JP2014527517A - ヘテロレプティックピロールカルバルドイミン前駆体 - Google Patents
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- 239000002243 precursor Substances 0.000 title claims abstract description 614
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 107
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3020
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 claims description 564
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 claims description 564
- WAEMQWOKJMHJLA-UHFFFAOYSA-N Manganese(2+) Chemical compound [Mn+2] WAEMQWOKJMHJLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 453
- VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N Nickel(2+) Chemical compound [Ni+2] VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 453
- XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) Chemical compound [Co+2] XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 453
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims description 135
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 83
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 56
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 24
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 24
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 19
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 17
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 14
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 claims description 13
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 claims description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 12
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 claims description 11
- 125000005103 alkyl silyl group Chemical group 0.000 claims description 11
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 abstract description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical class C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 7
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 7
- OYSRXGQDYWTBQU-UHFFFAOYSA-N 2-(4-chloro-2-methylphenoxy)acetic acid;3,5-dibromo-4-hydroxybenzonitrile Chemical compound OC1=C(Br)C=C(C#N)C=C1Br.CC1=CC(Cl)=CC=C1OCC(O)=O OYSRXGQDYWTBQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 5
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910015373 AuCo Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910016507 CuCo Inorganic materials 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910012820 LiCoO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910014689 LiMnO Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005544 NiAg Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005582 NiC Inorganic materials 0.000 description 2
