JP2014235145A - テラヘルツ波検出装置、カメラ、イメージング装置および計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース基板2と、ベース基板2上に配列されている複数の第1検出素子9と、を備え、第1検出素子9は、ベース基板2に設けられる第1金属層21と、第1金属層21と離間して設けられた支持基板26と、支持基板26に設けられ、且つ、テラヘルツ波を吸収して熱を発生する誘電体層31と、第2金属層32と焦電体層33と第3金属層34とが積層されて誘電体層31に設けられ、且つ、誘電体層31にて発生した熱を電気信号に変換する変換部35と、を有する。
【選択図】図3
Description
本適用例にかかるテラヘルツ波検出装置であって、基板と、前記基板上に配列されている複数の検出素子と、を備え、前記検出素子は、前記基板に設けられる第1金属層と、前記第1金属層と離間して設けられた支持基板と、前記支持基板に設けられ、且つ、テラヘルツ波を吸収して熱を発生する吸収部と、第2金属層と焦電体層と第3金属層とが積層されて前記吸収部に設けられ、且つ、前記吸収部にて発生した熱を電気信号に変換する変換部と、を有することを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記複数の検出素子は、隣り合う前記変換部の間で前記テラヘルツ波が回折するように配列されていることを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記第2金属層の配列の周期は前記吸収部にて吸収される前記テラへルツ波の真空中における波長より短いことを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記検出素子は、前記支持基板と接続する柱状の腕部を含み、且つ、前記支持基板を前記基板と離間して支持する支持部を備え、前記検出素子が配列する方向の前記第2金属層の長さ及び前記吸収部の長さは前記吸収部にて吸収させる前記テラへルツ波の真空中における波長より短く且つ10μmより長いことを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記検出素子が配列する方向の前記第2金属層の長さ及び前記吸収部の長さは前記吸収部にて吸収される前記テラヘルツ波の振幅の2倍の長さより短いことを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記吸収部の材質は酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、酸化ハフニウム、ケイ酸ハフニウムの何れかを含むことを特徴とする。
上記適用例にかかるテラヘルツ波検出装置において、前記支持基板の主材料はシリコンであることを特徴とする。
本適用例にかかるカメラであって、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、を備え、前記テラヘルツ波検出部は上記のいずれかに記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とする。
本適用例にかかるイメージング装置であって、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、を備え、前記テラヘルツ波検出部は上記のいずれかに記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とする。
本適用例にかかる計測装置であって、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて前記対象物を計測する計測部と、を備え、前記テラヘルツ波検出部は上記のいずれかに記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とする。
第1の実施形態にかかわるテラヘルツ波検出装置について図1〜図7に従って説明する。図1(a)は、テラヘルツ波検出装置の構造を示す模式平面図である。図1(a)に示すように、テラヘルツ波検出装置1は四角形の基板としてのベース基板2を備え、ベース基板2の周囲には枠部3が設置されている。枠部3はベース基板2を保護する機能を有している。ベース基板2上には格子状に画素4が配列している。画素4の行数及び列数は特に限定されない。画素4の個数が多い方が精度良く被検出物の形状を認識することができる。本実施形態では、図をわかり易くするためにテラヘルツ波検出装置1は16行16列の画素4を備えた装置とした。
(1)本実施形態によれば、第1検出素子9は誘電体層31と変換部35とを備えている。誘電体層31はテラヘルツ波15を吸収して熱を発生する。誘電体層31に照射されるテラヘルツ波15の量に応じて誘電体層31は熱を発生させる。変換部35は誘電体層31にて発生した熱を電気信号に変換する。従って、誘電体層31に照射されるテラヘルツ波15の量に対応した電気信号を変換部35が出力することができる。
次に、テラヘルツ波検出装置を用いたイメージング装置の一実施形態について図8及び図9を用いて説明する。図8(a)はイメージング装置の構成を示すブロック図である。図8(b)は、対象物のテラヘルツ帯でのスペクトルを示すグラフである。図9は、対象物の物質A、B、及びCの分布を示す画像の図である。
次に、テラヘルツ波検出装置を用いた計測装置の一実施形態について図10を用いて説明する。図10は計測装置の構成を示すブロック図である。図10に示すように計測装置57は、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部58、テラヘルツ波検出部59及び計測部60を備えている。テラヘルツ波発生部58は対象物61にテラヘルツ波15を照射する。テラヘルツ波検出部59は対象物61を透過するテラヘルツ波15または対象物61にて反射されたテラヘルツ波15を検出する。テラヘルツ波検出部59には上記に記載したテラヘルツ波検出装置1が用いられている。計測部60はテラヘルツ波検出部59の検出結果に基づいて、対象物61を計測する。
