JP2014207296A - 光電変換材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
これらの中でも、CIGSやCZTSに代表されるカルコゲナイト系の化合物は、光吸収係数が大きいので、低コスト化に有利な薄膜化が可能である。特に、CZTSは、太陽電池に適したバンドギャップエネルギー(1.4〜1.5eV)を持ち、しかも、環境負荷元素や希少元素を含まないという特徴がある。しかしながら、CZTSは、CIGSに比べて変換効率が低い。
例えば、特許文献1には、Cu、Zn、Sn、及びSを含み、Na及びOを含む物質を含まない硫化物系化合物半導体が開示されている。
同文献には、
(a)光吸収層以外の部材にNaを含まない材料を用いると、光吸収層へのNaの拡散、及び、これに起因するNa及びOを含む物質の生成が抑制される点、及び、
(b)これによって大面積のCZTS系薄膜を形成する場合であっても、面内における変換効率のばらつきが低減される点
が記載されている。
同文献には、洗浄によって、光吸収層の表面又は内部から絶縁性のNa−O系粒子が除去され、光吸収層とその上に形成される各層との間の電気伝導性が向上する点が記載されている。
同文献には、Cu、Zn及びSnを主成分とする硫化物において、Cu/(Zn+Sn)比及びZn/Sn比がある一定の範囲内に来るようにCu、Zn及びSnの原子比を最適化すると、変換効率だけでなく、開放端電圧VOC、短絡電流密度ISC、及び形状因子F.F.の高い硫化物が得られる点が記載されている。
しかしながら、特許文献1には、Naの有用な効果としてCZTSの結晶粒を増大させる効果も示されているが、多量に存在すると太陽電池特性に悪影響を及ぼすことも同時に示されている。また、特許文献3に記載されているように、ソーダライムガラス(SLG)基板上にCZTS膜を形成した場合、開放端電圧は十分に高くならない。
少なくとも
(a)Cu、Zn、Sn、並びに、
(b)Rb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素、
を含む前駆体を作製する前駆体作製工程と、
前記前駆体を硫化及び/又はセレン化し、本発明に係る化合物半導体を得る反応工程と
を備えている。
これは、Rb及び/又はCsが、CZT(S,Se)系化合物半導体のホール濃度を増加させ、フェルミ準位を価電子帯近くに押し下げるためと考えられる。
[1. 光電変換材料]
本発明に係る光電変換材料は、Cu、Zn、Sn、並びに、S及び/又はSeを主成分とし、さらにRb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素を含む化合物半導体からなる。
化合物半導体の主成分は、Cu、Zn、Sn、並びに、S及び/又はSeからなる。
すなわち、本発明において、「化合物半導体」とは、Cu2ZnSn(S,Se)4(CZT(S,Se))をベースとする半導体をいう。このような元素を含む化合物半導体は、p型半導体である。
化合物半導体は、Cu、Zn、Sn、S及び/又はSe、並びに、後述するアルカリ金属元素のみからなるものでも良く、あるいは、これらに加えて、他のカルコゲン元素や各種のドーパントや不可避的不純物などがさらに含まれていても良い。
具体的には、Cu/(Zn+Sn)比(原子比)は、0.69〜0.99が好ましく、さらに好ましくは0.8〜0.9である。
また、Zn/Sn比は、1.01〜1.50が好ましく、さらに好ましくは、1.15〜1.35である。
本発明に係る化合物半導体は、上述の主成分元素に加えて、さらにRb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素を含む。この点が従来とは異なる。化合物半導体には、Rb又はCsのいずれか一方が含まれていてもよく、あるいは、双方が含まれていても良い。
一方、化合物半導体に含まれるアルカリ金属元素の含有量が過剰になると、開放端電圧Vocは低下しないが、短絡電流密度Jscが低下する。従って、アルカリ金属元素の含有量は、金属元素の全量に対して、5原子%以下が好ましい。
例えば、Rbが単独で添加される場合、Rbの含有量は、金属元素の全量に対して、1.0原子%以上4.0原子%以下が好ましい。Rbの含有量は、さらに好ましくは、1.5原子%以上3.5原子%以下である。
また、Csが単独で添加される場合、Csの含有量は、金属元素の全量に対して、0.5原子%以上3.0原子%以下が好ましい。Csの含有量は、さらに好ましくは、1.0原子%以上2.5原子%以下である。
