JP2014206704A - 電気光学装置および電子機器 - Google Patents

電気光学装置および電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2014206704A
JP2014206704A JP2013085521A JP2013085521A JP2014206704A JP 2014206704 A JP2014206704 A JP 2014206704A JP 2013085521 A JP2013085521 A JP 2013085521A JP 2013085521 A JP2013085521 A JP 2013085521A JP 2014206704 A JP2014206704 A JP 2014206704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
line
constant potential
data line
electrically connected
connection terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013085521A
Other languages
English (en)
Inventor
久仁 山村
Kuni Yamamura
久仁 山村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2013085521A priority Critical patent/JP2014206704A/ja
Publication of JP2014206704A publication Critical patent/JP2014206704A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】データ線に付加容量を設けた場合でも、付加容量の静電破壊を抑制することのできる電気光学装置、および当該電気光学装置を備えた電子機器を提供すること。【解決手段】電気光学装置100では、複数のデータ線6aのうち、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6、および定電位線LVcomの接続端子TVcomからの抵抗が大きい第1データ線6a1では、定電位線LVcomとの間に付加容量56が設けられている。これに対して、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6、および定電位線LVcomの接続端子TVcomからの抵抗が小さい第2データ線6a2および第3データ線6a3では、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57が設けられている。【選択図】図4

Description

本発明は、データ線に付加容量が設けられた電気光学装置、および当該電気光学装置を備えた電子機器に関するものである。
液晶装置等の電気光学装置では、図12に示すように、第1方向(Y方向)に沿って延在する複数のデータ線6aが設けられ、各データ線6aの延在方向に沿って複数の画素100aが設けられている。データ線6aには、サンプリング回路103のサンプリングスイッチ108を介して画像信号線LVIDが電気的に接続されており、画像信号線LVIDを介して供給された画像信号は、サンプリング回路103を介して所定のタイミングでデータ線6aに供給される。かかる画像信号の供給方法としては、例えば、データ線6aの1本1本に画像信号を逐次供給する方法や、画像信号をシリアル−パラレル変換して互いに隣接するデータ線6aの何本かに対して、グループG1、G2、G3・・毎に同時に画像信号を供給する方法がある。
このように駆動される電気光学装置では、データ線6aに書き込まれる画像信号電位のプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示ムラが発生してしまうという技術的問題点がある。すなわち、グループG1、G2、G3・・毎に同時に画像信号を供給する方法が採られる場合、隣り合う二つのグループの境目では、データ線6aに略沿った形で、画像上に表示ムラが現れるという不具合がある。そこで、データ線6aと定電位線LVcomとの間に付加容量56を設け、画像信号電位のプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示ムラの発生を防止する技術が提案されている(特許文献1〜4参照)。
特開2004−125887号公報 特開2008−8942号公報 特開2008−111924号公報 特開2011−237776号公報
電気光学装置の製造工程の途中では、静電気が画像信号線LVIDの接続端子TVIDから侵入する場合があり、この場合、接続端子TVIDからデータ線6aに静電気が侵入して、付加容量56が静電破壊する可能性がある。また、静電気が定電位線LVcomの接続端子TVcomから侵入する場合もあり、この場合、接続端子TVcomから定電位線LVcomを経てデータ線6aに侵入しようとする静電気によって付加容量56が静電破壊する可能性がある。特に、画素100aに保持容量を構成するのに用いた薄い誘電体膜を用いて付加容量56の静電容量を大きくした場合、付加容量56が静電破壊しやすい。その結果、付加容量56が短絡し、それ以降、付加容量56として機能しなくなる。また、複数のデータ線6aのうち、例えば、グループG1に属するデータ線6aが表示領域10aの外側に配置されている場合でも、グループG1に属するデータ線6aに設けられている付加容量56が短絡すると、以降、画像信号線LVIDから定電位線LVcomへの電流の漏れが発生し、消費電力が増大してしまう。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、データ線に付加容量を設けた場合でも、付加容量の静電破壊を抑制することのできる電気光学装置、および当該電気光学装置を備えた電子機器を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置は、第1方向に沿って延在する第1データ線と、前記第1方向に沿って延在する第2データ線と、前記第1データ線に接続された第1サンプリングスイッチと、該第1サンプリングスイッチを介して前記第1データ線に電気的に接続された画像信号線と、前記第1データ線に電気的に接続された第1容量電極、および該第1容量電極に誘電体膜を介して対向し、第1定電位線に電気的に接続された第2容量電極を備えた第1付加容量と、前記第2データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第2サンプリングスイッチと、前記第2データ線に一端が電気的に接続され、前記第2定電位線に他端が電気的に接続された第1静電保護素子と、前記画像信号線に電気的に接続された第1接続端子と、を有し、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第2サンプリングスイッチとの間の抵抗が、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第1サンプリングスイッチとの間の抵抗より小さいことを特徴とする。
本発明では、第1接続端子からの抵抗が大きい第1データ線は、第1接続端子から静電気が侵入しにくいので、定電位線との間に第1付加容量が設けられている一方、第1接続端子からの抵抗が小さい第2データ線は、第1接続端子から静電気が侵入しやすいので、定電位線との間に第1静電保護素子が設けられている。このため、第1付加容量が静電破壊によって短絡するという問題の発生を抑制することができる。
本発明では、前記第1方向に沿って延在する第3データ線と、前記第3データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第3サンプリングスイッチと、前記第3データ線に一端が電気的に接続され、第3定電位線に他端が電気的に接続された第2静電保護素子と、前記第1定電位線に電気的に接続された第2接続端子と、前記第3定電位線に電気的に接続された第3接続端子と、を有し、前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さいことが好ましい。かかる構成では、第2接続端子からの抵抗が大きい第1データ線は、第2接続端子から静電気が侵入しにくいので、第1定電位線との間に第1付加容量が設けられている一方、第3接続端子からの抵抗が小さい第3データ線は、第3接続端子から静電気が侵入しやすいので、第3定電位線との間に第2静電保護素子が設けられている。このため、第1付加容量が静電破壊によって短絡するという問題の発生を抑制することができる。
また、本発明の別の形態に係る電気光学装置は、第1方向に沿って延在する第1データ線と、前記第1方向に沿って延在する第3データ線と、前記第1データ線に接続された第1サンプリングスイッチと、該第1サンプリングスイッチを介して前記第1データ線に電気的に接続された画像信号線と、前記第1データ線に電気的に接続された第1容量電極、および該第1容量電極に誘電体膜を介して対向し、第1定電位線に電気的に接続された第2容量電極を備えた第1付加容量と、前記第3データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第3サンプリングスイッチと、前記第3データ線に一端が電気的に接続され、第3定電位線に他端が電気的に接続された第2静電保護素子と、前記第1定電位線に電気的に接続された第2接続端子と、前記第3定電位線に電気的に接続された第3接続端子と、を有し、前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さいことを特徴とする。
本発明では、第2接続端子からの抵抗が大きい第1データ線は、第2接続端子から静電気が侵入しにくいので、第1定電位線との間に第1付加容量が設けられている一方、第3接続端子からの抵抗が小さい第3データ線は、第3接続端子から静電気が侵入しやすいので、第3定電位線との間に静電保護素子が設けられている。このため、第1付加容量が静電破壊によって短絡するという問題の発生を抑制することができる。
本発明において、表示領域に形成された第1画素電極と、前記第1画素電極および前記第1データ線と電気的に接続された第1画素スイッチング素子と、前記表示領域の前記第1方向と交差する第2方向に形成された第2画素電極と、前記第2画素電極および前記第2データ線と電気的に接続された第2画素スイッチング素子と、を含む構成を採用することができる。かかる構成によれば、表示領域に形成された第1画素電極に電気的に接続するデータ線が、第1付加容量が設けられた第1データ線として構成されている。従って、電位のプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示ムラが発生しにくい。
この場合、前記第2画素電極は、前記表示領域と前記第2方向で隣り合う構成を採用することができる。
本発明において、表示領域に形成された第1画素電極と、前記第1画素電極および前記第1データ線と電気的に接続された第1画素スイッチング素子と、前記表示領域の前記第1方向と交差する第2方向に形成された第3画素電極と、前記第3画素電極および前記第3データ線と電気的に接続された第3画素スイッチング素子と、を含む構成を採用することができる。かかる構成によれば、表示領域に形成された第1画素電極に電気的に接続するデータ線が、第1付加容量が設けられた第1データ線として構成されている。従って、電位のプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示ムラが発生しにくい。
この場合、前記第3画素電極は、前記表示領域と前記第2方向で隣り合う構成を採用することができる。
本発明において、前記第2方向で前記表示領域と前記第2画素電極との間に形成された第4画素電極と、前記第1データ線と前記第2データ線との間で前記第1方向に沿って延在する第4データ線と、前記第4画素電極および前記第4データ線と電気的に接続された第4画素スイッチング素子と、前記第4データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第4サンプリングスイッチと、前記第4データ線に電気的に接続された第3容量電極、および該第3容量電極に第2誘電体膜を介して対向し、前記第1定電位線に電気的に接続された第4容量電極を備えた第2付加容量と、を含み、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第4サンプリングスイッチとの間の抵抗が、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第1サンプリングスイッチとの間の抵抗より小さく、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第2サンプリングスイッチとの間の抵抗より大きい構成を採用してもよい。かかる構成によれば、第2方向では、表示領域と第2データ線との間で第1方向に沿って延在する第4データ線に第2付加容量が設けられた構成となる。
本発明において、前記第2方向で前記表示領域と前記第3画素電極との間に形成された第5画素電極と、前記第1データ線と前記第3データ線との間で前記第1方向に沿って延在する第5データ線と、前記第5画素電極および前記第5データ線と電気的に接続された第5画素スイッチング素子と、前記第5データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第5サンプリングスイッチと、前記第5データ線に電気的に接続された第5容量電極、および該第5容量電極に第3誘電体膜を介して対向し、前記第3定電位線に電気的に接続された第6容量電極を備えた第3付加容量と、を含み、前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第6容量電極との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さく、前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗より大きい構成を採用してもよい。かかる構成によれば、第2方向では、表示領域と第3データ線との間で第1方向に沿って延在する第5データ線に第2付加容量が設けられた構成となる。
