JP2014225504A - 樹脂多層基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】内蔵されたチップ部品との間で、電気的な接続信頼性に優れた樹脂多層基板の製造方法を提供する。【解決手段】キャビティの開口面側の幅寸法W1はキャビティの底面側の幅寸法W2に比べて広い。チップ部品の幅寸法W3は、前記幅寸法W2に比べて広く、前記幅寸法W1に比べて狭い。チップ部品の高さT2はキャビティの深さT1に比べて低い。キャビティにチップ部品を収納する工程では、チップ部品の第1の主面とキャビティの底面とが対向し、チップ部品の第1の主面とキャビティの底面との間に所定の隙間が形成される。また、チップ部品の第2の主面がキャビティの開口面またはキャビティの外部に位置する。【選択図】図1
Description
本発明は、チップ部品を内蔵した樹脂多層基板の製造方法に関する。
チップ部品を内蔵した樹脂多層基板として、例えば、特許文献1に記載のものがある。図12(A)は、特許文献1を参考に構成した従来の樹脂多層基板90の断面図である。樹脂多層基板90は、絶縁基材91、導体パターン13およびビア導体14を備える。絶縁基材91は、複数の熱可塑性樹脂シートを積層し、一体化してなる。絶縁基材91には、導体パターン13およびビア導体14が形成され、電気素子92が内蔵されている。電気素子92の端子電極はビア導体14を介して導体パターン13に接続されている。
電気素子92を内蔵するための空間部の厚さが、電気素子92の厚さよりも大きいと、図12(B)のように、電気素子92を内蔵した部位の上下面が凹状になる。このため、電気素子92と絶縁基材91との界面に剥離方向の応力が発生し、電気素子92の絶縁封止信頼性が低下するおそれがある。
そこで、樹脂多層基板90では、電気素子92を内蔵するための空間部の厚さを、電気素子92の厚さより小さくしている。そうすると、図12(A)のように、電気素子92を内蔵する部位の上下面が凸状となる。このため、電気素子92と絶縁基材91との界面に剥離方向の応力が発生しにくくなる。
熱可塑性樹脂シートを積層してなる樹脂多層基板では、熱圧着時の熱可塑性樹脂の軟化および流動を利用して、各熱可塑性樹脂シートを一体化している。樹脂多層基板90のように、空間部の厚さが電気素子92の厚さより小さいと、電気素子92を内蔵する部位の上下部分において、熱圧着時の樹脂の流動性が比較的高くなってしまう。このため、導体パターン13またはビア導体14の位置がずれ、電気素子92の端子電極と導体パターン13とが接触不良を起こすことがある。この結果、電気素子92と樹脂多層基板90との電気的な接続信頼性が低下するおそれがある。
本発明の目的は、内蔵されたチップ部品との間で、電気的な接続信頼性に優れた樹脂多層基板の製造方法を提供することにある。
(1)本発明の製造方法は第1ないし第4の工程を備える。第1の工程では、開口を有するキャビティが設けられた、第1の熱可塑性樹脂層を形成する。第2の工程では、キャビティにチップ部品を収納する。第3の工程では、キャビティの開口面を覆うように、第2の熱可塑性樹脂層を積層する。第4の工程では、第1および第2の熱可塑性樹脂層が軟化する条件の下で、第1および第2の熱可塑性樹脂層を熱処理する。
キャビティの開口面側の幅寸法W1はキャビティの底面側の幅寸法W2に比べて広い。チップ部品の幅寸法W3は、前記幅寸法W2に比べて広く、前記幅寸法W1に比べて狭い。チップ部品の高さT2はキャビティの深さT1に比べて低い。第2の工程では、チップ部品の第1の主面とキャビティの底面とが対向し、チップ部品の第1の主面とキャビティの底面との間に所定の隙間が形成される。第2の工程では、チップ部品の第2の主面がキャビティの開口面またはキャビティの外部に位置する。
キャビティにチップ部品を最初に配置したとき、チップ部品の位置が所定位置からずれることがある。本発明の工程では、この場合でも、キャビティにチップ部品を押し込む際、または、第1および第2の熱可塑性樹脂層を熱処理する際、チップ部品の位置は所定位置となる。すなわち、キャビティ内にチップ部品を精度良く配置することができる。このため、熱圧着の際、チップ部品の周囲で、樹脂の流動性が大きくならない。この結果、チップ部品と樹脂多層基板との電気的な接続信頼性を確保することができる。
(2)キャビティの側壁をテーパ状にすることが好ましい。
(3)キャビティの側壁の断面形状を鋸歯状にすることが好ましい。
(4)キャビティの側壁に段差を形成することが好ましい。
(5)キャビティの側壁を階段状にすることが好ましい。
(6)チップ部品の第1の主面側の角部にテーパを付ける工程を備えることが好ましい。
(7)第2の工程では、チップ部品の角部をキャビティの側壁に押し込むことにより、チップ部品をキャビティに仮固定することが好ましい。
(8)チップ部品の第1の主面は端子の非形成面であり、 チップ部品の第2の主面は端子の形成面であることが好ましい。
(9)チップ部品はチップ部品の第1の主面に振動素子を有することが好ましい。
本発明によれば、チップ部品と樹脂多層基板との間で、優れた電気的な接続信頼性を実現することができる。
