JP2014197575A - パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 - Google Patents
パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014197575A JP2014197575A JP2013071569A JP2013071569A JP2014197575A JP 2014197575 A JP2014197575 A JP 2014197575A JP 2013071569 A JP2013071569 A JP 2013071569A JP 2013071569 A JP2013071569 A JP 2013071569A JP 2014197575 A JP2014197575 A JP 2014197575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- brazing material
- metal plate
- lid
- material layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 142
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 142
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 122
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 47
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 5
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 207
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 39
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 25
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 25
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 13
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
Abstract
Description
図7(a)に示すように、特許文献1のパッケージ構造は、外周部にメタライズ層602が形成されたセラミックベース601と、金属板603aとろう材603bとの2層で構成されたリッド603とを、メタライズ層602とろう材603bとを溶接等により接合して気密封止する構成となっている。
本適用例の電子機器は、外界の影響による電気的特性の劣化が少ない電子デバイスを用いることで、信頼性を高くすることができる。
本適用例の電子機器は、外界の影響による電気的特性の劣化が少ない電子デバイスを用いることで、信頼性を高くすることができる。
本適用例によれば、リッドの切断の際に、ろう材層は金属板層の外周側面まで延伸するので、金属板層の外周側面においてベース部とは反対側に突出しているろう材層の凸形状が形成できる。このため、上記適用例7と同等の効果が得られる。さらに、ろう材層の凸形状を、リッドの製造工程を増やすことなく簡便に形成できるため、コスト低減に大きな効果がある。
図1は、実施形態に係る電子デバイスの一例としての振動子(水晶振動子)の概略構成を表す断面図である。
図1に示すように、水晶振動子5は、ベース部1、メタライズ層11、電子素子としての水晶振動素子3、リッド2、等から構成されている。
ベース部1のリッド2との接合面には、メタライズ層11が配置されており、メタライズ層11はタングステン、モリブデン等の下地金属を積層し、下地金属上にニッケル、金等の金属を、めっき、スパッタリング、蒸着等で積層した金属皮膜からなる。ここで、メタライズ層11の表層金属は、金であることが好ましい。
金属板層21は、コバール、42アロイ等の鉄合金を主体とし、外面21a、ろう材層側の面21b、外周側面21cで構成される。本実施形態では、金属板層21としてコバール、42アロイ等の単層板を用いていているが、金属板層21は積層構造でもよく、例えば外面21a側をコバールとしてろう材層側の面21b側を銅とした積層板でもよく、さらに、積層された金属がクラッド化されたものでもよい。
図4は、リッド2の変形例1の断面図を表す図である。
なお、前記実施形態と共通な部分には同じ符号を付し、その説明を省略する。
図5は、リッド2の変形例2の断面図を表す図である。
なお、前記実施形態と共通な部分には同じ符号を付し、その説明を省略する。
図6は、リッド2の変形例3の断面図を表す図である。
なお、前記実施形態と共通な部分には同じ符号を付し、その説明を省略する。
以上説明した電子デバイスは、各種の電子機器に搭載することができる。たとえば、図8に、本実施形態の水晶振動子5を搭載した電子機器(高機能携帯端末800)の模式図を示す。図8に示すような高機能携帯端末800には、例えば、高機能携帯端末800の姿勢を検知する角速度センサー(不図示)が内蔵されており、この角速度センサーの制御機構を動かすためのクロック源を構成する部品として本実施形態の水晶振動子5を用いることができる。前述のとおり、本実施形態の水晶振動子5を用いることで、信頼性が高く品質が安定した電子機器を実現することができる。
以上説明した振動デバイスは、各種の移動体に搭載することができる。たとえば、図9に、本実施形態の水晶振動子5を搭載した移動体(自動車)の模式図を示す。たとえば、図9に示すような自動車900には、エンジンコントロールやキーレスエントリーシステム等の各種システムの制御に用いられる制御回路(不図示)を動かすためのクロック源を構成する部品として、本実施形態の水晶振動子5を用いることができる。前述のとおり、本実施形態の水晶振動子5を用いることで、信頼性が高く品質が安定した移動体を実現することができる。
Claims (8)
- ベース部と、
前記ベース部に重ねられて前記ベース部と伴って内部空間を画定し、かつ金属板層および前記金属板層に積層されたろう材層を有しているリッドと、を備え、
前記ベース部には、平面視で前記内部空間の周囲に前記ろう材層と接合されているメタライズ層を有し、
前記ろう材層は、前記金属板層の外周側面において、前記ベース部側とは反対方向に突出している凸部を有していることを特徴とするパッケージ。 - 請求項1に記載のパッケージにおいて、
前記ろう材層の前記凸部は、突出方向に向かって幅が小さい構成を含んでいることを特徴とするパッケージ。 - 請求項1または2に記載のパッケージにおいて、
前記ろう材層の前記凸部と前記金属板層の境界面は前記ろう材層側に向かって凸状の曲面を含んでいることを特徴とするパッケージ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のパッケージと、
前記パッケージの前記内部空間に収容された電子素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項4に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項4に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
- ベース部と、
前記ベース部に重ねられて前記ベース部と伴って内部空間を画定し、かつ金属板層および前記金属板層に積層されたろう材層を有しているリッドと、を備え、
前記ベース部には、平面視で前記内部空間の周囲に前記ろう材層と接合されているメタライズ層を有し、
前記ろう材層は、前記金属板層の外周側面において、前記ベース部側とは反対方向に突出している凸部を有しているパッケージを用いた電子デバイスの製造方法であって、
前記ベース部の内部空間となる領域に電子素子を搭載した後、前記ベース部と前記リッドとを、前記メタライズ層周辺にある前記ろう材層を溶融させる溶接で接合することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 請求項7に記載の電子デバイスの製造方法において、
前記リッドは、前記ろう材層側から切断したものを用いたことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071569A JP2014197575A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 |
CN201410089904.6A CN104079259A (zh) | 2013-03-29 | 2014-03-12 | 封装、电子器件及其制造方法、电子设备及移动体 |
US14/223,086 US9551729B2 (en) | 2013-03-29 | 2014-03-24 | Package, electronic device, method of manufacturing electronic device, electronic apparatus, and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071569A JP2014197575A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014197575A true JP2014197575A (ja) | 2014-10-16 |
JP2014197575A5 JP2014197575A5 (ja) | 2016-06-02 |
Family
ID=51600338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013071569A Pending JP2014197575A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9551729B2 (ja) |
JP (1) | JP2014197575A (ja) |
CN (1) | CN104079259A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6155551B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器および電子デバイスの製造方法 |
JP6167494B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2017-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス用容器の製造方法、電子デバイスの製造方法、電子デバイス、電子機器及び移動体機器 |
