JP2014214286A - 作動液 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の目的は、温度やｐＨ、圧力の変動に対して、気体の巻き込みを十分に低減でき、作動液の優れた動力の伝達性や減衰力、優れた潤滑性等を発揮でき、安定な品質を維持できる作動液を提供することである。【解決手段】無機微粒子（Ａ）と親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）とを含み、無機微粒子（Ａ）が親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）で表面改質した無機微粒子であることを特徴とする作動液を用いる。無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）は３０〜９０が好ましい。【選択図】なし

Description

本発明は作動液に関する。さらに詳しくは一般工業用途に用いられる作動液に関する。

従来、作動液としては、特定のポリリン酸エステルを含有する潤滑油添加剤を含む潤滑油組成物が知られている（特許文献１）。また、絶対分子量が５千ないし５０万のハイパーブランチ型ポリグリセロールを含むことを特徴とする水系潤滑剤が知られている（特許文献２）。

特開２０１１−１７８９９０号公報 特開２０１０−２１５７３４号公報

しかしながら、従来の作動液では、温度やｐＨ、圧力の変動に対して、気体の巻き込みが多量に発生し、作動液の動力の伝達性や減衰力、潤滑性等を十分に維持できず、作動液としての品質が安定しないという問題がある。
本発明の目的は、温度やｐＨ、圧力の変動に対して、気体の巻き込みを十分に低減でき、作動液の優れた動力の伝達性や減衰力、優れた潤滑性等を発揮でき、安定な品質を維持できる作動液を提供することである。

本発明の作動液の特徴は、無機微粒子（Ａ）と親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）とを含み、無機微粒子（Ａ）が親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）で表面改質した無機微粒子であることを要旨とする。

本発明の作動液は、従来の作動液に比べて、温度やｐＨ、圧力の変動に対して、気体の巻き込みを十分に低減でき、作動液の優れた動力の伝達性や減衰力、優れた潤滑性等を発揮でき、作動液として高い品質を維持できる。

実施例において、気体の巻き込み性（作動液に気体を巻き込ませにくい性質を意味する。）の評価をした試験装置を模式的に表した斜視図である。

本発明において、親水性とは、水に対して濡れる性質を意味し、２５±３℃で、試料（無機微粒子）と蒸留水とを混合した場合、試料（無機微粒子）が均一に蒸留水中に分散する性質である。

親水性無機微粒子（Ｃ１）は、親水性の無機微粒子であれば制限ないが、シリカ微粒子及び／又はアルミナ微粒子で構成されることが好ましい。シリカ微粒子及び／又はアルミナ微粒子で構成される親水性無機微粒子（Ｃ１）としては、非晶質合成シリカ、アルミナ又はアルミノシリケートで構成された微粒子が含まれる。

非晶質合成シリカとしては、沈殿法シリカ、ゲル法シリカ、熱分解法シリカ及び溶融シリカが含まれる。

沈殿法シリカは、アルカリ性環境下にて珪酸ソーダを酸で中和し、生じた析出物をろ過、乾燥することによって得られるシリカである。ゲル法シリカは、酸性環境下にて珪酸ソーダを酸で中和し、生じた析出物をろ過、乾燥することによって得られるシリカである。熱分解法シリカは、四塩化珪素等の珪素化合物を酸水素炎中で燃焼させて得られるシリカである。溶融シリカは、シリカ粉末を火炎中で溶融・球状化して得られるシリカである。

シリカ微粒子としては、非晶質合成シリカの他に、結晶合成シリカ（人工水晶及び人工石英等）、天然シリカ（結晶シリカ（石英、珪砂及び珪石等）及び非晶質シリカ（珪藻土及び酸性白土等））等も使用できる。

アルミナとしては、結晶アルミナ（γ−アルミナ、δ−アルミナ、η−アルミナ、θ−アルミナ、α−アルミナ及びこれらの混合体）及び非晶質アルミナが含まれる。これらの混合体としては、公知の方法で得た焼成アルミナ（火炎燃焼法アルミナ及び焼成法アルミナ等）が含まれる。

火炎燃焼法アルミナは、四塩化アルミニウム等のアルミニウム化合物を酸水素炎中で燃焼することによって得られるアルミナである。焼成法アルミナは、アルミニウムアルコキシドの加水分解物を焼成することによって得られるアルミナ、及び水酸化アルミニウムを焼成することによって得られるアルミナである。

アルミノシリケートとしては、アルミニウムアルコキシドとシリコンアルコキシドとを用いて加水分解法により合成された複合体微粒子が含まれる。

これらのうち、非晶質合成シリカ｛沈殿法シリカ、ゲル法シリカ、熱分解法シリカ及び溶融固体法シリカ等｝及び火炎燃焼法アルミナが好ましく、さらに好ましくは非晶質合成シリカ、特に好ましくは沈殿法シリカ、ゲル法シリカ及び熱分解法シリカ、最も好ましくは沈殿法シリカである。

親水性無機微粒子（Ｃ１）は、単一粒子（一次粒子を意味する。）であってもよく、複数の単一粒子からなる凝集体であってもよい。

親水性無機微粒子（Ｃ１）の体積平均粒子径（μｍ）は、０．１〜２００が好ましく、さらに好ましくは０．５〜１００、特に好ましくは１〜２０である。この範囲であると、気体の巻き込み性がさらに優れ、作動液としてさらに高い品質を維持できる。

親水性無機微粒子（Ｃ１）の体積平均粒子径は、ＪＩＳ Ｚ８８２５−１：２００１に準拠したレーザー回折式粒度分析計｛たとえば、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社製Ｍｉｃｒｏｔｒａｃシリーズ、株式会社堀場製作所製ＰａｒｔｉｃａＬＡシリーズ｝を用い、電気伝導度（２５℃）０．１ｍＳ／ｍ以下の脱イオン水１０００重量部に、測定試料の濃度が０．１重量％となるように測定試料を添加して測定分散液を調製して、測定温度２５±５℃で測定した後、水の屈折率として１．３３３を、測定試料の屈折率として文献値（「Ａ ＧＵＩＤＥ ＦＯＲ ＥＮＴＥＲＩＮＧ ＭＩＣＲＯＴＲＡＣ ”ＲＵＮ ＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮ”（Ｆ３）ＤＡＴＡ」、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社作成）を用いて、５０％積算体積平均粒子径として求められる。

親水性無機微粒子（Ｃ１）が凝集体である場合、凝集体を構成する粒子（一次粒子）の個数平均粒子径（ｎｍ）は、１〜８０が好ましく、さらに好ましくは５〜３０、特に好ましくは１０〜２５である。この範囲であると、気体の巻き込み性にさら優れ、作動液としてさらに高い品質を維持できる。

なお、一次粒子径は、ＪＩＳ Ｚ８９０１−２００６「試験用粉体及び試験用粒子」５．４４粒子経分布（ｃ）顕微鏡法に準拠し、振掛け法によって準備した試料を透過型電子顕微鏡で５万〜１００万倍に拡大して観察して得た画像をＪＩＳ Ｚ８８２７−１「粒子径−画像解析法−第１部：静的画像解析法」に準拠して画像処理用コンピュータソフト｛例えば、三谷商事株式会社製ＷｉｎＲｏｏｆ等｝を用いて算出される円相当径の個数平均値である。