《第1の実施形態》
本発明の第1の実施形態に係る、樹脂多層基板10およびそれを備えるモジュール部品の製造方法について説明する。図1、図2、図3は、樹脂多層基板10およびそれを備えるモジュール部品の製造方法を示す断面図である。
本発明の第1の実施形態に係る、樹脂多層基板10およびそれを備えるモジュール部品の製造方法について説明する。図1、図2、図3は、樹脂多層基板10およびそれを備えるモジュール部品の製造方法を示す断面図である。
図1(A)に示すように、可撓性を有するフレキシブルシート111a〜111eを用意する。フレキシブルシート111a〜111eの材料として、例えば、液晶ポリマ等の熱可塑性樹脂が用いられる。
フレキシブルシート111a〜111eの片面または両面には、銅箔に代表される金属膜が形成されている。フォトリソグラフィおよびエッチング技術を利用して、フレキシブルシート111a〜111eに形成された金属膜にパターン処理を行う。これにより、フレキシブルシート111a〜111eの適切な位置に、導体パターン13および外部電極15aが形成される。
また、フレキシブルシート111a〜111eに、レーザ加工等により、ビア導体用の孔を形成し、このビア導体用の孔に導電性ペースト114を充填する。導電性ペースト114はスズや銀を主成分とした導電性材料からなる。
さらに、フレキシブルシート111cの主面に垂直な方向にフレキシブルシート111cを貫通するように、レーザ加工、金型加工、カット刃による打ち抜き加工等により、開口部117cを形成する。この際、開口部117cの側壁がテーパ状になるように開口部117cを形成する。フレキシブルシート111d,111eにも、同様に、開口部117d,117eを形成する。開口部117dの狭い方の開口面は、開口部117cの広い方の開口面と同一の大きさを有する。開口部117eの狭い方の開口面は、開口部117dの広い方の開口面と同一の大きさを有する。
次に、図1(B)に示すように、フレキシブルシート111aを最下層とし、フレキシブルシート111eを最上層として、フレキシブルシート111a〜111eをこの順に積層する。この際、開口部117cの広い方の開口面が上側を向くように、フレキシブルシート111cを配置する。フレキシブルシート111d,111eを同様に配置する。
そして、クッションシートを介して、積層したフレキシブルシート111a〜111eを加圧(プレス)することにより、フレキシブルシート111a〜111eを仮圧着する。これにより、積層体11が形成される。なお、この時点で、フレキシブルシート111a〜111e間の接着力は弱い。
また、開口部117c〜117eが連接されることにより、キャビティ17が形成される。キャビティ17は、積層体11の主面から内部に向かって形成され、テーパ状の側壁を有する。キャビティ17の開口面側の幅寸法W1はキャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広くなっている。
積層体11は本発明の第1の熱可塑性樹脂層に相当する。
積層体11は本発明の第1の熱可塑性樹脂層に相当する。
図4(A)は、キャビティ17の形状を示す斜視図である。キャビティ17の開口面および底面は矩形状である。開口面の辺175の長さW1xは、底面の辺177(辺175に平行)の長さW2xに比べて長くなっている。同様に、開口面の辺176(辺175に垂直)の長さW1yは、底面の辺178(辺176に平行)長さW2yに比べて長くなっている。
キャビティは図4(B)のような形状でもよい。図4(B)は、キャビティ87の形状を示す斜視図である。キャビティ87の開口面および底面は矩形状である。開口面の辺876の長さW1yは、底面の辺878(辺876に平行)長さW2yに比べて長くなっている。一方、開口面の辺875(辺876に垂直)の長さは、底面の辺877(辺875に平行)の長さに等しく、W1xである。なお、キャビティ87では、辺876に平行な断面が図1(B)に示した断面に相当する。
次に、図1(C)に示すように、略直方体状のチップ部品12を用意する。チップ部品12の底面には端子電極121が形成されている。チップ部品は、例えば、ICチップであるが、これに限定されず、チップ型セラミックコンデンサ等のパッシブ部品でもよいし、フェライト焼結体のような機能基板でもよい。なお、端子電極は必ずしも設けられていなくてもよい。
そして、チップ部品12の天面(底面の反対側)とキャビティ17の底面とを対向させるように、キャビティ17にチップ部品12を収納する。チップ部品12の天面は本発明の「チップ部品の第1の主面」に相当する。チップ部品12の底面は本発明の「チップ部品の第2の主面」に相当する。
チップ部品12の幅寸法W3は、キャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広く、キャビティ17の開口面側の幅寸法W1に比べて狭い。このため、チップ部品12の天面側の角部がキャビティ17の側壁に引っ掛かり、チップ部品12の天面とキャビティ17の底面との間に隙間17aが形成される。また、チップ部品12の側面とキャビティ17の側壁との間に隙間17bが形成される。