本発明において、前記第1定電位線と前記第2定電位線とは、同一の定電位線である構成を採用することができる。
本発明において、前記第1定電位線と前記第3定電位線とは、同一の定電位線であり、前記第2接続端子と前記第3接続端子とは、同一の接続端子である構成を採用することができる。
本発明において、前記第1静電保護素子は、抵抗素子である構成を採用することができる。抵抗素子であれば、静電気によって断線状態となるため、それ以降、電流の漏れ等が発生しない。
本発明において、前記第2静電保護素子は、抵抗素子である構成を採用することができる。抵抗素子であれば、静電気によって断線状態となるため、それ以降、電流の漏れ等が発生しない。
この場合、前記抵抗素子は、前記第1サンプリングスイッチの能動層と同層に形成された半導体層により構成されていることが好ましい。かかる構成であれば、抵抗素子用の膜を新たに追加する必要がない。
本発明において、前記定電位線として、第1定電位が供給される第1定電位供給線と、前記第1定電位より低い第2定電位が供給される第2定電位供給線と、前記第1定電位と前記第2定電位との間の第3電位が供給される第3定電位供給線と、が設けられ、前記第2容量電極は、前記第3定電位供給線に電気的に接続し、前記第1静電保護素子は、アノードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、カソードが前記他端として前記第1定電位供給線に電気的に接続された第1ダイオード素子と、カソードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、アノードが前記他端として前記第2定電位供給線に電気的に接続された第2ダイオード素子と、を有している構成を採用することができる。かかる構成によれば、静電保護素子を介して静電気を逃がすことができる。
本発明において、前記定電位線として、第1定電位が供給される第1定電位供給線と、前記第1定電位より低い第2定電位が供給される第2定電位供給線と、前記第1定電位と前記第2定電位との間の第3電位が供給される第3定電位供給線と、が設けられ、前記第2容量電極は、前記第3定電位供給線に電気的に接続し、前記第2静電保護素子は、アノードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、カソードが前記他端として前記第1定電位供給線に電気的に接続された第1ダイオード素子と、カソードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、アノードが前記他端として前記第2定電位供給線に電気的に接続された第2ダイオード素子と、を有している構成を採用することができる。かかる構成によれば、静電保護素子を介して静電気を逃がすことができる。
本発明において、前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記第1サンプリングスイッチの能動層と同層に形成された半導体層を備えたトランジスターをダイオード接続してなることが好ましい。かかる構成によれば、ダイオード素子用の膜を新たに追加する必要がない。
本発明において、前記第1定電位線および前記第2定電位線は、前記第1データ線および前記第2データ線との間に絶縁膜を介して前記第1データ線および前記第2データ線と交差しており、前記第1定電位線および前記第2定電位線は、前記第2データ線と平面視で重なる部分の幅が前記第1データ線と平面視で重なる部分の幅より狭いことが好ましい。かかる構成によれば、第2定電位線と第2データ線との間に静電容量が大きな容量が発生することを防止することができる。
本発明において、前記第1定電位線および前記第3定電位線は、前記第1データ線および前記第3データ線との間に絶縁膜を介して前記第1データ線および前記第2データ線と交差しており、前記第1定電位線および前記第3定電位線は、前記第3データ線と平面視で重なる部分の幅が前記第1データ線と平面視で重なる部分の幅より狭いことが好ましい。かかる構成によれば、第2定電位線と第2データ線との間に静電容量が大きな容量が発生することを防止することができる。
本発明に係る電気光学装置は、携帯電話機やモバイルコンピューター、投射型表示装置等の電子機器に用いることができる。これらの電子機器のうち、投射型表示装置は、電気光学装置(液晶装置)に光を供給するための光源部と、前記電気光学装置によって光変調された光を投射する投射光学系とを備えている。
本発明の実施の形態1に係る電気光学装置の液晶パネルの説明図である。 本発明の実施の形態1に係る電気光学装置の素子基板の電気的構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態1に係る電気光学装置の画素の説明図である。 本発明の実施の形態1に係る電気光学装置の付加容量および静電気対策を示す説明図である。 本発明の実施の形態1に係る電気光学装置に構成した付加容量および静電保護素子(抵抗素子)の構成例1の説明図である。 本発明の実施の形態1に係る電気光学装置に構成した付加容量および静電保護素子(抵抗素子)の構成例2の説明図である。 本発明の実施の形態2に係る電気光学装置の素子基板の電気的構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態2に係る電気光学装置の付加容量および静電気対策を示す説明図である。 本発明の実施の形態3に係る電気光学装置の説明図である。 本発明の実施の形態4に係る電気光学装置の素子基板の電気的構成を示す説明図である。 本発明を適用した投射型表示装置(電子機器)および光学ユニットの概略構成図である。 従来の電気光学装置の説明図である。
以下、本発明の実施の形態として、代表的な電気光学装置である液晶装置を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明で参照する図においては、走査線、データ線、信号線等の配線等については、それらの数を少なく表してある。また、素子基板10の面内方向で交差する2方向をY方向(第1方向)とX方向(第2方向)とし、Y方向の一方側をY1側とし、Y方向の他方側をY2とし、X方向の一方側をX1側とし、X方向の他方側をX2として説明する。
[実施の形態1]
図1は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置の液晶パネルの説明図であり、図1(a)、(b)は各々、液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのH−H′断面図である。
図1(a)、(b)に示すように、本形態の電気光学装置100は、液晶装置であり、液晶パネル100pを有している。液晶パネル100pでは、素子基板10(電気光学装置用基板)と対向基板20とが所定の隙間を介してシール材17によって貼り合わされており、シール材17は対向基板20の外縁に沿うように枠状に設けられている。シール材17は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のギャップ材17aが配合されている。液晶パネル100pにおいて、素子基板10と対向基板20との間のうち、シール材17によって囲まれた領域内には、電気光学層50(液晶層)が設けられている。シール材17には、液晶注入口17cとして利用される途切れ部分が形成されており、かかる液晶注入口17cは、液晶材料の注入後、封止材17dによって封止されている。
液晶パネル100pにおいて、素子基板10および対向基板20はいずれも四角形であり、素子基板10は、Y方向(第1方向)で対向する2つの辺10e、10f(端部)と、X方向(第2方向)で対向する2つの辺10g、10h(端部)とを備えている。液晶パネル100pの略中央には、表示領域10aが四角形の領域として設けられており、かかる形状に対応して、シール材17も略四角形に設けられている。表示領域10aの縁から素子基板10の縁までは四角枠状の外周領域10cになっている。
素子基板10において、外周領域10cでは、素子基板10においてY方向の一方側Y1に位置する辺10eに沿ってデータ線駆動回路101および複数の接続端子102が形成されており、この辺10eに隣接する他の辺10g、10hの各々に沿って走査線駆動回路104が形成されている。なお、接続端子102には、フレキシブル配線基板(図示せず)が接続されており、素子基板10には、フレキシブル配線基板を介して外部制御回路から各種電位や各種信号が入力される。
図3等を参照して詳しくは後述するが、素子基板10の一方面10sおよび他方面10tのうち、対向基板20と対向する一方面10sの側において、表示領域10aには、画素電極9aや、図2等を参照して後述する画素スイッチング素子30等がマトリクス状に配列されている。従って、表示領域10aは、画素電極9aがマトリクス状に配列された画素電極配列領域10pとして構成されている。かかる構成の素子基板10において、画素電極9aの上層側には配向膜16が形成されている。
素子基板10の一方面10sの側において、表示領域10aより外側の外周領域10cのうち、表示領域10aとシール材17とに挟まれた四角枠状のダミー領域10b(周辺領域)にも画素電極9aが形成されている。
対向基板20の一方面20sおよび他方面20tのうち、素子基板10と対向する一方面20sの側には共通電極21が形成されている。共通電極21は、対向基板20の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素100aに跨って形成されている。本形態において、共通電極21は、対向基板20の略全面に形成されている。
対向基板20の一方面20sの側には、共通電極21の下層側に遮光層29が形成され、共通電極21の表面には配向膜26が積層されている。遮光層29は、表示領域10aの外周縁に沿って延在する額縁部分29aとして形成されており、遮光層29の内周縁によって表示領域10aが規定されている。また、遮光層29は、隣り合う画素電極9aにより挟まれた画素間領域に重なるブラックマトリクス部29bとしても形成されている。
液晶パネル100pにおいて、シール材17より外側には、対向基板20の一方面20sの側の4つの角部分に基板間導通用電極25が形成されており、素子基板10の一方面10sの側には、対向基板20の4つの角部分(基板間導通用電極25)と対向する位置に基板間導通用電極19が形成されている。本形態において、基板間導通用電極25は、共通電極21の一部からなる。基板間導通用電極19には、定電位Vcomが印加されている。基板間導通用電極19と基板間導通用電極25との間には、導電粒子を含んだ基板間導通材19aが配置されており、対向基板20の共通電極21は、基板間導通用電極19、基板間導通材19aおよび基板間導通用電極25を介して、素子基板10側に電気的に接続されている。このため、共通電極21は、素子基板10の側から定電位Vcomが印加されている。シール材17は、略同一の幅寸法をもって対向基板20の外周縁に沿って設けられているが、対向基板20の角部分と重なる領域では基板間導通用電極19、25を避けて内側を通るように設けられている。
本形態において、電気光学装置100は透過型の液晶装置であり、画素電極9aおよび共通電極21は、ITO(Indium Tin Oxide)膜やIZO(Indium Zinc Oxide)膜等の透光性導電膜により形成されている。かかる透過型の液晶装置(電気光学装置100)では、例えば、対向基板20の側から入射した光が素子基板10の側から出射される間に変調されて画像を表示する。また、電気光学装置100が反射型の液晶装置である場合、共通電極21は、ITO膜やIZO膜等の透光性導電膜により形成され、画素電極9aは、アルミニウム膜等の反射性導電膜により形成される。かかる反射型の液晶装置(電気光学装置100)では、素子基板10および対向基板20のうち、対向基板20の側から入射した光が素子基板10で反射して出射される間に変調されて画像を表示する。
電気光学装置100は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、対向基板20には、カラーフィルター(図示せず)が形成される。また、電気光学装置100は、電子ペーパーとして用いることができる。また、電気光学装置100では、使用する電気光学層50の種類や、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が液晶パネル100pに対して所定の向きに配置される。さらに、電気光学装置100は、後述する投射型表示装置(液晶プロジェクター)において、RGB用のライトバルブとして用いることができる。この場合、RGB用の各電気光学装置100の各々には、RGB色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。
(素子基板10の電気的構成)
図2は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の素子基板10の電気的構成を示す説明図であり、図2(a)、(b)は、素子基板10の回路や配線の平面的なレイアウトを示す説明図、および画素の電気的構成を示す説明図である。なお、図2では、表示領域10aに対してY方向に形成されたダミー領域10bについては画素100aの図示を省略してある。また、以下の説明において、接続端子102を介して素子基板10に入力される信号や電位に対応する配線については、「L」の後に信号や電位を示すアルファベット記号を付与して説明する。例えば、信号名称である「クロック信号CLX」に対応する配線について「クロック信号線LCLX」とする。また、接続端子102に関しては、「T」の後に信号や電位を示すアルファベット記号を付与して説明する。例えば、信号名称である「クロック信号CLX」に対応する接続端子102については「接続端子TCLX」とする。