親水性無機微粒子（Ｃ１）のＢＥＴ法による比表面積（ｍ^２／ｇ）は、５０〜８００が好ましく、さらに好ましくは１００〜５００、特に好ましくは１２０〜３００である。この範囲であると、気体の巻き込み性にさらに優れ、作動液としてさらに高い品質を維持できる。

なお、比表面積は、ＪＩＳ Ｒ１６２６−１９９６（一点法）に準拠して測定される値である｛測定試料：５０ｍｇ（２００℃で１５分間加熱処理したサンプル）、吸着量の測定方法：定溶法、吸着質：混合ガス（Ｎ_２７０体積％、Ｈｅ３０体積％）、測定平衡相対圧：０．３、装置：たとえば、大倉理研社製、全自動粉体表面測定装置 ＡＭＳ−８０００｝。

シリカ及び／又はアルミナで構成される親水性無機微粒子（Ｃ１）は、市場から容易に入手できる。以下に、市場から入手できる商品の名を例示する。
＜沈殿法シリカ＞
Ｎｉｐｓｉｌシリーズ｛東ソー・シリカ株式会社、「Ｎｉｐｓｉｌ」は東ソー・シリカ株式会社の登録商標である。｝、Ｓｉｐｅｒｎａｔシリーズ｛エボニック デグサ ジャパン株式会社、「Ｓｉｐｅｒｎａｔ」はエボニック デグサ ゲーエムベーハーの登録商標である。｝、Ｃａｒｐｌｅｘシリーズ｛ＤＳＬ．ジャパン株式会社、「Ｃａｒｐｌｅｘ」はＤＳＬ．ジャパン株式会社の登録商標である。｝、ＦＩＮＥＳＩＬシリーズ｛株式会社トクヤマ、「ＦＩＮＥＳＩＬ」は株式会社トクヤマの登録商標である。｝、ＴＯＫＵＳＩＬ｛株式会社トクヤマ、「ＴＯＫＵＳＩＬ」は株式会社トクヤマの登録商標である。｝、Ｚｅｏｓｉｌ｛ローディア社、「Ｚｅｏｓｉｌ」はロディア シミ の登録商標である。｝、ＭＩＺＵＫＡＳＩＬシリーズ｛水澤化学工業株式会社、「ＭＩＺＵＫＡＳＩＬ」は水沢化学工業株式会社の登録商標である。｝等。

＜ゲル法シリカ＞
Ｃａｒｐｌｅｘシリーズ、ＳＹＬＹＳＩＡシリーズ｛富士シリシア株式会社、「ＳＹＬＹＳＩＡ」は有限会社ワイ・ケイ・エフ の登録商標である。｝、Ｎｉｐｇｅｌシリーズ｛東ソー・シリカ株式会社、「Ｎｉｐｇｅｌ」は東ソー・シリカ株式会社の登録商標である。｝、ＭＩＺＵＫＡＳＩＬシリーズ｛水澤化学工業株式会社、「ＭＩＺＵＫＡＳＩＬ」は水沢化学工業株式会社の登録商標である。｝等。

＜熱分解法シリカ＞
Ａｅｒｏｓｉｌシリーズ｛日本アエロジル株式会社及びエボニック デグサ社、「Ａｅｒｏｓｉｌ」はエボニック デグサ ゲーエムベーハーの登録商標である。｝、Ｒｅｏｌｏｓｉｌシリーズ｛株式会社トクヤマ、「Ｒｅｏｒｏｓｉｌ」は株式会社トクヤマの登録商標である。｝、Ｃａｂ−Ｏ−Ｓｉｌシリーズ｛キャボット社、「Ｃａｂ−Ｏ−Ｓｉｌ」はキャボットコーポレーションの登録商標である。｝等。

＜溶融法シリカ＞
Ａｄｍａｆｉｎｅシリーズ｛アドマテックス社、「Ａｄｍａｆｉｎｅ」はトヨタ自動車株式会社の登録商標である。｝、Ｆｕｓｅｌｅｘシリーズ｛株式会社龍森｝、デンカ溶融シリカシリーズ｛電気化学工業株式会社｝等。

＜結晶合成シリカ＞
ＣＲＹＳＴＡＬＩＴＥシリーズ｛株式会社龍森、「ＣＲＹＳＴＡＬＩＴＥ」は株式会社龍森の登録商標である。｝、Ｉｍｓｉｌシリーズ｛ＵＮＩＭＩＮ社、「Ｉｍｓｉｌ」はユニミン スペシャルティ ミネラルズ インコーポレーテッドの登録商標である。 ｝等。

＜天然シリカ＞
ミズカエースシリーズ｛水沢化学工業株式会社｝等。

＜火炎燃焼法アルミナ＞
Ａｅｒｏｓｉｌ Ａｌシリーズ｛日本アエロジル株式会社及びエボニック デグサ社、「Ａｅｒｏｓｉｌ」はエボニック デグサ ゲーエムベーハーの登録商標である。｝、ＳｐｅｃｔｒＡｌシリーズ｛キャボット社｝等。

＜焼成法アルミナ＞
高純度アルミナＡＫＰシリーズ｛住友化学株式会社｝、アルミナＡシリーズ｛日本軽金属株式会社｝等。

親水性無機微粒子（Ｃ１）としては、シリカ及び／又はアルミナで構成される親水性無機微粒子以外に、公知の親水性の無機微粒子が使用でき、たとえば、シリカ及びアルミナ以外の金属酸化物微粒子（チタニア又はジルコニアからなる微粒子等）、金属水酸化物微粒子（水酸化マグネシウム又は水酸化カルシウムからなる微粒子等）、炭酸塩微粒子（炭酸カルシウム又は炭酸マグネシウムからなる微粒子等）、層状鉱物微粒子｛カオリナイト、ハロイサイト、タルク、スメクタイト（モンモリロナイト、バイデライト、ヘクトライト及びサボナイト等）、バーミキュライト、マイカ（雲母）、クロライト、ハイドロタルサイト及び層状ポリケイ酸塩（カネマイト、マカタイト、アイアライト、マガディアイト及びケニヤアイトからなる微粒子等｝等も用いることができる。

親水性無機微粒子（Ｃ１）を表面改質するのに用いる親油性化合物（Ｃ２）としては、ハロシラン、アルコキシシラン、炭素数４〜２４の脂肪酸、炭素数４〜３６の脂肪族アルコール、炭素数１２〜２２の脂肪族アミン、炭素数２４〜３８の脂肪酸アミド、シリコーン化合物及び疎水性微粒子が含まれる。

ハロシランとしては、アルキル基又はアリール基の炭素数が１〜１２のアルキルハロシラン及びアリールハロシランが含まれ、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、トリメチルブロモシラン、エチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、ジフェニルジクロロシラン及びｔ−ブチルジメチルクロロシラン等が挙げられる。

アルコキシシランとしては、アルキル基又はアリール基の炭素数が１〜１２、アルコキシ基の炭素数が１〜２のアルコキシシランが含まれ、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ｏ−メチルフェニルトリメトキシシラン、ｐ−メチルフェニルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｉ−ブチルトリメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクチルトリメトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、ドデシルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ｉ−ブチルトリエトキシシラン、デシルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン及びγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。