キャビティ17にチップ部品12を軽く押し込んで、チップ部品12の天面側の角部をキャビティ17の側壁に軽く突き刺す。これにより、キャビティ17内にチップ部品12を仮固定する。なお、キャビティの側壁に接着剤を塗布し、この接着剤によりチップ部品12を仮固定してもよい。これにより、チップ部品12を確実に仮固定することができる。
チップ部品12の底面はキャビティ17からわずかに突出している。チップ部品12の底面はキャビティ17の外部に位置している。なお、チップ部品12の底面は、積層体11の主面に平行な方向から見て、キャビティ17の開口面に重なってもよい。
図5は、キャビティ17とチップ部品12との関係を示す断面図である。なお、図5では、キャビティ17とチップ部品12との関係を明確にするために、一部の構成を省略している。
上述のように、チップ部品12の幅寸法W3は、キャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広く、キャビティ17の開口面側の幅寸法W1に比べて狭い。チップ部品12の高さT2はキャビティ17の深さT1に比べて低い。キャビティ17の開口面(積層体11の主面)からチップ部品12の天面までの寸法B1は約0.8T1である。キャビティ17の開口面の縁からチップ部品12までの寸法B2は約100±50μmである。積層体11の積層面とキャビティ17の側壁とがなす角度θは、チップ部品12の高さT2に依存するが、45°〜75°程度である。
上述のように、チップ部品12の幅寸法W3は、キャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広く、キャビティ17の開口面側の幅寸法W1に比べて狭い。チップ部品12の高さT2はキャビティ17の深さT1に比べて低い。キャビティ17の開口面(積層体11の主面)からチップ部品12の天面までの寸法B1は約0.8T1である。キャビティ17の開口面の縁からチップ部品12までの寸法B2は約100±50μmである。積層体11の積層面とキャビティ17の側壁とがなす角度θは、チップ部品12の高さT2に依存するが、45°〜75°程度である。
次に、図2(A)に示すように、フレキシブルシート111f,111gを用意する。フレキシブルシート111f,111gはフレキシブルシート111a〜111eと同様に構成されている。但し、フレキシブルシート111fには、端子電極121に接続されるビア導体(接続用ビア導体)用の孔が形成され、接続用ビア導体となる導電性ペースト118がこの孔に充填されている。また、フレキシブルシート111gには外部電極15bが形成されている。なお、フレキシブルシート111f,111gは仮圧着されていてもよい。
フレキシブルシート111f,111gは本発明の第2の熱可塑性樹脂層に相当する。
フレキシブルシート111f,111gは本発明の第2の熱可塑性樹脂層に相当する。
次に、図2(B)に示すように、キャビティ17の開口面を覆うように、フレキシブルシート111f,111gを積層体11に積層する。この際、導電性ペースト118がチップ部品12の端子電極121と当接する。
次に、図2(C)に示すように、クッションシートを介して、フレキシブルシート111f〜111gを熱圧着(加熱プレス)する。これにより、フレキシブルシート111a〜111gを構成する熱可塑性樹脂が軟化し、フレキシブルシート111a〜111gが接合し、一体化する。この際、上述のように、フレキシブルシート111a〜111gは熱可塑性樹脂からなるため、ボンディングシートやプリプレグのような接着層を用いる必要がない。
また、フレキシブルシート111a〜111gを構成する樹脂が軟化および流動することにより、隙間17a,17bが樹脂で埋められる。
また、ビア導体用の孔に充填された導電性ペースト114,118が金属化(焼結)して、ビア導体14および接続用ビア導体18が形成される。これにより、フレキシブルシート111a〜111gに形成された導体パターン13がビア導体14を介して電気的に接続される。また、接続用ビア導体18とチップ部品12の端子電極121とが電気的に接続される。
また、ビア導体用の孔に充填された導電性ペースト114,118が金属化(焼結)して、ビア導体14および接続用ビア導体18が形成される。これにより、フレキシブルシート111a〜111gに形成された導体パターン13がビア導体14を介して電気的に接続される。また、接続用ビア導体18とチップ部品12の端子電極121とが電気的に接続される。
以上の工程により、樹脂多層基板10が完成する。樹脂多層基板10の内部には、導体パターン13,ビア導体14および接続用ビア導体18が形成されているとともに、チップ部品12が内蔵されている。樹脂多層基板10の表面には、表面実装部品を接続するための外部電極15bが形成されている。樹脂多層基板10の裏面には、プリント配線板等のマザー基板に接続するための外部電極15aが形成されている。