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000277 atomic layer chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 0 C*C(*12)=C(C)C(*)=C1C(C)=*(*)C21*(C)=C(**)CC(C)=C(C)*1* Chemical compound C*C(*12)=C(C)C(*)=C1C(C)=*(*)C21*(C)=C(**)CC(C)=C(C)*1* 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010499 C–H functionalization reaction Methods 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017028 MnSi Inorganic materials 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000007806 chemical reaction intermediate Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002362 hafnium Chemical class 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000879 imine group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000012705 liquid precursor Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- 239000012005 post-metallocene catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 150000003608 titanium Chemical class 0.000 description 1
- 125000005270 trialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N trisilane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH3] VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F13/00—Compounds containing elements of Groups 7 or 17 of the Periodic Table
- C07F13/005—Compounds without a metal-carbon linkage
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
ピロールカルバルドイミネート配位子を有する前駆体およびその合成方法が開示される。ピロールカルバルドイミネート配位子は、置換されていてもよい。【選択図】 なし
Description
関連出願の相互参照
本出願は、２０１１年７月２２日に出願された米国仮出願第６１／５１０，６０４号、および２０１１年１２月３０日に出願された米国非仮出願第１３／３４０，８７５号の利益を主張するものであり、これらの出願の全内容が、参照により、ここに組み込まれる。
本出願は、２０１１年７月２２日に出願された米国仮出願第６１／５１０，６０４号、および２０１１年１２月３０日に出願された米国非仮出願第１３／３４０，８７５号の利益を主張するものであり、これらの出願の全内容が、参照により、ここに組み込まれる。
技術分野
式（１）または（２）を有するメタロイド含有前駆体が開示される。
式（１）または（２）を有するメタロイド含有前駆体が開示される。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
また、前記開示されたメタロイド含有前駆体の合成方法、および前記開示されたメタロイド含有前駆体を使用して、メタロイド含有フィルムを１つ以上の基板に蒸着プロセスをにより堆積する方法が開示される。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
また、前記開示されたメタロイド含有前駆体の合成方法、および前記開示されたメタロイド含有前駆体を使用して、メタロイド含有フィルムを１つ以上の基板に蒸着プロセスをにより堆積する方法が開示される。
背景
良好な安定性を有することから、ピロール環系のキレート錯体（例えば、ポルフィリン）は、極めて徹底的な研究および特徴付けが行われてきた。イミン官能基の置換基としてアルキル基を有するピロールカルバルドイミン（pyrrolecarbaldimine）の配位については、コバルト、ニッケル、パラジウム、銅を用いた研究が行われてきた（Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６４，３，１５２１、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６６，５，６２５、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９７７，１６，１３４１）。
良好な安定性を有することから、ピロール環系のキレート錯体（例えば、ポルフィリン）は、極めて徹底的な研究および特徴付けが行われてきた。イミン官能基の置換基としてアルキル基を有するピロールカルバルドイミン（pyrrolecarbaldimine）の配位については、コバルト、ニッケル、パラジウム、銅を用いた研究が行われてきた（Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６４，３，１５２１、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６６，５，６２５、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９７７，１６，１３４１）。
数多くの重要な用途が、ピロールカルバルドイミン錯体に関して見出されており、例えば、エチレン重合のポストメタロセン触媒に用いるチタニウム錯体（Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，２００１，２０，４７９３）およびハフニウム錯体（Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｄａｌｔｏｎ Ｔｒａｎｓ．２００２，４５２９）、ならびに容易なＣ−Ｈ活性化に用いる白金誘導体（Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．２００３，１２５，１２６７４）がある。