炭素数４〜２４の脂肪酸としては、ブタン酸、ヘキサン酸、ラウリン酸、ステアリン酸、オレイン酸及びベヘン酸等が挙げられる。

炭素数４〜３６の脂肪族アルコールとしては、ｎ−ブチルアルコール、ｎ−アミルアルコール、ｎ−オクタノール、ラウリルアルコール、ステアリルアルコール及びベヘニルアルコール等が挙げられる。

炭素数１２〜２２の脂肪族アミンとしては、ドデシルアミン、ステアリルアミン及びオレイルアミン等が挙げられる。

炭素数２４〜３８の脂肪酸アミドとしては、オレイン酸ラウリルモノアミド、Ｎ，Ｎ’−エチレンビスステアリルアミド等が挙げられる。

シリコーン化合物としては、ポリジメチルシロキサン、アルキル基変性ポリジメチルシロキサン（変性アルキル基の炭素数２〜６）、アルコキシ基変性ポリジメチルシロキサン（変性アルコキシ基の炭素数２〜４）、水酸基変性ポリジメチルシロキサン、アミノ基変性ポリジメチルシロキサン、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、ハイドロジェンポリジメチルシロキサン、フェニル基変性ポリジメチルシロキサン、シリコーンレジン及びハロゲン変性ポリジメチルシロキサン等が挙げられる。

ポリジメチルシロキサン、アルキル基変性ポリジメチルシロキサン、アルコキシル基変性ポリジメチルシロキサン、フェニル基変性ポリジメチルシロキサン及びハロゲン変性ポリジメチルシロキサンとしては、２５℃での粘度が１〜１００００ｍｍ^２／ｓのもの等が使用できる。

ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンとしては、２５℃での粘度が１〜１００００ｍｍ^２／ｓであり、ＨＬＢが２〜５のもの等が使用できる。

ＨＬＢとは、分子中の親水基と疎水基とのバランスを表す概念であり、その値は「界面活性剤の性質と応用」（著者 刈米孝夫、発行所 株式会社幸書房、昭和５５年９月１日発行）の第８９頁〜第９０頁に記載された「乳化試験によるＨＬＢの測定法」により算出できる。例えば、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンは以下の試験方法により算出できる。

＜ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンの乳化試験によるＨＬＢの測定法＞
ＨＬＢが未知のポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸとＨＬＢが既知の乳化剤Ａを異なった比率で混合し、ＨＬＢが既知の油剤の乳化を行う。乳化層の厚みが最大となったときの混合比率から下記式を用いてポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸのＨＬＢを算出する。

油剤のＨＬＢ＝｛（Ｗ_Ａ×ＨＬＢ_Ａ）＋（Ｗ_Ｘ×ＨＬＢ_Ｘ）｝÷（Ｗ_Ａ＋Ｗ_Ｘ）

Ｗ_Ａはポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸと乳化剤Ａの合計重量に基づく乳化剤Ａの重量分率、Ｗ_Ｘはポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸと乳化剤Ａの合計重量に基づくポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸの重量分率、ＨＬＢ_Ａは乳化剤ＡのＨＬＢ、ＨＬＢ_Ｘはポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンＸのＨＬＢである。

水酸基変性ポリジメチルシロキサン、アミノ基変性ポリジメチルシロキサン及びハイドロジェンポリジメチルシロキサンとしては、２５℃での粘度が１〜１００００ｍｍ^２／ｓであり、官能基当量が３００〜８０００ｇ／ｍｏｌのもの等が使用できる。

シリコーンレジンとしては、２官能シロキサンや３官能シロキサンを構成単位としてなる架橋シロキサンが含まれ、シリコーンレジン、メチルシリコーンレジン、メチルビニルシリコーンレジン、メチルフェニルシリコーンレジン及びメチルフェニルビニルシリコーンレジン等が挙げられる。これらのうち、好ましくは８０℃での溶融粘度が１〜５０００Ｐａ・ｓのシリコーンレジン及びメチルシリコーンレジンである。

疎水性微粒子としては、公知の疎水性微粒子が含まれ、カーボンブラック、疎水性有機微粒子（アマイドワックス、ポリエチレン、ポリプロピレン、変性ポリエチレン、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチルエステル、架橋シリコーン樹脂又はフッ素樹脂からなる微粒子等）、親水性微粒子を疎水化した微粒子（親水性微粒子を親油性化合物又は疎水性微粒子で表面改質をした微粒子）等が挙げられる。

親水性無機微粒子（Ｃ１）を表面改質するのに用いる親油性化合物（Ｃ２）として、以上の他に、公知のカップリング剤（上記以外のシランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びジルコアルミネートカップリング剤等）等も使用できる。

これらの親油性化合物（Ｃ２）のうち、気体の巻き込み性及び作動液としての品質の観点から、ハロシラン、アルコキシシラン及びシリコーン化合物が好ましく、さらに好ましくはシリコーン化合物、特に好ましくは動粘度１０〜３０００（ｍｍ^２／ｓ、２５℃）のジメチルシロキサン、このジメチルシロキサンを変性したアルキル基変性ポリジメチルシロキサン、ハイドロジェンポリジメチルシロキサン及びメチルシリコーンレジンである。

親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）で表面改質した場合、無機微粒子（Ａ）のＢＥＴ法による比表面積（ｍ^２／ｇ）は、親水性無機微粒子（Ｃ１）と同様であり、好ましい範囲も同じである。

親水性無機微粒子（Ｃ１）の親油性化合物（Ｃ２）による表面改質は、公知の方法が適用でき、たとえば、以下の＜方法１−１＞及び＜方法１−２＞に記載の方法等により行うことができる。

＜方法１−１＞
親水性無機微粒子（Ｃ１）と、溶媒（動粘度５〜３０ｍｍ^２／ｓ（４０℃）のパラフィンオイル、鉱物油又は有機溶剤等）に分散した親油性化合物（Ｃ２）とを攪拌機で攪拌しながら、親油性化合物（Ｃ２）を親水性無機微粒子（Ｃ１）に物理吸着又は化学反応させて表面改質する方法（湿式法）。

＜方法１−２＞
親水性無機微粒子（Ｃ１）と親油性化合物（Ｃ２）との混合物を撹拌機で攪拌しながら、親油性化合物（Ｃ２）を親水性無機微粒子（Ｃ１）に物理吸着又は化学反応させて表面改質する方法（乾式法）。

これらの方法のうち、気体の巻き込み性及び作動液としての品質の観点から、＜方法１−２＞の乾式法が好ましい。

湿式法において用いる撹拌機としては、櫂型羽根付き撹拌機、プラネタリミキサー等が使用できる。乾式法において用いる撹拌機としては、垂直単軸型粉体撹拌機｛ヘンシェルミキサ（三井鉱山株式会社製、「ヘンシエルミキサ」は三井鉱山株式会社の登録商標。）等｝、水平単軸型撹拌機（リボンミキサー等）、垂直単複軸撹拌機（万能ミキサー、らいかい機等）等が使用できる。

親油性化合物（Ｃ２）を親水性無機微粒子（Ｃ１）に物理吸着又は化学反応させる方法において、（１）親水性無機微粒子（Ｃ１）の表面にある官能基と親油性化合物（Ｃ２）の持つ官能基との縮合反応、（２）親水性無機微粒子（Ｃ１）のもつ細孔への物理吸着、及び（３）親水性無機微粒子（Ｃ１）の表面電荷と親油性化合物（Ｃ２）のイオン性官能基との電気的な吸着を利用することができる。
これらのうち、均一に表面改質できることから、（２）親水性無機微粒子（Ｃ１）のもつ細孔への物理吸着による方法が好ましい。