次に、図3に示すように、樹脂多層基板10の表面に表面実装部品16a,16bを実装する。この際、はんだ等の導電性接合材を介して、表面実装部品16a,16bの端子電極と外部電極15bとを接続する。表面実装部品16a,16bは、例えば、半導体集積回路チップのようなアクティブ部品、コンデンサチップやインダクタチップのようなパッシブ部品等である。以上の工程により、樹脂多層基板10を備えるモジュール部品が完成する。
なお、以上の工程は、同一構造が複数個配列されるマルチシート状態で行われてもよい。この場合、モジュール部品の構造が複数形成されたマルチシートを切断することにより、モジュール部品が完成する。
第1の実施形態では、図1,図2に示すように、キャビティ17はテーパ状の側壁を有する。このため、チップ部品12をキャビティ17に押し込むと、チップ部品12はキャビティ17の側壁に沿って移動し、所定位置で止まる。この結果、キャビティ17にチップ部品12を最初に配置したとき、その位置がチップ部品12の幅方向に所定位置からずれていたとしても、チップ部品12を押し込む際に、チップ部品12の位置は所定位置となる。
また、第1の実施形態では、チップ部品12の天面側の角部をキャビティ17の側壁に突き刺すことにより、チップ部品12をキャビティ17内に仮固定する。そして、チップ部品12の天面とキャビティ17の底面との間に隙間17aが形成される。このため、チップ部品12の位置がチップ部品の高さ方向に所定位置からずれていたとしても、フレキシブルシート111a〜111gを積層および熱圧着する際に、チップ部品12の位置は所定位置となる。
すなわち、チップ部品12を樹脂多層基板10に内蔵する際、セルフアライメント的な位置決めが可能となるため、チップ部品12をキャビティ17内に精度良く配置することができる。
そして、上述のように、チップ部品12を精度良く配置することができるため、熱圧着の際、チップ部品12の周囲で、熱可塑性樹脂の流動性が大きくならない。このため、接続用ビア導体18の位置がずれにくくなり、端子電極121と接続用ビア導体18との間で接触不良が起こりにくくなる。この結果、チップ部品12と樹脂多層基板10との電気的な接続信頼性を確保することができる。
また、チップ部品12の底面がキャビティ17からわずかに突出するように、チップ部品12をキャビティ17に配置する。このため、熱圧着の際、フレキシブルシート111fの導電性ペースト118と端子電極121とが当接する面に、圧力が選択的に加わる。この結果、チップ部品12と樹脂多層基板10との接続信頼性を向上させることができる。
また、上述のように、キャビティ17はテーパ状の側壁を有するため、チップ部品12をキャビティ17に押し込む際に必要な力は弱くて済む。このため、積層体11、チップ部品12、さらには保持器具(図示せず)等が損傷することを防ぐことができる。
また、キャビティにチップ部品を収納するためには、キャビティの側壁とチップ部品の側面との間に所定の隙間が必要である。上述のように、キャビティ17の側壁がテーパ状である場合、キャビティの側壁が従来のような角筒状である場合に比べて、隙間17bを小さくすることができる。このため、熱圧着の際、多くの樹脂を流動させずに、隙間17bを埋めることできる。これにより、導体パターン13およびビア導体14の配置が崩れにくくなるため、導体パターン13およびビア導体14を樹脂多層基板10に高密度で形成することができる。
《第2の実施形態》
本発明の第2の実施形態に係る樹脂多層基板20の製造方法について説明する。図6は、樹脂多層基板20の製造方法の要部を示す断面図である。
図6(A)に示すように、チップ部品22を用意する。チップ部品22は、端子電極121、振動素子221およびはんだボール222を有する。端子電極121および振動素子221はチップ部品の底面に形成されている。はんだボール222は端子電極121上に形成されている。チップ部品22は、例えば、ベアタイプ(振動素子221をケースに入れないタイプ)のSAWフィルタのように、底面(振動面)の周囲に空洞部(振動空間)が必要な部品である。
本発明の第2の実施形態に係る樹脂多層基板20の製造方法について説明する。図6は、樹脂多層基板20の製造方法の要部を示す断面図である。
図6(A)に示すように、チップ部品22を用意する。チップ部品22は、端子電極121、振動素子221およびはんだボール222を有する。端子電極121および振動素子221はチップ部品の底面に形成されている。はんだボール222は端子電極121上に形成されている。チップ部品22は、例えば、ベアタイプ(振動素子221をケースに入れないタイプ)のSAWフィルタのように、底面(振動面)の周囲に空洞部(振動空間)が必要な部品である。
次に、図6(B)に示すように、積層体21に形成されたキャビティ17内に、チップ部品22を仮固定する。この際、はんだボール222と導体パターン13とを当接させる。
次に、図6(C)、図6(D)に示すように、フレキシブルシート111f,111gを積層体21に積層する。そして、フレキシブルシート111a〜111d,111g,111fを熱圧着する。これにより、フレキシブルシート111a〜111d,111g,111fが接合し、一体化する。また、チップ部品22の端子電極121と導体パターン13とがはんだを介して電気的に接続される。また、導体パターン13がビア導体14,24を介して電気的に接続される。なお、ビア導体24は後述する役割も担っている。