図2(a)、(b)に示すように、電気光学装置100において、素子基板10の中央領域には複数の画素100aがマトリクス状に配列された画素電極配列領域10pが設けられている。画素電極配列領域10pのうち、図1(b)に示す額縁部分29aの内縁で囲まれた領域が表示領域10aであり、表示領域10aの外側がダミー領域10bである。
素子基板10では、画素電極配列領域10pの内側に、Y方向(第1方向)に沿って延在する複数本のデータ線6aと、X方向(第2方向)に沿って延在する複数本の走査線3aとが形成されており、それらの交点に対応する位置に画素100aが構成されている。複数の画素100aの各々には、TFT等のトランジスターからなる画素スイッチング素子30、および画素電極9aが形成されている。画素スイッチング素子30のソースにはデータ線6aが電気的に接続され、画素スイッチング素子30のゲートには走査線3aが電気的に接続され、画素スイッチング素子30のドレインには、画素電極9aが電気的に接続されている。
素子基板10において、画素電極配列領域10pより外側の外周領域10cには、走査線駆動回路104、データ線駆動回路101、サンプリング回路103、基板間導通用電極19、接続端子102等が構成されており、接続端子102から走査線駆動回路104、データ線駆動回路101、サンプリング回路103、および基板間導通用電極19に向けて複数の配線105が延在している。サンプリング回路103は、複数本のデータ線6aにY方向の一方側Y1で電気的に接続しており、走査線駆動回路104は、複数本の走査線3aにX方向で電気的に接続している。なお、画素電極配列領域10pの外側のうち、Y方向においてデータ線駆動回路101等が構成されている他方側Y2とは反対側には検査回路107が形成されている。
各画素100aにおいて、画素電極9aは、図1を参照して説明した対向基板20に形成された共通電極21と電気光学層50を介して対向し、液晶容量50aを構成している。また、各画素100aには、液晶容量50aで保持される画像信号の変動を防ぐために、液晶容量50aと並列に保持容量55が付加されている。本形態では、保持容量55を構成するために、複数の画素100aに跨って容量線5aが形成され、かかる容量線5aには、共通電極21に印加される共通電位と同一の定電位Vcomが印加されている。なお、容量線5aは、走査線3aに沿ってX方向に沿って延在している構成、およびデータ線6aに沿ってY方向に沿って延在している構成のいずれを採用してもよい。
接続端子102は、共通電位線用、走査線駆動回路用、画像信号用、およびデータ線駆動回路用の4つの用途に大きく分類される複数の接続端子群により構成されている。具体的には、複数の接続端子102は、定電位線LVcom用として接続端子TVcomを含み、走査線駆動回路104用として接続端子TSPY、接続端子TVSSY、接続端子TVDDY、接続端子TCLY、および接続端子TCLYINVを含んでいる。また、複数の接続端子102は、画像信号VID1〜VID6用として接続端子TVID1〜TVID6を含み、データ線駆動回路101用として、接続端子TVSSX、接続端子TSPX、接続端子TVDDX、接続端子TCLX、接続端子TCLXINV、接続端子TENB1〜TENB4、および接続端子TVSSXを含んでいる。
データ線駆動回路101は、シフトレジスター回路101c、波形選択回路101b、およびバッファー回路101aを備えている。データ線駆動回路101において、シフトレジスター回路101cは、外部制御回路から接続端子102(接続端子TVSSX、TVDDX)および配線105(配線LVSSX、LVDDX)を介して供給される負電源VSSXおよび正電源VDDXを電源として用い、外部制御回路から接続端子102(接続端子TSPX)および配線105(配線LSPX)を介して供給されるスタート信号SPXに基づいて転送動作を開始する。シフトレジスター回路101cは、接続端子102(接続端子TCLX、TCLXINV)、および配線105(配線LCLX、LCLXINV)を介して供給されるクロック信号CLXおよび逆位相クロック信号CLXINVに基づき、転送信号を波形選択回路101bへ出力する。波形選択回路101bは、「イネーブル回路」とも称され、シフトレジスター回路101cから出力される転送信号のパルス幅を、外部制御回路から接続端子102(接続端子TENB1〜TENB4)および配線105(配線LENB1〜LENB4)を介して供給されるイネーブル信号ENB1〜ENB4のパルス幅に制限することにより、後述のサンプリング回路103における各サンプリング期間を規定する。より具体的には、波形選択回路101bは、シフトレジスター回路101cの各段に対応して設けられたNAND回路およびインバーター等により構成されており、シフトレジスター回路101cより出力される転送信号がハイレベルとされており、かつ、イネーブル信号ENB1〜ENB4のいずれかがハイレベルとされているときにのみデータ線6aが駆動されるように時間軸上における電位の選択制御を行う。バッファー回路101aは、このように波形の選択が行われた転送信号をバッファリングした後、サンプリング回路駆動信号として、サンプリング回路駆動信号線109を介してサンプリング回路103に供給する。
サンプリング回路103は、画像信号をサンプリングするためのサンプリングスイッチ108を複数備えて構成されている。本形態において、サンプリングスイッチ108は、TFT等のトランジスターからなる。サンプリングスイッチ108のドレインには、データ線6aが電気的に接続され、サンプリングスイッチ108のソースには、配線106を介して配線105(画像信号線LVID1〜LVID6)が接続され、サンプリングスイッチ108のゲートには、データ線駆動回路101に接続されたサンプリング回路駆動信号線109が接続されている。そして、接続端子102(接続端子TVID1〜VID6)を介して配線105(画像信号線LVID1〜LVID6)に供給された画像信号VID1〜VID6は、データ線駆動回路101からサンプリング回路駆動信号線109を通じてサンプリング回路駆動信号が供給されるのに応じ、サンプリング回路103によりサンプリングされ、各データ線6aに画像信号S1、S2、S3、・・Snとして供給される。本形態において、画像信号S1、S2、S3、・・Snは、6相にシリアル−パラレル展開された画像信号VID1〜VID6の各々に対応して、6本のデータ線6aの組に対してグループ毎に供給される。なお、画像信号の相展開数に関しては、6相に限られるものでなく、例えば、9相、12相、24相、48相等、複数相に展開された画像信号が、その展開数に対応した数を一組としたデータ線6aの組に対して供給される。
走査線駆動回路104は、構成要素としてシフトレジスター回路およびバッファー回路を備えている。走査線駆動回路104は、外部制御回路から接続端子102(接続端子TVSSY、TVDDY)および配線105(配線LVSSY、LVDDY)を介して供給される負電源VSSYおよび正電源VDDYを電源として用い、同じく外部制御回路から接続端子102(接続端子TSPY)および配線105(配線LSPY)を介して供給されるスタート信号SPYに応じて、その内蔵シフトレジスター回路の転送動作を開始する。また、走査線駆動回路104は、接続端子102(接続端子TCLY、TCLYINV)および配線105(配線LCLY、LCLYINV)を介して供給されるクロック信号CLYおよび逆位相クロック信号CLYINVに基づいて、所定のタイミングで走査線3aに走査信号をパルス的に線順次で印加する。
素子基板10には、4つの基板間導通用電極19を通過するように配線105(定電位線LVcom)が形成されており、基板間導通用電極19には、接続端子102(接続端子TVcom)および配線105(定電位線LVcom)を介して定電位Vcomが供給される。
(画素100aの具体的構成)
図3は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の画素100aの説明図であり、図3(a)、(b)は、素子基板10において隣り合う複数の画素の平面図、および電気光学装置100のF−F′断面図である。なお、図3(a)では、各層を以下の線
下層側の遮光層8a=細くて長い破線
半導体層1a=細くて短い点線
走査線3a=太い実線
ドレイン電極4a=細い実線
データ線6aおよび中継電極6b=細い一点鎖線
容量線5a=太い一点鎖線
上層側の遮光層7aおよび中継電極7b=細い二点鎖線
画素電極9a=太い破線
で示してある。また、図3(a)では、互いの端部が平面視で重なり合う層については、層の形状等が分かりやすいように、端部の位置をずらしてある。また、素子基板10に形成されている膜等を説明する際、上層側とは基板本体10wとは反対側(電気光学層50の側)を意味し、下層側とは基板本体10wの側(電気光学層50とは反対側)を意味する。また、対向基板20に形成されている膜等を説明する際、上層側とは基板本体20wとは反対側(電気光学層50の側)を意味し、下層側とは基板本体20wの側(電気光学層50とは反対側)を意味する。
図3(a)に示すように、素子基板10において対向基板20と対向する一方面10sには、複数の画素100aの各々に画素電極9aが形成されており、隣り合う画素電極9aにより挟まれた画素間領域に沿ってデータ線6aおよび走査線3aが形成されている。本形態において、画素間領域は縦横に延在しており、走査線3aは画素間領域のうち、X方向に沿って延在する第1画素間領域に沿って直線的に延在し、データ線6aは、Y方向に沿って延在する第2画素間領域に沿って直線的に延在している。また、データ線6aと走査線3aとの交差に対応して画素スイッチング素子30が形成されており、本形態において、画素スイッチング素子30は、データ線6aと走査線3aとの交差領域およびその付近を利用して形成されている。素子基板10には容量線5aが形成されており、かかる容量線5aには定電位Vcomが印加されている。本形態において、容量線5aは、走査線3aおよびデータ線6aに重なるように延在して格子状に形成されている。画素スイッチング素子30の上層側には遮光層7aが形成されており、かかる遮光層7aは、データ線6aに重なるように延在している。画素スイッチング素子30の下層側には遮光層8aが形成されており、かかる遮光層8aは、走査線3aと重なるように直線的に延びた主線部分と、データ線6aと走査線3aとの交差部分でデータ線6aに重なるように延びた副線部分とを備えている。
図3(b)に示すように、素子基板10は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体10wの電気光学層50側の基板面(対向基板20と対向する一方面10s側)に画素電極9a、画素スイッチング用の画素スイッチング素子30、および配向膜16等が構成されている。対向基板20は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20wの電気光学層50側の基板面(素子基板10と対向する一方面20s)に遮光層29、共通電極21、および配向膜26等が構成されている。
より具体的には、素子基板10において、基板本体10wの一方面10s側には、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる下層側の遮光層8aが形成されている。本形態において、遮光層8aは、タングステンシリサイド(WSi)等の遮光膜からなり、電気光学装置100を透過した後の光が他の部材で反射した際、かかる反射光が半導体層1aに入射して画素スイッチング素子30で光電流に起因する誤動作が発生することを防止する。なお、遮光層8aを走査線として構成する場合もあり、この場合、後述するゲート電極3bと遮光層8aを導通させた構成とする。
基板本体10wの一方面10s側において、遮光層8aの上層側には、シリコン酸化膜等の透光性の絶縁膜12が形成されており、かかる絶縁膜12の表面側に、半導体層1aを備えた画素スイッチング素子30が形成されている。画素スイッチング素子30は、データ線6aの延在方向に長辺方向を向けた半導体層1aと、半導体層1aの長さ方向と直交する方向に沿って延在して半導体層1aの長さ方向の中央部分に重なるゲート電極3bとを備えており、本形態において、ゲート電極3bは走査線3aの一部からなる。画素スイッチング素子30は、半導体層1aとゲート電極3bとの間に透光性のゲート絶縁層2を有している。半導体層1aは、ゲート電極3bに対してゲート絶縁層2を介して対向するチャネル領域1gを備えているとともに、チャネル領域1gの両側にソース領域1bおよびドレイン領域1cを備えている。本形態において、画素スイッチング素子30は、LDD構造を有している。従って、ソース領域1bおよびドレイン領域1cは各々、チャネル領域1gの両側に低濃度領域を備え、低濃度領域に対してチャネル領域1gとは反対側で隣接する領域に高濃度領域を備えている。
半導体層1aは、ポリシリコン膜(多結晶シリコン膜)等によって構成されている。ゲート絶縁層2は、半導体層1aを熱酸化したシリコン酸化膜からなる第1ゲート絶縁層2aと、減圧CVD法により形成されたシリコン酸化膜からなる第2ゲート絶縁層2bとの2層構造からなる。ゲート電極3bおよび走査線3aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。
ゲート電極3bの上層側には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜41が形成され、層間絶縁膜41の上層には、ドレイン電極4aが形成されている。ドレイン電極4aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。ドレイン電極4aは、半導体層1aのドレイン領域1c(画素電極側ソースドレイン領域)と一部が重なるように形成されており、層間絶縁膜41およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール41aを介してドレイン領域1cに導通している。
