JP2014220381A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体層46は、第1半導体領域50と、第2半導体領域6と、第3半導体領域4と、第4半導体領域30と、第5半導体領域20を備えている。第1半導体領域50は、n型であり、第1主電極2と埋込み絶縁層44の間に設けられている。第2半導体領域6は、p型であり、第2主電極8と埋込み絶縁層44の間に設けられている。第3半導体領域4は、n型であり、第1半導体領域50と第2半導体領域6の間に設けられている。第4半導体領域30は、n型であり、第1半導体領域50と埋込み絶縁層44の間に設けられている。第5半導体領域20は、n型であり、第3半導体領域4内に設けられているとともに第4半導体領域30よりも第2主電極8側に位置している。第4半導体領域30と埋込み絶縁層44との距離が、第5半導体領域20と埋込み絶縁層44との距離より短い。
【選択図】図1
Description
図1を参照し、半導体装置100について説明する。半導体装置100は、積層基板40を利用した横型のダイオードである。積層基板40は、p型の半導体基板42と、半導体基板42上に設けられている埋込み絶縁層44と、埋込み絶縁層44上に設けられている活性層46を備えている。半導体基板42は支持基板の一例であり、活性層46は半導体層の一例である。半導体基板42の材料は単結晶シリコンであり、埋込み絶縁層44の材料は酸化シリコンであり、活性層46の材料は単結晶シリコンである。積層基板40は、SOI(Silicon On Insulator)基板と称される。活性層46の表面の一部にカソード電極2が設けられており、活性層46の表面の他の一部にアノード電極8が設けられている。カソード電極2とアノード電極8は、活性層46上に間隔を有して設けられている。カソード電極2は第1主電極の一例であり、アノード電極8は第2主電極の一例である。半導体装置100では、積層基板40の活性層46内に複数の半導体領域が形成されている。
図4を参照し、半導体装置200について説明する。半導体装置200は、半導体装置100の変形例であり、第4半導体領域30及び第5半導体領域20をLDMOSに適用したものである。半導体装置100と実質的に同じ構造については、半導体装置100に付した参照番号と同一又は下二桁が同じ参照番号を付すことにより、説明を省略することがある。
図5を参照し、半導体装置300について説明する。半導体装置300は、半導体装置100及び200の変形例であり、第4半導体領域30及び第5半導体領域20をIGBTに適用したものである。半導体装置100及び200と実質的に同じ構造については、半導体装置100及び200に付した参照番号と同一又は下二桁が同じ参照番号を付すことにより、説明を省略することがある。
図6を参照し、半導体装置400について説明する。なお、半導体装置400は、半導体装置100の変形例であり、第4半導体領域及び第5半導体領域の構造が半導体装置100と相違する。半導体装置100と実質的に同じ構造については、半導体装置100に付した参照番号と同一又は下二桁が同じ参照番号を付すことにより、説明を省略することがある。
4:第3半導体領域
6:第2半導体領域
8:第2主電極
20:第5半導体領域
30:第4半導体領域
42:支持基板
44:埋込み絶縁層
46:半導体層
50:第1半導体領域
100:半導体装置
Claims (6)
- 横型の半導体装置であって、
支持基板と、支持基板上に設けられている埋込み絶縁層と、埋込み絶縁層上に設けられている半導体層と、半導体層の表面の一部に設けられている第1主電極と、半導体層の表面の他の一部に設けられている第2主電極と、を備えており、
前記半導体層は、
第1主電極と埋込み絶縁層の間に設けられているn型の第1半導体領域と、
第2主電極と埋込み絶縁層の間に設けられているp型の第2半導体領域と、
第1半導体領域と第2半導体領域の間に設けられているn型の第3半導体領域と、
第1半導体領域と埋込み絶縁層の間に設けられているとともに、n型の不純物を第3半導体領域より高濃度に含んでいる第4半導体領域と、
第3半導体領域内に設けられているとともに第4半導体領域よりも第2主電極側に位置しており、n型の不純物を第3半導体領域より高濃度に含んでいる第5半導体領域と、を有しており、
第4半導体領域と埋込み絶縁層との距離が、第5半導体領域と埋込み絶縁層との距離より短い半導体装置。 - 第1半導体領域と第4半導体領域の間にp型の第6半導体領域が設けられており、
第6半導体領域の電荷量が、第4半導体領域の電荷量と等しい請求項1に記載の半導体装置。 - 第4半導体領域が、埋込み絶縁層に接している請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 第5半導体領域のn型の不純物濃度が、第1半導体領域側から第2半導体領域側に向けて薄くなっている請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第5半導体領域と埋込み絶縁層との距離が、第1半導体領域側から第2半導体領域側に向けて長くなっている請求項4に記載の半導体装置。
- 第1半導体領域から第2半導体領域までの距離を横軸にとり、
埋込み絶縁層と第5半導体領域との距離を縦軸にとったときに、
埋込み絶縁層から第5半導体領域までの距離が、不連続に増加している請求項5に記載の半導体装置。
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