ところで、導体パターン13は、フレキシブルシート111a〜111d,111g,111fを構成する熱可塑性樹脂が熱圧着により流動することを妨げる。そこで、樹脂多層基板20では、図6(C)に示すように導体パターン13を設計している。すなわち、隙間17aの周囲の領域R1で導体パターン13の密度を大きくし、隙間17bの周囲の領域R2で導体パターン13の密度を小さくする。このため、熱圧着の際、熱可塑性樹脂は隙間17bに流れ込むが、隙間17aに流れ込みにくくなる。
また、積層体21の積層方向から見て、隙間17bに重なる位置に、ビア導体用の孔を形成し、その穴に導電性ペースト124を充填している。熱圧着の際、まず、導電性ペースト124が金属化するとともに硬化することにより、ビア導体24が形成される。そして、ビア導体24により、隙間17bの周囲に圧力が選択的に加わる。この結果、隙間17bの周囲の熱可塑性樹脂が流動しやすくなるため、多くの熱可塑性樹脂が隙間17bに流れ込む。
このように、樹脂が隙間17bに選択的に流れ込むため、隙間17bは樹脂で埋められ、隙間17aは空洞部となる。
このように、樹脂が隙間17bに選択的に流れ込むため、隙間17bは樹脂で埋められ、隙間17aは空洞部となる。
なお、フレキシブルシート111a〜111cが軟化する温度に比べて、フレキシブルシート111d,111f,111gが軟化する温度を低くしてもよい。これにより、隙間17bの周囲の熱可塑性樹脂を選択的に流動させることができるため、隙間17bを樹脂で埋め、隙間17aを空洞部とすることができる。
以上の工程により、チップ部品22を内蔵し、振動素子221のための空洞部を有する樹脂多層基板20が完成する。なお、第2の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、樹脂多層基板20内に意図的に空洞部を設けることができる。
第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、樹脂多層基板20内に意図的に空洞部を設けることができる。
《第3の実施形態》
本発明の第3の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図7は、第3の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
まず、図7(A)に示すように、フレキシブルシート131c〜131eに開口部137c〜137eを適切な形状で形成する。開口部137c〜137eはテーパ状の側壁を有する。次に、図7(B)に示すように、フレキシブルシート131a〜131eを積層し、仮圧着する。この際、開口部137c〜137eが連接されることにより、キャビティ37が形成される。キャビティ37の側壁はテーパ状であり、キャビティ37の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、積層方向に垂直な方向から見て、キャビティ37の側壁の断面が鋸歯状となっている。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板10(図2(C)参照)が完成する。なお、第3の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
本発明の第3の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図7は、第3の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
まず、図7(A)に示すように、フレキシブルシート131c〜131eに開口部137c〜137eを適切な形状で形成する。開口部137c〜137eはテーパ状の側壁を有する。次に、図7(B)に示すように、フレキシブルシート131a〜131eを積層し、仮圧着する。この際、開口部137c〜137eが連接されることにより、キャビティ37が形成される。キャビティ37の側壁はテーパ状であり、キャビティ37の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、積層方向に垂直な方向から見て、キャビティ37の側壁の断面が鋸歯状となっている。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板10(図2(C)参照)が完成する。なお、第3の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
《第4の実施形態》