ドレイン電極4aの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の絶縁膜49、および透光性の誘電体層40が形成されており、かかる誘電体層40の上層側には容量線5aが形成されている。誘電体層40としては、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜等のシリコン化合物を用いることができる他、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率の誘電体層を用いることができる。容量線5aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。ここで、容量線5aは、誘電体層40を介してドレイン電極4aと重なっており、保持容量55を構成している。
容量線5aの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜42が形成されており、かかる層間絶縁膜42の上層側には、データ線6aと中継電極6bとが同一の導電膜により形成されている。データ線6aと中継電極6bは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。データ線6aは、層間絶縁膜42、絶縁膜49、層間絶縁膜41およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42aを介してソース領域1b(データ線側ソースドレイン領域)に導通している。中継電極6bは、層間絶縁膜42および絶縁膜49を貫通するコンタクトホール42bを介してドレイン電極4aに導通している。
データ線6aおよび中継電極6bの上層側にはシリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜43が形成されており、かかる層間絶縁膜43の上層側には、遮光層7aおよび中継電極7bが同一の導電膜によって形成されている。層間絶縁膜43の表面は平坦化されている。遮光層7aおよび中継電極7bは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。中継電極7bは、層間絶縁膜44を貫通するコンタクトホール44aを介して中継電極6bに導通している。遮光層7aは、データ線6aと重なるように延在しており、遮光層として機能している。なお、遮光層7aを容量線5aと導通させて、シールド層として利用してもよい。
遮光層7aおよび中継電極7bの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜44が形成されており、かかる層間絶縁膜44の上層側にはITO膜等からなる画素電極9aが形成されている。層間絶縁膜44には、層間絶縁膜44を貫通して中継電極7bまで到達したコンタクトホール44aが形成されており、画素電極9aは、コンタクトホール44aを介して中継電極7bに電気的に接続している。その結果、画素電極9aは、中継電極7b、中継電極6bおよびドレイン電極4aを介してドレイン領域1cに電気的に接続している。層間絶縁膜44の表面は平坦化されている。
画素電極9aの表面側には、ポリイミドや無機配向膜からなる配向膜16が形成されている。本形態において、配向膜16は、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2、MgO、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜(傾斜垂直配向膜/無機配向膜)からなる。
なお、図1等に示すデータ線駆動回路101や走査線駆動回路104に用いられているスイッチング素子や、図2に示すサンプリングスイッチ108は、画素スイッチング素子30と略同様な構成を有している。
(対向基板20の構成)
対向基板20では、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20w(透光性基板)の電気光学層50側の面(素子基板10に対向する一方面20s)には、遮光層29、シリコン酸化膜等からなる絶縁膜28、およびITO膜等の透光性導電膜からなる共通電極21が形成されており、かかる共通電極21を覆うように、ポリイミドや無機配向膜からなる配向膜26が形成されている。本形態において、共通電極21はITO膜からなる。本形態において、配向膜26は、配向膜16と同様、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2、MgO、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜(傾斜垂直配向膜/無機配向膜)である。かかる配向膜16、26は、電気光学層50に用いた誘電異方性が負のネマチック液晶化合物を傾斜垂直配向させ、液晶パネル100pは、ノーマリブラックのVAモードとして動作する。本形態では、配向膜16、26として、各種無機配向膜のうち、シリコン酸化膜(SiOX)の斜方蒸着膜が用いられている。
(第1データ線6a1の構成)
図4は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の付加容量56および静電気対策を示す説明図である。
以下に説明するように、本形態の電気光学装置100では、複数のデータ線6aが第1データ線6a1、第2データ線6a2または第3データ線6a3として形成されており、第1データ線6a1、第2データ線6a2または第3データ線6a3は、付加容量56または静電保護素子57を介して定電位線に接続されている。
また、第1データ線6a1に付加容量56(第1付加容量56a)を介して接続する定電位線が本発明における「第1定電位線」であり、第2データ線6a2に第1静電保護素子57aを介して接続する定電位線が本発明における「第2定電位線」であり、第3データ線6a3に第2静電保護素子57bを介して接続する定電位線が本発明における「第3定電位線」である。
また、画像信号線LVID1〜LVID6に接続する接続端子TVID1〜TVID6は、本発明における「第1接続端子」である。第1データ線6a1に付加容量56(第1付加容量56a)を介して接続する定電位線(第1定電位線)に接続する接続端子が本発明における「第2接続端子」であり、第3データ線6a3に静電保護素子57(第2静電保護素子57b)を介して接続する定電位線(第3定電位線)に接続する接続端子が本発明における「第3接続端子」である。
本形態では、第1定電位線、第2定電位線および第3定電位線は、共通の定電位線LVcomとして構成されている。このため、第1定電位線に接続する第2接続端子、第3定電位線に接続する第3接続端子、および第2定電位線に接続する接続端子は、共通の接続端子TVcomとして構成されている。
また、本形態では、第2データ線6a2に接続する第1静電保護素子57a、および第3データ線6a3に接続する第2静電保護素子57bは、同一構成の静電保護素子57として構成されている。
また、サンプリングスイッチ108のうち、第1データ線6a1に接続するサンプリングスイッチ108が本発明における「第1サンプリングスイッチ」であり、第2データ線6a2に接続するサンプリングスイッチ108が本発明における「第2サンプリングスイッチ」であり、第3データ線6a3に接続するサンプリングスイッチ108が本発明における「第3サンプリングスイッチ」である。
図2および図4に示すように、本形態では、画像信号線LVID1〜LVID6が計6本形成されており、画像信号用の接続端子102(接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子))が6つ形成されている。それ故、6本で1グループのデータ線6aに対してグループG1、G2・・Gm毎に画像信号VID1〜VID6が供給される。ここで、画像信号線LVID1〜LVID6は、接続端子TVID1〜TVID6から延在し、表示領域10aとデータ線駆動回路101との間でX方向の一方側X1から他方側X2に延在している。また、定電位線LVcomは、接続端子TVcom(第2接続端子および第3接続端子)から延在し、表示領域10aと検査回路107との間でX方向の他方側X2から一方側X1に延在している。
複数のデータ線6aのうち、一部の複数のデータ線6aは、第1データ線6a1として、表示領域10aに形成された画素電極9a(第1画素電極9a1)に画素スイッチング素子30(第1画素スイッチング素子)を介して接続されている。他の一部の複数のデータ線6aは、第2データ線6a2として、表示領域10aよりX方向の一方側X1に位置するダミー領域10bに形成された画素電極9a(第2画素電極9a2)に画素スイッチング素子30(第2画素スイッチング素子)を介して接続されている。また、他の一部の複数のデータ線6aは、第3データ線6a3として、表示領域10aよりX方向の他方側X2に位置するダミー領域10bに形成された画素電極9a(第3画素電極9a3)に画素スイッチング素子30(第3画素スイッチング素子)を介して接続されている。具体的には、グループG1、G2・・Gmのうち、X方向の一方側X1に位置するグループG1の6本のデータ線6aが第2データ線6a2として構成され、X方向の他方側X2に位置するグループGmの6本のデータ線6aが第3データ線6a3として構成され、他のグループ(グループG2・・Gm−1)のデータ線6aが第1データ線6a1として構成されている。
電気光学装置100では、画像信号S1、S2、S3、・・Snのプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示品位の低下を緩和する必要があるとともに、静電気破壊を抑制する必要がある。
そこで、本形態では、複数のデータ線6aのうち、表示領域10aに位置する画素電極9a(第1画素電極9a1)に画像信号を供給するデータ線6a(第1データ線6a1)には、付加容量56(第1付加容量56a)が電気的に接続されている。付加容量56は、平面視で、表示領域10aと検査回路107との間に配置され、電気的には、第1データ線6a1と定電位線LVcomとの間に接続されている。
本形態では、第1データ線6a1に電気的に接続された第1容量電極561と、定電位線LVcomに電気的に接続された第2容量電極562とが対向するように設けられ、第1容量電極561と第2容量電極562との間には誘電体膜563が設けられている。従って、第1容量電極561と第2容量電極562とが対向し、かつ、第1容量電極561と第2容量電極562との間に誘電体膜563が挟まれている領域が付加容量56として機能する。
(静電気対策の第1構成)
また、本形態では、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6から侵入する静電気対策として、以下の第1構成が採用されている。かかる第1構成では、図2および図4に示すように、表示領域10aに対してX方向の一方側X1のダミー領域10bに形成されている画素電極9a(第2画素電極9a2)に画像信号を供給するグループG1のデータ線6a(画像信号S1〜S6に対応するデータ線6a)は、付加容量56が設けられておらず、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57(第1静電保護素子57a)が設けられた第2データ線6a2として構成されている。かかる静電保護素子57は、第2データ線6a2に一端571が電気的に接続し、定電位線LVcomに他端572が電気的に接続されている。本形態では、静電保護素子57として抵抗素子58が用いられている。
従って、複数の画像信号線LVID1〜LVID6のうち、同一の画像信号線に対応するデータ線6a同士を比較すると、接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)からの抵抗が大きいデータ線6aは第1データ線6a1として構成され、接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)からの抵抗が小さいデータ線6aは第2データ線6a2として構成されている。本形態では、複数の画像信号線LVID1〜LVID6は、導電材料および配線幅が同一であるため、同一の画像信号線に対応するデータ6a同士を比較すると、接続端子TVID1〜TVID6から第2データ線6a2に接続されたサンプリングスイッチまでの画像信号線の配線長さは、接続端子TVID1〜TVID6から第1データ線6a1への配線距離よりも短くなっている。
それ故、同一の画像信号線に対応するデータ6a同士を比較すると、第2データ線6a2と画像信号線とを電気的に接続するサンプリングスイッチ108(第2サンプリングスイッチ108b)と接続端子TVID1〜TVID6との間の画像信号線の抵抗は、第1データ線6a1と画像信号線とを電気的に接続するサンプリングスイッチ108(第1サンプリングスイッチ108a)と接続端子TVID1〜TVID6との間の画像信号線の抵抗よりも小さくなっている。
例えば、画像信号線LVID1に対応する第2データ線6a2(画像信号S1に対応するデータ線6a)と、同じく画像信号線LVID1に対応する第1データ線6a2(画像信号S7、S13・・に対応するデータ線6a)とを比較すると、第2データ線6a2に対応する第2サンプリングスイッチ108bと接続端子TVID1との間の抵抗は、第1データ線6a1に対応する第1サンプリングスイッチ108aと接続端子TVID1との間の抵抗より小さい。また、画像信号線LV2D1に対応する第2データ線6a2(画像信号S2に対応するデータ線6a)と、同じく画像信号線LVID2に対応する第1データ線6a2(画像信号S8、S14・・に対応するデータ線6a)とを比較すると、第2データ線6a2に対応する第2サンプリングスイッチ108bと接続端子TVID1との間の抵抗は、第1データ線6a1に対応する第1サンプリングスイッチ108aと接続端子TVID1との間の抵抗より小さい。その他の画像信号線LVID3〜LVID6に対応する第1データ線6a1や第2データ線6a2でも同様な関係になっている。
