JP2014203794A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
ミラー電子顕微鏡を用いた検査装置において、電子像撮像素子とミラー電子像の位置関係を一定に保つために電子像撮像素子周辺に設けられた、電子線検出器の出力が、ミラー電子線像内での電子線強度の変動により変動し、ミラー電子像の位置補正が、正しく行われなかった。
【解決手段】
電子像撮像素子周辺に構成される電子線検出器を、細長い矩形の感度領域を持った電子線検出器とする。電子像撮像素子周辺に構成される電子線検出器からの出力を、ステージ移動によってミラー電子像の端から端までをウェハ表面の像が移動する時間より長い時間間隔の変化のみを出力するように、周波数フィルタを設置する。電子像撮像素子周辺に構成される複数の電子線検出器を、ミラー電子像が正しい位置にある範囲から一定の距離を離した位置に配置する。
【選択図】図2(a)
Description
本実施例によれば、ミラー電子像の中に異物などが写りこむ様な事象が発生しても、ミラー電子像結像領域の位置ずれを安定に補正できる。
100b…ミラー電子線、
101…電子銃、
102…コンデンサレンズ、
103…セパレータ、
104…被検査ウェハ、
105…電子銃制御装置、
106…E×B偏向器、
107…対物レンズ、
108…移動ステージ、
109…絶縁部材、
110…移動ステージ制御装置、
111…高圧電源、
112…中間レンズ、
113…投影レンズ、
114…画像検出部、
115…欠陥判定部、
116…電子光学系制御装置、
117…検査装置制御部、
118…モニタ付入出力装置、
200…蛍光体面、
201…プレート、
202a〜d…スリット、
203…ファイバー束、
204…CCDデバイス受光面、
205a〜d…ファラデーカップ、
400…開口付真空フランジ、
401…ガラス板、
402…電子線検出CCD、
600…電子線検出部、
601…検出部支持部、
700…電子線検出器
Claims (13)
- 電子銃と、
前記電子銃から面状の電子線を試料に照射する照射光学系と、
前記試料の表面上に負電位を印加する負電位印加電源と、
前記試料の表面上に形成された負電位によって前記表面近傍にて反射したミラー電子を検出するミラー電子検出系と、
移動するステージ上において前記試料から発生するミラー電子を電気信号に変換する時間遅延積分型の画像検出素子と、
前記画像検出素子の周囲に配置された複数の電子線検出器と、を有し、
前記複数の電子線検出器の出力に基づき、前記面状の電子線の照射位置を変更することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記複数の電子線検出器の出力は、前記時間遅延積分のラインレートを前記画像素子の段数で除した周波数よりも高い周波数の変動をフィルタリングされることを特徴とした検査装置。 - 請求項2において、
前記画像検出素子の周辺に配置される前記電子線検出器が、十字状に配置された4つの矩形の電子線感度領域を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項3において、
前記矩形の電子線感度領域の短辺の長さが、前記画像検出素子の大きさの2分の1より小さいことを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記電子線検出器は、矩形の開口を有するファラデーカップであることを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記電子線検出器は、矩形の感度領域を有する半導体検出器であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記電子線検出器は、矩形の蛍光面を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記画像検出素子が、断面に蛍光体を塗布したガラスファイバーをCCD素子に接着した構成であることを特徴とした検査装置。 - 請求項1において、
前記画像検出素子はガラス板上に蛍光体を塗布したものであり、
前記検査装置は、封止のための真空フランジと、
前記真空フランジの外から前記蛍光体による蛍光像を撮像する撮像部とを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記画像検出素子は、電子線に対し感度を有するCCD素子であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記電子線検出器の位置は、電子光学系光軸上における、前記試料と前記画像検出素子との間に配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記電子線検出器の位置は、ミラー電子像の所望の位置に対し、一定の距離を離した位置であることを特徴とする検査装置。 - 請求項12において、
前記電子線検出器は、前記一定の距離に基づいて動作する微動機構を備えていることを特徴とする検査装置。
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KR20170121240A (ko) | 2015-02-26 | 2017-11-01 | 가부시키가이샤 아데카 | 패턴 형성 방법 및 이를 이용하여 제조한 전자 디바이스 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003257351A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡および電子顕微鏡用tv検出器 |
JP2006019032A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Ebara Corp | パターン評価装置、パターン評価方法及び該方法を用いたデバイス製造方法 |
JP2007048686A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Ebara Corp | 検出装置及び検査装置 |
JP2011243487A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003257351A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡および電子顕微鏡用tv検出器 |
JP2006019032A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Ebara Corp | パターン評価装置、パターン評価方法及び該方法を用いたデバイス製造方法 |
JP2007048686A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Ebara Corp | 検出装置及び検査装置 |
JP2011243487A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170121240A (ko) | 2015-02-26 | 2017-11-01 | 가부시키가이샤 아데카 | 패턴 형성 방법 및 이를 이용하여 제조한 전자 디바이스 |
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