本発明の第4の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図8は、第4の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図8(A)に示すように、フレキシブルシート141c〜141gに開口部147c〜147gを適切な形状で形成する。開口部147c〜147gは、フレキシブルシート141c〜141gの主面に垂直な側壁を有する。次に、図8(B)に示すように、フレキシブルシート141a〜141gを積層し、仮圧着する。この際、開口部147c〜147gが連接されることにより、キャビティ47が形成される。キャビティ47の側壁はテーパ状であり、キャビティ47の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、キャビティ47の側壁に段差が形成されている。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板が完成する。なお、第4の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
本発明の第4の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図8は、第4の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図8(A)に示すように、フレキシブルシート141c〜141gに開口部147c〜147gを適切な形状で形成する。開口部147c〜147gは、フレキシブルシート141c〜141gの主面に垂直な側壁を有する。次に、図8(B)に示すように、フレキシブルシート141a〜141gを積層し、仮圧着する。この際、開口部147c〜147gが連接されることにより、キャビティ47が形成される。キャビティ47の側壁はテーパ状であり、キャビティ47の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、キャビティ47の側壁に段差が形成されている。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板が完成する。なお、第4の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
《第5の実施形態》
本発明の第5の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図9は、第5の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図9(A)に示すように、フレキシブルシート151c〜151eに開口部157c〜157eを適切な形状で形成する。開口部157c〜157eは、フレキシブルシート151c〜151eの主面に垂直な側壁を有する。次に、図9(B)に示すように、フレキシブルシート151a〜151eを積層し、仮圧着する。この際、開口部157c〜157eが連接されることにより、キャビティ57が形成される。キャビティ57の側壁はテーパ状であり、キャビティ57の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、キャビティ57の側壁は階段状になっている。次に、図9(C)のように、キャビティ57にチップ部品12を収納する。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板10(図2(C)参照)が完成する。なお、第5の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
本発明の第5の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図9は、第5の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図9(A)に示すように、フレキシブルシート151c〜151eに開口部157c〜157eを適切な形状で形成する。開口部157c〜157eは、フレキシブルシート151c〜151eの主面に垂直な側壁を有する。次に、図9(B)に示すように、フレキシブルシート151a〜151eを積層し、仮圧着する。この際、開口部157c〜157eが連接されることにより、キャビティ57が形成される。キャビティ57の側壁はテーパ状であり、キャビティ57の開口面側の幅寸法は底面側の幅寸法に比べて広い。また、キャビティ57の側壁は階段状になっている。次に、図9(C)のように、キャビティ57にチップ部品12を収納する。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板10(図2(C)参照)が完成する。なお、第5の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第5の実施形態では、開口部157dの幅寸法がチップ部品12の幅寸法に合うように、開口部157dを形成する。これにより、キャビティ57内にチップ部品12を確実に仮固定することができる。また、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
《第6の実施形態》