本形態では、表示領域10aに対してX方向の一方側X1に位置する画素電極9a(第2画素電極9a2)に画像信号を供給するデータ線6aの全部が第2データ線6a2になっている。このため、第2データ線6a2から画像信号が供給される画素電極9a(第2画素電極9a2)は、表示領域10aとX方向で隣り合っている。
(静電気対策の第2構成)
また、本形態では、定電位線LVcomの接続端子TVcomから侵入する静電気対策として、以下の第2構成が採用されている。かかる第2構成では、図2に示すように、表示領域10aに対してX方向の他方側X2のダミー領域10bに形成されている画素電極9a(第3画素電極9a3)に画像信号を供給するグループGmのデータ線6a(画像信号Sn−1〜Snに対応するデータ線6a)は、付加容量56が設けられておらず、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57(第2静電保護素子57b)が設けられた第3データ線6a3として構成されている。かかる静電保護素子57は、第2データ線6a2に一端571が電気的に接続し、定電位線LVcomに他端572が電気的に接続されている。本形態では、静電保護素子57として抵抗素子58が用いられている。
従って、複数の画像信号線LVID1〜LVID6のうち、同一の画像信号線に対応するデータ線6a同士を比較すると、接続端子TVcom(第2接続端子)からの抵抗が大きいデータ線6aは第1データ線6a1として構成され、接続端子TVcomからの抵抗が小さいデータ線6aは第3データ線6a3として構成されている。換言すれば、同一の画像信号線に対応するデータ6a同士を比較すると、接続端子TVcomから第3データ線6a3への配線距離は、接続端子TVcomから第1データ線6a1への配線距離よりも短くなっている。
それ故、複数の画像信号線LVID1〜LVID6のうち、同一の画像信号線に対応するデータ6a同士を比較すると、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと静電保護素子57の他端572との間の抵抗は、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第2容量電極562との間の抵抗より小さくなっている。
例えば、画像信号線LVID1に対応する第3データ線6a3(画像信号Sn−5に対応するデータ線6a)と、同じく画像信号線LVID1に対応する第1データ線6a1(画像信号S7、S13・・に対応するデータ線6a)とを比較すると、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと静電保護素子57の他端572との間の抵抗は、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第2容量電極562との間の抵抗より小さい。また、画像信号線LVID2に対応する第3データ線6a3(画像信号Sn−4に対応するデータ線6a)と、同じく画像信号線LVID1に対応する第1データ線6a1(画像信号S8、S14・・に対応するデータ線6a)とを比較すると、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと静電保護素子57の他端572との間の抵抗は、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第2容量電極562との間の抵抗より小さい。その他の画像信号線LVID3〜LVID6に対応する第1データ線6a1や第2データ線6a2でも同様な関係になっている。
本形態では、表示領域10aに対してX方向の他方側X2に位置する画素電極9a(第3画素電極9a3)に画像信号を供給するデータ線6aの全部が第3データ線6a3になっている。このため、第3データ線6a3から画像信号が供給される画素電極9a(第3画素電極9a3)は、表示領域10aとX方向で隣り合っている。
(付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)の構成例1)
図5は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100に構成した付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)の構成例1の説明図であり、図5(a)、(b)、(c)は、付加容量56等の平面図、A1−A1′断面図、およびA2−A2′断面図である。以下、図3(b)を参照して説明した膜との対応を説明しながら、付加容量56および静電保護素子57等を説明する。なお、第1静電保護素子57aと第2静電保護素子57bとは同一構成の静電保護素子57として構成されているため、以下の説明では、第1静電保護素子57aを中心に説明し、第2静電保護素子57bの説明を省略する。
図4を参照して説明した付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)を構成するにあたって、本例では、まず、図5に示すように、層間絶縁膜43の上層には、図3(b)に示す遮光膜8aと同層の導電膜によって定電位線LVcomが形成されており、定電位線LVcomは、X方向に沿って延在して第1データ線6a1および第2データ線6a2と交差している。本形態において、定電位線LVcomは、第2データ線6a2と重なる領域では、第1データ線6a1と重なる領域より幅が狭くなっている。なお、図示を省略するが、定電位線LVcomは、第3データ線6a3と重なる領域では、第1データ線6a1と重なる領域より幅が狭くなっている。
また、第1データ線6a1は、定電位線LVcomと平面視で重なる領域において、図3(b)に示す半導体層1aと同層の導電性ポリシリコン膜1sを経由している。具体的には、第1データ線6a1は、層間絶縁膜42、絶縁膜49、層間絶縁膜41、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42d、42eを介して導電性ポリシリコン膜1sの両端部に電気的に接続している。また、導電性ポリシリコン膜1sと平面視で重なる領域には、層間絶縁膜41の上層側に、ドレイン電極4aと同層の導電膜4dからなる第1容量電極561と、誘電体膜40と同層の誘電体膜563と、容量線5aと同層の導電膜5dからなる第2容量電極562とが順に積層されている。第1容量電極561は、層間絶縁膜41およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール41dを介して導電性ポリシリコン膜1sに電気的に接続し、定電位線LVcomは、層間絶縁膜42、43を貫通するコンタクトホール43dを介して第2容量電極562に電気的に接続している。このようにして、第1データ線6a1に電気的に接続された第1容量電極561と、定電位線LVcomに電気的に接続された第2容量電極562とが対向し、かつ、第1容量電極561と第2容量電極562との間に誘電体膜563が形成されている部分によって付加容量56が構成されている。
これに対して、第2データ線6a2は、他の導電膜を経由せずに層間絶縁膜42の上層で延在している。但し、第2データ線6a2には、切り欠き6wが形成されている。また、第2データ線6a2と平面視で重なる領域には、途中で半導体層1aと同層の導電性ポリシリコン膜1tが形成されており、かかる導電性ポリシリコン膜1tは、抵抗素子58(静電保護素子57)を構成している。ここで、第2データ線6a2は、層間絶縁膜42、絶縁膜49、層間絶縁膜41、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42fを介して導電性ポリシリコン膜1t(抵抗素子58)の一端571に電気的に接続し、定電位線LVcomは、層間絶縁膜42、43、絶縁膜49、層間絶縁膜41、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール43gを介して導電性ポリシリコン膜1t(抵抗素子58)の他端572に電気的に接続している。このようにして、画素スイッチング素子30に用いた能動層と同層の半導体膜を利用して抵抗素子58が構成されている。
本形態において、導電性ポリシリコン膜1tは、幅がW1の幅狭部分1taと、幅がW2の幅広部分1tbとを備えており、幅狭部分1taの幅W1を幅広部分1tbの幅W2より狭くすることにより、導電性ポリシリコン膜1tによって所定の抵抗値を有する抵抗素子58が構成されている。従って、導電性ポリシリコン膜1tの長さを変えなくても、幅狭部分1taの幅や幅狭部分1taの長さによって、抵抗素子58の抵抗値を任意に設定することができる。なお、導電性ポリシリコン膜1tの一端に形成された幅広部分1tb上にはコンタクトホール42fが形成され、他端に形成された幅広部分1tb上にはコンタクトホール43gが形成されている。また、コンタクトホール43gは、平面視で第2データ線6a2の切り欠き6wの内側に形成されている。
(付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)の構成例2)
図6は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100に構成した付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)の構成例2の説明図であり、図6(a)、(b)、(c)は、付加容量56等の平面図、B1−B1′断面図、およびB2−B2′断面図である。以下、図3(b)を参照して説明した膜との対応を説明しながら、付加容量56および静電保護素子57等を説明する。なお、第1静電保護素子57aと第2静電保護素子57bとは同一構成の静電保護素子57として構成されているため、以下の説明では、第1静電保護素子57aを中心に説明し、第2静電保護素子57bの説明を省略する。
図4を参照して説明した付加容量56および静電保護素子57(抵抗素子58)を構成するにあたって、本例では、まず、図6に示すように、層間絶縁膜43の上層には、図3(b)に示す遮光膜8aと同層の導電膜によって定電位線LVcomが形成されており、定電位線LVcomは、X方向に沿って延在して第1データ線6a1および第2データ線6a2と交差している。本形態において、定電位線LVcomは、第2データ線6a2と重なる領域では、第1データ線6a1と重なる領域より幅が狭くなっている。なお、図示を省略するが、定電位線LVcomは、第3データ線6a3と重なる領域では、第1データ線6a1と重なる領域より幅が狭くなっている。
本例において、第1データ線6a1は、他の導電膜を経由せずに層間絶縁膜42の上層で延在している。但し、第1データ線6a1には、切り欠き6uが形成されている。また、第1データ線6a1と平面視で重なる領域には、層間絶縁膜41の上層側に、ドレイン電極4aと同層の導電膜4eからなる第1容量電極561と、誘電体膜40と同層の誘電体膜563と、容量線5aと同層の導電膜5dからなる第2容量電極562とが順に積層されている。第1データ線6a1は、層間絶縁膜42および絶縁膜49を貫通するコンタクトホール42hを介して第1容量電極561に電気的に接続し、定電位線LVcomは、層間絶縁膜42、43を貫通するコンタクトホール43dを介して第2容量電極562に電気的に接続している。このようにして、第1データ線6a1に電気的に接続された第1容量電極561と、定電位線LVcomに電気的に接続された第2容量電極562と、第1容量電極561と第2容量電極562との間に挟まれた誘電体膜563とを備えた付加容量56が構成されている。なお、コンタクトホール43dは、平面視で第1データ線6a1の切り欠き6uの内側に形成されている。
これに対して、第2データ線6a2は、図5を参照して説明した構成と同様、他の導電膜を経由せずに層間絶縁膜42の上層で延在しており、切り欠き6wが形成されている。また、第2データ線6a2と平面視で重なる領域には、途中で半導体層1aと同層の導電性ポリシリコン膜1tが形成されており、かかる導電性ポリシリコン膜1tは、細幅に形成されて抵抗素子58(静電保護素子57)を構成している。ここで、第2データ線6a2は、層間絶縁膜42、絶縁膜49、層間絶縁膜41、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42fを介して導電性ポリシリコン膜1t(抵抗素子58)の一端571に電気的に接続し、定電位線LVcomは、層間絶縁膜42、43、絶縁膜49、層間絶縁膜41、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール43gを介して導電性ポリシリコン膜1t(抵抗素子58)の他端572に電気的に接続している。このようにして、画素スイッチング素子30に用いた能動層と同層の半導体膜を利用して抵抗素子58が構成されている。
本形態において、導電性ポリシリコン膜1tは、幅がW1の幅狭部分1taと、幅がW2の幅広部分1tbとを備えており、幅狭部分1taの幅W1を幅広部分1tbの幅W2より狭くすることにより、導電性ポリシリコン膜1tによって所定の抵抗値を有する抵抗素子58が構成されている。従って、導電性ポリシリコン膜1tの長さを変えなくても、幅狭部分1taの幅や幅狭部分1taの長さによって、抵抗素子58の抵抗値を任意に設定することができる。なお、導電性ポリシリコン膜1tの一端に形成された幅広部分1tb上にはコンタクトホール42fが形成され、他端に形成された幅広部分1tb上にはコンタクトホール43gが形成されている。また、コンタクトホール43gは、平面視で第2データ線6a2の切り欠き6wの内側に形成されている。