両者が同時に添加される場合、アルカリ金属元素の総量が上述した範囲(0.1〜5原子%)にあるか、あるいは、各元素の含有量が上述した範囲内にあるのが好ましい。
本発明に係る光電変換材料の製造方法は、前駆体作製工程と、反応工程とを備えている。
前駆体作製工程は、少なくとも
(a)Cu、Zn、Sn、並びに、
(b)Rb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素、
を含む前駆体を作製する工程である。
前駆体は、少なくともCu、Zn、Sn及びアルカリ金属元素を含む。前駆体は、後述する反応工程において供給されるS及び/又はSeの一部をさらに含んでいても良い。前駆体は、所定の元素を所定の比率で含んでいるものであれば良く、その内部構造は、特に限定されない。
(1)Cu、Zn及びSnからなる群から選ばれるいずれか1以上の元素を含み、かつ、アルカリ金属元素を含まない1又は2以上の薄膜と、アルカリ金属元素を含む薄膜(アルカリ金属元素のみからなる薄膜を含む)との積層体、
(2)少なくともCu、Zn、Sn及びアルカリ金属元素を含み、かつ、各元素が均一に分布している単一組成物
などがある。
例えば、単一組成を有する前駆体からなる膜の作製方法としては、スパッタ法、真空蒸着法、パルスレーザー堆積(PLD)法、メッキ法、化学溶液析出(CBD)法、電気泳動成膜(EPD)法、化学気相成膜(CVD)法、スプレー熱分解成膜(SPD)法、スクリーン印刷法、スピンコート法、微粒子堆積法などがある。
そのため、Cu、Zn及びSnからなる群から選ばれるいずれか1以上の元素を含み、かつ、アルカリ金属元素を含まない1又は2以上の薄膜と、アルカリ金属元素を含む薄膜との積層体からなる前駆体を作製する場合、アルカリ金属元素を含む薄膜は、アルカリ金属元素のクロム酸塩と還元剤とを同時に加熱することにより発生させたアルカリ金属元素の蒸気を用いて形成するのが好ましい。
アルカリ金属元素のクロム酸塩としては、クロム酸ルビジウム、クロム酸セシウムなどがある。
アルカリ金属のクロム酸塩の還元剤としては、例えば、Zr−Al合金、Zr−Ni合金、Zr−Fe合金、Zr−V−Fe合金、Zr−V−Ni合金、Zr−Co−Y合金、Zr−Co−La合金、Zr−Co−Ce合金などがある。
アルカリ金属元素は、反応工程において昇華する場合がある。このような場合、前駆体には、目的とする組成より過剰のアルカリ金属元素を添加するのが好ましい。最適な添加量は、アルカリ金属元素の種類により異なる。
一方、Csは、反応工程においてその一部が昇華しやすい。そのため、前駆体には、目的とする組成よりやや過剰にCsを添加するのが好ましい。具体的には、目的とする組成の約1.5倍のCsを前駆体に添加するのが好ましい。
例えば、反応工程終了時のCs含有量を0.1原子%以上5原子%以下とするためには、前駆体中のCs含有量は、0.15原子%以上7.5原子%以下が好ましい。
反応工程は、前記前駆体を硫化及び/又はセレン化し、本発明に係る化合物半導体を得る工程である。
前駆体に対して、硫化及びセレン化の双方を行う場合、いずれを先に行っても良い。
Naは、CZTS膜の結晶粒を増大させる作用はあるが、開放端電圧VOCを大きく向上させる作用はない。
これに対し、Cu−Zn−Sn(S,Se)系化合物半導体に対して所定量のRb及び/又はCsを添加すると、Naを含む環境下で製造されたものに比べて開放端電圧V0Cが向上する。これは、Rb及び/又はCsが、CZT(S,Se)系化合物半導体のホール濃度を増加させ、フェルミ準位を価電子帯近くに押し下げるためと考えられる。
上記の如く、AkがCZTS、CZTSeに与える物性的な影響はほぼ同じと考えられ、さらにこれらの混晶系であるCZT(S,Se)に対しても同様と考えられる。
[参考文献1] A.Nagoya, R.Asahi, R.Wahl, and G.Kresse, Phys.Rev].B, 81, 113202(2010)
[参考文献2] A.Walsh, S.Chen, S.-H.Wei, and Z-G.Gong, Adv. Energy Mater. 2, 400(2012)
[参考文献3] S.Chen, L.-W.Wang, A.Walsh, X.G Gong, and S.-H.Wei, Appl.Phys.Lett. 101m 223901(2012)