WO2015046209A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | 京セラ株式会社 | 蓋体、パッケージおよび電子装置 |
JP2016127467A (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器及び移動体 |
CN106357234A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 成都晶宝时频技术股份有限公司 | 一种石英晶体谐振器及其加工工艺 |
JP2019045287A (ja) * | 2017-09-01 | 2019-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器、および移動体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05144956A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パツケージ |
JP2000040760A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Kyocera Corp | 電子装置 |
JP2002184885A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージおよびその製造方法 |
JP2005322727A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ハーメチックシールカバーおよびその製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11204671A (ja) | 1998-01-07 | 1999-07-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 電子部品用パッケージ |
JP3164798B2 (ja) | 1999-03-25 | 2001-05-08 | 京セラ株式会社 | 電子装置 |
JP3893617B2 (ja) | 2003-11-06 | 2007-03-14 | 株式会社大真空 | 電子部品用パッケージ |
JP4134893B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2008-08-20 | 松下電器産業株式会社 | 電子素子パッケージ |
US7948069B2 (en) * | 2004-01-28 | 2011-05-24 | International Rectifier Corporation | Surface mountable hermetically sealed package |
JP4827593B2 (ja) * | 2005-07-19 | 2011-11-30 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2008147243A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Olympus Corp | 気密封止装置 |
JP2010021219A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nec Schott Components Corp | パッケージングデバイス装置およびパッケージ用ベース部材 |
JP5819287B2 (ja) * | 2010-04-01 | 2015-11-24 | 株式会社大真空 | 表面実装型の電子部品用パッケージのベース、および表面実装型の電子部品用パッケージ |
CN103392229B (zh) * | 2011-03-18 | 2016-06-22 | 株式会社大真空 | 电子器件封装体、电子器件、及电子器件封装体的制造方法 |
JP5967836B2 (ja) * | 2012-03-14 | 2016-08-10 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック基板およびその製造方法 |
-
2013
- 2013-03-29 JP JP2013071569A patent/JP2014197575A/ja active Pending
-
2014
- 2014-03-12 CN CN201410089904.6A patent/CN104079259A/zh active Pending
- 2014-03-24 US US14/223,086 patent/US9551729B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05144956A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パツケージ |
JP2000040760A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Kyocera Corp | 電子装置 |
JP2002184885A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージおよびその製造方法 |
JP2005322727A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ハーメチックシールカバーおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9551729B2 (en) | 2017-01-24 |
US20140291010A1 (en) | 2014-10-02 |
CN104079259A (zh) | 2014-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7923904B2 (en) | Electronic package having stress buffer layer on mounting surface thereof, and method for manufacturing same | |
JP2014197575A (ja) | パッケージ、電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、及び移動体 | |
US20140151105A1 (en) | Base substrate, resonator, oscillator, sensor, electronic device, electronic apparatus, and moving object | |
US8804316B2 (en) | Electronic device package, electronic device, and electronic apparatus | |
JP6596810B2 (ja) | 電子部品、電子部品の製造方法、電子機器、および移動体 | |
US9549481B2 (en) | Method for producing base substrate, method for producing electronic device, base substrate, and electronic apparatus | |
JP2015008353A (ja) | 振動素子、振動デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 | |
US9712138B2 (en) | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
CN105306001B (zh) | 电子部件、电子部件的制造方法、电子设备以及移动体 | |
US20140306582A1 (en) | Electronic component, electronic apparatus, and moving object | |
US20140151108A1 (en) | Base substrate, mounting structure, module, electronic apparatus, and moving object | |
JP2015171109A (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2020123804A (ja) | 発振器、発振器の製造方法、電子機器および移動体 | |
JP2014036081A (ja) | 電子デバイスの製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
JP6866588B2 (ja) | 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器および移動体 | |
JP6405680B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6364829B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2014175428A (ja) | 接合方法、電子素子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2010177984A (ja) | 圧電振動子および圧電デバイス | |
US20200298350A1 (en) | Electronic device manufacturing method, electronic device, electronic apparatus, and vehicle | |
CN111988009B (zh) | 振动器件、电子设备以及移动体 | |
JP4878207B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP6834189B2 (ja) | 振動デバイス、振動デバイスの製造方法、電子機器および移動体 | |
JP3893617B2 (ja) | 電子部品用パッケージ | |
JP2007180604A (ja) | 圧電発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160308 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160408 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160610 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170905 |