親油性化合物（Ｃ２）を物理吸着又は化学反応させるとき、加熱処理することができる。加熱処理する場合、加熱温度（℃）としては、８０〜４００が好ましく、さらに好ましくは１５０〜３５０、特に好ましくは２００〜３００である。

親油性化合物（Ｃ２）として疎水性有機微粒子を用いる場合、より強く吸着させる目的で疎水性有機微粒子の融点以上の温度に加熱しながら撹拌機で撹拌した後、融点以下に冷却してもよい。

親油性化合物（Ｃ２）を親水性無機微粒子（Ｃ１）に反応させる方法において、反応触媒（硫酸、硝酸、塩酸、ヒドロキシ酢酸、トリフルオロ酢酸、ｐ−ニトロ安息香酸、水酸化カリウム、水酸化リチウム等）の存在下で行うことができる。

親油性化合物（Ｃ２）を用いて表面改質する場合、親油性化合物（Ｃ２）の使用量（重量％）としては、親水性無機微粒子（Ｃ１）の重量に基づいて、２〜８０が好ましく、さらに好ましくは５〜７０、特に好ましくは１０〜５０である。この範囲にあると、気体の巻き込み性がさらに優れ、作動液としての品質がさらに良好となる。

無機微粒子（Ａ）のうち、沈殿法シリカ、熱分解法シリカ及び火炎燃焼法アルミナを表面改質した無機微粒子（Ａ）は市場からも容易に入手できる。以下に商品の名を例示する。

＜沈殿法シリカを表面改質した無機微粒子＞
Ｎｉｐｓｉｌ ＳＳシリーズ、Ｓｉｐｅｒｎａｔ Ｄ及びＣシリーズ、並びにＳＹＬＯＰＨＯＢＩＣシリーズ｛富士シリシア化学株式会社、「ＳＹＬＯＰＨＯＢＩＣ」は富士シリシア化学株式会社の登録商標である。｝等。

＜熱分解法シリカを表面改質した無機微粒子＞
Ａｅｒｏｓｉｌ Ｃシリーズ｛日本アエロジル株式会社及びエボニック デグサ社｝、Ｒｅｏｌｏｓｉｌ ＭＴ及びＤＭシリーズ｛株式会社トクヤマ｝等。

＜火炎燃焼法アルミナを表面改質した無機微粒子＞
Ａｅｒｏｓｉｌ Ｃ８０５｛日本アエロジル株式会社及びエボニック デグサ社｝、ＳｐｅｃｔｒＡｌ ＴＡシリーズ及びＴＧシリーズ｛キャボット社｝等。

無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）は、３０〜９０が好ましく、さらに好ましくは３５〜８５、特に好ましくは４０〜８０、最も好ましくは４５〜７５である。

メタノール湿潤性（Ｍ値）は、疎水性の程度を表す概念であり、Ｍ値が高いほど親水性が低いことを示し、水・メタノール混合溶液に測定試料｛無機微粒子（Ａ）｝を均一分散させる際、必要最低量のメタノールの容量割合で表され、次の方法で求めることができる。

＜メタノール湿潤性（Ｍ値）算出法＞
測定試料｛無機微粒子（Ａ）｝０．２ｇを容量２５０ｍＬのビーカー中の５０ｍＬの水に添加し、続いてメタノールをビュレットから測定試料｛無機微粒子（Ａ）｝の全量が均一懸濁するまで滴下する。この際ビーカー内の液体をマグネティックスターラーで常時攪拌し、測定試料｛無機微粒子（Ａ）｝の全量が液体中に均一懸濁された時点を終点とし、終点におけるビーカー内の液体のメタノールの容量百分率をメタノール湿潤性（Ｍ値）とする。

無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径（μｍ）は、親水性無機微粒子（Ｃ１）の体積平均粒子径と同様であり、好ましい範囲も同じである。

なお、無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）が５０未満の場合、無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径は、ＪＩＳ Ｚ８８２５−１：２００１に準拠したレーザー回折式粒度分析計｛例えば、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社製Ｍｉｃｒｏｔｒａｃシリーズ、株式会社堀場製作所製ＰａｒｔｉｃａＬＡシリーズ等｝を用い、２−プロパノール｛純度９９重量％以上｝１０００重量部に、測定試料濃度０．１重量％となるように測定試料を添加して測定分散液を調製して、測定温度２５±５℃で測定した後、２−プロパノールの屈折率として１．３７４９を、測定試料の屈折率として文献値（「Ａ ＧＵＩＤＥ ＦＯＲ ＥＮＴＥＲＩＮＧ ＭＩＣＲＯＴＲＡＣ ”ＲＵＮ ＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮ”（Ｆ３）ＤＡＴＡ」、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社作成）を用いて、５０％積算体積平均粒子径として求められる。

無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）が５０以上の場合、無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径は、ＪＩＳ Ｚ８８２５−１：２００１に準拠したレーザー回折式粒度分析計｛例えば、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社製Ｍｉｃｒｏｔｒａｃシリーズ、株式会社堀場製作所製ＰａｒｔｉｃａＬＡシリーズ等｝を用い、ｎ−ヘキサン｛純度９６重量％以上｝１０００重量部に、測定試料濃度０．１重量％となるように測定試料を添加して測定分散液を調製して、測定温度２５±５℃で測定した後、ｎ−ヘキサンの屈折率として１．３７４９を、測定試料の屈折率として文献値（「Ａ ＧＵＩＤＥ ＦＯＲ ＥＮＴＥＲＩＮＧ ＭＩＣＲＯＴＲＡＣ ”ＲＵＮ ＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮ”（Ｆ３）ＤＡＴＡ」、Ｌｅｅｄｓ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ社作成）を用いて、５０％積算体積平均粒子径として求められる。

無機微粒子（Ａ）の含有量（重量％）は、無機微粒子（Ａ）、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の合計重量に基づいて、０．００１〜３０が好ましく、さらに好ましくは０．０１〜２０、特に好ましくは０．１〜１０である。この範囲であると、気体の巻き込み性がさらに優れ、作動液としてさらに高い品質を維持できる。

親水性溶媒（Ｂ１）としては、水系作動液や水系金属加工液用として使用される水系溶媒等が使用でき、水、多価アルコール及びポリエーテルが含まれる。

多価アルコールとしては、炭素数２〜６４の多価アルコールが含まれ、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン及びペンタエリスリトール等が挙げられる。
ポリエーテルとしては、ポリオキシアルキレン化合物が含まれ、ポリオキシエチレングリコール、数平均分子量が１００〜６００のポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール（オキシプロピレン基の含有量１〜８０重量％）、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールアルキルエーテル（オキシプロピレン基の含有量１〜８０重量％、アルキル基の炭素数１〜１２）等が挙げられる。これらの親水性溶媒（Ｂ１）はそれぞれ単独で用いてもよく、混合物で用いてもよい。