少なくとも１つのピロールカルバルドイミン配位子を含むヘテロレプティック錯体は、文献でほとんど報告がない。Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｉｎｄｉａｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ（１９８４），６１（７），５７１−２には、ヘテロレプティックニッケル、銅、パラジウムおよび白金ピロリルカルバルドイミン（pyrrolylcarbaldimine）／アセチルアセトネート化合物の合成方法が記載されている。Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ（２００９），（１２），１５５０−１５５２には、ヘテロレプティックパラジウムピロリルカルバルドイミン／フッ素化アセチルアセトネートを合成する方法が開示されている。Ｐｏｌｙｈｅｄｒｏｎ（１９９５），１４（１５／１６），２１７９−８７には、ニッケルピロリルカルバルドイミン／ケトイミナト（ketoiminato）（ここで、ピロリルカルバルドイミンとケトイミナトとは架橋されている）の合成方法が記載されている。
概要
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）前記開示されたメタロイド含有前駆体は、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート（pyrrolylcarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート（pyrrolecarbaldtrimethylsilyliminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）前記開示されたメタロイド含有前駆体は、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート（pyrrolylcarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート（pyrrolecarbaldtrimethylsilyliminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
メタロイド含有フィルムを基板に堆積するプロセスが開示される。少なくとも１種のメタロイド含有前駆体を、少なくとも１つの基板が内部に配置された反応器に導入する。メタロイド含有前駆体の少なくとも一部を、前記少なくとも１つの基板に堆積して、前記メタロイド含有フィルムを形成する。前記少なくとも１種のメタロイド含有前駆体は、下記式の１つを有する。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）開示されたプロセスは、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・少なくとも１種の反応体を、前記反応器に導入すること；
・前記反応体が、Ｈ2、ＮＨ3、ＳｉＨ4、Ｓｉ2Ｈ6、Ｓｉ3Ｈ8、ＳｉＨ2Ｍｅ2、ＳｉＨ2Ｅｔ2、Ｎ（ＳｉＨ3）3、それらの水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記反応体が、Ｏ2、Ｏ3、Ｈ2Ｏ、ＮＯ、Ｎ2Ｏ、それらの酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、前記反応器に実質的に同時に導入すること；
・前記反応器が、化学蒸着（chemical vapor deposition）用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化化学蒸着用であること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、チャンバに逐次的に導入すること；
・前記反応器が、原子層堆積用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化原子層堆積用であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）開示されたプロセスは、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・少なくとも１種の反応体を、前記反応器に導入すること；
・前記反応体が、Ｈ2、ＮＨ3、ＳｉＨ4、Ｓｉ2Ｈ6、Ｓｉ3Ｈ8、ＳｉＨ2Ｍｅ2、ＳｉＨ2Ｅｔ2、Ｎ（ＳｉＨ3）3、それらの水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記反応体が、Ｏ2、Ｏ3、Ｈ2Ｏ、ＮＯ、Ｎ2Ｏ、それらの酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、前記反応器に実質的に同時に導入すること；
・前記反応器が、化学蒸着（chemical vapor deposition）用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化化学蒸着用であること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、チャンバに逐次的に導入すること；
・前記反応器が、原子層堆積用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化原子層堆積用であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
表記および命名
一定の略称、記号および用語が、以下の明細書および特許請求の範囲全体にわたって使用され、以下のことを含んでいる：用語「アルキル基」は、排他的に炭素および水素原子のみを含有する飽和官能基を指す。さらに、用語「アルキル基」は、直鎖状、分枝または環状のアルキル基を指す。直鎖状アルキル基の例としては、限定されないが、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などが挙げられる。分枝アルキル基の例としては、限定されないが、ｔ−ブチルが挙げられる。環状アルキル基の例としては、限定されないが、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
一定の略称、記号および用語が、以下の明細書および特許請求の範囲全体にわたって使用され、以下のことを含んでいる：用語「アルキル基」は、排他的に炭素および水素原子のみを含有する飽和官能基を指す。さらに、用語「アルキル基」は、直鎖状、分枝または環状のアルキル基を指す。直鎖状アルキル基の例としては、限定されないが、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などが挙げられる。分枝アルキル基の例としては、限定されないが、ｔ−ブチルが挙げられる。環状アルキル基の例としては、限定されないが、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