本発明の第6の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図10は、第6の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図10(A)に示すように、チップ部品62を用意する。チップ部品62の天面側の角部には、キャビティ17の側壁と同程度のテーパを付けておく。チップ部品62の天面側の幅寸法W4は、キャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広く、チップ部品62の底面側の幅寸法W3に比べて狭い。次に、図10(B)に示すように、チップ部品62をキャビティ17に収納する。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、チップ部品62を内蔵した樹脂多層基板が完成する。なお、第6の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
本発明の第6の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図10は、第6の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
図10(A)に示すように、チップ部品62を用意する。チップ部品62の天面側の角部には、キャビティ17の側壁と同程度のテーパを付けておく。チップ部品62の天面側の幅寸法W4は、キャビティ17の底面側の幅寸法W2に比べて広く、チップ部品62の底面側の幅寸法W3に比べて狭い。次に、図10(B)に示すように、チップ部品62をキャビティ17に収納する。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、チップ部品62を内蔵した樹脂多層基板が完成する。なお、第6の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第6の実施形態によれば、チップ部品62の天面側の角部に、キャビティ17の側壁と同程度のテーパを付けているので、キャビティ17にチップ部品62を押し込む際に必要な力は小さくて済む。また、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
《第7の実施形態》
本発明の第7の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図11は、第7の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
まず、図11(A)に示すように、開口部を有さないフレキシブルシート171a〜171eを用意する。次に、図11(B)に示すように、フレキシブルシート171a〜171eを積層し、仮圧着する。これにより、積層体171が形成される。そして、積層体171の積層方向に対してカット刃74を傾けて、積層体171にカット刃74を入れる。そして、積層体171から不要部分を取り除き、キャビティ77を形成する。なお、レーザ加工により不要部分を取り除いてもよい。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板が完成する。なお、第7の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
本発明の第7の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法について説明する。図11は、第7の実施形態に係る樹脂多層基板の製造方法の要部を示す断面図である。
まず、図11(A)に示すように、開口部を有さないフレキシブルシート171a〜171eを用意する。次に、図11(B)に示すように、フレキシブルシート171a〜171eを積層し、仮圧着する。これにより、積層体171が形成される。そして、積層体171の積層方向に対してカット刃74を傾けて、積層体171にカット刃74を入れる。そして、積層体171から不要部分を取り除き、キャビティ77を形成する。なお、レーザ加工により不要部分を取り除いてもよい。次に、第1の実施形態と同様の工程を行い、樹脂多層基板が完成する。なお、第7の実施形態に係るその他の点は第1の実施形態と同様である。
第7の実施形態では、平板状の導体パターン73のシャイニー面(光沢面)がキャビティ77の底面となるように、導体パターン73を配置する。これにより、前記不要部分は、フレキシブルシート171bではなく、導体パターン73のシャイニー面に当接する。そして、フレキシブルシートの主面と導体パターンのシャイニー面との間の接着力は、フレキシブルシートの主面同士の接着力に比べて弱い。このため、積層体171から不要部分を取り除くことが容易となる。
また、開口部を有さないフレキシブルシート171a〜171eを仮圧着する。このため、フレキシブルシート171a〜171eに圧力が均一に加わるので、仮圧着が容易となる。
また、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
10,20,90…樹脂多層基板
11,21…積層体(第1の熱可塑性樹脂層)