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態の電気光学装置100では、複数のデータ線6aのうち、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)、および定電位線LVcomの接続端子TVcom(第2接続端子)からの抵抗が大きい第1データ線6a1では、接続端子TVID1〜TVID6および接続端子TVcomから静電気が侵入しにくいので、定電位線LVcomとの間に付加容量56(第1付加容量56a)が設けられている。これに対して、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)、からの抵抗が小さい第2データ線6a2では、接続端子TVID1〜TVID6から静電気が侵入しやすいので、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57(第1静電保護素子57a)が設けられている。また、定電位線LVcomの接続端子TVcom(第2接続端子)からの抵抗が小さい第3データ線6a3では、接続端子TVcomから静電気が侵入しやすいので、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57(第2静電保護素子57b)が設けられている。このため、付加容量56が静電破壊によって短絡するという問題の発生を抑制することができる。
また、本形態では、静電保護素子57として抵抗素子58が用いられており、かかる抵抗素子58であれば、静電気によって断線状態となる。このため、それ以降、電流の漏れ等が発生しない。
また、抵抗素子58は、画素スイッチング素子30やサンプリングスイッチ108(第1サンプリングスイッチ108aおよび第2サンプリングスイッチ108b)の能動層と同層に形成された半導体層(導電性ポリシリコン膜1t)により構成されているため、抵抗素子58を形成する場合でも、抵抗用の膜を新たに追加する必要がない。
[実施の形態2]
図7は、本発明の実施の形態2に係る電気光学装置100の素子基板10の電気的構成を示す説明図である。図8は、本発明の実施の形態2に係る電気光学装置100の付加容量56および静電気対策を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
実施の形態1では、表示領域10aと検査回路107との間(表示領域10aに対してY方向の他方側Y2)に付加容量56や静電保護素子57(抵抗素子58)が設けられていたが、本形態では、図7および図8に示すように、表示領域10aとサンプリング回路103との間(表示領域10aに対してY方向の一方側Y1)に付加容量56や静電保護素子57(抵抗素子58)が設けられている。
その他の構成は実施の形態1と同様である。このため、本形態でも、実施の形態1と同様、複数のデータ線6aのうち、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)、および定電位線LVcomの接続端子TVcom(第2接続端子)からの抵抗が大きい第1データ線6a1では、定電位線LVcomとの間に付加容量56(第1付加容量)が設けられている。これに対して、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6(第1接続端子)、および定電位線LVcomの接続端子TVcom(第2接続端子)からの抵抗が小さい第2データ線6a2および第3データ線6a3では、定電位線LVcomとの間に静電保護素子57(第1静電保護素子57aおよび第2静電保護素子57b)素子が設けられている。このため、付加容量56が静電破壊によって短絡するという問題の発生を抑制することができる等、実施の形態1と同様な効果を奏する。
[実施の形態3]
図9は、本発明の実施の形態3に係る電気光学装置100の説明図であり、図9(a)、(b)は、付加容量56および静電気対策を示す説明図、および静電保護素子57の説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。また、第1静電保護素子57aと第2静電保護素子57bとは同一構成の静電保護素子57として構成されているため、以下の説明では、第1静電保護素子57aを中心に説明し、第2静電保護素子57bの説明を省略する
実施の形態1、2では、静電保護素子57(第1静電保護素子57a)として抵抗素子58を用いたが、図9に示すように、本形態では、2つのダイオード素子(第1ダイオード素子59aおよび第2ダイオード素子59b)が用いられている。また、本形態では、定電位線として、第1定電位VDDが供給される第1定電位供給線LVDDと、第1定電位VDDより低い第2定電位VSSが供給される第2定電位供給線LVSSと、第1定電位VDDと第2定電位VSSとの間の第3定電位(定電位Vcom)が供給される第3電位供給線(定電位線LVcom)とが設けられている。ここで、第1定電位VDDとしては、正電源VDDX、正電源VDDYあるいは別の正電源を用いることができ、第2定電位VSSとしては、負電源VSSX、負電源VSSYあるいは別の負電源を用いることができる。
このように構成した電気光学装置100においても、第1データ線6a1と定電位線LVcomとの間に付加容量56が設けられており、付加容量56の第2容量電極562は、定電位線LVcomに電気的に接続されている。
また、第1定電位供給線LVDDと第2データ線6a2との間には、第1ダイオード素子59aが接続され、第2定電位供給線LVSSと第2データ線6a2との間には、第2ダイオード素子59bが接続されている。第1ダイオード素子59aは、アノードが静電保護素子57の一端571として第2データ線6a2に電気的に接続し、カソードが静電保護素子57の他端572aとして第1定電位供給線LVDDに電気的に接続している。第2ダイオード素子59bは、カソードが静電保護素子57の一端571として第2データ線6a2に電気的に接続し、アノードが静電保護素子57の他端572bとして第2定電位供給線LVSSに電気的に接続している。
ここで、第1ダイオード素子59aおよび第2ダイオード素子59bは、画素スイッチング素子30、サンプリングスイッチ108(第1サンプリングスイッチ108aおよび第2サンプリングスイッチ108b)、データ線駆動回路101に形成されたトランジスター、および走査線駆動回路104に形成されたトランジスターの能動層と同層に形成された半導体層を備えたトランジスターをダイオード接続してなる。より具体的には、第1ダイオード素子59aは、P型トランジスターであり、ドレインは、第1定電位供給線LVDDに電気的に接続され、ゲートおよびソースは互いに電気的に短絡されて、第1定電位供給線LVDDに電気的に接続されている。第2ダイオード素子59bは、N型トランジスターであり、ソースは、第2データ線6a2に電気的に接続され、ゲートおよびドレインは互いに電気的に短絡されて、第2定電位供給線LVSSに電気的に接続されている。
このような構成によれば、通常時、第1ダイオード素子59aおよび第2ダイオード素子59bは逆バイアスされた状態にあるので、第2データ線6a2から電流の漏れが発生しない。また、製造工程において、画像信号線LVID1〜LVID6の接続端子TVID1〜TVID6から静電気が侵入した際、第1定電位供給線LVDDや第2定電位供給線LVSSに逃がすことができる。また、第1定電位供給線LVDDの接続端子TVDDや第2定電位供給線LVSSの接続端子TVSSから静電気が侵入した際、第2データ線6a2に逃がすことができる。
また、第2静電保護素子57bについても、同様な構成とすれば、静電気を逃がすことができる。
[実施の形態4]
上記実施の形態では、表示領域10aに対してX方向に位置する画素電極9a(第2画素電極9a2および第3画素電極9a3)に画像信号を供給するデータ線6aの全部を第2データ線6a2または第3データ線6a3としたが、表示領域10aに対してX方向に位置する画素電極9a(第2画素電極9a2および第3画素電極9a3)に画像信号を供給するデータ線6aの一部を第1データ線6a1としてもよい。例えば、表示領域10aから遠い側に設けられたデータ線6aを第2データ線6a2または第3データ線6a3とし、他のデータ線6aを第1データ線6a1とする。
かかる構成によれば、静電気が侵入しにくいデータ線6aには付加容量56を設けることになるため、ダミー領域10bと表示領域10aとの境界でも、画像信号電位のプッシュダウンやプッシュアップに起因する表示ムラの発生を防止することができる。
図10を参照して、かかる形態の一例を説明する。図10は、本発明の実施の形態4に係る電気光学装置100の説明図であり、図10(a)、(b)、(c)は、素子基板10の電気的構成を示す説明図、第2付加容量の説明図、および第3付加容量の説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
図10に示すように、本形態でも、実施の形態1と同様、表示領域10aの画素電極9a(第1画素電極9a1)に画像信号を供給するデータ線6aの全部が第1データ線6a1として構成されている。
本形態では、第1データ線6a1と第2データ線6a2との間にはY方向に沿って延在する第4データ線6a4が形成されており、第4データ線6a4は、サンプリングスイッチ108(第4サンプリングスイッチ)を介して画像信号線LVID6に電気的に接続している。また、第2データ線6a2から画像信号が供給される画素電極9a(第2画素電極9a2)と表示領域10aとの間には、第4データ線6a4から画像信号が供給される画素電極9a(第4画素電極9a4)が形成されており、画素スイッチング素子30(第4画素スイッチング素子)は、第4データ線6a4および第4画素電極9a4に電気的に接続している。
ここで、第4データ線6a4と定電位線LVcomとの間には付加容量56(第2付加容量56b)が設けられている。第2付加容量56bは、第4データ線6a4に電気的に接続された第3容量電極564、および第3容量電極564に第2誘電体膜566を介して対向し、定電位線LVcomに電気的に接続された第4容量電極565を備えている。第2付加容量56bは、図5および図6を参照して説明した第1付加容量56aと同一の構成を有している。
かかる構成では、画像信号線LVID6における接続端子TLVID6(第1端子)と、第4データ線6a4に接続するサンプリングスイッチ108(第4サンプリングスイッチ)との間の抵抗が、画像信号線LVID6における接続端子TLVID6(第1端子)と第1データ線6a1に接続するサンプリングスイッチ108(第1サンプリングスイッチ)との間の抵抗より小さい。但し、画像信号線LVID6における接続端子TLVID6(第1端子)と、第4データ線6a4に接続するサンプリングスイッチ108(第4サンプリングスイッチ)との間の抵抗は、画像信号線LVID6における接続端子TLVID6(第1端子)と第2データ線6a2に接続するサンプリングスイッチ108(第2サンプリングスイッチ)との間の抵抗より大きい。このため、接続端子TLVID6から静電気が侵入しても、第2付加容量56bは、静電破壊されにくい。
また、本形態では、第1データ線6a1と第3データ線6a3との間にはY方向に沿って延在する第5データ線6a5が形成されており、第5データ線6a5は、サンプリングスイッチ108(第5サンプリングスイッチ)を介して画像信号線LVID1に電気的に接続している。また、第3データ線6a3から画像信号が供給される画素電極9a(第3画素電極9a3)と表示領域10aとの間には、第5データ線6a5から画像信号が供給される画素電極9a(第5画素電極9a5)が形成されており、画素スイッチング素子30(第5画素スイッチング素子)は、第5データ線6a5および第5画素電極9a5に電気的に接続している。
ここで、第5データ線6a5と定電位線LVcomとの間には付加容量56(第3付加容量56c)が設けられている。第3付加容量56cは、第5データ線6a5に電気的に接続された第5容量電極567、および第5容量電極567に第2誘電体膜569を介して対向し、定電位線LVcomに電気的に接続された第6容量電極568を備えている。第3付加容量56cは、図5および図6を参照して説明した第1付加容量56aと同一の構成を有している。
かかる構成では、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第6容量電極568との間の抵抗が、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第2容量電極562との間の抵抗より小さい。但し、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと第6容量電極568との間の抵抗は、定電位線LVcomにおける接続端子TVcomと、第3データ線6a3に接続する静電保護素子57(第2静電保護素子57b)の他端572との間の抵抗より大きい。このため、接続端子TVcomから静電気が侵入しても、第3付加容量56cは、静電破壊されにくい。
[実施の形態5]
本形態では、表示領域10aの外側で延在している複数のデータ線6aの一部を第2データ線6a2とするにあたって、画像信号線LVID1〜LVID6において幅方向の端で延在している画像信号線LVID1および画像信号線LVID6に対応するデータ線6aの一方、あるいは双方を第2データ線6a2とする。画像信号線LVID1〜LVID6が複数並列して延在している場合、画像信号線LVID1〜LVID6に電気的に接続する接続端子TVID1〜TVID6は、複数配置されることになる。この場合、複数の接続端子TVID1〜TVID6のうち、端に位置する接続端子には静電気が侵入しやすいので、かかる接続端子に対応するデータ線6aを第2データ線6a2とすれば、静電気に起因する付加容量の破損を抑制することができる。
[他の実施の形態]