元素周期表からの元素の標準的な略称が、ここで使用される。元素は、これらの略称によって言及されてもよいことが理解されるべきである（例えば、Ｎｉはニッケルを指し、Ｃｏはコバルトを指す）。
ここで使用されるとき、Ｒ基を記述する文脈で使用されるときの用語「独立して」は、対象のＲ基が、同じまたは異なる上付き文字または下付き文字を有する他のＲ基に対して独立して選択されるだけでなく、同じＲ基の任意のさらなる種に対しても独立して選択されることを意味すると理解されるべきである。例えば、式ＭＲ1 x（ＮＲ2Ｒ3）(4-x)（ここで、ｘは２または３）において、２個または３個のＲ1基は、互いに、またはＲ2もしくはＲ3に対して、同一でよいが、必ずしも同一でなくてもよい。さらに、特に別途明記しない限り、Ｒ基の値は、異なる式で使用されるときに互いに独立していることが理解されるべきである。
好ましい態様の詳細な説明
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素（メタロイド）であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
例示的なメタロイド含有前駆体としては、以下が挙げられる：
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート（pyrrolecarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素（メタロイド）であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
例示的なメタロイド含有前駆体としては、以下が挙げられる：
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート（pyrrolecarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）。
好ましくは、前駆体は、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、または（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）である。本出願人は、式２において、Ｒ1〜Ｒ4が水素であり、Ｒ5およびＲ6がイソプロピルであり、Ｒ7がメチルである場合に、最も融点が低いが揮発性の顕著な低下はない化合物が得られると考えている。
開示された前駆体は、反応スキーム１に従って、１工程で、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと、１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子および１当量の脱プロトン化ジケチミナト（diketiminato）またはアミジネート配位子とを同時に反応させることによって合成してもよい。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
あるいは、開示された前駆体は、反応スキーム２に従って２工程で、第１工程では、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させ、第２工程では、第１工程の反応生成物と１当量の脱プロトン化ジケチミナトまたはアミジネート配位子とを反応させることによって、逐次的に合成してもよい。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ｎは、１、２、または３であり、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ｎは、１、２、または３であり、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
あるいは、開示された前駆体は、反応スキーム３に従って、２工程で、第１工程では、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと１当量の脱プロトン化ジケチミナトまたはアミジネート配位子とを反応させ、第２工程では、第１工程の反応生成物と１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させることによって、逐次的に合成してもよい。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ｎは、１、２、または３であり、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ｎは、１、２、または３であり、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
別の代替態様において、開示された前駆体は、反応スキーム４に従って、ビスピロリルカルバルドイミンと１当量の脱プロトン化または脱プロトン化されていないジケチミネートまたはアミジネート配位子とを反応させて合成してもよい。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− ＹおよびＺは、独立して、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
別の代替態様において、開示された前駆体は、反応スキーム５に従って、ビスジケチミナトまたはアミジナト（amidinato）と、１当量の脱プロトン化または脱プロトン化されていないピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させて合成してもよい。
（式中、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− Ｙは、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
− Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
− Ｙは、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
合成は、限定されないが、ＴＨＦ、アセトニトリル、ジメチルスルホキシド、またはジエチルエーテルから選択される極性溶媒中で行ってよい。
合成は、およそ１００℃〜およそ１５０℃の範囲の温度で実行してよい。