親油性溶媒（Ｂ２）としては、油圧作動油や金属加工油として使用される基油等が使用でき、鉱油、合成油及びこれらの混合物が含まれる。
鉱油としては、パラフィン鉱油、ナフテン鉱油及びこれらを精製した精製鉱油等が挙げられる。
合成油としては、ポリ−α−オレフィン、エチレン−α−オレフィン共重合体、ポリブテン、アルキルベンゼン、アルキルナフタレン、ポリアルキレングリコール、ポリフェニルエーテル、アルキル置換ジフェニルエーテル、ポリオールエステル、芳香族エステル、ペンタエリスリトール骨格を持つヒンダードエステル、二塩基酸エステル、炭酸エステル、シリコーン油、フッ素化油、ＧＴＬ（GAS TO LIQUID油）等が挙げられる。これらの親油性溶媒（Ｂ２）はそれぞれ単独で用いてもよく、混合物で用いてもよい。

本発明の作動液は、親水性溶媒（Ｂ１）と親油性溶媒（Ｂ２）とを混合して使用してもよい。これらを混合する際、乳化剤を添加して乳化物としてもよい（Ｗ／Ｏ型又はＯ／Ｗ型エマルションのいずれでもよい。）。

親水性溶媒（Ｂ１）と親油性溶媒（Ｂ２）とを混合して使用する場合（乳化物とする場合を含まない。）、親水性溶媒（Ｂ１）の含有量（重量％）は、親油性溶媒（Ｂ２）の含有量に比較して大幅に多い量か、又は大幅に少ない量であることが好ましく、すなわち、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の重量に基づいて、９０〜９９．９又は０．１〜１０が好ましく、さらに好ましくは９５〜９９又は１〜５である。また、親油性溶媒（Ｂ２）の含有量（重量％）は、親水性溶媒（Ｂ１）の含有量に比較して大幅に多い量か、又は大幅に少ない量であることが好ましく、すなわち、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の重量に基づいて、０．１〜１０又は９０〜９９．９が好ましく、さらに好ましくは１〜５又は９５〜９９である。

親水性溶媒（Ｂ１）と親油性溶媒（Ｂ２）とを混合して使用する際に添加する乳化剤としては、アニオン型界面活性剤、カチオン型界面活性剤、両性界面活性剤及びノニオン型界面活性剤のいずれでもよいが、アニオン型界面活性剤及びノニオン型界面活性剤が好ましい。

乳化物とする場合、親水性溶媒（Ｂ１）の含有量（重量％）は、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の重量に基づいて１〜９９が好ましく、さらに好ましくは２１〜７９である。また、親油性溶媒（Ｂ２）の含有量（重量％）は、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の重量に基づいて１〜９９が好ましく、さらに好ましくは２１〜７９である。

乳化剤を使用する場合、乳化剤の含有量（重量％）は、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の合計重量に基づいて、０．１〜２０が好ましく、さらに好ましくは０．２〜１５、特に好ましくは０．５〜１０である。

親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の含有量（重量％）は、無機微粒子（Ａ）、親水性溶媒（Ｂ１）及び親油性溶媒（Ｂ２）の合計重量に基づいて、７０〜９９．９９９が好ましく、さらに好ましくは８０〜９９．９９、特に好ましくは９０〜９９．９である。この範囲であると、気体の巻き込み性がさらに優れ、作動液としてさらに高い品質を維持できる。

本発明の作動液には、作動液用添加剤｛摩耗防止剤、摩擦調整剤、金属清浄剤、無灰分散剤、酸化防止剤、摩擦低減剤、粘度指数向上剤、流動点降下剤、防錆剤、腐食防止剤、耐荷重添加剤、消泡剤、金属不活性化剤、乳化剤、抗乳化剤及び／又はかび防止剤等｝等を本発明の効果が損なわれない範囲で添加されていてもよい。

本発明の作動液の製造方法は、無機微粒子（Ａ）が分散媒｛親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）｝に均一に分散されていれば特に制限はなく、無機微粒子（Ａ）を以下の＜分散方法１＞〜＜分散方法３＞によって均一分散する方法等が適用できる。

＜分散方法１＞
分散容器に無機微粒子（Ａ）と親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）とを同時に入れて均一分散する方法。
＜分散方法２＞
あらかじめ無機微粒子（Ａ）の入った分散容器に、親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）を加えて均一分散を行う方法。
＜分散方法３＞
あらかじめ親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）の入った分散容器に、無機微粒子（Ａ）を加えて均一分散するする方法。

これらのうち、分散性の観点から、＜分散方法１＞及び＜分散方法３＞が好ましく、さらに好ましくは＜分散方法３＞である。

無機微粒子（Ａ）が、＜方法１−１＞（湿式法）を適用して、親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）によって表面改質され、使用した溶媒（動粘度５〜３０ｍｍ^２／ｓ（４０℃）のパラフィンオイル、鉱物油又は有機溶剤等）と作動液の分散媒｛親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）｝とが相違する場合、使用した溶媒を除去してから使用してもよいし、そのまま使用してもよいし、分散してから溶媒を留去してもよい。

表面改質に使用した溶媒の除去は、通常の方法｛留去、デカンテーション、ろ過（洗浄を含む）等｝が適用できる。

無機微粒子（Ａ）の分散には、公知の分散機（羽型撹拌機、高速回転型ホモミキサー、高圧ホモジナイザー、ディゾルバー、ボールミル、ニーダー、サンドミル、三本ロール、超音波分散機、遊星型混分散機（プラネタリミキサー等）及び３軸遊星型ミキサー等）等が使用できる。
これらの分散機のうち、気体の巻き込み性、作動液としての品質及び分散性の観点から、羽型撹拌機、高速回転型ホモミキサー、高圧ホモジナイザー及びディゾルバーが好ましく、さらに好ましくは高速回転型ホモミキサー、高圧ホモジナイザー及びディゾルバー、特に好ましくは高速回転型ホモミキサーである。

分散温度は特に制限ないが、０〜５０℃が好ましく、さらに好ましくは１０〜４５℃、特に好ましくは１５〜３５℃である。また、分散時間は均一分散できれば制限ないが、５分〜１０時間が好ましく、さらに好ましくは１０分〜５時間、特に好ましくは１５分〜３時間である。この範囲であると、気体の巻き込み性がさらに優れ、作動液としての品質がさらに良好となる。

本発明の作動液の製造方法において親水性無機微粒子（Ｃ１）の凝集体の体積平均粒子径が２００μｍを超える場合、無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径が上記の好ましい範囲になるように、上記の分散工程において、凝集体の体積平均粒子径が２００μｍを超える親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）で表面改質した無機微粒子（この無機微粒子は体積平均粒子径は２００μｍを越えている。）を分散した後、さらに破砕機等でこの無機微粒子を破砕して好ましい粒子径範囲の無機微粒子（Ａ）とすることもできる（破砕工程）。また、無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径が上記の好ましい範囲内であっても、破砕機等で破砕して無機微粒子（Ａ）をさらに小さな微粒子としてもよい（破砕工程）。

破砕機としては、公知の破砕機等が使用でき、湿式媒体型粉砕機｛ビーズミル、サンドグラインダー、コロイドミル、アトライタ（日本コークス工業株式会社製、「アトライタ」は日本コークス工業株式会社の登録商標である。）、ＤＩＳＰＥＲＭＡＴ（ＶＭＡ−ＧＥＴＡＭＡＮＮ ＧＭＢＨ社製）等｝、湿式ジェットミル｛ナノマイザー（吉田機械株式会社製、「ナノマイザー」はエス・ジーエンジニアリング株式会社の登録商標である。）、スターバースト（株式会社スギノマシン製、「スターバースト」は株式会社スギノマシンの登録商標である。）、ゴーリンホモジナイザー（ＡＰＶ社製）等｝等が使用できる。

