JP2014193035A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電圧の印加により変位する圧電アクチュエータ100であって、一端に半球167を有し、電圧の印加により伸縮する圧電アクチュエータ本体105と、圧電アクチュエータ本体105の他端を支持する座140と、それぞれ材料の異なる直管部分162と先端部分164とが接合されて形成され、圧電アクチュエータ本体105に被さって座140に封止され、半球130が当接するダイヤフラム167を有するキャップ160と、を備え、キャップの直管部分162は、熱膨張係数0×10-6/K以上6×10-6/K以下の低熱膨張材で形成されている。
【選択図】図1
Description
図1(a)、(b)は、それぞれ圧電アクチュエータ100およびキャップを示す断面図である。圧電アクチュエータ100は、圧電アクチュエータ本体105、座140およびキャップ160により構成され、電圧が印加されることで変位を伝えることができる。
まず、圧電層と内部電極とが交互に積層された圧電素子110を作製する。具体的には、圧電セラミックスのグリーンシートにAgやAg−Pd等の電極ペーストを印刷して積層、圧着し、焼成する。次に、圧電素子110の側面に積層方向に沿って、内部電極に接続された外部電極115を形成する。圧電素子110の側面に電極ペーストを印刷して焼成することで外部電極115を形成できる。
キャップの直管部分および先端部分を一体でSUS316L(1000万回の連続駆動耐久性を有するもの)で作製した(比較例)。寸法は、キャップの全長を124mm、キャップ径φ11.4mmに設計した。このようなキャップを250℃下に投入したところ、キャップの熱膨張量は約500μmとなった。
110 圧電素子
115 外部電極
120 リード部材
130 半球
140 座
150 端子
160 キャップ
162 直管部分
164 先端部分
167 ダイヤフラム
Claims (6)
- 電圧の印加により変位する圧電アクチュエータであって、
一端に半球を有し、電圧の印加により伸縮する圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体の他端を支持する座と、
それぞれ材料の異なる直管部分と先端部分とが接合されて形成され、前記圧電アクチュエータ本体に被さって前記座に封止され、前記半球が当接するダイヤフラムを有するキャップと、を備え、
前記キャップの直管部分は、熱膨張係数0×10-6/K以上6×10-6/K以下の低熱膨張材で形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記キャップの直管部分は、インバー、スーパーインバー、42アロイまたはコバールにより形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記キャップの先端部分は、前記キャップの直管部分より連続駆動耐久性に優れた材料で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記キャップの先端部分は、SUS316で形成されていることを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記半球は、予圧が掛けられた状態で前記キャップのダイヤフラム部に当接することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記キャップの直管部分は、溶接により前記キャップの先端部分に接合されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
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JP2013066875A JP2014193035A (ja) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 圧電アクチュエータ |
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JP2013066875A JP2014193035A (ja) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 圧電アクチュエータ |
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-
2013
- 2013-03-27 JP JP2013066875A patent/JP2014193035A/ja active Pending
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