JP2014186238A - 圧電部品、光源装置および印刷装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】反射部の振れ角が小さい場合においても、反射光の出射光に対する傾斜角の大きな圧電部品を提供する。
【解決手段】圧電部品X1は、圧電素子2が設けられた支持4と、光を反射させるための反射部8と、支持部4と反射部8とを連結するための連結部6とを備え、反射部8は、連結部6を揺動軸として、一端部8aと他端部8bとが揺動するように、中央部が連結部6に連結されており、側面視して、一端部8aと他端部8bとが支持部4から離れる方向に傾斜している。
【選択図】図1
【解決手段】圧電部品X1は、圧電素子2が設けられた支持4と、光を反射させるための反射部8と、支持部4と反射部8とを連結するための連結部6とを備え、反射部8は、連結部6を揺動軸として、一端部8aと他端部8bとが揺動するように、中央部が連結部6に連結されており、側面視して、一端部8aと他端部8bとが支持部4から離れる方向に傾斜している。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電部品、光源装置および印刷装置に関する。
従来から、レーザープリンタ、あるいは投影型表示装置において、画像信号により変調されたレーザー光を反射部により反射して投影像を形成するための圧電部品が知られている。
圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射する反射部と、支持部と反射部とを連結するための連結部と、を備えたものが知られている。上記の圧電部品は、反射部が、連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が連結部に連結されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載された圧電部品は、反射部の振れ角が小さいという問題がある。
本発明の一実施形態に係る圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射させるための反射部と、前記支持部と前記反射部とを連結するための連結部とを備えている。また、前記反射部は、前記連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が前記連結部に連結されている。また、側面視して、前記一端部と前記他端部とが前記支持部から離れる方向に傾斜している。
また、本発明の一実施形態に係る光源装置は、光源と、該光源から出射される光を前記反射部にて反射する上記に記載の圧電部品と、該圧電部品を制御する制御部とを備える。
また、本発明の一実施形態に係る印刷装置は、上記に記載の光源装置と、感光体と、前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御する。
本発明によれば、反射部の振れ角が小さい場合においても、反射光の出射光に対する反射角を大きくすることができる。
<第1の実施形態>
図1〜3を用いて第1の実施形態に係る圧電部品X1について説明する。
図1〜3を用いて第1の実施形態に係る圧電部品X1について説明する。
圧電部品X1は、圧電素子2が設けられた一対の支持部4と、光を反射するための反射部8と、支持部4と反射部8とを連結する一対の連結部6と、支持部4を固定する枠部10とを備えている。なお、第1の実施形態では圧電部品X1は、枠部10を備えているが、必ずしも枠部10を設けなくともよい。
圧電素子2は、平板状の圧電セラミックスなどの圧電体(不図示)の一方の主面の略全面に電極(不図示)が形成されている。圧電体の他方の主面は、導電性接着剤13(図9参照)を介して支持部4に電気的に接続されている。導電性接着剤13としては、樹脂等の接着剤の内部に導電性粒子が混在したものを利用することができる。
圧電体としては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を用いることができる。電極としては、Au、Pt、Ag、Pd、Cuなどの金属あるいは合金を使用することができる。電気抵抗率が小さい点から、Au、Ag、Cuなど金属あるいは合金を用いることが好ましい。なお、間に電極を挟んだ圧電体を複数積層してもよい。