配位種（coordinating species）を、反応スキーム２および３の第１工程において、反応中間体を安定させるために導入してもよい。配位種は、限定されないが、トリアルキルアミン（トリエチルアミン）、Ｎ1，Ｎ1，Ｎ2，Ｎ2−テトラメチルエタン−１，２−ジアミン、ピリジンまたはエーテルから選択してもよい。
合成には、溶媒を除去する工程、非極性溶媒（例えば、ペンタンまたはヘキサン）を添加して溶液を形成する工程、溶液を濾過する工程、および溶媒を除去して式（１）または（２）を有する開示された前駆体を形成する工程を含めてもよい。
合成には、式（１）または（２）を有する前駆体を、再結晶、蒸留、または昇華により精製する工程を含めてもよい。
開示された前駆体の少なくとも一部を、当業者に公知の任意の堆積方法を使用して堆積して薄膜を形成してもよい。適切な堆積方法の例としては、限定されないが、従来のＣＶＤ、原子層堆積（ＡＬＤ）およびパルス化学蒸着（Ｐ−ＣＶＤ：pulsed chemical vapor deposition）が挙げられる。ある代替態様では、熱ＣＶＤ堆積が好ましく、特に急速な成長、コンフォーマリティ（conformality）、プロセス配向および一方向フィルムが要求されるときに好ましい。別の代替態様では、熱ＡＬＤ堆積プロセスが好ましく、特に障害（例えば、溝、孔、ビア）を有する表面に堆積するフィルムの優れたコンフォーマリティが要求されるときに好ましい。
開示された前駆体は、反応器内に、蒸気の形態で導入する。前駆体の蒸気形態は、液体前駆体溶液を従来の気化工程（例えば、直接気化、蒸留）により気化することによって、または不活性ガス（例えば、Ｎ2、Ｈｅ、Ａｒなど）を前記前駆体溶液内に通気して、不活性ガスと前駆体との混合物を前駆体蒸気溶液として反応器に供給することによって、製造してもよい。不活性ガスを用いた通気により、前駆体溶液に存在する任意の溶解酸素を除去してもよい。
必要であれば、容器を加熱して、開示された前駆体が液相状態であって十分な蒸気圧を有することが可能な温度にしてもよい。例えば、容器を０℃〜１５０℃の範囲の温度に維持してもよい。当業者は、容器の温度および圧力を既知の方法で調節して、気化する前駆体の量を調整してもよいことを認識している。
前記反応器は、薄膜が堆積されることとなる１つ以上の基板を含有する。１つ以上の基板は、半導体、光起電力、フラットパネル、またはＬＣＤ−ＴＦＴ装置製造において使用される任意の適切な基板であってもよい。適切な基板の例としては、限定されないが、シリコン、シリカ、窒化シリコン、オキシ窒化シリコン、炭素ドープシリカ、銅および銅合金、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、タングステン、またはそれらの組合せが挙げられる。ケイ素基板は、任意に、ＨＦリンスで堆積前に洗浄してもよい。さらに、タングステンまたは貴金属（例えばプラチナ、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、または金）を含む基板を使用してもよい。基板は、１つ以上のさらなる材料層を含んでもよく、その層は先の製造工程から存在しているものでもよい。誘電体層および導電体層がこの例である。
前記反応器内の温度および圧力ならびに前記基板の温度は、開示された前駆体の少なくとも一部を基板に蒸着するために適した条件で維持する。前記反応器または堆積チャンバは、少なくとも１つ以上の基板が内部に配置された加熱された槽であってもよい。前記反応器は出口を有し、この出口を真空ポンプに接続して、チャンバから生成物を除去してもよく、または反応器内の圧力を調節もしくは制御してもよい。前記チャンバの温度は、通常、実行される堆積プロセスの種類に適した温度に維持される。いくつかの場合、例えば、基板自体が直接加熱されるとき、または別のエネルギー源（例えば、プラズマもしくは高周波源、マイクロ波源、またはＵＶ光）が堆積を補助するために備えられているときには、チャンバを低い温度に維持してもよい。反応器の例としては、限定されないが、コールドウォール型反応器、ホットウォール型反応器、単一ウェハ反応器、マルチウェハ反応器、または前記前駆体を反応させて層を形成するための適切な条件下にある他の堆積システム型反応器が挙げられる。これらの反応器のいずれも、ＡＬＤおよびＣＶＤの両方のプロセスに使用してよく、したがってＡＬＤ反応器またはＣＶＤ反応器として適したものである。
１つの代替態様において、堆積チャンバは、約１００℃より高い温度に維持される。例えば、温度は、約１００℃〜約５００℃、好ましくは、約１５０℃〜約３５０℃に維持される。別の代替態様において、堆積チャンバは、およそ２０℃〜およそ１００℃の範囲の温度に維持されてもよい。堆積チャンバの圧力は、約１Ｐａ〜約１０5Ｐａ、好ましくは約２５Ｐａ〜約１０3Ｐａに維持される。
特定のプロセスパラメータに応じて、堆積は、様々な長さの時間で行ってよい。一般に堆積は、必要な特性を有するフィルムを製造するために望ましい限り、継続してよい。フィルムの典型的な厚みは、特定の堆積プロセスに応じて、数Å〜数百ミクロンで変動させてよい。
いくつかの態様においては、還元ガスも反応チャンバに導入する。還元ガスは、水素、アンモニア、シラン、ジシラン、トリシラン、それらのプラズマ励起ラジカル、およびそれらの混合物の１つであってよい。例示的なプラズマ励起ラジカルとしては、水素ラジカルが挙げられる。プラズマ励起ラジカルは、反応器内に配置されているか、２つの電極間にあるウェハと一緒に配置されているか、または反応器から離れて配置されているプラズマによって生成してよい。堆積様式が化学蒸着であるとき、開示された前駆体と還元ガスとを、反応チャンバに実質的に同時に導入してよい。堆積の様式が原子層堆積であるとき、開示された前駆体と還元ガスとを、逐次的に導入してよく、いくつかの場合においては、前駆体と還元ガスとの間で不活性ガスによるパージを導入してもよい。
１種以上の前駆体を反応チャンバに導入して、基板に堆積してもよい。さらなる前駆体は、堆積されるフィルムの一成分として、またはドーピング剤として（つまり、少量）、機能してもよい。さらなる前駆体は、それぞれ独立して、炭素、銅、金、鉄、リチウム、ケイ素、銀、プラセオジム、マンガン、ルテニウム、チタン、タンタル、ビスマス、ジルコニウム、ハフニウム、鉛、ニオブ、マグネシウム、アルミニウム、ランタン、またはこれらの混合物から選択される元素を含んでもよい。開示された前駆体と一緒にさらなる前駆体を適用することによって、多元素フィルム、例えば、ＮｉＣ、ＮｉＳｉ、ＮｉＡｇ、ＡｕＣｏ、ＣｕＣｏ、ＬｉＣｏＯ、ＣｏＦｅ、またはＬｉＭｎＯを基板に形成してもよい。
