JP2014236164A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハを収容可能なフープ9を装置本体2上に支持し、フープ9の蓋92を移動させることでフープ9の開口93を開放又は閉止するものにおいて、蓋92を保持する蓋保持手段3と、装置本体2に設けられ、蓋保持手段3の位置及び姿勢を規制しつつ案内する溝状レール4と、蓋保持手段3に回転可能に設けられた駆動プーリ61と、駆動プーリ61に一部を巻回しながら屈曲させつつ装置本体2の内部で張設された歯付ベルト51と、を備え、駆動プーリ61を回転させることにより、蓋保持手段3が歯付ベルト51との相対位置を変化させつつ溝状レール4に沿って移動するように構成した。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、この第1実施形態のロードポート装置1は、半導体製造のための種々の処理を行うための処理装置Dの壁面に接続されつつ床面F上に設置されるものである。なお、図1は、後に示す図2の幅方向中心を通るA−A断面矢視図となっている。一般に、処理装置Dの内部は高いクリーン度に設定されるとともに、内部の圧力Paが外側の圧力Pbよりも高く設定されることで、外部より塵埃が進入することがないようにされている。そして、被処理体である半導体ウェーハをその内部空間Sに収容する収納容器としてのフープ9を、ロードポート装置1を介して処理装置Dに接続し、このロードポート装置1によりフープ9の蓋92を開いて移動させることで開口93を開放し、クリーン度を維持したまま半導体ウェーハを処理装置Dの内部に取り込むことが可能となっている。
図8は、本発明における第2実施形態のロードポート装置101の断面図を示すものである。
2…装置本体
3…蓋保持手段
4…案内手段(溝状レール)
9…フープ
34…第1位置規制部(上側ローラ)
35…第2位置規制部(下側ローラ)
51…帯状体(歯付ベルト)
51a…一端部
51b…他端部
52,53…帯状体接続部(固定部材)
56…長さ調節部(引張ばね)
61…駆動プーリ
92…蓋
93…開口
156…テンションプーリ
L…パスライン長
Claims (6)
- 被処理体を収容可能な収納容器を装置本体上に支持し、収納容器の蓋を移動させることで収納容器の開口を開放又は閉止するロードポート装置において、
前記蓋を保持する蓋保持手段と、
装置本体に設けられ、前記蓋保持手段の位置及び姿勢を規制しつつ案内する案内手段と、
前記蓋保持手段に回転可能に設けられた駆動プーリと、
当該駆動プーリに一部を巻回しながら屈曲させつつ装置本体の内部で張設された帯状体と、を備え、
前記駆動プーリを回転させることにより、前記蓋保持手段が前記帯状体との相対位置を変化させつつ案内手段に沿って移動するように構成したことを特徴とするロードポート装置。 - 装置本体内において離間する2箇所に設定された帯状体接続部に前記帯状体の一端部及び他端部がそれぞれ接続されており、前記駆動プーリが帯状体の一端部に近接する位置に移動することで前記蓋保持手段が収納容器の蓋を閉止する位置となり、前記駆動プーリが帯状体の他端部に近接する位置に移動することで前記蓋保持手段が前記蓋を収納容器の開口を開放する位置となるように、前記帯状体接続部の位置が設定されていることを特徴とする請求項1記載のロードポート装置。
- 前記蓋保持手段が収納容器の蓋を閉止する位置となる場合において、前駆駆動プーリの外周より前記一端部に向かう帯状体の方向を、収納容器の蓋を閉止する向きと略同一となるように設定されていることを特徴とする請求項2記載のロードポート装置。
- 前記帯状体の一端部が帯状体接続部に直接的に接続されるとともに、他端部が帯状体接続部に長さ調節部を介して間接的に接続されていることを特徴とする請求項2又3記載のロードポート装置。
- 前記長さ調節部が引張ばねであることを特徴とする請求項4記載のロードポート装置。
- 前記帯状体の一端部及び他端部がそれぞれ帯状体接続部に直接的に接続されるとともに、帯状体の一端部から他端部に至るパスラインの少なくとも一部において、帯状体の表面に当接してパスラインを屈曲させつつ張力を付与するテンションプーリが設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載のロードポート装置。
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2013
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JP6119436B2 (ja) | 2017-04-26 |
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