JP2014228492A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
0≦D<d
の大小関係を満足し、前記レーザ光放射部が、前記集光光学系の光軸に直交する方向において、前記受光手段と干渉しない位置に離れて配置されていることを特徴とする。
即ち、対象物に照射レーザ光を照射し、対象物による反射レーザ光を検出し、レーザ光が対象物までの距離を往復する時間を計測して「対象物までの距離」を求める。
説明中の実施の形態におけるレーザ光放射部10は、レーザ光源としての半導体レーザ101と、コリメートレンズ102とを有して構成されている。
光学面が光軸AXに対して対称であるとは、切除された部分が「切除されない状態」において、光学面が光軸AXに対して回転対称であることを意味する。
即ち、対象物Obが測定上の基準距離にあるときの「反射レーザ光RLの集光レンズ12による集光位置」を基準位置とする。
例えば、アバランシェ・フォトダイオード」(APDと略記する。)は、受光手段14として用いるのに好適である。
集光光学系12は、光軸対称な光学面による集光機能を有し、平行光束状の照射レーザ光PLを通過させる貫通孔12Aを、光軸AXから離れた位置に穿設されている。
0≦D<d 。
12 集光光学系
14 受光手段
20 制御演算装置
PL 照射レーザ光
RL 反射レーザ光
Claims (6)
- 対象物に照射レーザ光を照射し、前記対象物による反射レーザ光を検出するレーザ装置において、
照射レーザ光を放射するレーザ光放射部と、
対象物により反射された反射レーザ光を集光させる集光光学系と、
該集光光学系により集光される反射レーザ光を受光する受光手段と、を有し、
前記レーザ光放射部は、ビーム径の細い平行光束状の照射レーザ光を放射するものであり、
前記集光光学系は、光軸対称な光学面による集光機能を有し、
前記レーザ光放射部から放射されて対象物側へ射出する照射レーザ光と、前記集光光学系の光軸との光軸直交方向の距離:Dが、前記光学面の半径:dに対して、
0≦D<d
の大小関係を満足し、
前記レーザ光放射部が、前記集光光学系の光軸に直交する方向において、前記受光手段と干渉しない位置に離れて配置されていることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1記載のレーザ装置において、
前記レーザ光放射部におけるレーザ発光を制御し、前記受光手段の受光出力に応じて、レーザ光が対象物までの距離を往復する時間を計測して、前記対象物までの距離を演算する制御演算手段を有するレーザ装置。 - 請求項1または2記載のレーザ装置において、
集光光学系が集光レンズであることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項3記載のレーザ装置において、
集光レンズが、平行光束状の照射レーザ光を通過させる貫通孔および切除部の少なくとも一方を有することを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1または2記載のレーザ装置において、
集光光学系が反射鏡であり、
レーザ光放射部が、前記反射鏡の裏面側に配置され、受光手段の少なくとも一部が、前記反射鏡の反射面側に配置されたことを特徴とするレーザ装置。 - 請求項5記載のレーザ装置において、
反射鏡が、平行光束状の照射レーザ光を通過させる貫通孔および切除部の少なくとも一方を有することを特徴とするレーザ装置。
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