本発明の作動液の製造方法において、分散工程や破砕工程後に、粒子の分級して一定範囲の無機微粒子を含むように調整してもよい（分級工程）。
分級方法として、湿式分級及び乾式分級のいずれも適用できる。

作動液用添加剤を添加する場合、親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）である分散媒に無機微粒子（Ａ）を分散させる前であってもよいし、分散させた後であってもよく、破砕や分級した後でもよい。これらのうち、均一混合の観点から、分散前に添加するのが好ましい。

本発明の作動液は、作動液として使用できる用途であればいずれの用途にも適用でき、たとえば、各種機械｛工作機械、ダイカストマシン、トランスファーマシン、プレス機械、鋼圧機械、荷役運搬機械、土木建設機械、プラント制御装置、船舶、航空機又はロケット等｝に使用される油圧装置用の油圧作動油｛水系液圧作動液を含む。｝等に適用できる。また、切研削加工、塑性加工等に使用される金属加工油｛水系金属加工液を含む。｝としても使用できる。

以下、実施例により本発明を更に説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、特記しない限り、部は重量部を、％は重量％を意味する。

実施例及び比較例で使用した親水性無機微粒子（Ｃ１０１）〜（Ｃ１１５）の体積平均粒子径は以下の方法で測定した。
＜親水性無機微粒子の体積平均粒子径＞
測定試料｛親水性無機微粒子（Ｃ１）｝を１重量％の濃度となるようにイオン交換水｛電気伝導度（２５℃）０．１ｍＳ／ｍ、以下同様である。｝に超音波分散機（Ｈｉｅｌ−ｓｃｈｅｒ ＧｍｂＨ製、ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ ＰＲＯＣＥＳＳＯＲ ＭＯＤＥＬＵＰ４００Ｓ、以下同様である。）を用いて出力６０％にて１分間分散して分散液を調製した。次いで分散液中の測定試料｛親水性無機微粒子（Ｃ１）｝の体積平均粒子径をレーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置（株式会社堀場製作所製、Ｐａｒｔｉｃａ ＬＡ−９５０、以下同様である。）にて測定した。

実施例及び比較例で得た作動液に含まれる無機微粒子（Ａ１）〜（Ａ１６）の体積平均粒子径は以下の方法で測定した。
＜作動液中の無機微粒子の体積平均粒子径＞
無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）が５０未満の場合、無機微粒子（Ａ）の濃度が０．１重量％となるように２−プロパノールを作動液に添加し、希釈してから、超音波分散機を用いて出力６０％にて１分間分散して分散液を調製した。次いで分散液中の無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径をレーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置にて測定した。
一方、無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）が５０以上の場合、無機微粒子（Ａ）の濃度が０．１重量％となるようにｎ−ヘキサンを作動液に添加し、希釈してから、超音波分散機を用いて出力６０％にて１分間分散して分散液を調製した。次いで分散液中の無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径をレーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置にて測定した。

実施例及び比較例で得られた無機微粒子（Ａ１）〜（Ａ１６）のメタノール湿潤性（Ｍ値）は以下の方法で測定した。
＜Ｍ値の測定＞
測定試料｛無機微粒子（Ａ１）〜（Ａ１６）｝０．２ｇを容量２５０ｍＬのビーカー中の５０ｍＬのイオン交換水に添加した。続いてビーカー内の液体をマグネティックスターラーで常時攪拌しながらメタノール（関東化学株式会社、試薬特級、以下同様である。）をビュレットからビーカーに壁を伝わせながら徐々に滴下した。測定試料｛無機微粒子｝の全量がイオン交換水に均一懸濁するまで、メタノールの滴下を続けた。測定試料｛無機微粒子｝の全量が均一懸濁された時点でのメタノールの滴下量（ｇ）を記録し、下記式からＭ値を算出した。

Ｍ値＝（メタノールの滴下量）÷｛（メタノールの滴下量）＋５０｝×１００

親水性無機微粒子の一次粒子径及びＢＥＴ比表面積は、各商品のカタログに記載された値である。

＜実施例１＞
親水性無機微粒子（Ｃ１０１）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＣＸ−２００（一次粒子径 ４ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １．７μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ７５０ｍ^２／ｇ｝１００部をヒーター付きヘンシェルミキサー（株式会社三井三池製作所製、以下同様。）に入れ、低速撹拌（７５０ｒｐｍ）しながら、常温（２５℃、以下同じである。）で、親油性化合物（Ｃ２０１）｛デシルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、商品名 ＫＢＭ−３１０３Ｃ）｝１０部を噴霧した。次いでヘンシェルミキサーを常温にて高速回転（２０００ｒｐｍ）を１５分間行い、均一混合した。次いでヒーターでヘンシェルミキサーを加熱し、８０℃にて３時間加熱処理を行って、無機微粒子（Ａ１）を得た。無機微粒子（Ａ１）のＭ値は４５であった。

無機微粒子（Ａ１）１０部と親油性溶媒（Ｂ２０１）｛鉱物油（コスモ石油ルブリカンツ社製、商品名 コスモＳＣ２２）｝９０部とをインペラー型羽根を装着したホモジナイザー（ハイフレックスディスパーサーＨＧ−９２Ｇ タイテック（株）製、以下同様）にて４０００ｒｐｍにて２５±３℃にて１５分間攪拌して、本発明の作動液（ｊ１）を得た。作動液（ｊ１）中の無機微粒子（Ａ１）の体積平均粒子径は１．７μｍであった。

＜実施例２＞
親水性無機微粒子（Ｃ１０２）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＶＮ３（一次粒子径１５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １８μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ２００ｍ^２／ｇ｝１００部と親油性化合物（Ｃ２０２）｛ポリジメチルシロキサン（信越化学工業社製、商品名 ＫＦ−９６−１０ＣＳ）｝５部とをヒーター付きヘンシェルミキサーに入れ、次いでヘンシェルミキサーを常温にて高速回転（２０００ｒｐｍ）を１５分間行い、均一混合した。次いで高速回転を続けたままヒーターでヘンシェルミキサーを加熱し、２３０℃にて１時間加熱処理を行って、無機微粒子（Ａ２）を得た。無機微粒子（Ａ２）のＭ値は４０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ２）１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１０２）｛ポリオキシエチレングリコール（三洋化成工業社製、商品名 ＰＥＧ−２００）｝９９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ２）を得た。作動液（ｊ２）中の無機微粒子（Ａ２）の体積平均粒子径は１８μｍであった。

＜実施例３＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０３）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＡＺ−２０４（一次粒子径１０ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １．３μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ３００ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０３）｛ポリジメチルシロキサン（信越化学工業社製、商品名 ＫＦ−９６−１００ＣＳ）｝７３部」に変更したこと、「２３０℃」を「３８０℃」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ３）を得た。無機微粒子（Ａ３）のＭ値は９０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ３）０．００１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１０３）｛ポリオキシプロピレングリコール（三洋化成工業社製、商品名 ニューポールＰＰ−４００）｝５部及び親油性化合物（Ｂ２０３）｛イソパラフィン（日油社製、パールリームＥＸ）｝９５部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ３）を得た。作動液（ｊ３）中の無機微粒子（Ａ３）の体積平均粒子径は１．３μｍであった。