開示された前駆体と任意の反応体または前駆体とを、逐次的に（ＡＬＤの場合）、または同時に（ＣＶＤの場合）、反応チャンバに導入してもよい。反応チャンバは、前駆体の導入と反応体の導入との間で、不活性ガスを用いてパージしてもよい。あるいは、反応体と前駆体とは、一緒に混合して反応体／前駆体混合物を形成し、次いで、反応器に混合物の形態で導入してもよい。別の代替態様においては、開示された前駆体または任意の反応体もしくは前駆体のいずれかを、反応チャンバに導入し、一方で、第２の成分（開示された前駆体または任意の反応体もしくは前駆体のいずれか）を、反応チャンバにパルスしてもよい（パルスＣＶＤ）。
開示された前駆体の蒸気溶液と前記反応ガスとを、逐次的にまたは同時に（例えば、パルスＣＶＤ）、前記反応器にパルスしてもよい。前駆体の各パルスは、約０．０１秒〜約１０秒、あるいは約０．３秒〜約３秒、あるいは約０．５秒〜約２秒の期間、継続してもよい。別の態様において、反応ガスも前記反応器にパルスしてよい。そのような態様において、各ガスのパルスは、約０．０１秒〜約１０秒、あるいは約０．３秒〜約３秒、あるいは約０．５秒〜約２秒の間、継続してもよい。
１つの非限定的な例示的原子層堆積型プロセスにおいて、開示された前駆体の気相を反応チャンバに導入し、ここで、適切な基板と接触させる。次いで、過剰の前駆体を、反応チャンバのパージおよび／または排気（evacuating）によって、反応チャンバから除去してもよい。任意の酸素供給源（例えば、酸素、オゾン、それらのプラズマ励起ラジカル、またはそれらの組合せ）を、反応チャンバに導入し、ここで、吸収された前駆体と自己制御式で反応させる。任意の過剰の酸素供給源は、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去する。所望のフィルムが酸化物フィルムである場合、この２工程プロセスによって、所望のフィルム厚さを得てもよく、または必要な厚さを有するフィルムが得られるまで、このプロセスを繰り返してもよい。
あるいは、所望のフィルムが２種の元素を含有する場合、開示された前駆体の気相を、反応チャンバに導入し、ここで、適切な基板と接触させてもよい。次いで、過剰の前駆体を、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去してもよい。第２の前駆体（例えば、シリコン含有前駆体またはリチウム含有前駆体）の気相を反応チャンバに導入し、ここで、吸収された前駆体と自己制御式で反応させる。任意の過剰な第２の前駆体は、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去する。この２工程プロセスによって、所望のフィルム厚さを得てもよく、または必要な厚さを有するフィルムが得られるまで、このプロセスを繰り返してもよい。
パルスの数を変えることによって、所望の化学量論比を有するフィルムを得てもよい。例えば、上記のＮｉＳｉフィルムが所望の量に満たないニッケルを含有する場合、上述の例示的プロセスを、開示された前駆体のさらなる導入（例えば、第２のパルス）が含まれるように変更してもよい。当業者は、所望のフィルムを得るために必要とされるパルスの数が、生じるフィルムの化学量論比と同一でなくてよいことを認識しているであろう。
上記で論じるプロセスから得られるフィルムは、Ｎｉ、ＮｉＣ、ＮｉＳｉ、ＮｉＡｇ、Ｃｏ、ＡｕＣｏ、ＣｕＣｏ、ＬｉＣｏＯ、ＣｏＦｅ、Ｍｎ、ＭｎＯ、ＭｎＯＮ、ＭｎＳｉ、またはＬｉＭｎＯを含んでよい。当業者は、適切な開示された前駆体、反応体、および前駆体（複数）の適正な選択によって、所望のフィルム組成を得てよいことを認識しているであろう。
本発明の態様を提示および記載してきたが、それらの態様の改変は、当業者によって、本発明の趣旨または教示の範囲を逸脱することなく行われ得る。ここで記載された態様は、例示にすぎず、限定的なものではない。組成物および方法の多くの変形および改変が可能であり、それらも本発明の範囲内である。したがって、保護の範囲は、ここに開示される態様に限定されず、下記の特許請求の範囲によってのみ限定され、その保護の範囲には、特許請求の範囲の主題の全ての均等物が含まれる。
Claims (14)
- 下記式の１つを有する前駆体。
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される）。 - 請求項１に記載の前駆体であって、
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）
からなる群から選択される前駆体。 - 請求項２に記載の前駆体であって、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、および（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）からなる群から選択される前駆体。
- メタロイド含有フィルムを基板に堆積するプロセスであって、
下記式の１つを有する少なくとも１種のメタロイド含有前駆体を、少なくとも１つの基板が内部に配置された反応器内に導入する工程と、
− Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
− Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される）
前記メタロイド含有前駆体の少なくとも一部を前記少なくとも１つの基板に堆積して、メタロイド含有フィルムを形成する工程と
を含む方法。 - 請求項４に記載の方法であって、少なくとも１種の反応体を、前記反応器内に導入することをさらに含む方法。
- 請求項５に記載の方法であって、前記反応体が、Ｈ2、ＮＨ3、ＳｉＨ4、Ｓｉ2Ｈ6、Ｓｉ3Ｈ8、ＳｉＨ2Ｍｅ2、ＳｉＨ2Ｅｔ2、Ｎ（ＳｉＨ3）3、それらの水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。
- 請求項５に記載の方法であって、前記反応体が、Ｏ2、Ｏ3、Ｈ2Ｏ、ＮＯ、Ｎ2Ｏ、それらの酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。
- 請求項５に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを前記反応器に実質的に同時に導入し、前記反応器は化学蒸着用である方法。
- 請求項８に記載の方法であって、前記反応器はプラズマ強化化学蒸着用である方法。
- 請求項５に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とをチャンバに逐次的に導入し、前記反応器は原子層堆積用である方法。
- 請求項１０に記載の方法であって、前記反応器はプラズマ強化原子層堆積用である方法。