圧電素子2a,2b,2c,2dは、一方の主面に設けられた電極がそれぞれ独立して外部に設けられた電源と、ワイヤボンディング等により電気的に接続されている。また、他方の主面に接続された支持部4a,4bはグランド電位に保持されている。そして、圧電素子2a,2b,2c,2dに設けられた電極に、電圧をそれぞれ独立した状態で印加することにより、圧電素子2a,2b,2c,2dの圧電体をそれぞれ独立して駆動することができる。
なお、圧電素子2は、一方の主面および他方の主面に電極を設けてもよい。この場合、一方の主面に設けられた電極をそれぞれ独立した状態で外部に設けられた電源と接続し、他方の主面に設けられた電極をグランド電位に保持すればよく、その逆でもよい。また、その場合は、支持部4と圧電素子2とを絶縁性の接着剤により接続すればよい。
支持部4は、反射部8を挟持するように一対設けられており、一方の支持部4aと他方の支持部4bとが、反射部8を中心に対称に設けられている。また、支持部4上には圧電素子2が設けられている。一方の支持部4a上には圧電素子2a,2bが、連結部6を中心に対称に設けられている。他方の支持部4b上には圧電素子2c,2dが、連結部6を中心に対称に設けられている。
平面視して、支持部4は、第1方向R1に直交する第2方向R2に延びるように設けら
れている。一方の支持部4aと他方の支持部4bとは、第2方向R2における中央部にて、連結部6と連結されている。支持部4は、一端部および他端部が枠部材10に接続されており、支持部4上に設けられた圧電素子2を駆動させることにより、支持部4に湾曲を生じさせることができる。
れている。一方の支持部4aと他方の支持部4bとは、第2方向R2における中央部にて、連結部6と連結されている。支持部4は、一端部および他端部が枠部材10に接続されており、支持部4上に設けられた圧電素子2を駆動させることにより、支持部4に湾曲を生じさせることができる。
連結部6は、第1方向R1に長く設けられており、反射部8が揺動する際に、揺動軸S(図2参照)として機能している。連結部6は、第1方向R1において、反射部8を両側から挟持するように配置されている。一方の連結部6aは、一端部が支持部4aの第2方向R2における中央部に連結され、他端部が反射部8の第2方向R2における中央部に連結されている。また、他方の連結部6bは、一端部が支持部4bの第2方向R2における中央部に連結され、他端部が反射部8の第2方向R2における中央部に連結されている。
反射部8は、外部に設けられた光源(不図示)から出射された光を他の方向に反射する機能を有している。反射部8は、第2方向R2に長く形成されており、第2方向R2における中央部に連結部6が連結されており、支持部4に固定されている。そのため、反射部8は、中央部を中心に、一端部8aおよび他端部8bが揺動することとなる。
反射部8は、光を反射するために一方の主面に鏡面加工が設けられていることが好ましい。また、光の反射損失を低減するために、一方の主面の表面に、AlあるいはAgの薄膜を設けることが好ましい。
枠部10は、支持部4、連結部6、反射部8を取り囲むように配置されており、支持部4を接続固定することにより、連結部6および反射部8を固定して保持する機能を有している。支持部4a,4bの一端部および他端部は、枠部10に接続されている。そのため、支持部4a,4bは、一端部および他端部が固定端として機能することとなる。なお、枠部10は、平面視して、ロの字状の形状をなしている例を示したが、例えば、支持部4a,4bの一端部同士、および支持部4a,4bの他端部同士を独立して接続した構成としてもよい。
支持部4、連結部6、反射部8、および枠部10は、ステンレスの薄板、あるいはAl、Au、Pt、Ag、Pd、Cuなどの金属または合金の薄板により一体的に形成することができる。なお、変形が生じる支持部4、および捩じれが生じる連結部6の厚みとしては、50〜120μmであることが好ましい。支持部4および連結部6の厚みが50〜120μmであると、反射部8の振れ角を大きくすることができるとともに、支持部4および連結部6の強度を保持することができる。
また、支持部4、連結部6、反射部8、および枠部10をシリコンなどの半導体材料、あるいは合成樹脂等により形成してもよい。合成樹脂等の絶縁性の材料により支持部4を形成する場合、圧電体の一方の主面および他方の主面に電極を形成して、圧電体から電極を引き出しやすくすることが好ましい。なお、支持部4、連結部6、反射部8、および枠部10をそれぞれ別部材により作製した後、接着剤により連結してもよい。
