JP2014130906A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ100は、一端に半球115を有し、電圧の印加により半球115を変位させる圧電アクチュエータ本体110と、圧電アクチュエータ本体110の他端を支持する座120と、圧電アクチュエータ本体110に被さって座120に封止され、先端のダイヤフラム133に曲率Rに形成され、半球115が当接するドーム135を有するキャップ130と、を備えている。また、半球115の中心を中心とし、圧電アクチュエータ本体110の中心軸から180°−(被変位体500の円錐穴501の中心角度の半分)−90°傾いた角度において、ドーム135と半球115との隙間dが、d/R≦0.017を満たす。
【選択図】図1
Description
(圧電アクチュエータの構成)
図1は、圧電アクチュエータ100および被変位体500を示す断面図である。図1に示すように、圧電アクチュエータ100は、圧電アクチュエータ本体110、座120およびキャップ130を備えており、先端の変位を、被変位体500に伝達する。被変位体500は、円錐穴501が形成されている。
図2は、圧電アクチュエータ100の先端部および被変位体500を示す断面図である。ドーム135の曲率Rは以下の条件を満たして形成されている。すなわち、半球115の中心を中心とし、圧電アクチュエータ本体110の中心軸から180°−(円錐穴501の中心角度の半分)−90°だけ傾いた角度において、ドーム135と半球115との隙間dが、d/R≦0.017を満たす。これにより、被変位体500からの反力によって生じるダイヤフラム133の半球115に被さるような動きを抑え、この動きを起因とした疲労破壊を防止できる。
圧電アクチュエータを用いた実施例および比較例を以下に説明する。まず、圧電アクチュエータを作製した。その際にキャップの径を8mmに設計し、被変位体により円錐穴からキャップに与えられる予圧を100Nとした。円錐穴の中心角は、120°に設計した。ドームと半球との隙間は、ドームの内面の曲率Rと半球の半径rとを用いて算出した。
110 圧電アクチュエータ本体
111 圧電素子
112 外部電極
113 リード線
115 半球
120 座
125 端子
130 キャップ
133 ダイヤフラム
135 ドーム
500 被変位体
501 円錐穴
Claims (3)
- 先端の変位を、円錐穴が形成された被変位体に伝達する圧電アクチュエータであって、
一端に半球を有し、電圧の印加により前記半球を変位させる圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体の他端を支持する座と、
前記圧電アクチュエータ本体に被さって前記座に封止され、先端のダイヤフラムに曲率Rに形成され、前記半球が当接するドームを有するキャップと、を備え、
前記半球の中心を中心とし、前記圧電アクチュエータ本体の中心軸から180°−(被変位体の円錐穴の中心角度の半分)−90°傾いた角度において、前記ドームと前記半球との隙間dが、d/R≦0.017を満たすことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記隙間dは、0.0086≦d/Rを満たすことを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記キャップは、SUSで形成され、前記ドームにおける前記キャップの厚みtは、0.2≦t/R≦0.3を満たすことを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ。
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