- 請求項４に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体が、
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）
からなる群から選択される方法。 - 請求項１２に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、および（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）からなる群から選択される方法。
- 請求項４に記載の方法によって堆積されたメタロイド含有フィルム。
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201161510604P | 2011-07-22 | 2011-07-22 | |
| US61/510,604 | 2011-07-22 | ||
| US13/340,875 US8691985B2 (en) | 2011-07-22 | 2011-12-30 | Heteroleptic pyrrolecarbaldimine precursors |
| US13/340,875 | 2011-12-30 | ||
| PCT/US2012/047698 WO2013016229A2 (en) | 2011-07-22 | 2012-07-20 | Heteroleptic pyrrolecarbaldimine precursors |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014527517A true JP2014527517A (ja) | 2014-10-16 |
Family
ID=47556212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014521842A Pending JP2014527517A (ja) | 2011-07-22 | 2012-07-20 | ヘテロレプティックピロールカルバルドイミン前駆体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8686138B2 (ja) |
| EP (1) | EP2734533B1 (ja) |
| JP (1) | JP2014527517A (ja) |
| KR (1) | KR20150001709A (ja) |
| TW (2) | TW201309713A (ja) |
| WO (3) | WO2013016069A2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130078455A1 (en) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | Applied Materials, Inc. | Metal-Aluminum Alloy Films From Metal PCAI Precursors And Aluminum Precursors |
| US9643262B2 (en) | 2013-07-25 | 2017-05-09 | Kennametal Inc. | Coupling mechanism for cutting tool |
| US9994954B2 (en) * | 2013-07-26 | 2018-06-12 | Versum Materials Us, Llc | Volatile dihydropyrazinly and dihydropyrazine metal complexes |
| WO2015103358A1 (en) | 2014-01-05 | 2015-07-09 | Applied Materials, Inc. | Film deposition using spatial atomic layer deposition or pulsed chemical vapor deposition |
| WO2015110492A1 (en) * | 2014-01-27 | 2015-07-30 | Basf Se | Process for the generation of thin inorganic films |
| US20160159051A1 (en) * | 2014-12-08 | 2016-06-09 | Solutia Inc. | Poly(vinyl acetal) resin compositions, layers, and interlayers having enhanced optical properties |
| US11345024B2 (en) | 2018-02-02 | 2022-05-31 | Sony Corporation | Drive device and robot device |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001261639A (ja) | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Mitsubishi Chemicals Corp | イミノメチルピロール骨格を有する配位子を有する新規金属錯体化合物及びこれを含むα−オレフィン重合用触媒 |
| TW541318B (en) | 2000-07-04 | 2003-07-11 | Mitsui Chemicals Inc | Process for producing polar olefin copolymer and polar olefin copolymer obtained thereby |
| CN1688741A (zh) | 2002-08-09 | 2005-10-26 | 纳幕尔杜邦公司 | 用于铜金属沉积的铜的吡咯基络合物 |
| US20050227007A1 (en) | 2004-04-08 | 2005-10-13 | Bradley Alexander Z | Volatile copper(I) complexes for deposition of copper films by atomic layer deposition |
| WO2007147020A2 (en) | 2006-06-15 | 2007-12-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Cobalt precursors useful for forming cobalt-containing films on substrates |