以下、圧電部品X1の駆動について説明する。
圧電部品X1は、圧電素子2a,2cに外部から交流電圧が印加され、圧電素子2b,2dに外部から上記の交流電圧とは逆位相の交流電圧が印加されると、圧電素子2a,2b,2c,2dは、外部からの交流電圧により圧電振動して、支持部4a,4bが上方あるいは下方に撓むこととなり、支持部4a,4bに変形が生じる。
支持部4a,4bが撓み変形を生じることにより、連結部6a,6bには回転トルクが
与えられることとなり、連結部6a,6bに捩じれ変位が生じることとなる。連結部6a,6bに生じた捩じれ変位は、連結部6a,6bの内部で積み重なり、連結部6a,6bに接続された反射部8に回転モーメントとして伝わり、反射部8が、連結部6a,6bを揺動軸Sとして、一端部8aおよび他端部8bが揺動振動することとなる。これにより、反射部8が所定の振れ角をなして揺動振動することとなる。
与えられることとなり、連結部6a,6bに捩じれ変位が生じることとなる。連結部6a,6bに生じた捩じれ変位は、連結部6a,6bの内部で積み重なり、連結部6a,6bに接続された反射部8に回転モーメントとして伝わり、反射部8が、連結部6a,6bを揺動軸Sとして、一端部8aおよび他端部8bが揺動振動することとなる。これにより、反射部8が所定の振れ角をなして揺動振動することとなる。
なお、振れ角とは、反射部8が揺動振動した際に、最も上方に大きく振れた際の反射部8の一端部8aと、連結部6a,6bと、最も下方に大きく振れた際の反射部8の一端部
8aとのなす角を示す。
8aとのなす角を示す。
圧電部品X1の反射部8について、図1,2を用いて詳細に説明する。
反射部8は、連結部6と中央部にて接続されており、一端部8aおよび他端部8bが、自由端として形成されている。そのため、図2に示すように、反射部8の中央部が揺動軸Sとして機能している。一端部8aおよび他端部8bは、支持部4から離れる方向に傾斜しており、一端部8aおよび他端部8bの傾斜量は等しく形成されている。そのため、反射部8は、静止時において、揺動軸Sを通り、支持部4の厚み方向R3の延びる直線に対して、線対称な形状をなしている。
反射部8は、側面視すると、曲面により形成されている。また、一端部8aおよび他端部8bが支持部4から離れる方向に傾斜している。一端部8aは、中央部から離れるに従って、傾斜角が大きくなる構成を有しており、他端部8bは、中央部から離れるに従って、傾斜角が大きくなる構成を有している。このような反射部8は、凹面鏡を用いて形成することができる。なお、側面視とは、第1方向R1から見ることである。
図2(a)は、光源から出射された出射光L1が反射部8により反射される様子を示している。出射光L1は、光源から反射部8の中央部よりも一端部8a側に向けて出射されている。反射部8は、反射光L2を照射面の所定の位置に反射させるためにT方向に揺動しており、反射部8により反射された反射光L2が、照射面に照射されている。そして、反射光L2は照射面に一定間隔をあけて照射するように光源から出射光L1が出射されている。
反射部8は、T方向に揺動しており、一端部8aおよび他端部8bが傾斜しているため、出射光L1は、反射部8の揺動による振れ角θ1(以下、振れ角θ1と称する場合がある)と、一端部8aおよび他端部8bの傾斜角θ2(以下、傾斜角θ2と称する場合がある)との分だけ出射光L1に対して傾斜した反射角θ(以下、反射角θと称する場合がある)で反射されることとなる。そのため、反射部8は、出射光L1を反射角θにて反射光L2を出射することとなる。それにより、圧電部品X1は、反射部8の振れ角θ1が小さい場合においても、反射部8による反射角θを大きくすることができ、照射面の所望の位置に反射光L2を照射することができる。また、反射部8は、側面視して、曲面により形成されていることから、照射面に対して一定の離間距離で照射しやすい構成とすることができる。
また、反射部8は、図2(b)に示すように、曲面により構成されており、かつ中央部から一端部8aに向かうにつれて、傾斜角θ2が大きくなる構成を有している。出射光L1は、位置Aにて反射された場合、傾斜角θ2Aにて反射され、位置Bにて反射された場合、傾斜角θ2Bにて反射される。そのため、位置Aにて反射されるよりも位置Bにて反射されるほうが、傾斜角θ2が大きくなることとなる。