上記実施の形態では、第1定電位線、第2定電位線および第3定電位線が共通の定電位線LVcomとして構成され、第1定電位線に接続する第2接続端子、第3定電位線に接続する第3接続端子、および第2定電位線に接続する接続端子が共通の接続端子TVcomとして構成されていたが、第1定電位線、第2定電位線および第3定電位線が別の配線である場合に本発明を適用してもよい。
この場合、定電位線の接続端子から侵入する静電気対策としては、第3定電位線における第3接続端子と第2静電保護素子57bの他端572との間の抵抗が、第1定電位線における第2接続端子と第2容量電極562との間の抵抗より小さく設定されることになる。
上記実施の形態では、データ線駆動回路101および走査線駆動回路104の双方が素子基板10に構成されていたが、データ線駆動回路101および走査線駆動回路104の一方あるいは双方が素子基板10に接続されたフレキシブル配線基板に実装された半導体集積回路として構成されている電気光学装置に本発明を適用してもよい。また、本形態では、素子基板10の基板本体10wとしてガラス基板や石英基板を用いたが、シリコン単結晶基板を基板本体10wとして用いた電気光学装置に本発明を適用してもよい。
[他の電気光学装置]
上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマディスプレイ、FED(Field Emission Display)、SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)、LED(発光ダイオード)表示装置、電気泳動表示装置等の電気光学装置に本発明を適用してもよい。
[電子機器への搭載例]
(投射型表示装置および光学ユニットの構成例)
図11は、本発明を適用した投射型表示装置(電子機器)および光学ユニットの概略構成図である。
図11に示す投射型表示装置110は、観察者側に設けられたスクリーン111に光を照射し、このスクリーン111で反射した光を観察する、いわゆる投影型の投射型表示装置である。投射型表示装置110は、光源112を備えた光源部130と、ダイクロイックミラー113、114と、液晶ライトバルブ115〜117と、投射光学系118と、クロスダイクロイックプリズム119(合成光学系)と、リレー系120とを備えており、電気光学装置100およびクロスダイクロイックプリズム119は、光学ユニット200を構成している。
光源112は、赤色光R、緑色光G、および青色光Bを含む光を供給する超高圧水銀ランプで構成されている。ダイクロイックミラー113は、光源112からの赤色光Rを透過させるとともに、緑色光G、および青色光Bを反射する構成となっている。また、ダイクロイックミラー114は、ダイクロイックミラー113で反射された緑色光Gおよび青色光Bのうち青色光Bを透過させるとともに緑色光Gを反射する構成となっている。このように、ダイクロイックミラー113、114は、光源112から出射した光を赤色光Rと緑色光Gと青色光Bとに分離する色分離光学系を構成する。
ここで、ダイクロイックミラー113と光源112との間には、インテグレーター121および偏光変換素子122が光源112から順に配置されている。インテグレーター121は、光源112から照射された光の照度分布を均一化する構成となっている。また、偏光変換素子122は、光源112からの光を、例えばs偏光のような特定の振動方向を有する偏光にする構成となっている。
液晶ライトバルブ115は、ダイクロイックミラー113を透過して反射ミラー123で反射した赤色光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ115は、λ/2位相差板115a、第1偏光板115b、電気光学装置100(赤色用液晶パネル100R)、および第2偏光板115dを備えている。ここで、液晶ライトバルブ115に入射する赤色光Rは、ダイクロイックミラー113を透過しても光の偏光は変化しないことから、s偏光のままである。
λ/2位相差板115aは、液晶ライトバルブ115に入射したs偏光をp偏光に変換する光学素子である。また、第1偏光板115bは、s偏光を遮断してp偏光を透過させる偏光板である。そして、電気光学装置100(赤色用液晶パネル100R)は、p偏光を画像信号に応じた変調によってs偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)に変換する構成となっている。さらに、第2偏光板115dは、p偏光を遮断してs偏光を透過させる偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ115は、画像信号に応じて赤色光Rを変調し、変調した赤色光Rをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出射する構成となっている。
なお、λ/2位相差板115a、および第1偏光板115bは、偏光を変換させない透光性のガラス板115eに接した状態で配置されており、λ/2位相差板115a、および第1偏光板115bが発熱によって歪むのを回避することができる。
液晶ライトバルブ116は、ダイクロイックミラー113で反射した後にダイクロイックミラー114で反射した緑色光Gを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。かかる液晶ライトバルブ116は、液晶ライトバルブ115と同様に、第1偏光板116b、電気光学装置100(緑色用液晶パネル100G)、および第2偏光板116dを備えている。液晶ライトバルブ116に入射する緑色光Gは、ダイクロイックミラー113、114で反射されて入射するs偏光である。第1偏光板116bは、p偏光を遮断してs偏光を透過させる偏光板である。また、電気光学装置100(緑色用液晶パネル100G)は、s偏光を画像信号に応じた変調によってp偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)に変換する構成となっている。そして、第2偏光板116dは、s偏光を遮断してp偏光を透過させる偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ116は、画像信号に応じて緑色光Gを変調し、変調した緑色光Gをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出射する構成となっている。
液晶ライトバルブ117は、ダイクロイックミラー113で反射し、ダイクロイックミラー114を透過した後でリレー系120を経た青色光Bを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。かかる液晶ライトバルブ117は、液晶ライトバルブ115、116と同様に、λ/2位相差板117a、第1偏光板117b、電気光学装置100(青色用液晶パネル100B)、および第2偏光板117dを備えている。ここで、液晶ライトバルブ117に入射する青色光Bは、ダイクロイックミラー113で反射してダイクロイックミラー114を透過した後にリレー系120の後述する2つの反射ミラー125a、125bで反射することから、s偏光となっている。
λ/2位相差板117aは、液晶ライトバルブ117に入射したs偏光をp偏光に変換する光学素子である。また、第1偏光板117bは、s偏光を遮断してp偏光を透過させる偏光板である。そして、電気光学装置100(青色用液晶パネル100B)は、p偏光を画像信号に応じた変調によってs偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)に変換する構成となっている。さらに、第2偏光板117dは、p偏光を遮断してs偏光を透過させる偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ117は、画像信号に応じて青色光Bを変調し、変調した青色光Bをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出射する構成となっている。なお、λ/2位相差板117a、および第1偏光板117bは、ガラス板117eに接した状態で配置されている。
リレー系120は、リレーレンズ124a、124bと反射ミラー125a、125bとを備えている。リレーレンズ124a、124bは、青色光Bの光路が長いことによる光損失を防止するために設けられている。ここで、リレーレンズ124aは、ダイクロイックミラー114と反射ミラー125aとの間に配置されている。また、リレーレンズ124bは、反射ミラー125a、125bの間に配置されている。反射ミラー125aは、ダイクロイックミラー114を透過してリレーレンズ124aから出射した青色光Bをリレーレンズ124bに向けて反射するように配置されている。また、反射ミラー125bは、リレーレンズ124bから出射した青色光Bを液晶ライトバルブ117に向けて反射するように配置されている。
クロスダイクロイックプリズム119は、2つのダイクロイック膜119a、119bをX字型に直交配置した色合成光学系である。ダイクロイック膜119aは青色光Bを反射して緑色光Gを透過する膜であり、ダイクロイック膜119bは赤色光Rを反射して緑色光Gを透過する膜である。従って、クロスダイクロイックプリズム119は、液晶ライトバルブ115〜117の各々で変調された赤色光Rと緑色光Gと青色光Bとを合成し、投射光学系118に向けて出射するように構成されている。
なお、液晶ライトバルブ115、117からクロスダイクロイックプリズム119に入射する光はs偏光であり、液晶ライトバルブ116からクロスダイクロイックプリズム119に入射する光はp偏光である。このようにクロスダイクロイックプリズム119に入射する光を異なる種類の偏光としていることで、クロスダイクロイックプリズム119において各液晶ライトバルブ115〜117から入射する光を合成できる。ここで、一般に、ダイクロイック膜119a、119bはs偏光の反射トランジスター特性に優れている。このため、ダイクロイック膜119a、119bで反射される赤色光R、および青色光Bをs偏光とし、ダイクロイック膜119a、119bを透過する緑色光Gをp偏光としている。投射光学系118は、投影レンズ(図示略)を有しており、クロスダイクロイックプリズム119で合成された光をスクリーン111に投射するように構成されている。
(他の投射型表示装置)
投射型表示装置においては、光源部として、各色の光を出射するLED光源等を用い、かかるLED光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
(他の電子機器)
本発明を適用した電気光学装置100については、上記の電子機器の他にも、携帯電話機、情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistants)、デジタルカメラ、液晶テレビ、カーナビゲーション装置、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等の電子機器において直視型表示装置として用いてもよい。
1a・・半導体層、1s・・導電性ポリシリコン膜、1t・・導電性ポリシリコン膜、1ta・・幅狭部分、1tb・・幅広部分、5a・・容量線、6a・・データ線、6a1・・第1データ線、6a2・・第2データ線、6a3・・第3データ線、6a4・・第4データ線、6a5・・第5データ線、9a・・画素電極、9a1・・第1画素電極、9a2・・第2画素電極、9a3・・第3画素電極、9a4・・第4画素電極、9a5・・第5画素電極、10・・素子基板、10a・・表示領域、10b・・ダミー領域、30・・画素スイッチング素子、50・・電気光学層、55・・保持容量、56・・付加容量、56a・・第1付加容量、56b・・第2付加容量、56c・・第3付加容量、57・・静電保護素子、57a・・静電保護素子、57b・・静電保護素子、58・・抵抗素子、59a・・第1ダイオード素子、59b・・第2ダイオード素子、100・・電気光学装置、100a・・画素、100p・・液晶パネル、101・・データ線駆動回路、104・・走査線駆動回路、108・・サンプリングスイッチ、108a・・第1サンプリングスイッチ、108b・・第2サンプリングスイッチ、561・・第1容量電極、562・・第2容量電極、563・・第1誘電体膜、564・・第3容量電極、565・・第4容量電極、566・・第2誘電体膜、567・・第5容量電極、568・・第6容量電極、569・・第3誘電体膜、571・・一端、572、572a、572b・・他端、G1〜Gm・・グループ、LVcom・・電位線、LVDD・・第1定電位供給線、LVID、LVID1〜LVID6・・画像信号線、LVSS・・第2定電位供給線、S1〜Sn・・画像信号、TVcom・・接続端子(第2接続端子、第3接続端子)、TVDD・・接続端子、TVID、TVID1〜TVID6・・接続端子(第1接続端子)、TVSS・・接続端子、VDD・・第1定電位、VSS・・第2定電位

Claims (20)

  1. 第1方向に沿って延在する第1データ線と、
    前記第1方向に沿って延在する第2データ線と、
    前記第1データ線に接続された第1サンプリングスイッチと、
    該第1サンプリングスイッチを介して前記第1データ線に電気的に接続された画像信号線と、
    前記第1データ線に電気的に接続された第1容量電極、および該第1容量電極に誘電体膜を介して対向し、第1定電位線に電気的に接続された第2容量電極を備えた第1付加容量と、
    前記第2データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第2サンプリングスイッチと、
    前記第2データ線に一端が電気的に接続され、前記第2定電位線に他端が電気的に接続された第1静電保護素子と、
    前記画像信号線に電気的に接続された第1接続端子と、
    を有し、
    前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第2サンプリングスイッチとの間の抵抗が、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第1サンプリングスイッチとの間の抵抗より小さいことを特徴とする電気光学装置。