＜実施例４＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０４）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＡＹ−２００（一次粒子径１０ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ２μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ３００ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０４）｛シリコーンリジン（東レダウコーニング社製、商品名 ＳＲ−２４００）｝５０部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ４）を得た。無機微粒子（Ａ４）のＭ値は８０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ４）０．５部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１０３）｛プロピレングリコール（昭和化学社製）｝９９．５部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ４）を得た。作動液（ｊ４）中の無機微粒子（Ａ４）の体積平均粒子径は２μｍであった。

＜実施例５＞
親水性無機微粒子（Ｃ１０５）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＫＱ（一次粒子径 １４ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １００μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ２２０ｍ^２／ｇ｝１００部と親油性化合物（Ｃ２０５）｛変性アマイドワックス（ビッグケミージャパン社製、商品名 ＣＥＲＡＦＬＯＵＲ９６０、体積平均粒子径 ４μｍ）｝２５部とをヒーター付きヘンシェルミキサーに入れ、次いでヘンシェルミキサーを常温にて高速回転（２０００ｒｐｍ）を６０分間行い、均一混合した。次いで高速回転を続けたままヒーターでヘンシェルミキサーを加熱し、１５０℃にて１時間加熱乾燥処理を行って、高速撹拌下で２時間かけて常温まで冷却して、無機微粒子（Ａ５）を得た。無機微粒子（Ａ５）のＭ値は５０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ５）４部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親油性溶媒（Ｂ２０５）｛アジピン酸ジトリデシル（田岡化学工業社製、商品名 ＤＴＤＡ）｝９６部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ５）を得た。作動液（ｊ５）中の無機微粒子（Ａ５）の体積平均粒子径は１００μｍであった。

＜実施例６＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０６）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＡＱ（一次粒子径１５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ２００μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ２００ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０４）１５部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ６）を得た。無機微粒子（Ａ６）のＭ値は５５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ６）０．３部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１０３）１部及び親油性溶媒（Ｂ２０３）９９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ６）を得た。作動液（ｊ６）中の無機微粒子（Ａ６）の体積平均粒子径は２００μｍであった。

＜実施例７＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０７）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ Ｅ−２２０（一次粒子径２５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １．６μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １２０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０２）２部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ７）を得た。無機微粒子（Ａ７）のＭ値は３０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ７）１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親油性溶媒（Ｂ２０７）｛ポリオキシプロピレングリコール（三洋化成工業社製、商品名 ニューポールＰＰ−４０００）｝９９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ７）を得た。作動液（ｊ７）中の無機微粒子（Ａ７）の体積平均粒子径は１．６μｍであった。

＜実施例８＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０８）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＮＡ（一次粒子径２５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ９μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １１０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０４）３０部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ８）を得た。無機微粒子（Ａ８）のＭ値は７０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ８）２部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親油性溶媒（Ｂ２０１）９８部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、作動液（ｊ８）中の無機微粒子（Ａ８）の体積平均粒子径は９μｍであった。

＜実施例９＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１０９）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ Ｅ−１７０（一次粒子径２８ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ３μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １１０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０４）５部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ９）を得た。無機微粒子（Ａ９）のＭ値は４０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ９）５部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１０４）｛プロピレングリコール｝９５部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ９）を得た。作動液（ｊ９）中の無機微粒子（Ａ９）の体積平均粒子径は３μｍであった。

＜実施例１０＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１０）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ ＥＲ（一次粒子径３０ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １１μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １００ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２１０）｛ポリジメチルシロキサン（信越化学工業社製、商品名 ＫＦ−９６−３０００ＣＳ）｝７０部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１０）を得た。無機微粒子（Ａ１０）のＭ値は９０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１０）０．１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親油性溶媒（Ｂ２１０）｛脂肪酸エステル系合成油（ＪＸ日鉱日石エネルギー社製、商品名 ハイランドＳＳ）｝９９．９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１０）を得た。作動液（ｊ１０）中の無機微粒子（Ａ１０）の体積平均粒子径は１１μｍであった。

＜実施例１１＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０５）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１１）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ Ｅ−７４３（一次粒子径６０ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 １．５μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ５０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０５）２５部」を「親油性化合物（Ｃ２１１）｛変性ポリエチレンワックス（ビックケミージャパン株式会社製、商品名 ＣＥＲＡＦＬＯＵＲ９６１、体積平均粒子径５μｍ）｝１８部」に変更したこと以外、実施例５と同様にして、無機微粒子（Ａ１１）を得た。無機微粒子（Ａ１１）のＭ値は４５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１１）２部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１１１）｛ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル（三洋化成工業社製、商品名 ニューポール ５０ＨＢ−１００）｝９８部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１１）を得た。作動液（ｊ１１）中の無機微粒子（Ａ１１）の体積平均粒子径は１．５μｍであった。

＜実施例１２＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１２）｛沈降法シリカＮｉｐｓｉｌ Ｅ−７５（一次粒子径７５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ２．３μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ４０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）１５部」を「親油性化合物（Ｃ２１１）４５部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１２）を得た。無機微粒子（Ａ１２）のＭ値は７５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１２）０．５部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１１２）｛エチレングリコール（昭和化学社製）｝９９部及び親油性溶媒（Ｂ２１２｛ポリ−α−オレフィン（エクソンモービルケミカル社製、商品名 ＳｐｅｃｔｒａＳｙｎウルトラＴＭ４）｝）１部」に変更しこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１２）を得た。作動液（ｊ１２）中の無機微粒子（Ａ１２）の体積平均粒子径は２．３μｍであった。

＜実施例１３＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１３）｛熱分解法シリカＡｅｒｏｓｉｌ ５０（一次粒子径３０ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ０．５２μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ５０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０３）１２部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１３）を得た。無機微粒子（Ａ１３）のＭ値は５５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１３）３部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１１３）｛水｝２１部、親油性溶媒（Ｂ２０１）７９部及び乳化剤（三洋化成工業社製、商品名 ナローアクティー ＣＬ−１００）１部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１３）を得た。作動液（ｊ１３）中の無機微粒子（Ａ１３）の体積平均粒子径は０．５２μｍであった。

＜実施例１４＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１４）｛ゲル法シリカＮｉｐｇｅｌ ＣＸ−２００（一次粒子径５ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ２．１μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 ７５０ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２０３）３０部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１４）を得た。無機微粒子（Ａ１４）のＭ値は６５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１４）１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１１４）｛エチレングリコール（Ｂ１１２）とプロピレングリコール（Ｂ１０４）の等量混合物｝９９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１４）を得た。作動液（ｊ１４）中の無機微粒子（Ａ１４）の体積平均粒子径は２．１μｍであった。

＜実施例１５＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１５）｛燃焼法アルミナＡｅｒｏｘｉｄｅ ＡｌｕＣ（一次粒子径１３ｎｍ、凝集体の体積平均粒子径 ０．１８μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １００ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２１５）｛アルコキシ変性ポリジメチルシロキサン（信越化学工業株式会社製、商品名 Ｘ−４０−９２２５）｝２５部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１５）を得た。無機微粒子（Ａ１５）のＭ値は６０であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１５）０．１部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親油性溶媒（Ｂ１１５）｛アルキルベンゼン（ＪＸ日鉱日石エネルギー社製、商品名 グレードアルケンＬ）｝９９．９部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１５）を得た。作動液（ｊ１５）中の無機微粒子（Ａ１５）の体積平均粒子径は０．１８μｍであった。