ここで、反射部8に出射された出射光L1は、反射部8が揺動していない場合、位置A
にて反射され反射光L3として出射されることとなる。しかしながら、反射部8は、揺動軸Sを中心としてT方向に揺動しており、位置Aに向けて出射光L1を出射した場合に、位置Aよりも一端部8a側の位置Bにて反射されることとなる。
にて反射され反射光L3として出射されることとなる。しかしながら、反射部8は、揺動軸Sを中心としてT方向に揺動しており、位置Aに向けて出射光L1を出射した場合に、位置Aよりも一端部8a側の位置Bにて反射されることとなる。
これにより、圧電部品X1は、反射部8が曲面により構成されており、かつ中央部から一端部8aに向かうにつれて、傾斜角θ2が大きくなる構成を有しているため、反射角θをさらに大きくすることができ、照射面の所望の位置に反射光L2を照射することができる。
圧電部品X1は、照射面に対して一定間隔を空けて反射光L2を出射するため、出射光L1は、振れ角θ1と傾斜角θ2との和である反射角θに従って、光源から出射するタイミングが決定される。
圧電部品X1の反射部8は、下に凸形状の曲面により形成されており、中央部から一端部8aおよび他端部8bに向かうにつれて徐々に傾斜角θ2が大きくなる構成のため、振れ角θ1が大きくなるにつれて、出射光L1は、反射部8の中央部から一端部8a側および他端部8b側にて反射されることとなる。
それにより、圧電部品X1の反射部8は、一定のタイミングで揺動しており、下に凸形状の曲面により形成され、中央部から一端部8aおよび他端部8bに向かうにつれて徐々に傾斜角θ2が大きくなる構成となる。そのため、反射部8の一端部8aおよび他端部8bにおける出射光L1の出射のタイミングは、反射部8の中央部における出射光L1の出射のタイミングよりも遅くすることにより、一定の間隔で反射光L2を出射面に出射することができる。
上述した圧電部品X1は、例えば、以下のようにして作製することができる。
まず、50〜120μmのステンレス板の上の全面にわたってフォトレジストを形成し、フォトリソグラフィ技術により、支持部4、連結部6、反射部8、および枠部10が形成される領域上にフォトレジストが残るようにパターニングを行う。
次に、パターニングされた領域を酸によりエッチング処理を施して、支持部4、連結部6、反射部8、および枠部10を作製する。なお、エッチングは、ウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。
そして、平面状の反射部8に曲げ加工を行うことにより、反射部8を形成することができる。具体的には、反射部8の主面を鏡面加工する際に、反射部8を湾曲させることにより作製することができる。なお、鏡面加工とは別に曲げ加工のみ行ってもよい。
図3を用いて反射部8の変形例について説明する。
図3に示すように反射部8は、側面視して、円弧状をなしていることが好ましい。反射部8が、側面視して、円弧状をなしていることにより、反射部8を作製する際に、所定の径の鏡面加工用の研磨部材を用いることにより、反射部8の曲率を容易に設定することができる。
なお、圧電部品X1では、支持部4a,4b上にそれぞれ圧電素子2を2つずつ上面に設けた例を示したが、これに限定されるものではない。圧電素子2を1つのみ設けてもよく、3つ以上設けてもよい。
図4を用いて圧電部品X1を用いた印刷装置Z1について説明する。印刷装置Z1は、光源22と、感光体28と、圧電部品X1と、光源22から出射された光にて感光体28を走査する凹面鏡26と、感光体28に静電潜像を形成するように、圧電部品X1を制御する制御部30と、静電潜像を記録媒体34に転写する転写部(不図示)と、を備えている。
印刷装置Z1は、画像を形成するための変調信号を入力した光源22からレーザービームを圧電部品X1に照射する。圧電部品X1の反射部(不図示)に入射した光は、反射部により反射され走査される。この際、制御部30は、反射部により反射される光の走査方向を所定の方向にするように、反射部を制御する。走査されたレーザービームは、凹面鏡26により反射されて感光体28に出射され、照射された感光体28の部位の電圧を変化させる。
電圧の変化に起因して、トナーが静電気力により付着し、静電潜像が形成される。感光体28に形成された静電潜像は、感光体28とは逆の電圧が掛けられた転写部により記録媒体34に複写されている。このようにして、印刷装置Z1は、記録媒体34に印刷を行っている。
