JP2014197694A - 配列用マスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁力を作用させることでワーク3上に載置固定され、所定の配列パターンに対応した通孔12内に半田ボール2を振り込むことで、ワーク3上の所定位置に半田ボール2を搭載する配列用マスクであって、通孔12からなるパターン領域を有し、パターン領域の外周にピッチ調整部50が設けられていることを特徴とする。
【選択図】図8
Description
図1乃至図3に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクを示す。この配列用マスク(以下、単にマスクと記す)1は、半田バンプ形成における半田ボール2の配列工程において使用に供されるものである。図2における符号3は、マスク1による半田ボール2の搭載対象となるワークを示す。このワーク3にはウエハや基板があるが、例えば、ガラスエポキシ基板のベース4に複数個の半導体チップ5を搭載し、ワイヤボンドで配線した後トランスファモールド封止してなるものであり、半導体チップ5を囲むように、ワーク3の上面には、入出力端子である電極6が所定のパターンで形成されている。なお、ワーク3は、バンプの形成後に個片に切断され、個々のLSIチップとされる。
続いて、第1実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
2 半田ボール
3 ワーク
6 電極
10 マスク本体
12 通孔
13 単通孔
14 連続通孔
15 突起部
15a 突起部
15b 突起部
30 母型
31 フォトレジスト層
34 一次パターンレジスト
35 一次電鋳層
36 フォトレジスト層
38 二次パターンレジスト
39 二次電鋳層
50 ピッチ調整部
51 開口
52 凹部
53 蛇腹状部
Claims (5)
- 所定の配列パターンに対応した通孔(12)内に半田ボール(2)を振り込むことで、ワーク(3)上の所定位置に前記半田ボール(2)を搭載する配列用マスクであって、
前記通孔(12)からなるパターン領域が多数形成されたマスク本体(10)と、前記マスク本体(10)の前記ワーク(3)との対向面側に設けられた突起部(15)とを備え、
前記突起部(15)が前記パターン領域間に形成されていることを特徴とする配列用マスク。 - 前記突起部(15)が前記パターン領域を囲むように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の配列用マスク。
- 前記パターン領域間にピッチ調整部(50)が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の配列用マスク。
- 前記突起部(15)が前記パターン領域を囲むように前記パターン領域ごとに形成されており、
前記ピッチ調整部(50)は、前記パターン領域間、且つ前記突起部(15)間に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の配列用マスク。 - 前記通孔(12)や前記突起部(15)の形状がテーパ状であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の配列用マスク。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008263053A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 配列用マスクとその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008263053A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 配列用マスクとその製造方法 |
JP2012019236A (ja) * | 2011-09-29 | 2012-01-26 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 配列用マスク |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016207790A (ja) * | 2015-04-20 | 2016-12-08 | 日立マクセル株式会社 | 半田ボールの吸着用マスク、半田ボールの配列用マスク、およびこれらマスクの製造方法 |
KR101699722B1 (ko) * | 2016-04-15 | 2017-01-25 | 정병식 | 에스비에이 툴(sba tool)의 수리방법. |
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