| TW200831694A (en) * | 2007-01-17 | 2008-08-01 | Advanced Tech Materials | Precursor compositions for ALD/CVD of group II ruthenate thin films |
| US20080241575A1 (en) | 2007-03-28 | 2008-10-02 | Lavoie Adrein R | Selective aluminum doping of copper interconnects and structures formed thereby |
| TWI426154B (zh) * | 2007-05-21 | 2014-02-11 | Air Liquide | 供半導體應用之新穎鈷前驅物 |
| JP5437594B2 (ja) | 2007-06-05 | 2014-03-12 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー． | 有機金属化合物 |
| US20090209777A1 (en) | 2008-01-24 | 2009-08-20 | Thompson David M | Organometallic compounds, processes for the preparation thereof and methods of use thereof |
| US20090205538A1 (en) * | 2008-01-24 | 2009-08-20 | Thompson David M | Organometallic compounds, processes for the preparation thereof and methods of use thereof |
| CN102037547B (zh) * | 2008-04-28 | 2014-05-14 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 形成含纳米丛集介电层的方法及包括上述介电层的装置 |
| KR101013818B1 (ko) * | 2008-08-01 | 2011-02-14 | 세종대학교산학협력단 | 원자층 증착법에 의한 금속 박막 증착 방법 |
| WO2010052672A2 (en) | 2008-11-07 | 2010-05-14 | L'air Liquide-Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Allyl-containing precursors for the deposition of metal-containing films |
| US8883270B2 (en) * | 2009-08-14 | 2014-11-11 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen—oxygen species |
| CN102011098B (zh) * | 2009-09-08 | 2013-03-27 | 气体产品与化学公司 | 用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物 |
-
2011
- 2011-12-30 US US13/341,251 patent/US8686138B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-30 US US13/340,875 patent/US8691985B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-07-17 WO PCT/US2012/047037 patent/WO2013016069A2/en active Application Filing
- 2012-07-18 TW TW101125764A patent/TW201309713A/zh unknown
- 2012-07-18 TW TW101125762A patent/TW201309712A/zh unknown
- 2012-07-20 WO PCT/US2012/047698 patent/WO2013016229A2/en active Application Filing
- 2012-07-20 WO PCT/US2012/047711 patent/WO2013016237A2/en active Application Filing
- 2012-07-20 KR KR1020147004210A patent/KR20150001709A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-07-20 JP JP2014521842A patent/JP2014527517A/ja active Pending
- 2012-07-20 EP EP12818218.5A patent/EP2734533B1/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201309712A (zh) | 2013-03-01 |
| TW201309713A (zh) | 2013-03-01 |
| WO2013016229A3 (en) | 2013-04-04 |
| WO2013016237A2 (en) | 2013-01-31 |
| KR20150001709A (ko) | 2015-01-06 |
| WO2013016237A3 (en) | 2013-04-11 |
| EP2734533A4 (en) | 2014-12-31 |
| WO2013016229A2 (en) | 2013-01-31 |
| EP2734533A2 (en) | 2014-05-28 |
| WO2013016069A2 (en) | 2013-01-31 |
| US8686138B2 (en) | 2014-04-01 |
| WO2013016069A3 (en) | 2013-05-02 |
| US8691985B2 (en) | 2014-04-08 |
| US20130023669A1 (en) | 2013-01-24 |
| EP2734533B1 (en) | 2016-04-27 |
| US20130023670A1 (en) | 2013-01-24 |
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