印刷装置Z1において、光源22と、光源22から出射される光を反射部8にて反射する圧電部品X1と、圧電部品X1を制御する制御部30とは光源装置として機能している。なお、光源装置として、レーザープリンタに用いられるものについて説明したが、光源装置は、反射部8にて反射された光の走査方向が、所定の方向に反射するように制御するものであればよく、例えば、バーコード読取装置に用いられてもよい。また、光源装置は、プロジェクターなどの投影型表示装置に用いられてもよく、網膜に光を走査する網膜走査型表示装置に用いられてもよい。
また、光源装置は、反射部8の中央部が揺動軸S上にある場合は、光源22から反射部8の中央部以外に光を出射することが好ましい。それにより、反射部8の中央部以外の領域にて出射光を反射することができ、反射部8の傾斜角θ2をより大きくすることができる。そのため、反射角θをさらに大きくすることができる。
<第2の実施形態>
図5,6を用いて、圧電部品X2について説明する。なお、圧電部品X1と同一の部材については、同一の番号を付するものとし、説明は省略する。なお、図6においては、反射部8を簡略化して示しているが、反射部8は所定の厚みを有している。
図5,6を用いて、圧電部品X2について説明する。なお、圧電部品X1と同一の部材については、同一の番号を付するものとし、説明は省略する。なお、図6においては、反射部8を簡略化して示しているが、反射部8は所定の厚みを有している。
圧電部品X2は、連結部6が、反射部8の揺動軸Sとなる軸部6d(図5(b)参照)と、軸部6dに接続され、反射部8に接続される接続部6cとを備えている。接続部6cは、平面視して、反射部8の一端部8aから他端部8bにわたって設けられている。接続部6cは、軸部6dの第1方向R1の両端に配置されており、軸部6dと一体的に設けられている。そのため、接続部6cおよび軸部6dは、平面視して、反射部8と略同形状をなしており、反射部8の厚みと略等しい。
反射部8は、支持部4、連結部6、および枠部10とは別体に作られており、連結部6の接続部6cに接続されている。反射部8と接続部6cとは、例えば、後述する接着剤により接続することができる。そして、反射部8と接続部6cとが接続されることにより、反射部8は、連結部6の軸部6dを揺動軸Sとして、揺動振動することとなる。
圧電部品X2は、反射部8が連結部6の接続部6cに接続されており、接続部6cが、平面視して、反射部8の一端部8aから他端部8bにわたって設けられている。そのため
、反射部8が揺動振動する際に、反射部8に揺動の慣性力が働いた場合においても、接続部6cが反射部8を支えることにより、反射部8に変形が生じる可能性を低減することができる。それにより、正確に反射光L2を照射面に出射することができる。
、反射部8が揺動振動する際に、反射部8に揺動の慣性力が働いた場合においても、接続部6cが反射部8を支えることにより、反射部8に変形が生じる可能性を低減することができる。それにより、正確に反射光L2を照射面に出射することができる。
また、図6に示すように、連結部6の接続部6cおよび軸部6dの上に、反射部8が配置されることとなり、反射部8の反射面が揺動軸Sよりも光源に近づくこととなる。そのため、連結部6の接続部6c、軸部6d、および反射部8の反射面までの厚み分、つまり揺動軸Sから反射部8の反射面までの距離分、反射部8の出射光L1が照射される位置が、一端部8a側および他端部8b側に移動することとなる。そのため、反射部8の出射光が照射される領域を広くすることができ、傾斜角θ2を大きくすることができる。それにより、反射角θを大きくすることができる。
つまり、圧電部品X2の接続部6cから反射部8の反射面までの距離をDとして、振れ角をθ1とすると、圧電部品X2は、圧電部品X1に比べて、出射光L1が出射される位置が、第2方向D2において、D・Sinθ1だけ一端部8a側に移動することとなる。そのため、反射部8の出射光L1が出射される領域を広くすることができる。
また、連結部6と反射部8とを別体で作製した後に、連結部6と反射部8とを接合することにより、反射部8の曲げ加工を行う際に、連結部6が破損する可能性を低減することができる。