次に、テラヘルツ波検出装置を用いたカメラの一実施形態について図11を用いて説明する。図11はカメラの構成を示すブロック図である。図11に示すようにカメラ64は、テラヘルツ波発生部65、テラヘルツ波検出部66、記憶部67及び制御部68を備えている。テラヘルツ波発生部65はテラヘルツ波15を対象物69に照射する。テラヘルツ波検出部66は対象物69で反射されたテラヘルツ波15または対象物69を透過したテラヘルツ波15を検出する。テラヘルツ波検出部66には上記に記載したテラヘルツ波検出装置1が用いられている。記憶部67はテラヘルツ波検出部66の検出結果を記憶する。制御部68はテラヘルツ波発生部65、テラヘルツ波検出部66及び記憶部67の動作を制御する。
前記第1の実施形態では、ベース基板2上に第1検出素子9が縦横に配列する格子状に配置された。第1検出素子9の配列は格子状以外の配列パターンでも良い。図12(a)は第1検出素子の構成を示す模式平面図である。図12(a)に示すように、例えば、検出素子としての第1検出素子75の平面形状を六角形にしてハニカム状に配列されても良い。他にも第1検出素子9の配列はこれ以外の繰り返しパターンにしても良い。このときにも隣り合う検出素子の間をスリットにしてテラヘルツ波15を回折させて検出素子に進入させることができる。
前記第1の実施形態では、第1検出素子9〜第4検出素子12の4種類の検出素子が設置された。検出素子の種類は1〜3種類でも良く5種類以上でも良い。検出したいテラヘルツ波15の波長の種類の数に合わせても良い。
前記第1の実施形態では、誘電体層31及び第2金属層32の形状は正方形であった。図12(b)は第1検出素子の構成を示す模式平面図である。図12(b)に示すように、例えば、吸収部としての誘電体層76及び第2金属層77の形状は三角形でも良い。他にも誘電体層31及び第2金属層32の形状は長方形でも良く、多角形、円弧を含む形状でも良い。このときにも、配列する方向における誘電体層長及び第2金属層長はテラヘルツ波15の真空における波長より短いのが好ましい。また、配列する方向における誘電体層長及び第2金属層長は振幅の2倍より短いのが好ましい。これにより、第1腕部24及び第2腕部25を細くまたは長くできるので、感度良くテラヘルツ波15を検出することができる。
前記第1の実施形態では、変換部35側からベース基板2に向かって進行するテラヘルツ波15が変換部35にて回折する形態となっていた。第1金属層21にスリットを設置しても良い。そして、ベース基板2側から変換部35に向かって進行するテラヘルツ波15が第1金属層21にて回折する形態にしても良い。この形態のときにもテラヘルツ波15が第1金属層21と第2金属層32との間で反射を繰り返すので効率よく誘電体層31がテラヘルツ波15を吸収することができる。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に配列されている複数の検出素子と、を備え、
前記検出素子は、
前記基板に設けられる第1金属層と、
前記第1金属層と離間して設けられた支持基板と、
前記支持基板に設けられ、且つ、テラヘルツ波を吸収して熱を発生する吸収部と、
第2金属層と焦電体層と第3金属層とが積層されて前記吸収部に設けられ、且つ、前記吸収部にて発生した熱を電気信号に変換する変換部と、を有することを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項1に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記複数の検出素子は、隣り合う前記変換部の間で前記テラヘルツ波が回折するように配列されていることを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項1または2に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記第2金属層の配列の周期は前記吸収部にて吸収される前記テラへルツ波の真空中における波長より短いことを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記検出素子は、前記支持基板と接続する柱状の腕部を含み、且つ、前記支持基板を前記基板と離間して支持する支持部を備え、
前記検出素子が配列する方向の前記第2金属層の長さ及び前記吸収部の長さは前記吸収部にて吸収させる前記テラへルツ波の真空中における波長より短く且つ10μmより長いことを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項4に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記検出素子が配列する方向の前記第2金属層の長さ及び前記吸収部の長さは前記吸収部にて吸収される前記テラヘルツ波の振幅の2倍の長さより短いことを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記吸収部の材質は酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、酸化ハフニウム、ケイ酸ハフニウムの何れかを含むことを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項4〜6のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であって、
前記支持基板の主材料はシリコンであることを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、を備え、
前記テラヘルツ波検出部は請求項1〜7のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とするカメラ。 - テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、を備え、
前記テラヘルツ波検出部は請求項1〜7のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とするイメージング装置。 - テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記テラヘルツ波発生部から射出され対象物を透過した前記テラヘルツ波または前記対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて前記対象物を計測する計測部と、を備え、
前記テラヘルツ波検出部は請求項1〜7のいずれか1項に記載のテラヘルツ波検出装置であることを特徴とする計測装置。
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