171…積層体
12,22,62…チップ部品
13,73…導体パターン
14,24…ビア導体
15a,15b…外部電極
16a,16b…表面実装部品
17,37,47,57,77,87…キャビティ
17a,17b…隙間
18…接続用ビア導体
74…カット刃
91…絶縁基材
92…電気素子
111a〜111e,131a〜131e,141a〜141g,151a〜151e,171a〜171e…フレキシブルシート
111f,111g…フレキシブルシート(第2の熱可塑性樹脂層)
114,118,124…導電性ペースト
117c〜117e,137c〜137e,147c〜147g,157c〜157e…開口部
121…端子電極
175,176,177,178,875,876,877,878…辺
22l…振動素子
222…はんだボール
11,21…積層体(第1の熱可塑性樹脂層)
171…積層体
12,22,62…チップ部品
13,73…導体パターン
14,24…ビア導体
15a,15b…外部電極
16a,16b…表面実装部品
17,37,47,57,77,87…キャビティ
17a,17b…隙間
18…接続用ビア導体
74…カット刃
91…絶縁基材
92…電気素子
111a〜111e,131a〜131e,141a〜141g,151a〜151e,171a〜171e…フレキシブルシート
111f,111g…フレキシブルシート(第2の熱可塑性樹脂層)
114,118,124…導電性ペースト
117c〜117e,137c〜137e,147c〜147g,157c〜157e…開口部
121…端子電極
175,176,177,178,875,876,877,878…辺
22l…振動素子
222…はんだボール
Claims (9)
- 開口を有するキャビティが設けられた、第1の熱可塑性樹脂層を形成する第1の工程と、
前記キャビティにチップ部品を収納する第2の工程と、
前記キャビティの開口面を覆うように、第2の熱可塑性樹脂層を積層する第3の工程と、
前記第1および前記第2の熱可塑性樹脂層が軟化する条件の下で、前記第1および前記第2の熱可塑性樹脂層を熱処理する第4の工程とを備え、
前記キャビティの開口面側の幅寸法W1は前記キャビティの底面側の幅寸法W2に比べて広く、
前記チップ部品の幅寸法W3は、前記幅寸法W2に比べて広く、前記幅寸法W1に比べて狭く、
前記チップ部品の高さT2は前記キャビティの深さT1に比べて低く、
前記第2の工程では、前記チップ部品の第1の主面と前記キャビティの底面とが対向し、前記チップ部品の第1の主面と前記キャビティの底面との間に所定の隙間が形成され、前記チップ部品の第2の主面が前記キャビティの開口面または前記キャビティの外部に位置する、樹脂多層基板の製造方法。 - 前記キャビティの側壁をテーパ状にする、請求項1に記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記キャビティの側壁の断面形状を鋸歯状にする、請求項2に記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記キャビティの側壁に段差を形成する、請求項2に記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記キャビティの側壁を階段状にする、請求項2に記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記チップ部品の第1の主面側の角部にテーパを付ける工程を備える、請求項2ないし5のいずれかに記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記第2の工程では、前記チップ部品の角部を前記キャビティの側壁に押し込むことにより、前記チップ部品を前記キャビティに仮固定する、請求項2ないし6のいずれかに記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記チップ部品の第1の主面は端子の非形成面であり、前記チップ部品の第2の主面は端子の形成面である、請求項1ないし7のいずれかに記載の樹脂多層基板の製造方法。
- 前記チップ部品は前記チップ部品の第1の主面に振動素子を有する、請求項1ないし7のいずれかに記載の樹脂多層基板の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2017187939A1 (ja) * | 2016-04-26 | 2018-12-20 | 株式会社村田製作所 | 樹脂多層基板およびその製造方法 |
WO2023148888A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | 株式会社Fuji | 電気回路形成方法、および電気回路形成装置 |
-
2013
- 2013-05-15 JP JP2013103013A patent/JP2014225504A/ja active Pending
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