JP2014194388A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力検出素子2と、圧力検出素子が内面に固定されたべース4と、べースに対向して配置された受け部材5と、べースと受け部材とで挟持されたダイアフラム6と、ダイアフラムを挟持した状態のべース及び受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材22であって、両者が互いに押圧される方向に荷重を加えた状態でいずれか一方に溶接接合された挟持部材と、ベースとダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、受け部材とダイアフラムとの間の空間内の圧力が、ダイアフラム及び液体を介して圧力検出素子へ伝達される圧力センサ1。
【選択図】図1B
Description
2 圧力検出素子
3 流入管
4 べース
4a 貫通孔
4b ハーメチックシール
4c 周縁部
4d 側面部
4e 上面部
5 受け部材
5a 周縁部
5b 側面部
5c 下面部
6 ダイアフラム
7 受圧空間
8 加圧空間
9 ボール
10 ワイヤ
11(11A〜11C) 出力用リードピン
12(12A〜12E) 調整用リードピン
14、15 溶接部
22 挟持部材
22a 傾斜部
22b 円筒部
22c 外周部
Claims (3)
- 圧力検出素子と、
該圧力検出素子が内面に固定されたべースと、
該べースに対向して配置された受け部材と、
前記べースと前記受け部材とで挟持されたダイアフラムと、
該ダイアフラムを挟持した状態の前記べース及び前記受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材であって、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方側から装着され、両者が互いに押圧される方向に荷重を加えた状態で前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方側に溶接接合された挟持部材と、
前記ベースと前記ダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、
前記受け部材と前記ダイアフラムとの間の空間内の圧力が、前記ダイアフラム及び前記液体を介して前記圧力検出素子へ伝達されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記荷重は、前記挟持部材と前記ベース及び前記受け部材の一方との間に形成された空隙を押し縮めるように加えられることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記挟持部材の外周部は、該挟持部材の中心軸に対して垂直な平面を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力センサ。
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