JP2014232786A - 熱処理装置 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
3 制御部
4 保持部昇降機構
5 ランプハウス
6 チャンバー
7 保持部
60 上部開口
61 チャンバー窓
63 チャンバー側部
65 熱処理空間
68,69 Oリング
71 ホットプレート
72 サセプタ
90,190,290 アルミフレーム
91,191,291 固定部
92,192,292 鍔部
93 先端部
94 中間部
95 基端部
96 ネジ
97 スプリングワッシャー
98 押さえ金具
FL フラッシュランプ
W 半導体ウェハー
Claims (7)
- 基板に光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの開口を閉塞する石英窓と、
前記石英窓を介して前記チャンバー内に光を照射する加熱光源と、
前記チャンバーに締結されることにより、前記石英窓の一方面の周縁部に接触して前記石英窓の他方面を前記チャンバーに対して押圧するフレーム部材と、
を備え、
前記フレーム部材は、前記石英窓の前記一方面の端縁部よりも内側にて前記周縁部に接触することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記石英窓の内側に向かう前記フレーム部材の端部は前記石英窓の前記一方面から隔離していることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記フレーム部材は、環状の平面にて前記周縁部に接触する接触部を有することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記フレーム部材は、断面曲線形状を有して当該曲線形状の一点にて前記周縁部に接触する接触部を有することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記フレーム部材は、断面W字形状を有して当該W字形状の下端の二点にて前記周縁部に接触する接触部を有することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記石英窓の前記他方面の周縁部と前記チャンバーとの間に挟み込まれる第1のOリングと、
前記石英窓の端面および前記チャンバーと前記フレーム部材との間に挟み込まれる第2のOリングと、
を備え、
前記フレーム部材が前記チャンバーに締結されることによって、前記石英窓が前記第1のOリングを前記チャンバーに対して押圧するとともに、前記フレーム部材が前記第2のOリングを前記石英窓の端面および前記チャンバーに対して押圧することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記加熱光源は、フラッシュ光を照射するパルス発光ランプを有することを特徴とする熱処理装置。
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---|---|---|---|---|
JP2020188176A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04245420A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-09-02 | Applied Materials Inc | 圧力−熱補償機能を備えたウエハ反応容器窓 |
JPH09326366A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000311858A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Fuji Electric Co Ltd | 減圧加熱処理装置 |
JP2001108796A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-20 | Fuji Electric Co Ltd | 固体廃棄物減容処理装置およびその運転方法 |
JP2003100651A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置 |
JP2009004427A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理装置の製造方法 |
JP2009200329A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Denso Corp | 半導体製造装置 |
-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04245420A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-09-02 | Applied Materials Inc | 圧力−熱補償機能を備えたウエハ反応容器窓 |
JPH09326366A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000311858A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Fuji Electric Co Ltd | 減圧加熱処理装置 |
JP2001108796A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-20 | Fuji Electric Co Ltd | 固体廃棄物減容処理装置およびその運転方法 |
JP2003100651A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置 |
JP2009004427A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理装置の製造方法 |
JP2009200329A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Denso Corp | 半導体製造装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020188176A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置 |
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