[1. 試料の作製]
以下の手順に従い、CZTS薄膜太陽電池を作製した。
(1)ノンアルカリガラス基板上にMo膜を形成した。
(2)Mo膜上にSnS膜を成膜した。
(3)SnS膜上にRb膜(実施例1)又はCs膜(実施例2)を成膜し、引き続きCu膜を成膜した。
(4)Cu膜の上にZn膜を成膜し、引き続きSnS膜を成膜した。
(6)水リンス後、スパッタ法でCdSを成膜し、引き続き熱処理した。
(7)Ga:ZnOを成膜し、Al櫛形電極を形成した。
(8)基板上の積層膜をセル状に分割すると共に、Mo膜を一部露出させて引出電極を形成した。
また、Cs膜は、クロム酸セシウムと還元剤(例えば、ジルコニウム84%、アルミニウム16%)を同時に加熱して発生するセシウム蒸気を用いて作製した。
[2.1. 組成分析]
XRFにて前駆体(硫化前)又はCZTS膜(硫化後)の組成分析を行った。
[2.2. 太陽電池特性]
1SUN、AM1.5の疑似太陽光を用い、開放端電圧Voc、短絡電流密度Jsc、形状因子FF、変換効率Effを測定した。
[3.1. Rb添加(実施例1)]
図1に、Rb組成と開放端電圧VOCとの関係を示す。図2に、Rb組成と短絡電流密度Jscとの関係を示す。図3に、硫化後Rb組成と硫化前Rb組成との関係を示す。図1〜図3より、以下のことがわかる。
(1)Rb添加量の増加に伴い、Vocは向上し、Jscは低下する傾向にある。
(2)同じ変換効率でも、Jscが高いものよりVocが高いものの方が、太陽電池モジュールにした際、電流経路でのジュール熱損失が少ない、ホットスポットが生じがたいなどの利点がある。但し、添加量を増やし過ぎると、Jscが小さくなり過ぎるため、好ましくない。従って、Rb添加量は、金属原子の全量に対して、0.1原子%以上5原子%以下が好ましい。
(3)硫化後のRb組成は、硫化前のRb組成にほぼ一致している。
(4)硫化後のRb組成を1.0〜4.0原子%とすると、Vocは約0.6V以上となり、Jscは約13mA/cm2以上となる。
図4に、Cs組成と開放端電圧VOCとの関係を示す。図5に、Cs組成と短絡電流密度Jscとの関係を示す。図6に、硫化後Cs組成と硫化前Cs組成との関係を示す。図4〜図6より、以下のことがわかる。
(1)Cs添加量の増加に伴い、Vocは向上し、Jscは低下する傾向にある。
(2)Cs添加量もRbと同様の理由から、金属原子の全量に対して、0.1原子%以上5原子%以下が好ましい。
(3)硫化前のCs組成は、硫化後のCs組成の約1.5倍である。
(4)硫化後のCs組成を0.5〜3.0原子%とすると、Vocは約0.6V以上となり、Jscは約13mA/cm2以上となる。
Claims (6)
- Cu、Zn、Sn、並びに、S及び/又はSeを主成分とし、さらにRb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素を含む化合物半導体
からなる光電変換材料。 - 前記アルカリ金属元素の含有量は、金属元素の全量に対して、0.1原子%以上5原子%以下である請求項1に記載の光電変換材料。
- 前記アルカリ金属元素は、前記Rbからなり、
前記アルカリ金属元素の含有量は、金属元素の全量に対して、1.0原子%以上4.0原子%以下である請求項1又は2に記載の光電変換材料。 - 前記アルカリ金属元素は、前記Csからなり、
前記アルカリ金属元素の含有量は、金属元素の全量に対して、0.5原子%以上3.0原子%以下である請求項1又は2に記載の光電変換材料。 - 少なくとも
(a)Cu、Zn、Sn、並びに、
(b)Rb及びCsからなる群から選ばれるいずれか1以上のアルカリ金属元素、
を含む前駆体を作製する前駆体作製工程と、
前記前駆体を硫化及び/又はセレン化し、請求項1から4までのいずれか1項に記載の化合物半導体を得る反応工程と
を備えた光電変換材料の製造方法。 - 前記前駆体作製工程は、Cu、Zn及びSnからなる群から選ばれるいずれか1以上の元素を含み、かつ、前記アルカリ金属元素を含まない1又は2以上の薄膜と、前記アルカリ金属元素を含む薄膜との積層体からなる前記前駆体を作製するものであり、
前記アルカリ金属元素を含む薄膜は、前記アルカリ金属元素のクロム酸塩と還元剤とを同時に加熱することにより発生させた前記アルカリ金属元素の蒸気を用いて形成されるものである
請求項5に記載の光電変換材料の製造方法。
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