中の交互の小滴に交互の符号の電荷が与えられる、放射源燃料小滴流生成器。 - 小滴の列において、一つおきの小滴の前記電荷の大きさが増大する、請求項10に記載の放射源。
- 小滴の前記列の後、次の列の前に電圧が印加されない期間がある、請求項11に記載の放射源。
- 前記交流電圧の前記印加が小滴の前記形成と同期する、請求項10から12のいずれかに記載の放射源。
- 放射源燃料小滴流生成器であって、
燃料小滴エミッタと、
電極と、
前記エミッタと前記電極との間に交流電圧を印加する電圧源と、を備え、
それによって、小滴の流れが反対の符号、又は同じ符号であるが大きさが異なるように形成され、前記小滴の合体を促進する前記電極に向かって加速又は減速される、放射源小滴流生成器。 - 定電圧が前記エミッタに追加的に印加される、請求項14に記載の放射源。
- 放射源小滴流生成器であって、
燃料小滴エミッタと、
電極と、
前記エミッタに接続され、前記エミッタと前記電極との間の小滴の相対速度を制御するための変調電圧源と、を備え、
それによって、より小さい小滴のより大きい小滴への合体が促進される、放射源小滴流生成器。 - 小滴の前記相対速度が、異なる小滴に電界における反対の電荷を与えることによって制御される、請求項16に記載の放射源。
- 小滴の前記相対速度が、異なる小滴に異なる大きさの電荷を与えることによってさらに制御される、請求項16又は17に記載の放射源。
- 小滴の前記相対速度が、電界を変調することによって制御される、請求項16に記載の放射源。
- リソグラフィ装置であって、
請求項1から19のいずれかに記載の放射源と、
放射ビームを調整する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターニングされた放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持する支持体と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターニングされた放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムと
を備える、リソグラフィ装置。 - 燃料小滴エミッタから放出される放射源燃料小滴の合体を促進する方法であって、
前記エミッタに変調電圧を印加することによって流れの中の小滴の相対速度を制御するステップを含む、方法。
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