なお、接続部6cが、平面視して、反射部8の一端部8aから他端部8bにわたって設けられている例を示したが、接続部6cが反射部8と軸部6との間の一部にのみ設けられていてもよい。また、接続部6cおよび軸部6dが、平面視して、反射部8と略同形状であり、かつ反射部8と同程度の厚みを有する例を示したが、平面視して、反射部8と略同形状でなくともよい。また、接続部6cおよび軸部6dの厚みは、反射部8よりも厚くてもよく、薄くてもよい。
<第3の実施形態>
図7〜10を用いて、圧電部品X3について説明する。圧電部品X3は、支持部4、反射部8、連結部6および枠部10が、ステンレスにより一体的に形成された第1部材12と、第1部材12を保持しており、ステンレスにより形成された一対の第2部材14を備えている。
図7〜10を用いて、圧電部品X3について説明する。圧電部品X3は、支持部4、反射部8、連結部6および枠部10が、ステンレスにより一体的に形成された第1部材12と、第1部材12を保持しており、ステンレスにより形成された一対の第2部材14を備えている。
第2部材14は、第1部材12の上面と下面に配置されており、第1部材12と接着剤11を介して接続されている。第1部材12の上面に配置された第2部材14aは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部16aを有している。同様に、第1部材12の下面に配置された第2部材14bは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部16bを有している。
接着剤11は、第1部材12と第2部材14とを固定するために設けられており、エポキシ系の樹脂を用いることができる。接着剤11は、必ずしも導電性を有する必要はないが、接着剤11として、圧電素子2を接着する導電性接着剤13を用いてもよい。この場合、第1部材12と第2部材14とを電気的に接続することができ、圧電体(不図示)を第1部材12または第2部材14のどちらからでも、グランド電位に接続することができる。
圧電部品X3は、第1部材12に第2部材14が接続されている。そのため、圧電部品X3の強度を向上させることができ、圧電部品X3のハンドリング性を向上させることができる。また、支持部4の固定を強固なものとすることができ、支持部4の撓みを大きく
することができる。
することができる。
圧電部品X3は、連結部6が、揺動軸Sとなる軸部6dと、軸部6dに接続され、支持部4から離れる方向に延びる延伸部6eと、延伸部6eと反射部8とを接するための接続部6cとを備えている。
延伸部6eは、軸部6d上から支持部4から離れる方向に延びており、一端部が軸部6dに接続され、他端部が接続部6cに接続されている。延伸部6eは、反射部8と略同じ幅、および略同じ厚みを有している。延伸部6eは、圧電部品X2の接続部6c(図5(a)参照)を90°回転させることにより作製することができる。
延伸部6eと接続部6cとは、接着剤11により接合されている。そのため、連結部6は、一方の連結部6a、他方の連結部6b、軸部6d、および延伸部6eが、一体的に設けられており、接続部6cは、別体で設けられている。そのため、接続部6cを反射部8と接続した後に、延伸部6eと接続することにより、反射部8を精度よく、連結部6に連結することができる。
また、図10に示すように、延伸部6eは、支持部4から離れる方向に延びるように設けられている。そのため、延伸部6eに加えて反射部8の長さ分、反射部8の反射面を、揺動軸Sから遠ざけることができ、出射光L1が出射する反射部8の反射面の領域を広くすることができる。それにより、傾斜角θ2を調整しやすくなり、照射面に均一に反射光を供給することができる。
つまり、圧電部品X3の揺動軸Sから反射部8の反射面までの長さをWとして、振れ角をθ1とすると、圧電部品X3は、圧電部品X2に比べて、出射光L1が出射される位置が、第2方向において、W・Sinθ1だけ一端部8a側に移動することとなる。そのため、反射部8の出射光L1が出射される領域を広くすることができる。
特に、圧電部品X3のように、反射部8が、側面視して、曲面により形成されており、反射部8が一端部8aおよび他端部8bに向かうにつれて傾斜角θ2が大きくなるように構成されている場合、出射光L1が出射する反射部8の反射面の領域が、一端部8a側および他端部8b側に広がることにより、反射角θを大きくすることができる。
なお、第2部材14を第1部材12の上下に設けた例を示したが、第1部材12の上方のみに設けてもよく、下方にのみ設けてもよい。