  2. 第1方向に沿って延在する第1データ線と、
    前記第1方向に沿って延在する第3データ線と、
    前記第1データ線に接続された第1サンプリングスイッチと、
    該第1サンプリングスイッチを介して前記第1データ線に電気的に接続された画像信号線と、
    前記第1データ線に電気的に接続された第1容量電極、および該第1容量電極に誘電体膜を介して対向し、第1定電位線に電気的に接続された第2容量電極を備えた第1付加容量と、
    前記第3データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第3サンプリングスイッチと、
    前記第3データ線に一端が電気的に接続され、第3定電位線に他端が電気的に接続された第2静電保護素子と、
    前記第1定電位線に電気的に接続された第2接続端子と、
    前記第3定電位線に電気的に接続された第3接続端子と、
    を有し、
    前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さいことを特徴とする電気光学装置。
  3. 前記第1方向に沿って延在する第3データ線と、
    前記第3データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第3サンプリングスイッチと、
    前記第3データ線に一端が電気的に接続され、第3定電位線に他端が電気的に接続された第2静電保護素子と、
    前記第1定電位線に電気的に接続された第2接続端子と、
    前記第3定電位線に電気的に接続された第3接続端子と、
    を有し、
    前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さいことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
  4. 表示領域に形成された第1画素電極と、
    前記第1画素電極および前記第1データ線と電気的に接続された第1画素スイッチング素子と、
    前記表示領域の前記第1方向と交差する第2方向に形成された第2画素電極と、
    前記第2画素電極および前記第2データ線と電気的に接続された第2画素スイッチング素子と、
    を含むことを特徴とする請求項1または3に記載の電気光学装置。
  5. 前記第2画素電極は、前記表示領域と前記第2方向で隣り合うことを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。
  6. 表示領域に形成された第1画素電極と、
    前記第1画素電極および前記第1データ線と電気的に接続された第1画素スイッチング素子と、
    前記表示領域の前記第1方向と交差する第2方向に形成された第3画素電極と、
    前記第3画素電極および前記第3データ線と電気的に接続された第3画素スイッチング素子と、
    を含むことを特徴とする請求項2または3に記載の電気光学装置。
  7. 前記第3画素電極は、前記表示領域と前記第2方向で隣り合うことを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置。
  8. 前記第2方向で前記表示領域と前記第2画素電極との間に形成された第4画素電極と、
    前記第1データ線と前記第2データ線との間で前記第1方向に沿って延在する第4データ線と、
    前記第4画素電極および前記第4データ線と電気的に接続された第4画素スイッチング素子と、
    前記第4データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第4サンプリングスイッチと、
    前記第4データ線に電気的に接続された第3容量電極、および該第3容量電極に第2誘電体膜を介して対向し、前記第1定電位線に電気的に接続された第4容量電極を備えた第2付加容量と、
    を含み、
    前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第4サンプリングスイッチとの間の抵抗が、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第1サンプリングスイッチとの間の抵抗より小さく、前記画像信号線における前記第1接続端子と前記第2サンプリングスイッチとの間の抵抗より大きいことを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。
  9. 前記第2方向で前記表示領域と前記第3画素電極との間に形成された第5画素電極と、
    前記第1データ線と前記第3データ線との間で前記第1方向に沿って延在する第5データ線と、
    前記第5画素電極および前記第5データ線と電気的に接続された第5画素スイッチング素子と、
    前記第5データ線と前記画像信号線との間に電気的に接続された第5サンプリングスイッチと、
    前記第5データ線に電気的に接続された第5容量電極、および該第5容量電極に第3誘電体膜を介して対向し、前記第3定電位線に電気的に接続された第6容量電極を備えた第3付加容量と、
    を含み、
    前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第6容量電極との間の抵抗が、前記第1定電位線における前記第2接続端子と前記第2容量電極との間の抵抗より小さく、前記第3定電位線における前記第3接続端子と前記第2静電保護素子の前記他端との間の抵抗より大きいことを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置。
  10. 前記第1定電位線と前記第2定電位線とは、同一の定電位線であることを特徴とする請求項1、3、4、5または8に記載の電気光学装置。
  11. 前記第1定電位線と前記第3定電位線とは、同一の定電位線であり、
    前記第2接続端子と前記第3接続端子とは、同一の接続端子であることを特徴とする請求項2、3、6、7または9に記載の電気光学装置。
  12. 前記第1静電保護素子は、抵抗素子であることを特徴とする請求項1、3、4、5、8または10に記載の電気光学装置。
  13. 前記第2静電保護素子は、抵抗素子であることを特徴とする請求項2、3、6、7、9または11に記載の電気光学装置。
  14. 前記抵抗素子は、前記第1サンプリングスイッチの能動層と同層に形成された半導体層により構成されていることを特徴とする請求項12または13に記載の電気光学装置。
  15. 前記定電位線として、第1定電位が供給される第1定電位供給線と、前記第1定電位より低い第2定電位が供給される第2定電位供給線と、前記第1定電位と前記第2定電位との間の第3電位が供給される第3定電位供給線と、が設けられ、
    前記第2容量電極は、前記第3定電位供給線に電気的に接続し、
    前記第1静電保護素子は、
    アノードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、カソードが前記他端として前記第1定電位供給線に電気的に接続された第1ダイオード素子と、
    カソードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、アノードが前記他端として前記第2定電位供給線に電気的に接続された第2ダイオード素子と、
    を有していることを特徴とする請求項10に記載の電気光学装置。
  16. 前記定電位線として、第1定電位が供給される第1定電位供給線と、前記第1定電位より低い第2定電位が供給される第2定電位供給線と、前記第1定電位と前記第2定電位との間の第3電位が供給される第3定電位供給線と、が設けられ、
    前記第2容量電極は、前記第3定電位供給線に電気的に接続し、
    前記第2静電保護素子は、
    アノードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、カソードが前記他端として前記第1定電位供給線に電気的に接続された第1ダイオード素子と、
    カソードが前記一端として前記第2データ線に電気的に接続し、アノードが前記他端として前記第2定電位供給線に電気的に接続された第2ダイオード素子と、
    を有していることを特徴とする請求項11に記載の電気光学装置。
  17. 前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記第1サンプリングスイッチの能動層と同層に形成された半導体層を備えたトランジスターをダイオード接続してなることを特徴とする請求項15または16に記載の電気光学装置。
  18. 前記第1定電位線および前記第2定電位線は、前記第1データ線および前記第2データ線との間に絶縁膜を介して前記第1データ線および前記第2データ線と交差しており、
    前記第1定電位線および前記第2定電位線は、前記第2データ線と平面視で重なる部分の幅が前記第1データ線と平面視で重なる部分の幅より狭いことを特徴とする請求項1、3、4、5、8、10または12に記載の電気光学装置。
  19. 前記第1定電位線および前記第3定電位線は、前記第1データ線および前記第3データ線との間に絶縁膜を介して前記第1データ線および前記第2データ線と交差しており、
    前記第1定電位線および前記第3定電位線は、前記第3データ線と平面視で重なる部分の幅が前記第1データ線と平面視で重なる部分の幅より狭いことを特徴とする請求項2、3、6、7、9、11または13に記載の電気光学装置。
  20. 請求項1乃至19の何れか一項に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。
JP2013085521A 2013-04-16 2013-04-16 電気光学装置および電子機器 Pending JP2014206704A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013085521A JP2014206704A (ja) 2013-04-16 2013-04-16 電気光学装置および電子機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013085521A JP2014206704A (ja) 2013-04-16 2013-04-16 電気光学装置および電子機器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014206704A true JP2014206704A (ja) 2014-10-30

Family

ID=52120265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013085521A Pending JP2014206704A (ja) 2013-04-16 2013-04-16 電気光学装置および電子機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014206704A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6244802B2 (ja) 電気光学装置および電子機器
JP5786601B2 (ja) 電気光学装置、及び電子機器
US9933677B2 (en) Liquid crystal device and electronic apparatus
KR101562394B1 (ko) 전기 광학 장치 및 전자 기기
JP2013080040A (ja) 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器
JP6379616B2 (ja) 電気光学装置及び電子機器
JP6364891B2 (ja) 電気光学装置、電子機器および半導体装置
US7532295B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus including the same
US8963911B2 (en) Electro-optic device and electronic apparatus
JP4367506B2 (ja) 電気光学装置の駆動方法、電気光学装置、及び電子機器
JP2016177230A (ja) 電気光学装置および電子機器
JP2012208178A (ja) 電気光学装置用基板、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器
JP6311811B2 (ja) 電気光学装置、投射型表示装置及び電子機器
JP6252090B2 (ja) 電気光学装置および電子機器
JP2016099493A (ja) 電気光学装置および電子機器
JP6155618B2 (ja) 電気光学装置用基板および電子機器
JP2012198386A (ja) 電気光学装置、投射型表示装置および電子機器
US10216044B2 (en) Liquid crystal device and electronic apparatus
JP2014206704A (ja) 電気光学装置および電子機器
JP6065683B2 (ja) 電気光学装置および電子機器
JP6107919B2 (ja) 電気光学装置、電子機器
JP2013178435A (ja) 電気光学装置及び電子機器
JP2013101200A (ja) 電気光学装置および電子機器
JP2016099491A (ja) 電気光学装置および電子機器
US20190033635A1 (en) Electro-optical device and electronic apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150113