＜実施例１６＞
「親水性無機微粒子（Ｃ１０２）」を「親水性無機微粒子（Ｃ１１６）｛二酸化チタン ＪＲ−６００Ａ（テイカ社製、一次粒子径 ０．２５μｍ、凝集体の体積平均粒子径 ２．５μｍ、ＢＥＴ法による比表面積 １２ｍ^２／ｇ｝」に変更したこと、「親油性化合物（Ｃ２０２）５部」を「親油性化合物（Ｃ２１６）｛ポリジメチルシロキサン（信越化学工業社製、商品名 ＫＦ−９６−５０ＣＳ）｝１２部」に変更したこと以外、実施例２と同様にして、無機微粒子（Ａ１６）を得た。無機微粒子（Ａ１６）のＭ値は４５であった。

次いで、「無機微粒子（Ａ１）３部」を「無機微粒子（Ａ１６）０．３部」に変更したこと、「親油性溶媒（Ｂ２０１）９７部」を「親水性溶媒（Ｂ１１２）９５部及び親油性溶媒（Ｂ２１２）５部」に変更したこと以外、実施例１と同様に撹拌して、本発明の作動液（ｊ１６）を得た。作動液（ｊ１６）中の無機微粒子（Ａ１６）の体積平均粒子径は２．５μｍであった。

＜比較例１＞
親油性溶媒（Ｂ２０１）を比較用の作動液（ｈ１）とした。

＜比較例２＞
親水性溶媒（Ｂ１１２）を比較用の作動液（ｈ２）とした。

実施例１〜１６及び比較例１〜２で得た作動液（ｊ１）〜（ｊ１６）及び（ｈ１）〜（ｈ２）を用いて、以下のようにして気体の巻き込み性（１〜７）を評価し、評価結果を表１に示した。

＜気体の巻き込み性１＞
試験装置（図１）のガラス製透明容器（１０、高さ２５ｃｍ、直径８ｃｍ）に２５℃に温度調整した試験液｛作動液（実施例１〜１６及び比較例１〜４）｝５００ｍｌを入れた後、ポンプ（２０）でガラス製透明容器の底部（１２）から試験液を２０００ｍｌ／分で循環しながら、ガラス製透明容器の上部｛試験液出口（４０）の高さはガラス製容器の開口部（１１）から２ｃｍ｝から落下させることにより試験液に気体を巻き込ませ、３０分後の試験液の液面の高さ（ｍｍ）を目盛り（３０）から読み取った。試験液の液面の高さが小さいほど気体の巻き込み性が良好である（以下、同様である。）。

＜気体の巻き込み性２＞
「２５℃」を「−１０℃」に変更したこと以外、気体の巻き込み性１と同様にして、気体の巻き込み性を評価した。

＜気体の巻き込み性３＞
「２５℃」を「９０℃」に変更したこと以外、気体の巻き込み性１と同様にして、気体の巻き込み性を評価した。

＜気体の巻き込み性４＞
試験液｛作動液（実施例１〜１６及び比較例１〜２）｝５００ｍｌに硫酸１ｍｏｌ％水溶液を添加してｐＨを２に調整した後、この試験液を試験装置（図１）のガラス製透明容器（１０、高さ２５ｃｍ、直径８ｃｍ）に入れ、２５℃に温度調整してから、ポンプ（２０）でガラス製透明容器の底部（１２）から試験液を１０００ｍｌ／分で循環しながら、ガラス製透明容器の上部｛試験液出口（４０）の高さはガラス製容器の開口部（１１）から２ｃｍ｝から落下させることにより試験液に気体を巻き込ませ、３０分後の試験液の液面の高さ（ｍｍ）を目盛り（３０）から読み取った。

＜気体の巻き込み性５＞
「硫酸１ｍｏｌ％水溶液を添加してｐＨを２に調整」を「水酸化ナトリウム１ｍｏｌ％水溶液を添加してｐＨを１２に調整」に変更したこと以外、気体の巻き込み性４と同様にして、気体の巻き込み性を評価した。

＜気体の巻き込み性６＞
ガラス製オートクレーブ用容器（容量１Ｌ、以下同様）に２５℃に温度調整した試験液｛作動液（実施例１〜１６及び比較例１〜２）｝３００ｍＬを入れた後、真空ポンプで容器内を減圧（０．０１３ＭＰａ以下）にして、５００ｒｐｍで撹拌することにより試験液に気体を巻き込ませ、１５分後に撹拌を停止し、試験液の液面の高さ（ｍｍ）を定規にて測定した。

＜気体の巻き込み性７＞
ガラス製オートクレーブ用容器に２５℃に温度調整した試験液｛作動液（実施例１〜１６及び比較例１〜２）｝３００ｍＬを入れた後、窒素を吹き込んで容器内を加圧下（０．４ＭＰａ）にし、５００ｒｐｍで撹拌することにより試験液に気体を巻き込ませ、５０分後に撹拌を停止し、試験液の液面の高さ（ｍｍ）を定規にて測定した。

本発明の作動液（実施例１〜１６）の３０分後の試験液の液面の高さは低く、比較用の作動液（比較例１〜２）に比べ、著しく優れた気体の巻き込み性を示した。

本発明の作動液（実施例１〜１６）の３０分後の試験液の液面の高さは低く、−１０℃及び９０℃の温度条件において、比較用の作動液（比較例１〜２）に比べ、著しく優れた気体の巻き込み性を示した。

本発明の作動液（実施例１〜１６）の３０分後の試験液の液面の高さは低く、ｐＨ２及びｐＨ１２の試験条件において、比較用の作動液（比較例１〜２）に比べ、著しく優れた気体の巻き込み性を示した。

本発明の作動液（実施例１〜１６）の１５分後の試験液の液面の高さは低く、減圧下の試験条件において、比較用の作動液（比較例１〜２）に比べ、著しく優れた気体の巻き込み性を示した。また、本発明の作動液（実施例１〜１６）の５０分後の試験液の液面の高さは低く、加圧下の試験条件においても、比較用の作動液（比較例１〜２）に比べ、著しく優れた気体の巻き込み性を示した。

１０ ガラス製透明容器
１１ ガラス製透明容器の開口部
１２ ガラス製透明容器の底部
２０ ポンプ
３０ 目盛り
４０ 試験液出口

Claims (5)

1. 無機微粒子（Ａ）と親水性溶媒（Ｂ１）及び／又は親油性溶媒（Ｂ２）とを含み、
   無機微粒子（Ａ）が親水性無機微粒子（Ｃ１）を親油性化合物（Ｃ２）で表面改質した無機微粒子であることを特徴とする作動液。
2. 無機微粒子（Ａ）のメタノール湿潤性（Ｍ値）が３０〜９０である請求項１に記載の作動液。
3. 無機微粒子（Ａ）の体積平均粒子径が０．１〜２００μｍである請求項１又は２に記載の作動液。
4. 親水性無機微粒子（Ｃ１）がシリカ微粒子及び／又はアルミナ微粒子で構成される１〜３のいずれかに記載の作動液。
5. 親油性化合物（Ｃ２）がシリコーン化合物である請求項１〜４のいずれかに記載の作動液。

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