また、接続部6cを設けた例を示したが、延伸部6eに直接反射部8を接着剤により接続してもよい。
また、延伸部6eが、反射部8と略同じ幅、および略同じ厚みを有している例を示したが、反射部8と同じ幅、および同じ厚みを有していなくともよい。
図11を用いて圧電部品X3の変形例について説明する。図11(a)に示す圧電部品X4は、連結部6の形状が異なっており、その他の構成は圧電部品X3と同じである。
圧電部品X4は、連結部6と、反射部8と、反射部8の反対側に配置され、連結部6に接続された錘部9を有している。錘部9は、出射光L1を反射せず、錘として機能している。
連結部6は、一方の連結部6aと、他方の連結部6bと、接続部6cと、軸部6dと、
延伸部6eとを備えている。軸部6dの上方には、延伸部6eと、延伸部6eに接続された接続部6cとが設けられており、接続部6c上に反射部8が接続されている。また、軸部6dの下方には、支持部4から離れる方向に延びる延伸部6eと、延伸部6eに接続された接続部6cとが設けられており、接続部6cに錘部9が接続されている。接続部6cと錘部9とは、上述した接着剤11(図9参照)により接続されている。
延伸部6eとを備えている。軸部6dの上方には、延伸部6eと、延伸部6eに接続された接続部6cとが設けられており、接続部6c上に反射部8が接続されている。また、軸部6dの下方には、支持部4から離れる方向に延びる延伸部6eと、延伸部6eに接続された接続部6cとが設けられており、接続部6cに錘部9が接続されている。接続部6cと錘部9とは、上述した接着剤11(図9参照)により接続されている。
圧電部品X4は、反射部8と錘部9との重量が略等しく、連結部6が、揺動軸Sとなる軸部6dに対して点対称に形成されており、反射部8と同形状の錘部9を有している。そのため、圧電部品X4の揺動を安定させることができる。また、連結部6と、反射部8と、錘部9とが、軸部6dに対して点対称に形成されることから、圧電部品X4の揺動をさらに安定させることができる。
なお、図11(b)に示すように、連結部6は、接続部6cを有していなくともよい。その場合においても、錘部9が設けられていることから、圧電部品X5の揺動を安定させることができる。この場合、延伸部6eと、反射部8および錘部9とを接着剤11により接続すればよい。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第1の実施形態である圧電部品X1を用いた印刷装置Z1を示したが、これに限定されるものではなく、圧電部品X2〜X5を用いてもよい。また、複数の実施形態である圧電部品X1〜X5を組み合わせてもよく、本明細書に記載されているものとする。
圧電部品X2では、接続部6cが、長方形状の例を示したがこれに限定されるものではない。例えば、反射部8と同形状に接続部6cを形成することにより、反射部8に慣性力による変形が生じる可能性を低減することができる。また、反射部8と接続部6cとの接続面積を増加させることができ、反射部8が、接続部6cから剥離する可能性を低減することができる。
また、圧電部品X1において、反射部8が曲面により構成されており、一端部8aおよび他端部8bに向かうにつれて傾斜角θ2が大きくなる構成を示したが、一端部8aおよび他端部8bに向かうにつれて傾斜角θ2が小さくなる反射部8を用いてもよい。
また、本実施の形態では支持部4の上面のみに圧電素子2が配置されたユニモルフ構造で説明しているが、支持板4の上面および下面に圧電素子2を配置したバイモルフ構造としてもよい。
X1〜X5 圧電部品
Z1 印刷装置
R1 第1方向
R2 第2方向
R3 厚み方向
L1 出射光
L2 反射光
θ 反射角
θ1 振れ角
θ2 傾斜角
S 揺動軸
T 揺動方向
2 圧電素子
4 支持部
6 連結部
6a 一方の連結部
6b 他方の連結部
6c 接続部
6d 軸部
6e 延伸部
8 反射部
8a 一端部
8b 他端部
9 錘部
10 枠部
11 接着剤
12 第1部材
13 導電性接着剤
14 第2部材
16 枠部
Z1 印刷装置
R1 第1方向
R2 第2方向
R3 厚み方向
L1 出射光
L2 反射光
θ 反射角
θ1 振れ角
θ2 傾斜角
S 揺動軸
T 揺動方向
2 圧電素子
4 支持部
6 連結部
6a 一方の連結部
6b 他方の連結部
6c 接続部
6d 軸部
6e 延伸部
8 反射部
8a 一端部
8b 他端部
9 錘部
10 枠部
11 接着剤
12 第1部材
13 導電性接着剤
14 第2部材
16 枠部
Claims (9)
- 圧電素子が設けられた支持部と、
光を反射させるための反射部と、
前記支持部と前記反射部とを連結するための連結部と、を備え、
前記反射部は、前記連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が前記連結部に連結されており、
側面視して、前記一端部と前記他端部とが前記支持部から離れる方向に傾斜していることを特徴とする圧電部品。 - 前記反射部は、側面視して、曲面により形成されている、請求項1に記載の圧電部品。
- 前記反射部は、側面視して、円弧状をなしている、請求項2に記載の圧電部品。
- 前記連結部は、前記反射部の揺動軸となる軸部と、該軸部と前記反射部とを接続するための接続部とを有しており、
平面視して、該接続部は、前記反射部の前記一端部から前記他端部にわたって設けられている、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電部品。 - 前記連結部は、前記連結部の揺動軸となる軸部と、該軸部に接続され、前記支持部から離れる方向に延びる延伸部と、を備え、
該延伸部上に前記反射部が配置されている、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電部品。 - 前記連結部は、前記延伸部と前記反射部とを接続するための接続部をさらに備え、
平面視して、該接続部は、前記反射部の前記一端部から前記他端部にわたって設けられている、請求項5に記載の圧電部品。 - 光源と、
該光源から出射される光を前記反射部にて反射する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電部品と、
該圧電部品を制御する制御部と、を備えることを特徴とする光源装置。 - 前記光源から出射される光を、前記反射部の中央部以外の部位にて反射する、請求項7に記載の光源装置。
- 請求項7または8に記載の光源装置と、
感光体と、
前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、
前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、
前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御することを特徴とする印刷装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013062388A JP2014186238A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 圧電部品、光源装置および印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013062388A JP2014186238A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 圧電部品、光源装置および印刷装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014186238A true JP2014186238A (ja) | 2014-10-02 |
Family
ID=51833857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013062388A Pending JP2014186238A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 圧電部品、光源装置および印刷装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014186238A (ja) |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013062388A patent/JP2014186238A/ja active Pending
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